CN220034645U - 用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其包括多个层叠设置的板状载体；板状载体上具有定位部；硅片载具还包括与定位部配合使用，以使所有板状载体上下对正的定位件；板状载体上能够安放多种不同规格的电池硅片，当板状载体上电池硅片的数量为多个时，所有电池硅片在板状载体上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的电池硅片之间具有间隙。本实用新型的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，一方面，板状载体对不同规格的电池硅片具有很好的兼容性，长度大至2m，小至182mm的电池硅片均能够安放在板状载体上进行镀膜处理；另一方面，将很多板状载体层叠放置，并一起放置到镀膜设备的腔室中，可提升效率。

Description

用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具

技术领域

本实用新型涉及硅片镀膜工具技术领域，特别是涉及一种用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具。

背景技术

在光伏行业中，对太阳能电池的电池硅片进行钙钛矿镀膜是一道重要的工序，钙钛矿具有高吸光系数，能够明显增加光电转换效率。在对电池硅片进行镀膜的过程中，需要将电池硅片装载在载具上送到镀膜腔室内，镀膜作业开始后，镀膜腔室内的气体向电池硅片的表面沉积，形成镀膜。现有技术中，专利CN214458312U公开了一种电池载具及具有其的镀膜设备，这种电池载具中，电池硅片层叠放置在载具中，载具可以带着很多电池硅片一起进入镀膜腔室进行镀膜作业，但是该载具只能适用于一种尺寸的电池硅片，其对电池硅片的兼容性很差，需要针对各种不同规格的电池硅片定制载具，成本高且使用管理均较复杂。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种尺寸兼容性好、方便进行批量镀膜作业的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其包括多个层叠设置的板状载体；

所述板状载体上具有定位部；所述硅片载具还包括与所述定位部配合使用，以使所有所述板状载体上下对正的定位件；

所述板状载体上能够安放多种不同规格的电池硅片，当所述板状载体上电池硅片的数量为多个时，所有所述电池硅片在所述板状载体上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的所述电池硅片之间具有间隙。

进一步地，所述定位部为定位孔或定位槽，所述定位部位于所述板状载体的边缘或角落位置处；对应于所示定位孔或定位槽，所述定位件为定位销或定位块。

进一步地，所述板状载体上能够放置长度为182mm-2m的电池硅片。

进一步地，所述板状载体包括载体框架与载板；所述定位部设置在所述载体框架上；所述载体框架的前、后内壁均具有滑槽，所述载板的前、后边缘嵌入所述滑槽并能够相对于所述滑槽滑动。

进一步地，所述载板的左边缘具有第一减薄部，所述载板的右边缘具有第二减薄部，所述第二减薄部上具有阵列排布的通孔；相邻的两个所述载板中，其中一者的所述第一减薄部与另一者的所述第二减薄部交叠设置，所述载板相对于所述框架滑动，能够使所述第一减薄部对所述通孔进行遮挡或者解除对所述通孔的遮挡。

进一步地，所述载板的左边缘的下端固定有压条，所述第二减薄部置于所述第一减薄部与所述压条之间。

进一步地，所述第二减薄部的边缘具有挡边。

进一步地，所述载体框架上安装有能够顶住所述载板的边缘的顶丝。

有益效果：本实用新型的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，一方面，板状载体对不同规格的电池硅片具有很好的兼容性，长度大至2m，小至182mm的电池硅片均能够安放在板状载体上进行镀膜处理；另一方面，将很多板状载体层叠放置，并一起放置到镀膜设备的腔室中进行镀膜作业，可提升效率。在优选的实施例中，可以通过滑动载板以适应不同规格的电池硅片，并使板状载体中具有未被遮挡的通孔，以使镀膜更均匀。

附图说明

图1为用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具的整体结构图；

图2为载有第一种规格的电池硅片的板状载体的结构图；

图3为载有第二种规格的电池硅片的板状载体的结构图；

图4为载板的结构图；

图5为板状载体的第一剖视结构图；

图6为板状载体的第二剖视结构图。

图中：1-板状载体；11-定位部；12-载体框架；12a-滑槽；13-载板；13a-第一减薄部；13b-第二减薄部；13c-通孔；13d-挡边；14-压条；15-顶丝；2-定位件。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。

如图1所示的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其包括多个层叠设置的板状载体1；所述板状载体1上具有定位部11；所述硅片载具还包括与所述定位部11配合使用，以使所有所述板状载体1上下对正的定位件2；如图2-3所示，所述板状载体1上能够安放多种不同规格的电池硅片，当所述板状载体1上电池硅片的数量为多个时，所有所述电池硅片在所述板状载体1上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的所述电池硅片之间具有间隙，如此电池硅片之间不会相互影响。所述板状载体1上能够放置长度为182mm-2m的电池硅片。

