CN220026942U - 一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜 - Google Patents
一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及电镀液加工理技术领域，尤其是一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，包括提纯装置、吸水泵以及搅拌组件，所述提纯装置包括固定架，所述固定架的底部固定连接有万向轮，所述固定架通过紧固件连接有固定板且呈对称状分布，所述固定板上固定有提纯釜，所述吸水泵位于所述提纯装置的一侧，所述吸水泵靠近所述固定架的一侧固定连接有排出管，所述吸水泵远离所述排出管的一侧固定连接有吸入管，所述吸入管远离所述吸水泵的一端通过紧固件连接有溶液箱，所述搅拌组件包括有有驱动电机，所述驱动电机固定连接在所述提纯釜的底部；设有吸水泵，便于对提纯釜进行上料，有利于减少人力物力的消耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀液加工理技术领域，尤其涉及一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜。
背景技术
电镀液是指可以扩大金属的阴极电流密度范围、改善镀层的外观、增加溶液抗氧化的稳定性等特点的液体；先用于电镀液提纯用的提纯反应釜需要人工将电镀液倒入反应釜内，装有电镀液的箱体十分沉重，便于与人力搬运，并且在倾倒的过程中十分容易洒落，从而造成人力物力的消耗。
实用新型内容
针对现有技术中对于存在的上述问题，现提供一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜。
具体技术方案如下：
设计一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，包括提纯装置、吸水泵以及搅拌组件，所述提纯装置包括固定架，所述固定架的底部固定连接有万向轮，所述固定架通过紧固件连接有固定板且呈对称状分布，所述固定板上固定有提纯釜，所述吸水泵位于所述提纯装置的一侧，所述吸水泵靠近所述固定架的一侧固定连接有排出管，所述吸水泵远离所述排出管的一侧固定连接有吸入管，所述吸入管远离所述吸水泵的一端通过紧固件连接有溶液箱，所述搅拌组件包括有有驱动电机，所述驱动电机固定连接在所述提纯釜的底部。
优选的，所述排出管远离所述吸水泵的一端固定通过紧固件连接在所述提纯釜顶部的进料口处，所述吸水泵的一侧固定连接有控制器，所述吸水泵靠近所述排出管的一侧固定连接有电磁阀。
优选的，所述驱动电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆上固定连接有搅拌叶且呈对称状分布，所述搅拌叶呈环状，所述搅拌叶上固定连接有连接柱。
优选的，所述连接柱均匀的分布在所述搅拌叶的外侧，所述连接柱上活动连接有活动叶，所述连接柱贯穿所述活动叶，所述活动叶的两端设有挡块，所述挡块固定连接在所述连接柱上。
优选的，所述提纯釜的顶部固定连接有所述排出管。
优选的，所述转动杆位于所述提纯釜的内部。
上述技术方案具有如下优点或有益效果：
1、通过紧固件将吸水泵一侧的排出管连接到提纯釜顶部的进料口处，且排出管伸入提纯釜内，将吸水泵另一侧吸入管通过紧固件连接到溶液箱的出料处，且吸入管伸入溶液箱底部，启动吸水泵，吸水泵将溶液箱内的电镀液通过吸入管吸入，经过电磁阀，再经过排出管，最后进入提纯釜内，完成上料；设有吸水泵，便于对提纯釜进行上料，有利于减少人力物力的消耗；
2、驱动电机带动转动杆转动，转动杆上固定连接有搅拌叶且均分提纯釜的内部空间，转动杆带动搅拌叶转动，搅拌叶带动提纯釜内部的电镀液转动，同时，搅拌叶上的活动叶随着搅拌叶与转动的电镀液在连接柱上活动，设有搅拌装置便于将提纯釜内的电镀液搅拌均匀，有利于防止提纯釜内的电镀液出现上下分层的现象以及便于提纯釜进行提纯，提高提纯釜的工作效率。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用新型范围的限制。
图1为本实用新型提出的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜的结构剖视图；
图3为本实用新型提出的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜其中提纯釜的结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜其中活动叶的结构示意图。
上述附图标记表示：提纯装置1、固定架10、提纯釜11、万向轮12、固定板13、吸水泵2、溶液箱20、吸入管21、排出管22、电磁阀23、控制器24、搅拌组件3、驱动电机30、转动杆31、搅拌叶32、活动叶33、连接柱34、挡块35。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
