CN220034654U - 一种阳极层离子源及其阴极衬套 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种阳极层离子源及其阴极衬套，阴极衬套包括：内阴极衬套，覆盖于阳极层离子源的内阴极面向工艺腔室的第一表面上，且与内阴极的第一表面卡接并相贴合；外阴极衬套，覆盖于阳极层离子源的外阴极面向工艺腔室的第一表面上，且与外阴极的第一表面卡接并相贴合；外阴极衬套围绕在内阴极衬套外侧，且外阴极衬套和内阴极衬套之间的第一间距与外阴极和内阴极之间的第二间距对应。本实用新型能够避免膜层直接沉积在内阴极和外阴极上造成污染，并可即插即用，进行快速替换，省时省力，可彻底解决每炉针对阴极的维护问题，保持阴极的洁净程度，提高维护效率，并可由此提高膜层质量。

Description

一种阳极层离子源及其阴极衬套

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种阳极层离子源的阴极衬套和阳极层离子源。

背景技术

DLC膜层(类金刚石涂层)可通过热丝CVD、微波CVD及采用阳极层离子源辅助的PECVD等方法进行制备。其中，阳极层离子源的离子束流大，结构简单，被广泛应用于离子束辅助沉积。但是，采用阳极层离子源辅助制备DLC过程中，阳极层离子源的阴极表面上不可避免地也会被沉积到绝缘的DLC膜层。DLC膜层在阳极层离子源阴极表面上的附着，不仅对后期的放电稳定性会产生影响，同时还会使产品上的膜层产生颗粒等缺陷，导致耐磨耐蚀性能的降低。

现有技术中，大致有以下几种解决方法，但都存在明显不足：

(1)每一炉出炉后进行维护吸尘，然后进行氧气及氩气的辉光清洗。然而，该方法耗用时间较长，而且不能将沉积在阳极层离子源阴极表面上的DLC膜层完全清洗干净，仍会造成产品上沉积的薄膜质量较差的问题。

(2)对阳极层离子源内部磁场及阴阳极的结构进行改变。但该方法只能稍微改善DLC膜层在阳极层离子源阴极表面上的沉积率，出炉后还是要进行长时间的清理。

(3)中国实用新型专利申请CN201410399143.4公开了一种离子源挡板，以保护离子源不受靶材污染。但该挡板设计繁琐，且不能快速进行更换，会耽误生产进炉时间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种阳极层离子源及其阴极衬套。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型提供一种阳极层离子源阴极衬套，包括：

内阴极衬套，覆盖于阳极层离子源的内阴极面向工艺腔室的第一表面上，且与所述内阴极的第一表面卡接并相贴合；

外阴极衬套，覆盖于阳极层离子源的外阴极面向工艺腔室的第一表面上，且与所述外阴极的第一表面卡接并相贴合；

所述外阴极衬套围绕在所述内阴极衬套外侧，且所述外阴极衬套和所述内阴极衬套之间的第一间距与所述外阴极和所述内阴极之间的第二间距对应。

进一步地，所述内阴极衬套具有与所述内阴极的第一表面对应的轮廓及尺寸。

进一步地，所述外阴极衬套具有与所述外阴极的第一表面对应的轮廓及尺寸。

进一步地，所述内阴极衬套和所述外阴极衬套通过弹性卡钉与所述内阴极的第一表面和所述外阴极的第一表面分别卡接。

进一步地，所述弹性卡钉包括相连的第一柱体和第二柱体，所述第一柱体与螺母形成螺纹连接，所述第二柱体的侧面上设有多个弹片，所述内阴极衬套和所述外阴极衬套上分别设有第一过孔，所述内阴极的第一表面和所述外阴极的第一表面上分别设有第二过孔，所述第二柱体的外径大于所述第一柱体的外径且大于所述第一过孔的孔径，所述弹性卡钉通过将所述第一柱体插入所述第一过孔中形成活动配合，并通过所述螺母进行紧固，所述弹性卡钉通过将带有所述弹片的所述第二柱体插入所述第二过孔中形成弹性卡接。