所述定位部11为定位孔或定位槽，所述定位部11位于所述板状载体1的边缘或角落位置处；对应于所示定位孔或定位槽，所述定位件2为定位销或定位块。图示实施例中，定位部11为定位孔，定位件2为定位销。

采用上述结构，一方面，板状载体1对不同规格的电池硅片具有很好的兼容性，长度大至2m，小至182mm的电池硅片均能够安放在板状载体1上进行镀膜处理；另一方面，将很多板状载体1层叠放置，并一起放置到ALD设备的腔室中进行镀膜作业，可提升效率。

具体地，如图2所示，所述板状载体1包括载体框架12与载板13；所述定位部11设置在所述载体框架12上；如图5所示，所述载体框架12的前、后内壁均具有滑槽12a，所述载板13的前、后边缘嵌入所述滑槽12a并能够相对于所述滑槽12a滑动。

如图4所示，所述载板13的左边缘具有第一减薄部13a，所述载板13的右边缘具有第二减薄部13b，所述第二减薄部13b上具有阵列排布的通孔13c；相邻的两个所述载板13中，其中一者的所述第一减薄部13a与另一者的所述第二减薄部13b交叠设置，所述载板13相对于所述框架12滑动，能够使所述第一减薄部13a对所述通孔13c进行遮挡或者解除对所述通孔13c的遮挡。当第一减薄部13a不对通孔13c进行遮挡时，进行镀膜作业时，镀膜腔室内的气体能够穿过通孔13c，气体更均匀地向电池硅片的表面沉积，形成均匀的镀膜。当第一减薄部13a对通孔13c进行遮挡时(如图6的左侧所示)，相邻的载板13拼合成一个更大的载板，以方便放置更大面积的电池硅片，也即如图3中电池硅片跨过多个载板13时，电池硅片下方的载板13都是相互拼合状态，对应的接缝处的通孔13c为非遮挡状态(如图6的右侧所示)。

优选地，如图6所示，所述载板13的左边缘的下端固定有压条14，所述第二减薄部13b置于所述第一减薄部13a与所述压条14之间。所述第二减薄部13b的边缘具有挡边13d。如此可防止相邻两个载板13在外力作用下相互分开时，第一减薄部13a与第二减薄部13b完全脱开。

优选地，所述载体框架12上安装有能够顶住所述载板13的边缘的顶丝15。如此，可以在调节好载板13后，对载板13进行固定定位。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，其包括多个层叠设置的板状载体(1)；

所述板状载体(1)上具有定位部(11)；所述硅片载具还包括与所述定位部(11)配合使用，以使所有所述板状载体(1)上下对正的定位件(2)；

所述板状载体(1)上能够安放多种不同规格的电池硅片，当所述板状载体(1)上电池硅片的数量为多个时，所有所述电池硅片在所述板状载体(1)上呈直线阵列或方形阵列布局，且相邻的所述电池硅片之间具有间隙。

2.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述定位部(11)为定位孔或定位槽，所述定位部(11)位于所述板状载体(1)的边缘或角落位置处；对应于所述定位孔或定位槽，所述定位件(2)为定位销或定位块。

3.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述板状载体(1)上能够放置长度为182mm-2m的电池硅片。

4.根据权利要求1所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述板状载体(1)包括载体框架(12)与载板(13)；所述定位部(11)设置在所述载体框架(12)上；所述载体框架(12)的前、后内壁均具有滑槽(12a)，所述载板(13)的前、后边缘嵌入所述滑槽(12a)并能够相对于所述滑槽(12a)滑动。

5.根据权利要求4所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述载板(13)的左边缘具有第一减薄部(13a)，所述载板(13)的右边缘具有第二减薄部(13b)，所述第二减薄部(13b)上具有阵列排布的通孔(13c)；相邻的两个所述载板(13)中，其中一者的所述第一减薄部(13a)与另一者的所述第二减薄部(13b)交叠设置，所述载板(13)相对于所述框架(12)滑动，能够使所述第一减薄部(13a)对所述通孔(13c)进行遮挡或者解除对所述通孔(13c)的遮挡。

6.根据权利要求5所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述载板(13)的左边缘的下端固定有压条(14)，所述第二减薄部(13b)置于所述第一减薄部(13a)与所述压条(14)之间。

7.根据权利要求6所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述第二减薄部(13b)的边缘具有挡边(13d)。

8.根据权利要求4所述的用于对太阳能电池硅片进行钙钛矿镀膜的硅片载具，其特征在于，所述载体框架(12)上安装有能够顶住所述载板(13)的边缘的顶丝(15)。