参照图1-4，一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，包括提纯装置1、吸水泵2以及搅拌组件3，提纯装置1包括固定架10，固定架10的底部固定连接有万向轮12，固定架10通过紧固件连接有固定板13且呈对称状分布，固定板13上固定有提纯釜11，吸水泵2位于提纯装置1的一侧，吸水泵2靠近固定架10的一侧固定连接有排出管22，吸水泵2远离排出管22的一侧固定连接有吸入管21，吸入管21远离吸水泵2的一端通过紧固件连接有溶液箱20，搅拌组件3包括有有驱动电机30，驱动电机30固定连接在提纯釜11的底部；通过紧固件将吸水泵2一侧的排出管22连接到提纯釜11顶部的进料口处，且排出管22伸入提纯釜11内，将吸水泵2另一侧吸入管21通过紧固件连接到溶液箱20的出料处，且吸入管21伸入溶液箱20底部，启动吸水泵2，吸水泵2将溶液箱20内的电镀液通过吸入管21吸入，经过电磁阀23，再经过排出管22，最后进入提纯釜11内，完成上料；有利于减少人力物力的消耗。
进一步，排出管22远离吸水泵2的一端固定通过紧固件连接在提纯釜11顶部的进料口处，吸水泵2的一侧固定连接有控制器24，吸水泵2靠近排出管22的一侧固定连接有电磁阀23；设有电磁阀23便于通过吸水泵2的上料多少。
进一步，驱动电机30的输出端固定连接有转动杆31，转动杆31上固定连接有搅拌叶32且呈对称状分布，搅拌叶32呈环状，搅拌叶32上固定连接有连接柱34；设有搅拌装置3便于将提纯釜11内的电镀液搅拌均匀，有利于提纯釜11进行提纯，便于提高提纯釜11的工作效率。
进一步，连接柱34均匀的分布在搅拌叶32的外侧，连接柱34上活动连接有活动叶33，连接柱34贯穿活动叶33，活动叶33的两端设有挡块35，挡块35固定连接在连接柱34上；驱动电机30带动转动杆31转动，转动杆31带动搅拌叶32转动，搅拌叶32带动提纯釜11内部的电镀液转动，同时，搅拌叶32上的活动叶33随着搅拌叶32与转动的电镀液在连接柱34上活动，设有搅拌叶32与活动叶33便于将提纯釜内的电镀液搅拌均匀。
进一步，提纯釜11的顶部固定连接有排出管22；便于上料。
进一步，转动杆31位于提纯釜11的内部；转动杆31上固定连接有搅拌叶32且均分提纯釜11的内部空间，便于对提纯釜11内的电镀液进行上下搅拌，防止分层。
工作原理：在使用此装置时，此装置连接电源，控制器24控制吸水泵2，通过万向轮12将提纯装置1移动到工作环境中，通过万向轮12上的固定脚板将提纯装置1固定，通过紧固件将吸水泵2一侧的排出管22连接到提纯釜11顶部的进料口处，且排出管22伸入提纯釜11内，将吸水泵2另一侧吸入管21通过紧固件连接到溶液箱20的出料处，且吸入管21伸入溶液箱20底部，启动吸水泵2，吸水泵2将溶液箱20内的电镀液通过吸入管21吸入，经过电磁阀23，再经过排出管22，最后进入提纯釜11内，完成上料，驱动电机30带动转动杆31转动，转动杆31上固定连接有搅拌叶32且均分提纯釜11的内部空间，转动杆31带动搅拌叶32转动，搅拌叶32带动提纯釜11内部的电镀液转动，同时，搅拌叶32上的活动叶33随着搅拌叶32与转动的电镀液在连接柱34上活动，设有搅拌装置3便于将提纯釜11内的电镀液搅拌均匀，有利于提纯釜11进行提纯，便于提高提纯釜11的工作效率。
以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，其特征在于：包括提纯装置(1)、吸水泵(2)以及搅拌组件(3)，所述提纯装置(1)包括固定架(10)，所述固定架(10)的底部固定连接有万向轮(12)，所述固定架(10)通过紧固件连接有固定板(13)且呈对称状分布，所述固定板(13)上固定有提纯釜(11)，所述吸水泵(2)位于所述提纯装置(1)的一侧，所述吸水泵(2)靠近所述固定架(10)的一侧固定连接有排出管(22)，所述吸水泵(2)远离所述排出管(22)的一侧固定连接有吸入管(21)，所述吸入管(21)远离所述吸水泵(2)的一端通过紧固件连接有溶液箱(20)，所述搅拌组件(3)包括有有驱动电机(30)，所述驱动电机(30)固定连接在所述提纯釜(11)的底部。
2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，其特征在于：所述排出管(22)远离所述吸水泵(2)的一端固定通过紧固件连接在所述提纯釜(11)顶部的进料口处，所述吸水泵(2)的一侧固定连接有控制器(24)，所述吸水泵(2)靠近所述排出管(22)的一侧固定连接有电磁阀(23)。
3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，其特征在于：所述驱动电机(30)的输出端固定连接有转动杆(31)，所述转动杆(31)上固定连接有搅拌叶(32)且呈对称状分布，所述搅拌叶(32)呈环状，所述搅拌叶(32)上固定连接有连接柱(34)。
4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，其特征在于：所述连接柱(34)均匀的分布在所述搅拌叶(32)的外侧，所述连接柱(34)上活动连接有活动叶(33)，所述连接柱(34)贯穿所述活动叶(33)，所述活动叶(33)的两端设有挡块(35)，所述挡块(35)固定连接在所述连接柱(34)上。
5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，其特征在于：所述提纯釜(11)的顶部固定连接有所述排出管(22)。
6.根据权利要求3所述的一种用于集成电路用电镀溶液加工提纯釜，其特征在于：所述转动杆(31)位于所述提纯釜(11)的内部。
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