进一步地，所述弹片包括相连的第一弹性段和第二弹性段，所述第一弹性段的第一端固定于所述第二柱体上，所述第一弹性段的第二端与所述第二弹性段的第一端相连并形成向外侧突出的折角，所述第二弹性段的第二端为自由端。

进一步地，各所述弹片之间以各自的所述第一弹性段的第一端相连为整体，并在相连处设有第三过孔，所述第一柱体还穿设于所述第二柱体和所述第三过孔中，并通过设于所述第一柱体上的螺帽与所述螺母的配合，将各所述弹片压紧在所述第二柱体与所述螺帽之间。

进一步地，所述内阴极衬套、所述外阴极衬套和所述弹性卡钉分别为无磁性的内阴极衬套、无磁性的外阴极衬套和无磁性的弹性卡钉。

进一步地，所述内阴极衬套和所述外阴极衬套为整体结构；或者，所述内阴极衬套和所述外阴极衬套由分体式结构单元拼接形成。

本实用新型还提供一种阳极层离子源，所述阳极层离子源设有上述的阳极层离子源阴极衬套。

由上述技术方案可以看出，本实用新型通过在阳极层离子源内阴极和外阴极的表面上设置轮廓及尺寸与内阴极和外阴极对应的内阴极衬套和外阴极衬套，并使内阴极衬套和外阴极衬套分别与内阴极和外阴极相贴合，能够完全避免镀膜膜层直接沉积在内阴极和外阴极上造成对内阴极和外阴极的污染。并且，通过采用例如弹性卡钉形成内阴极衬套与内阴极之间、外阴极衬套与外阴极之间的插拔式卡接，实现即插即用，可以快速替换沉积有镀膜膜层的内阴极衬套和外阴极衬套，省时省力。因此，本实用新型可彻底解决每炉针对阳极层离子源阴极的维护问题，保持阴极的洁净程度，提高维护效率，并可由此提高膜层质量。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的一种阳极层离子源阴极衬套在阳极层离子源上的设置状态分解示意图；

图2为本实用新型一较佳实施例的一种阳极层离子源阴极衬套在阳极层离子源上的设置状态示意图；

图3为本实用新型一较佳实施例的一种内阴极衬套的分体结构示意图；

图4为本实用新型一较佳实施例的一种外阴极衬套的分体结构示意图；

图5为本实用新型一较佳实施例的一种弹性卡钉的结构示意图；

图6为本实用新型一较佳实施例的一种弹性卡钉在外阴极衬套和外阴极上的安装结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

请参阅图1，图1为本实用新型一较佳实施例的一种阳极层离子源阴极衬套在阳极层离子源上的设置状态分解示意图。如图1所示，现有的阳极层离子源，一般包括阳极层离子源源体10。阳极层离子源源体10设有阴极15、11和阳极(未显示)。其中，阴极15、11包括内阴极15和外阴极11，内阴极15设置位于阳极层离子源源体10的中部，外阴极11为环形，并围绕在内阴极15的外侧。阳极也为环形，设置位于外阴极11下方的空腔中。内阴极15与外阴极11之间具有缝隙16，缝隙16具有一定间距(第二间距)，环形的阳极对应位于环形的缝隙16下方，缝隙16作为形成的离子束流的发射通道。有关阳极层离子源的知识，可参考现有技术加以理解。

镀膜设备的工艺腔室上通常设有源体安装接口。阳极层离子源的源体10上可对应设有接头18。安装时，可通过接头18与源体安装接口对接，使安装后的阳极层离子源源体10位于工艺腔室中，并使得内阴极15的表面(第一表面)和外阴极11的表面(第一表面)面向工艺腔室内部设置。

在制备例如DLC膜层(类金刚石涂层)时，阳极层离子源的阴极15、11表面上不可避免地也会被沉积到绝缘的DLC膜层。DLC膜层在阳极层离子源阴极15、11表面上的附着，不仅对后期的放电稳定性会产生影响，同时还会使产品上的膜层产生颗粒等缺陷，导致耐磨耐蚀性能的降低。

