CN219998164U - 一种晶圆二合一自动贴膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆二合一自动贴膜机，包括底座，所述底座的一侧顶端固定连接有滑轨，所述底座的顶端固定连接有方形框，所述底座的顶端靠近滑轨的一侧开设有滑槽一，所述滑槽一有两个，两个所述滑槽一的内部均滑动连接有滑块一，两个所述滑块一的顶端之间固定连接有晶圆台，所述方形框的内部设置有升降装置，所述方形框的顶部设置有切割装置，切割装置能够将晶圆上的胶膜切割，涉及晶圆贴膜技术领域，对晶圆贴膜时，将门板通过铰链打开，将晶圆台移动至滑轨顶部，将晶圆放置在晶圆台顶部的晶圆槽内，再将晶圆台推回原处并将门板合并再进行贴膜，通过方形框有效地避免了胶膜长期与空气接触从而沾染灰尘，从而解决灰尘附着污染贴膜的问题。

Description

一种晶圆二合一自动贴膜机

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴膜技术领域，具体是一种晶圆二合一自动贴膜机。

背景技术

现有申请号为CN201720122659.3公开发布了一种半自动晶圆贴膜机，涉及晶圆贴膜技术领域，包括玻璃导轨柱、圆形玻璃、安装柱、铁环、支撑柱、温控开关、真空开关、主体、真空器、温控器、卷轴、上盖板、划刀和晶圆台，所述安装柱设置在主体后侧边缘，所述卷轴横向设置在安装柱上，所述上盖板通过转轴设置在安装柱上，上盖板中间位置背面侧设置有圆形玻璃，所述圆形玻璃上设置有可推动圆形玻璃转圈的带把手划刀，所述主体上设置有晶圆台及铁环，所述晶圆台上表面高于主体上表面，所述铁环上表面高于晶圆台上表面，所述主体前侧边缘设置有用于支撑上盖板往下盖合时的支撑柱，所述主体内部设置有真空器和温控器。本实用新型具有贴膜精准、无气泡的优点，一个人即可完成，贴膜效果和质量良好。

现有技术存在以下不足：上述中的一种半自动晶圆贴膜机，虽然贴膜效果和质量良好，但是上述贴膜机中的胶膜是暴露在空气中的，并没有防护装置，暴露在空气中的胶膜在贴膜和停放时，因为长时间与空气接触，使得胶膜容易受到空气中灰尘附着污染贴膜的问题。

因此，发明一种晶圆二合一自动贴膜机很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆二合一自动贴膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆二合一自动贴膜机，包括底座，所述底座的一侧顶端固定连接有滑轨，所述底座的顶端固定连接有方形框，所述底座的顶端靠近滑轨的一侧开设有滑槽一，所述滑槽一有两个，两个所述滑槽一的内部均滑动连接有滑块一，两个所述滑块一的顶端之间固定连接有晶圆台，所述方形框的内部设置有升降装置，所述方形框的顶部设置有切割装置，切割装置能够将晶圆上的胶膜切割。

在本实用新型的一种优选实施方式中，所述方形框靠近滑轨的一侧两端均固定连接有铰链，四个所述铰链远离方形框的一侧之间均固定连接有门板。

在本实用新型的一种优选实施方式中，所述升降装置包括：滑块二，所述方形框的内壁底端两侧均开设有滑槽二，所述滑槽二有四个，两个所述滑块二的两端均滑动连接在滑槽二内部。

在本实用新型的一种优选实施方式中，所述方形框的两端内壁且位于滑槽二的上方均固定连接有横板，两个所述横板的底端两侧均固定连接有电动伸缩杆一，四个所述电动伸缩杆一的输出端均与两个滑槽二的顶端固定连接。

在本实用新型的一种优选实施方式中，所述方形框的内壁两端均转动连接有连接杆，所述方形框外壁远离门板的一侧两端均固定连接有伺服电机一，两个所述伺服电机一的输出端均固定连接有转轴一，两个所述转轴一远离伺服电机一的一侧均贯穿方形框并延伸至方形框的内部，两个转轴一延伸至方形框内部的一端均与方形框内壁一侧转动连接。

在本实用新型的一种优选实施方式中，所述切割装置包括：圆形划刀，所述方形框的内壁顶端且位于转轴一之间固定连接有电动伸缩杆二，所述电动伸缩杆二有四个，四个所述电动伸缩杆二的输出端之间固定连接有矩形框。

在本实用新型的一种优选实施方式中，所述矩形框的顶端固定连接有固定块，固定块的内壁顶端固定连接有伺服电机二，所述伺服电机二的输出端固定连接有转轴二，所述转轴二远离伺服电机二的一侧从上至下依次贯穿固定块以及矩形框并延伸至矩形框的外侧，转轴二延伸至矩形框外侧的一端固定安装在圆形划刀上。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

