CN219998184U - 一种芯片加工设备用芯片固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种芯片加工设备用芯片固定装置,包括底板、抬高架、托板、纵向定位组件、横向定位组件、气缸和芯片定位组件,所述纵向定位组件包括纵向预留槽和限位条,所述横向定位组件包括横向预留槽、固定压板、限位档条、螺纹杆和紧固螺母,所述芯片定位组件包括负压吸引泵和保护吸盘。本实用新型属于芯片加工技术领域,具体是一种芯片加工设备用芯片固定装置,有效解决了现有技术还是通过夹持对需要加工的芯片进行定位仍然存在损坏风险,且取下时也较为麻烦的问题,是一种新型芯片加工设备用芯片固定装置。
Description
技术领域
本实用新型属于芯片加工技术领域,具体是指一种芯片加工设备用芯片固定装置。
背景技术
集成电路又称微电路、微芯片、晶片/芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。
现有技术中公开号为CN213071093U的中国专利公开了一种芯片加工设备用芯片固定装置,通过直角基座的内部中央位置滑动连接有推板,推板的顶端和底端均贯穿直角基座并延伸至其外部,直角基座的顶部一侧固定连接有电动伸缩杆,推板的表面顶部且远离电动伸缩杆的一侧固定连接有缓压弹簧,缓压弹簧远离推板的一端固定连接有夹紧块,推板的表面底部且靠近推板的底部位置固定连接有楔紧块,直角基座的顶部且远离电动伸缩杆的一侧开设有沉孔,直角基座的内部且位于沉孔的位置滑动连接有连杆,连杆的顶端固定连接有压板,沉孔内壁底部与压板底部相对应的两侧之间且位于连杆的表面固定连接有复位弹簧,连杆的底端固定连接有连接块,直角基座表面顶部与夹紧块表面相对应的位置均开设有V形定位槽,达到了固定牢固的效果,结构合理简单,使用方便,固定快速方便,定位准确,避免刚性固定,不会对芯片造成损坏,安全可靠,提高了工作效率及使用性能。
但是上述现有技术还是通过夹持对需要加工的芯片进行定位仍然存在损坏风险,且取下时也较为麻烦,不能满足使用需要。
实用新型内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供了一种芯片加工设备用芯片固定装置,有效解决了现有技术还是通过夹持对需要加工的芯片进行定位仍然存在损坏风险,且取下时也较为麻烦的问题,是一种新型芯片加工设备用芯片固定装置。
为了实现上述功能,本实用新型采取的技术方案如下:一种芯片加工设备用芯片固定装置,包括底板、抬高架、托板、纵向定位组件、横向定位组件、气缸和芯片定位组件,所述抬高架设有四组分别固定在底板的四角,所述抬高架上架设托板,所述纵向定位组件滑动设置在托板上,所述横向定位组件滑动设于纵向定位组件上,所述气缸固定在底板上且贯穿托板设置,所述芯片定位组件设于底板上。
为了适应不同规格的芯片,所述纵向定位组件包括纵向预留槽和限位条,所述托板上开设两组纵向预留槽,所述托板两侧都设有限位条,所述限位条紧贴托板设置,托板两侧的限位条通过连接板固定,连接板滑动设于纵向预留槽内,通过连接板固定的两个限位条为一组,所述限位条设有两组。
为了根据不同规格的芯片进行限位,所述横向定位组件包括横向预留槽、固定压板、限位档条、螺纹杆和紧固螺母,所述横向预留槽开设在托板上,所述固定压板紧贴限位条设置,所述托板两侧都设有固定压板并通过限位档条连接,通过限位档条连接的两个固定压板为一组,所述固定压板设有两组,所述螺纹杆贯穿一组固定压板,螺纹杆两端螺纹连接设有紧固螺母。
为了减少芯片位移,所述芯片定位组件包括负压吸引泵和保护吸盘,所述负压吸引泵固定设于底板上,所述保护吸盘活动设置在托板上,所述保护吸盘和负压吸引泵之间通过管件连接。
进一步地,所述纵向预留槽和横向预留槽呈垂直设置。
进一步地,两组限位条设于保护吸盘两侧,两组固定压板设于保护吸盘两侧,所述限位条和固定压板呈垂直设置。
进一步地,所述气缸设有四组。
进一步地,所述保护吸盘顶面和托板齐平。
采用上述结构本实用新型取得的有益效果如下:本方案通过设置纵向定位组件配合横向定位组件对芯片进行限位,通过设置芯片定位组件对芯片进行定位,通过设置气缸方便芯片取下,有效解决了现有技术还是通过夹持对需要加工的芯片进行定位仍然存在损坏风险,且取下时也较为麻烦的问题,是一种新型芯片加工设备用芯片固定装置。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种芯片加工设备用芯片固定装置的整体结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种芯片加工设备用芯片固定装置另一角度的结构示意图。
其中,1、底板,2、抬高架,3、托板,4、纵向定位组件,5、横向定位组件,6、气缸,7、芯片定位组件,8、纵向预留槽,9、限位条,10、横向预留槽,11、固定压板,12、限位档条,13、螺纹杆,14、紧固螺母,15、负压吸引泵,16、保护吸盘。