本实用新型针对上述问题作出对应改进，通过在阴极15、11表面上设置可快速替换的衬套，可彻底解决每炉阴极15、11的维护洁净程度，提高维护效率及提高膜层质量。

请参阅图1。本实用新型的一种阳极层离子源阴极衬套12、14，包括内阴极衬套12和外阴极衬套14。

其中，内阴极衬套12覆盖于阳极层离子源的内阴极15面向工艺腔室的第一表面上，且与内阴极15的第一表面通过卡接相紧密贴合在一起。同时，外阴极衬套14覆盖于阳极层离子源的外阴极11面向工艺腔室的第一表面上，且与外阴极11的第一表面通过卡接相紧密贴合在一起。

外阴极衬套14围绕在内阴极衬套12外侧，且外阴极衬套14和内阴极衬套12之间具有第一间距。外阴极衬套14和内阴极衬套12之间的第一间距与外阴极11和内阴极15之间的第二间距对应，从而不会对作为离子束流发射通道的缝隙16大小造成干扰。

在一些实施例中，内阴极衬套12可具有与内阴极15的第一表面对应的轮廓及尺寸，从而当将内阴极衬套12安装在内阴极15上时，能够对内阴极15的第一表面形成完全覆盖，并且能够与内阴极15的第一表面形成完全贴合。

在一些实施例中，外阴极衬套14可具有与外阴极11的第一表面对应的轮廓及尺寸，从而当将外阴极衬套14安装在外阴极11上时，能够对外阴极11的第一表面形成完全覆盖，并且能够与外阴极11的第一表面形成完全贴合。

这样，通过设置内阴极衬套12和外阴极衬套14，在镀例如DLC膜层工艺过程中，可对内阴极15和外阴极11朝向工艺腔室的表面进行防护，使DLC膜层只能沉积在内阴极衬套12和外阴极衬套14外露的表面上，从而能有效避免DLC膜层直接沉积在内阴极15和外阴极11的表面上造成对内阴极15和外阴极11的污染。

请参阅图1。内阴极衬套12可通过弹性卡钉17与内阴极15的第一表面卡接安装。外阴极衬套14可通过弹性卡钉17与外阴极11的第一表面卡接安装。安装后的内阴极衬套12和外阴极衬套14在阳极层离子源源体10上的状态如图2所示。可以看出，内阴极衬套12与内阴极15的第一表面具有对应的形状，且与内阴极15的第一表面完全贴合。外阴极衬套14与外阴极11的第一表面也具有对应的形状，且与外阴极11的第一表面也完全贴合。从内阴极15的第一表面和外阴极11的第一表面的相对方向看，内阴极衬套12对内阴极15的第一表面形成了完全覆盖，外阴极衬套14对外阴极11的第一表面也形成了完全覆盖，能够有效避免例如DLC膜层直接沉积在内阴极15和外阴极11的表面上造成对内阴极15和外阴极11的污染。并且，外阴极衬套14和内阴极衬套12之间的第一间距与外阴极11和内阴极15之间的第二间距对应，不会对外阴极11与内阴极15之间的缝隙16造成遮挡，从而不会影响离子束流的正常发射。

请参阅图5。在一些实施例中，弹性卡钉17可包括相连的第一柱体25和第二柱体24。第一柱体25上设有螺母27，第一柱体25与螺母27形成螺纹连接。第二柱体24的外径大于第一柱体25的外径，且第二柱体24的侧面上设有多个弹片23。

请参阅图1、图5-图6。在一些实施例中，内阴极衬套12和外阴极衬套14上可分别设有第一过孔31，内阴极15的第一表面和外阴极11的第一表面上分别设有第二过孔13。第二柱体24的外径大于第一过孔31的孔径。通过将弹性卡钉17的第一柱体25从内阴极衬套12或外阴极衬套14的内侧插入第一过孔31中，与第一过孔31形成活动配合，并从外侧通过螺母27与第一柱体25的旋紧配合，对弹性卡钉17进行紧固，从而将弹性卡钉17分别固定在内阴极衬套12和外阴极衬套14上。通过将弹性卡钉17带有弹片23的第二柱体24从内阴极15或外阴极11的第一表面插入第二过孔13中，利用弹片23的膨胀力对第二过孔13侧壁产生的摩擦力，使弹性卡钉17与第二过孔13形成弹性卡接，将内阴极衬套12和外阴极衬套14分别固定在内阴极15和外阴极11上。

