CN211339675U - 一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 - Google Patents
一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211339675U CN211339675U CN201922446449.1U CN201922446449U CN211339675U CN 211339675 U CN211339675 U CN 211339675U CN 201922446449 U CN201922446449 U CN 201922446449U CN 211339675 U CN211339675 U CN 211339675U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fiber
- magnetron sputtering
- box body
- base
- coating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000013077 target material Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 3
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，包括底座，所述底座上设有密封盒体，所述底座上设有支撑座，所述支撑座上设有靶材，所述密封盒体内在位于靶材正上方位置配合设置纤维夹紧机构；所述纤维夹紧机构包括一组夹板、螺栓及螺母，所述螺栓穿设在一组夹板上，且通过螺母进行夹紧固定。本实用新型的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维端面进行磁控溅射镀膜，只需将纤维放置夹板的线槽之中，再将夹板放置在密封盒上，保证了纤维端面镀膜的可操作性与可靠性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置。
背景技术
纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值，镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维，镀金属纤维按镀膜金属可分为：镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等，它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外，根据镀层的不同，还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。而在光纤端面镀膜，可以增加激光透射或者反射功能。
在现有技术中，通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜，但是这种方法镀铝时，容易造成污染，并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种，具有膜层附着力强的优点，且对环境没有污染。但由于纤维的细小，在磁控溅射中对纤维端面镀膜，镀膜前夹持安装的工作过程比较复杂，且镀膜时的可靠性不高，因此，针对多条纤维，如何保证镀膜的可操作性与可靠性，成为本实用新型亟待解决的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种以实现提高镀膜可操作性与可靠性的磁控溅射中纤维端面镀膜装置。
本实用新型的技术方案如下：
一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，包括底座，所述底座上设有密封盒体，所述底座上设有支撑座，所述支撑座上设有靶材，所述密封盒体内在位于靶材正上方位置配合设置纤维夹紧机构；所述纤维夹紧机构包括一组夹板、螺栓及螺母，所述螺栓穿设在一组夹板上，且通过螺母进行夹紧固定。
所述的一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，所述夹板采用T型结构，所述夹板顶部两侧设有供螺栓穿设的通孔。
所述的一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，所述夹板两面分别设置有一排线槽，且相邻两块夹板相互配合，从而将纤维夹紧固定在线槽之中。
所述的一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，所述密封盒体上滑动配合设置密封盖板，所述密封盖板的右端与夹板顶部贴合设置，保证密封盒体的密封性。
本实用新型的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维端面进行磁控溅射镀膜，只需将纤维放置夹板的线槽之中，再将夹板放置在密封盒上，保证了纤维端面镀膜的可操作性与可靠性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。
附图说明
图1为本实用新型的内部安装示意图；
图2为本实用新型的整体三维示意图；
图3为本实用新型的密封盒体示意图；
图4为本实用新型的纤维夹紧装置结构图；
图5为本实用新型的纤维夹紧装置三维图；
图6为本实用新型的单块夹板示意图；
图中：1-底座，2-密封盒体，3-密封盖板，4-螺栓，5-螺母，6-夹板，7-靶材，8-支撑座，9-线槽，10-通孔。
具体实施方式
以下结合说明书附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述：
如图1-6所示，磁控溅射中纤维端面镀膜装置，包括底座1、支撑座8、密封盒、纤维夹紧装置，
密封盒包括密封盒体2与密封盖板3，密封盒体2采用倒置L型结构，其顶部设有开口槽，所述密封盖板3滑动配合设置在密封盒体2顶部的开口槽上。
纤维夹紧装置包括一组夹板6、螺栓4及螺母5，夹板6采用T型结构，夹板6顶部两侧分别设有供螺栓4穿设的通孔10；螺栓4穿设在6夹板6的通孔内，并在其末端用螺母5进行夹紧固定；夹板6两面分别设置有十条平行设置的线槽9，且相邻两块夹板相互配合，从而将纤维夹紧固定在线槽9之中。
纤维夹紧装置放置在密封盒体2上，T型结构的夹板正好卡接在密封盒体2的开口槽内，从而将开口槽端部密封，再用密封盖板3遮住，密封盖板3的右端与夹板6顶部贴合设置，将纤维遮盖在密封盒之中，确保纤维表面不会被镀膜，只有纤维端面能够镀膜。
本申请的纤维端面镀膜装置放置在真空设备的底座1上，底座1上放置有支撑座8，支撑座8上放置有靶材7，靶材7上连接阴极，通电后，靶材7上溅射出的靶原子，一部分撞击在纤维上，最后在纤维丝线的表面沉积。
工作过程：
首先，根据纤维的数量选择夹板的数量，将纤维放置在夹板6的凹槽之中，用夹板6将纤维夹好，确保纤维只显露出端面，再用螺母5螺栓4将夹板固定好；然后，将夹板放置在密封盒2上，再用盖板3将夹板6遮住，确保镀膜时，溅射出来的原子不会溅射到纤维圆柱表面上；最后，将整个装置放置在底座1之上，确保纤维的镀膜端面位于靶材7正上方，启动设备，当设备正常工作时，真空泵开始抽出气体，达到一定真空度后，施加电场，靶材7上溅射出的靶原子一部分撞击在纤维端面上并沉积，纤维端面镀膜开始进行。