有益效果：

通过在现有的技术上进行改进，通过在底座的一端设置滑轨，在底座的顶部安装有方形框以及开设滑槽一，在日常不使用时，胶膜是放置在转轴一上，避免与空气长时间接触，在需要对晶圆贴膜时，将门板通过铰链打开，将方形框内部的晶圆台通过滑块一从滑槽一内移动，然后在移动至滑轨顶部，将晶圆放置在晶圆台顶部的晶圆槽内，然后在将晶圆台推回原处并将门板合并在进行贴膜，通过设置方形框有效地避免了胶膜长期与空气接触从而沾染灰尘，从而解决灰尘附着污染贴膜的问题。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为一种晶圆二合一自动贴膜机的结构示意图。

图2为一种晶圆二合一自动贴膜机的侧视结构示意图。

图3为一种晶圆二合一自动贴膜机中方形框的结构示意图。

图4为一种晶圆二合一自动贴膜机中晶圆台的结构示意图。

图5为一种晶圆二合一自动贴膜机中方形框底部的结构示意图。

图6为一种晶圆二合一自动贴膜机中方形框内部俯视的结构示意图。

图7为一种晶圆二合一自动贴膜机中升降装置的结构示意图。

图8为一种晶圆二合一自动贴膜机中切割装置的结构示意图。

图中：底座1、滑轨2、方形框3、滑槽一4、滑块一5、晶圆台6、铰链7、门板8、滑槽二9、滑块二10、横板11、电动伸缩杆一12、连接杆13、伺服电机一14、转轴一15、电动伸缩杆二16、矩形框17、伺服电机二18、转轴二19、圆形划刀20。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参照附图1-8，本实用新型提供的一种晶圆二合一自动贴膜机，为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆二合一自动贴膜机，包括底座1，底座1的底部设置有支撑座(图中未标注)，底座1的一侧顶端固定连接有滑轨2，底座1的顶端固定连接有方形框3，方形框3的顶部设置有报警器(图中未标注)，在方形框3内部的胶膜用完后就会发出声音，从而提醒工作人员进行更换，底座1的顶端靠近滑轨2的一侧开设有滑槽一4，滑槽一4有两个，两个滑槽一4的内部均滑动连接有滑块一5，滑块一5通过滑槽一4能够移动，两个滑块一5的顶端之间固定连接有晶圆台6，在晶圆台6的顶部开设有晶圆槽(图中未标注)，在晶圆槽的外面还开设有切割槽(图中为未标注)，切割槽与圆形划刀20相对应，方形框3的内部设置有升降装置，方形框3的顶部设置有切割装置，切割装置能够将晶圆上的胶膜切割。

方形框3靠近滑轨2的一侧两端均固定连接有铰链7，四个铰链7远离方形框3的一侧之间均固定连接有门板8，门板8的材质为玻璃材质，通过门板8能够看到方形框3内部，门板8的表面设置有把手，在对晶圆贴膜时，拉动把手使门板8通过铰链7向两侧打卡，然后再将晶圆台6通过底部的滑块一5从滑槽一4内移动，然后在移动至滑轨2顶部，将晶圆放置在晶圆槽内，然后在将晶圆台6推动至原处，再将门板8合并。

升降装置包括：滑块二10，方形框3的内壁底端两侧均开设有滑槽二9，滑槽二9有四个，两个滑块二10的两端均滑动连接在滑槽二9内部，滑块二10在升降的同时通过滑槽二9能够保持稳定，方形框3的两端内壁且位于滑槽二9的上方均固定连接有横板11，两个横板11的底端两侧均固定连接有电动伸缩杆一12，四个电动伸缩杆一12的输出端均与两个滑块二10的顶端固定连接，在胶膜平铺在晶圆台6时，电动伸缩杆一12就会驱动滑块二10下降，从而对胶膜的两侧下压固定，使得晶圆台6表面的胶膜平整不会有气泡。

方形框3的内壁两端均转动连接有连接杆13，连接杆13在方形框3的两端，在两端都设置有两个连接杆13，并且连接杆13的位置不在同一水平线上，在胶膜移动时对胶膜进行阻挡，使得胶膜不会与横板11接触，从而将胶膜损毁，方形框3外壁远离门板8的一侧两端均固定连接有伺服电机一14，两个伺服电机一14的输出端均固定连接有转轴一15，通过伺服电机一14驱动转轴一15转动，没有使用的胶膜放置在左侧的转轴一15上，使用后的胶膜会在右侧的转轴一15表面转动收集，两个转轴一15远离伺服电机一14的一侧均贯穿方形框3并延伸至方形框3的内部，两个转轴一15延伸至方形框3内部的一端均与方形框3内壁一侧转动连接，在晶圆台6推回原处后，启动两侧的伺服电机一14，驱动转轴一15转动，使得转轴一15表面的胶膜也会转动，从而将没有使用的胶膜平铺在晶圆台6上。