在一些实施例中，弹片23可包括相连的第一弹性段21和第二弹性段22。其中，第一弹性段21的第一端固定于第二柱体24上，第一弹性段21的第二端与第二弹性段22的第一端相连，并在连接处形成向外侧突出的折角29，以形成一定的弹性膨胀力。第二弹性段22的第二端为自由端。

在一些实施例中，弹片23可成对设置在第二柱体24的侧面上。

在一些实施例中，第二柱体24的侧面上可设置多对弹片23。

在一些实施例中，各弹片23之间以各自的第一弹性段21的第一端相连在一起，形成整体结构。并且，在各弹片23第一弹性段21的第一端之间的相连处，可设有第三过孔33，第二柱体24可沿轴向设有通孔32，第一柱体25还穿设于第二柱体24的通孔32中和相连的各弹片23上的第三过孔33中。在第一柱体25远离螺母27的一端上可设有螺帽30，各弹片23位于螺帽30与第二柱体24远离螺母27的一端之间。当将第一柱体25插入第一过孔31时，可通过拧紧螺母27，使螺帽30带动第二柱体24靠压在内阴极衬套12或外阴极衬套14上，从而通过螺帽30与螺母27的配合，将弹性卡钉17固定在内阴极衬套12或外阴极衬套14上，同时也将各弹片23压紧在第二柱体24与螺帽30之间得到紧固。

在一些实施例中，在螺母27与内阴极衬套12或外阴极衬套14之间的第一柱体25上还可设有弹性垫片26，以增强对弹性卡钉17的紧固作用。进一步地，在弹性垫片26与内阴极衬套12或外阴极衬套14之间的第一柱体25上还可设有平垫片28。

通过设置弹性卡钉17，可形成内阴极衬套12与内阴极15之间、外阴极衬套14与外阴极11之间的插拔式卡接，即插即用，可以快速替换沉积有例如DLC膜层的内阴极衬套12和外阴极衬套14，使得出炉后进行拆卸更换能控制在5分钟内，大大减少了进炉的等待时间。并且，每炉工艺时的阴极15、11都相当于全新的阴极在进行工作，可有效减少以往因积累在内阴极15和外阴极11上的例如DLC膜层脱落溅射在产品上，造成产品膜层产生颗粒等缺陷所导致的耐磨耐蚀性能降低的问题，由此提高了膜层质量。

在一些实施例中，内阴极衬套12、外阴极衬套14和弹性卡钉17可采用无磁性的材料制作，形成无磁性的内阴极衬套12、无磁性的外阴极衬套14和无磁性的弹性卡钉17。

进一步地，内阴极衬套12可包括不锈钢内阴极衬套12或铝合金内阴极衬套12。外阴极衬套14可包括不锈钢外阴极衬套14或铝合金外阴极衬套14。弹性卡钉17可包括不锈钢弹性卡钉17或铝合金弹性卡钉17。

在一些实施例中，内阴极衬套12和外阴极衬套14可分别采用整体结构形式。

请参阅图3-图4并结合参阅图1-图2。在一些实施例中，内阴极衬套12和外阴极衬套14也可由分体式结构单元拼接形成。例如，内阴极衬套12可采用两个半内阴极衬套19相拼接形成，外阴极衬套14可采用两个半外阴极衬套20相拼接形成，以便于在工艺腔室中进行安装和拆卸。