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例;基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图1-2所示,本实用新型提出的一种芯片加工设备用芯片固定装置,包括底板1、抬高架2、托板3、纵向定位组件4、横向定位组件5、气缸6和芯片定位组件7,抬高架2设有四组分别固定在底板1的四角,抬高架2上架设托板3,纵向定位组件4滑动设置在托板3上,横向定位组件5滑动设于纵向定位组件4上,气缸6固定在底板1上且贯穿托板3设置,芯片定位组件7设于底板1上,气缸6设有四组。
纵向定位组件4包括纵向预留槽8和限位条9,托板3上开设两组纵向预留槽8,托板3两侧都设有限位条9,限位条9紧贴托板3设置,托板3两侧的限位条9通过连接板固定,连接板滑动设于纵向预留槽8内,通过连接板固定的两个限位条9为一组,限位条9设有两组。
横向定位组件5包括横向预留槽10、固定压板11、限位档条12、螺纹杆13和紧固螺母14,横向预留槽10开设在托板3上,固定压板11紧贴限位条9设置,托板3两侧都设有固定压板11并通过限位档条12连接,通过限位档条12连接的两个固定压板11为一组,固定压板11设有两组,螺纹杆13贯穿一组固定压板11,螺纹杆13两端螺纹连接设有紧固螺母14。
芯片定位组件7包括负压吸引泵15和保护吸盘16,负压吸引泵15固定设于底板1上,保护吸盘16活动设置在托板3上,保护吸盘16和负压吸引泵15之间通过管件连接,保护吸盘16顶面和托板3齐平。
纵向预留槽8和横向预留槽10呈垂直设置,两组限位条9设于保护吸盘16两侧,两组固定压板11设于保护吸盘16两侧,限位条9和固定压板11呈垂直设置。
具体使用时,用户将本装置置于需要进进行芯片加工的位置,根据当前批次芯片的大小将芯片中心置于保护吸盘16上,原始状态时紧固螺母14不贴紧固定压板11,滑动限位条9至芯片上下两侧卡紧后,滑动两组固定压板11使两组限位档条12抵住芯片左右两侧,此时芯片位置被限定,拧紧紧固螺母14,在摩擦力作用下限位条9和固定压板11都不产生滑动,负压吸引泵15运行对芯片进行吸取,此时芯片固定,进行加工即可,加工完毕气缸6运行舒张将芯片顶出,对芯片进行收集即可,气缸6回归原始状态将下一组芯片安装到上一组芯片产生的工装槽里即可固定,以上便是整个芯片加工设备用芯片固定装置的使用流程。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
以上对本实用新型及其实施方式进行了描述,这种描述没有限制性,附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种芯片加工设备用芯片固定装置,其特征在于:包括底板、抬高架、托板、纵向定位组件、横向定位组件、气缸和芯片定位组件,所述抬高架设有四组分别固定在底板的四角,所述抬高架上架设托板,所述纵向定位组件滑动设置在托板上,所述横向定位组件滑动设于纵向定位组件上,所述气缸固定在底板上且贯穿托板设置,所述芯片定位组件设于底板上。
2.根据权利要求1所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置,其特征在于:所述纵向定位组件包括纵向预留槽和限位条,所述托板上开设两组纵向预留槽,所述托板两侧都设有限位条,所述限位条紧贴托板设置,托板两侧的限位条通过连接板固定,连接板滑动设于纵向预留槽内,通过连接板固定的两个限位条为一组,所述限位条设有两组。
3.根据权利要求2所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置,其特征在于:所述横向定位组件包括横向预留槽、固定压板、限位档条、螺纹杆和紧固螺母,所述横向预留槽开设在托板上,所述固定压板紧贴限位条设置,所述托板两侧都设有固定压板并通过限位档条连接,通过限位档条连接的两个固定压板为一组,所述固定压板设有两组,所述螺纹杆贯穿一组固定压板,螺纹杆两端螺纹连接设有紧固螺母。
4.根据权利要求3所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置,其特征在于:所述芯片定位组件包括负压吸引泵和保护吸盘,所述负压吸引泵固定设于底板上,所述保护吸盘活动设置在托板上,所述保护吸盘和负压吸引泵之间通过管件连接。
5.根据权利要求4所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置,其特征在于:所述纵向预留槽和横向预留槽呈垂直设置。
6.根据权利要求5所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置,其特征在于:两组限位条设于保护吸盘两侧,两组固定压板设于保护吸盘两侧,所述限位条和固定压板呈垂直设置。
7.根据权利要求6所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置,其特征在于:所述气缸设有四组。
8.根据权利要求7所述的一种芯片加工设备用芯片固定装置,其特征在于:所述保护吸盘顶面和托板齐平。
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