切割装置包括：圆形划刀20，方形框3的内壁顶端且位于转轴一15之间固定连接有电动伸缩杆二16，电动伸缩杆二16有四个，四个电动伸缩杆二16的输出端之间固定连接有矩形框17，通过电动伸缩杆二16驱动矩形框17下降，矩形框17的底端与圆形划刀20的底端高度一致，矩形框17的顶端固定连接有固定块，固定块的内壁顶端固定连接有伺服电机二18，伺服电机二18的输出端固定连接有转轴二19，通过伺服电机二18驱动转轴二19转动，转轴二19远离伺服电机二18的一侧从上至下依次贯穿固定块以及矩形框17并延伸至矩形框17的外侧，转轴二19延伸至矩形框17外侧的一端固定安装在圆形划刀20上，在转轴二19转动的同时也会带动圆形划刀20转动，然后启动电动伸缩杆二16驱动矩形框17下降，在下降的同时启动伺服电机二18驱动转轴二19转动，转轴二19则带动圆形划刀20转动，使得圆形划刀20的底部在切割槽内将胶膜划开，因为矩形框17的底端与圆形划刀20的底端高度一致，使得圆形划刀20在将胶膜划开时通过矩形框17的底端将晶圆台6表面的胶膜再次下压固定，从而保证胶膜平整没有气泡。

本实用新型的工作原理是：对晶圆贴膜时，拉动把手使门板8通过铰链7向两侧打卡，然后再将晶圆台6通过底部的滑块一5从滑槽一4内移动，然后在移动至滑轨2顶部，将晶圆放置在晶圆槽内，然后在将晶圆台6推动至原处，在将门板8合并，在晶圆台6推会原处后，启动两侧的伺服电机一14，驱动转轴一15转动，使得转轴一15表面的胶膜也会转动，从而将没有使用的胶膜平铺在晶圆台6上，在胶膜平铺在晶圆台6时，电动伸缩杆一12就会驱动滑块二10下降，从而对胶膜的两侧下压固定，使得晶圆台6表面的胶膜平整不会有气泡，然后启动电动伸缩杆二16驱动矩形框17下降，在下降的同时启动伺服电机二18驱动转轴二19转动，转轴二19则带动圆形划刀20转动，使得圆形划刀20的底部在切割槽内将胶膜划开，因为矩形框17的底端与圆形划刀20的底端高度一致，使得圆形划刀20在将胶膜划开时通过矩形框17的底端将晶圆台6表面的胶膜再次下压固定，从而保证胶膜平整没有气泡。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆二合一自动贴膜机，包括底座(1)，所述底座(1)的一侧顶端固定连接有滑轨(2)，所述底座(1)的顶端固定连接有方形框(3)，所述底座(1)的顶端靠近滑轨(2)的一侧开设有滑槽一(4)，所述滑槽一(4)有两个，两个所述滑槽一(4)的内部均滑动连接有滑块一(5)，两个所述滑块一(5)的顶端之间固定连接有晶圆台(6)，其特征在于，所述方形框(3)的内部设置有升降装置，所述方形框(3)的顶部设置有切割装置，切割装置能够将晶圆上的胶膜切割。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆二合一自动贴膜机，其特征在于，所述方形框(3)靠近滑轨(2)的一侧两端均固定连接有铰链(7)，四个所述铰链(7)远离方形框(3)的一侧之间均固定连接有门板(8)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆二合一自动贴膜机，其特征在于，所述升降装置包括：滑块二(10)，所述方形框(3)的内壁底端两侧均开设有滑槽二(9)，所述滑槽二(9)有四个，两个所述滑块二(10)的两端均滑动连接在滑槽二(9)内部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆二合一自动贴膜机，其特征在于，所述方形框(3)的两端内壁且位于滑槽二(9)的上方均固定连接有横板(11)，两个所述横板(11)的底端两侧均固定连接有电动伸缩杆一(12)，四个所述电动伸缩杆一(12)的输出端均与两个滑槽二(9)的顶端固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆二合一自动贴膜机，其特征在于，所述方形框(3)的内壁两端均转动连接有连接杆(13)，所述方形框(3)外壁远离门板(8)的一侧两端均固定连接有伺服电机一(14)，两个所述伺服电机一(14)的输出端均固定连接有转轴一(15)，两个所述转轴一(15)远离伺服电机一(14)的一侧均贯穿方形框(3)并延伸至方形框(3)的内部，两个转轴一(15)延伸至方形框(3)内部的一端均与方形框(3)内壁一侧转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆二合一自动贴膜机，其特征在于，所述切割装置包括：圆形划刀(20)，所述方形框(3)的内壁顶端且位于转轴一(15)之间固定连接有电动伸缩杆二(16)，所述电动伸缩杆二(16)有四个，四个所述电动伸缩杆二(16)的输出端之间固定连接有矩形框(17)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆二合一自动贴膜机，其特征在于，所述矩形框(17)的顶端固定连接有固定块，固定块的内壁顶端固定连接有伺服电机二(18)，所述伺服电机二(18)的输出端固定连接有转轴二(19)，所述转轴二(19)远离伺服电机二(18)的一侧从上至下依次贯穿固定块以及矩形框(17)并延伸至矩形框(17)的外侧，转轴二(19)延伸至矩形框(17)外侧的一端固定安装在圆形划刀(20)上。