在一些实施例中，内阴极衬套12和外阴极衬套14的厚度可在2mm以上，以避免变形。

使用时，可将弹性卡钉17预装在内阴极衬套12和外阴极衬套14上，然后，再将带有弹性卡钉17的内阴极衬套12和外阴极衬套14分别与内阴极15和外阴极11的表面对准，将弹性卡钉17插入内阴极15和外阴极11表面上的第二过孔13中，利用弹性卡钉17上弹片23的膨胀力，对第二过孔13侧壁产生一定摩擦力，使弹性卡钉17与第二过孔13形成弹性卡接，从而将内阴极衬套12和外阴极衬套14分别贴合固定在内阴极15和外阴极11上。此时，即可开始进行镀膜工艺。

当每炉镀膜生产后，可以对前一炉表面沉积有例如DLC膜层的内阴极衬套12和外阴极衬套14进行更换。在更换前可提前准备好新的或新维护过的内阴极衬套12和外阴极衬套14，更换时只需要简单拔插即可。更换方法可为：双手垂直于阳极层离子源源体10，手握内阴极衬套12或外阴极衬套14边缘，同时垂直往外拔出，即可将前一炉镀有膜层的内阴极衬套12和外阴极衬套14进行拆除。然后，可将准备好的新的或新维护过的内阴极衬套12和外阴极衬套14与内阴极15和外阴极11对准，垂直推进，使内阴极衬套12和外阴极衬套14安装到位，并紧贴在阳极层离子源的内阴极15和外阴极11表面上。

使用本实用新型的阴极衬套，出炉后进行拆卸更换能控制在5分钟内，大大减少了进炉的等待时间，并且每炉的阴极相当于全新的阴极在进行工作。所有应用阳极层离子源的设备中皆可采用。

请参阅图1-图2。本实用新型的一种阳极层离子源，设有上述的阳极层离子源阴极衬套12、14。

在一些实施例中，阳极层离子源可采用例如图1-图2中所示的阳极层离子源结构形式。本实施例中，阳极层离子源包括阳极层离子源源体10。阳极层离子源源体10设有阴极15、11和阳极(未显示)。其中，阴极15、11包括内阴极15和外阴极11，内阴极15设置位于阳极层离子源源体10的中部，外阴极11为环形，并围绕在内阴极15的外侧。阳极也为环形，设置位于外阴极11下方的空腔中。内阴极15与外阴极11之间具有缝隙16，缝隙16具有一定间距(第二间距)，环形的阳极对应位于环形的缝隙16下方，缝隙16作为形成的离子束流的发射通道。

镀膜设备的工艺腔室上设有源体安装接口。阳极层离子源的源体10上可对应设有接头18。安装时，可通过接头18与源体安装接口对接，使安装后的阳极层离子源源体10位于工艺腔室中，并使得内阴极15的表面(第一表面)和外阴极11的表面(第一表面)面向工艺腔室内部设置。

阳极层离子源阴极衬套12、14包括内阴极衬套12和外阴极衬套14。内阴极衬套12覆盖于阳极层离子源的内阴极15面向工艺腔室的第一表面上，且与内阴极15的第一表面通过卡接相紧密贴合在一起。同时，外阴极衬套14覆盖于阳极层离子源的外阴极11面向工艺腔室的第一表面上，且与外阴极11的第一表面通过卡接相紧密贴合在一起。

外阴极衬套14围绕在内阴极衬套12外侧，且外阴极衬套14和内阴极衬套12之间具有第一间距。外阴极衬套14和内阴极衬套12之间的第一间距与外阴极11和内阴极15之间的第二间距对应，从而不会对作为离子束流发射通道的缝隙16大小造成干扰。

内阴极衬套12和外阴极衬套14可通过弹性卡钉17与内阴极15的第一表面和外阴极11的第一表面分别卡接安装。

设有可拆卸式阴极衬套12、14的阳极层离子源，可以避免镀膜膜层直接沉积在阴极15、11表面上造成对阴极15、11的污染。每炉镀膜后，可以便捷地将镀有膜层的阴极衬套12、14从阳极层离子源源体10上快速拆卸，并加以更换，能大大减少进炉的等待时间，并可使得每炉生产时的阴极都相当于全新的阴极在进行工作，从而提高了镀膜质量。