Claims (4)
1.一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）上设有密封盒体（2），所述底座（1）上设有支撑座（8），所述支撑座（8）上设有靶材（7），所述密封盒体（2）内在位于靶材（7）正上方位置配合设置纤维夹紧机构；所述纤维夹紧机构包括一组夹板（6）、螺栓（4）及螺母（5），所述螺栓（4）穿设在一组夹板（6）上，且通过螺母（5）进行夹紧固定。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，所述夹板（6）采用T型结构，所述夹板（6）顶部两侧设有供螺栓（4）穿设的通孔（10）。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，所述夹板（6）两面分别设置有一排线槽（9），且相邻两块夹板相互配合，从而将纤维夹紧固定在线槽（9）之中。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，所述密封盒体（2）上滑动配合设置密封盖板（3），所述密封盖板（3）的右端与夹板（6）顶部贴合设置，保证密封盒体（2）的密封性。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922446449.1U CN211339675U (zh) | 2019-12-30 | 2019-12-30 | 一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922446449.1U CN211339675U (zh) | 2019-12-30 | 2019-12-30 | 一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211339675U true CN211339675U (zh) | 2020-08-25 |
Family
ID=72137493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201922446449.1U Expired - Fee Related CN211339675U (zh) | 2019-12-30 | 2019-12-30 | 一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211339675U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110904420A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-03-24 | 浙江工业大学 | 一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 |
-
2019
- 2019-12-30 CN CN201922446449.1U patent/CN211339675U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110904420A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-03-24 | 浙江工业大学 | 一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN211339675U (zh) | 一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 | |
| US20210032740A1 (en) | Anti-corrosion conductive film and pulse bias alternation-based magnetron sputtering deposition method and application thereof | |
| CN101082119A (zh) | 一种在碳纤维复合材料表面制备铝膜的方法 | |
| WO2006128427A3 (de) | Verfahren zur herstellung einer einseitig kontaktierten solarzelle und einseitig kontaktierte solarzelle | |
| CN103014649B (zh) | 光纤镀膜工艺 | |
| CN110904420A (zh) | 一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置 | |
| CN110923653A (zh) | 一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置 | |
| CN216947250U (zh) | 一种长距离管道内壁表面涂层施镀装置 | |
| CN213507169U (zh) | 镀膜装置 | |
| CN108365025B (zh) | 一种双面perc电池及其制备方法 | |
| CN211016609U (zh) | 工业机器人连接线 | |
| CN213977865U (zh) | 一种新型磁控溅射镀膜装置载具 | |
| CA2660985A1 (en) | Fuel cell separator, method for manufacturing the fuel cell separator, and fuel cell | |
| CN109856725B (zh) | 一种双尾纤夹具 | |
| CN212012089U (zh) | 一种防窃电电缆终端连接装置 | |
| CN212426162U (zh) | 适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极 | |
| CN203573941U (zh) | 一种电绝缘结构的电极 | |
| CN109494122B (zh) | 一种宇航用大功率接触器汇流安装结构及装配方法 | |
| CN215141267U (zh) | 一种用于对回转体小零件的端面进行喷涂的夹具 | |
| CN209957885U (zh) | 一种用于光学腔面镀膜设备的载具 | |
| CN107991753B (zh) | 一种用于棱镜镀膜的夹具 | |
| CN217922293U (zh) | 一种用于真空镀的退料夹具 | |
| CN220432968U (zh) | 一种模具表面耐磨损的pvd涂层 | |
| CN111962035A (zh) | 一种镁基或铝基滤波器腔体镀层及其制备方法 | |
| CN210272015U (zh) | 一种磁环组件 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200825 |