综上，本实用新型通过在阳极层离子源内阴极15和外阴极11的表面上设置轮廓及尺寸与内阴极15和外阴极11对应的内阴极衬套12和外阴极衬套14，并使内阴极衬套12和外阴极衬套14分别与内阴极15和外阴极11相贴合，能够完全避免例如DLC等膜层直接沉积在内阴极15和外阴极11上造成对内阴极15和外阴极11的污染。并且，通过采用例如弹性卡钉17形成内阴极衬套12与内阴极15之间、外阴极衬套14与外阴极11之间的插拔式卡接，实现即插即用，可以快速替换沉积有DLC膜层的内阴极衬套12和外阴极衬套14，省时省力。因此，本实用新型可彻底解决每炉针对阳极层离子源阴极的维护问题，保持阴极的洁净程度，提高维护效率，并可由此提高膜层质量。

虽然在上文中详细说明了本实用新型的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本实用新型的范围和精神之内。而且，在此说明的本实用新型可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (10)

1.一种阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，包括：

内阴极衬套，覆盖于阳极层离子源的内阴极面向工艺腔室的第一表面上，且与所述内阴极的第一表面卡接并相贴合；

外阴极衬套，覆盖于阳极层离子源的外阴极面向工艺腔室的第一表面上，且与所述外阴极的第一表面卡接并相贴合；

所述外阴极衬套围绕在所述内阴极衬套外侧，且所述外阴极衬套和所述内阴极衬套之间的第一间距与所述外阴极和所述内阴极之间的第二间距对应。

2.根据权利要求1所述的阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，所述内阴极衬套具有与所述内阴极的第一表面对应的轮廓及尺寸。

3.根据权利要求1所述的阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，所述外阴极衬套具有与所述外阴极的第一表面对应的轮廓及尺寸。

4.根据权利要求1所述的阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，所述内阴极衬套和所述外阴极衬套通过弹性卡钉与所述内阴极的第一表面和所述外阴极的第一表面分别卡接。

5.根据权利要求4所述的阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，所述弹性卡钉包括相连的第一柱体和第二柱体，所述第一柱体与螺母形成螺纹连接，所述第二柱体的侧面上设有多个弹片，所述内阴极衬套和所述外阴极衬套上分别设有第一过孔，所述内阴极的第一表面和所述外阴极的第一表面上分别设有第二过孔，所述第二柱体的外径大于所述第一柱体的外径且大于所述第一过孔的孔径，所述弹性卡钉通过将所述第一柱体插入所述第一过孔中形成活动配合，并通过所述螺母进行紧固，所述弹性卡钉通过将带有所述弹片的所述第二柱体插入所述第二过孔中形成弹性卡接。

6.根据权利要求5所述的阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，所述弹片包括相连的第一弹性段和第二弹性段，所述第一弹性段的第一端固定于所述第二柱体上，所述第一弹性段的第二端与所述第二弹性段的第一端相连并形成向外侧突出的折角，所述第二弹性段的第二端为自由端。

7.根据权利要求6所述的阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，各所述弹片之间以各自的所述第一弹性段的第一端相连为整体，并在相连处设有第三过孔，所述第一柱体还穿设于所述第二柱体和所述第三过孔中，并通过设于所述第一柱体上的螺帽与所述螺母的配合，将各所述弹片压紧在所述第二柱体与所述螺帽之间。

8.根据权利要求4所述的阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，所述内阴极衬套、所述外阴极衬套和所述弹性卡钉分别为无磁性的内阴极衬套、无磁性的外阴极衬套和无磁性的弹性卡钉。

9.根据权利要求1所述的阳极层离子源阴极衬套，其特征在于，所述内阴极衬套和所述外阴极衬套为整体结构；或者，所述内阴极衬套和所述外阴极衬套由分体式结构单元拼接形成。

10.一种阳极层离子源，其特征在于，所述阳极层离子源设有权利要求1至9任意一项所述的阳极层离子源阴极衬套。