CN219995707U - 一种晶圆烘干箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆烘干箱，包括晶圆烘干箱主体，所述晶圆烘干箱主体包括输送机、支架、支撑框体、烘干机箱体、防护网罩与防护盖，所述输送机焊接固定在支架上表面，所述支撑框体通过螺栓固定安装在输送机的上表面中间位置处，所述烘干机箱体安装在支撑框体的上表面，所述防护网罩设置在烘干机箱体的顶端；通过设计均匀吹风机构，可以在晶圆烘干箱主体进行烘干处理时，通过烘干机箱体吹入暖风时，由烘干机箱体向凹槽的内部吹入暖风，并通过出口将凹槽的内部暖分均匀向支撑框体的内部吹入，并通过出口进行均匀吹入暖风时，此时通过马达通电运转带动扇叶转动加快吹入暖风，且便于对晶圆在烘干时快速烘干。

Description

一种晶圆烘干箱

技术领域

本实用新型属于晶圆烘干箱技术领域，具体涉及一种晶圆烘干箱。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，因此在晶圆加工生产时需要进行清洗处理，并在晶圆清洗处理后需要对晶圆烘干操作，通常通过晶圆烘干箱进行烘干处理，且现有的晶圆烘干箱在使用时直接由输送机输送清洗后的晶圆，并在输送机输送时经过支撑框体时由烘干机箱出入暖风进行快速烘干，且便于将晶圆在加工清洗时快速烘干处理，提高晶圆烘干箱对晶圆清洗烘干处理的使用效果；

现有的晶圆烘干箱在晶圆加工清洗后烘干使用时，直接将晶圆烘干箱通电运转，在烘干机箱运转吹入暖风向支撑框体的内部吹入，并将晶圆在输送机的表面输送至支撑框体的内部时对晶圆进行加热烘干处理，且在晶圆烘干箱操作使用时，此时在烘干机箱向支撑框体的内部吹入暖风时不便于均匀吹风处理，且在烘干晶圆时易造成暖风吹入不均匀，使得晶圆在输送机输送时处于输送机上不同的位置处造成烘干不均匀，且晶圆烘干箱对晶圆加工清洗后烘干的使用效果的问题，为此我们提出一种晶圆烘干箱。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆烘干箱，以解决上述背景技术中提出在烘干机箱向支撑框体的内部吹入暖风时不便于均匀吹风处理，且在烘干晶圆时易造成暖风吹入不均匀，使得晶圆在输送机输送时处于输送机上不同的位置处造成烘干不均匀，且晶圆烘干箱对晶圆加工清洗后烘干的使用效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆烘干箱，包括晶圆烘干箱主体，所述晶圆烘干箱主体包括输送机、支架、支撑框体、烘干机箱体、防护网罩与防护盖，所述输送机焊接固定在支架上表面，所述支撑框体通过螺栓固定安装在输送机的上表面中间位置处，所述烘干机箱体安装在支撑框体的上表面，所述防护网罩设置在烘干机箱体的顶端，所述防护盖设置在支架的上表面位于支撑框体与烘干机箱体的外表面，所述晶圆烘干箱主体上还设置有：

均匀吹风机构，且该均匀吹风机构包括出风组件与加强吹风组件，均匀吹风机构设置在支撑框体的内部顶端；

清洁机构，且该清洁机构包括转动组件与清洁组件，清洁机构设置在防护网罩上。

优选的，所述出风组件包括开设在支撑框体的内部顶端中间位置处的凹槽，和包括开设在凹槽下表面位于支撑框体内部的三个出口。

优选的，所述出口、凹槽与所述支撑框体为一体式结构，且所述出口的顶端与所述凹槽相通。

优选的，所述加强吹风组件包括通过连接架安装在出口内部的马达，和包括转动连接在马达底端的扇叶，且所述马达与外界电源相连接。

优选的，所述转动组件包括开设在防护网罩中间位置处的转动槽，和包括转动连接在转动槽内部的转动销。

优选的，所述清洁组件包括通过螺钉安装在转动销端部两侧的连接板，和包括通过螺钉安装在连接板内部的清洁毛刷。

优选的，所述清洁毛刷与所述防护网罩的内表面相接触，且两个所述清洁毛刷相互对称设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设计均匀吹风机构，可以在晶圆烘干箱主体进行烘干处理时，通过烘干机箱体吹入暖风时，由烘干机箱体向凹槽的内部吹入暖风，并通过出口将凹槽的内部暖分均匀向支撑框体的内部吹入，并通过出口进行均匀吹入暖风时，此时通过马达通电运转带动扇叶转动加快吹入暖风，且便于对晶圆在烘干时快速烘干，便于由晶圆烘干箱主体对晶圆烘干时均匀吹入暖风与快速烘干使用，提高晶圆烘干箱主体对晶圆清洗加工后烘干使用效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的支撑框体、烘干机箱体与防护网罩侧面结构示意图；

图3为本实用新型图2中A部分放大结构示意图；

图中：100、晶圆烘干箱主体；101、输送机；102、支架；103、支撑框体；1031、凹槽；1032、出口；1033、马达；1034、扇叶；104、烘干机箱体；105、防护网罩；1051、转动销；1052、转动槽；1053、清洁毛刷；1054、连接板；106、防护盖。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆烘干箱，包括晶圆烘干箱主体100，晶圆烘干箱主体100包括输送机101、支架102、支撑框体103、烘干机箱体104、防护网罩105与防护盖106，输送机101焊接固定在支架102上表面，支撑框体103通过螺栓固定安装在输送机101的上表面中间位置处，可以将支架102接触于地面将晶圆烘干箱主体100稳定放置使用，并在将晶圆烘干箱主体100放置后通过烘干机箱体104通电运转进行操作时进行吹入暖风，并直接向支架102表面输送的晶圆表面快速吹风，方便快速烘干处理，烘干机箱体104安装在支撑框体103的上表面，防护网罩105设置在烘干机箱体104的顶端，防护盖106设置在支架102的上表面位于支撑框体103与烘干机箱体104的外表面，晶圆烘干箱主体100上还设置有：

均匀吹风机构，且该均匀吹风机构包括出风组件与加强吹风组件，均匀吹风机构设置在支撑框体103的内部顶端，便于晶圆烘干箱主体100在烘干处理时，可以通过烘干机箱体104操作向支撑框体103的内部均匀吹风快速均匀烘干处理，且方便快速烘干处理使用；

清洁机构，且该清洁机构包括转动组件与清洁组件，清洁机构设置在防护网罩105上，通过清洁机构便于晶圆烘干箱主体100在使用时在防护网罩105的内部落入灰尘时清洁处理，且便于由清洁机构快速清洁处理，使得晶圆烘干箱主体100稳定操作使用。

为了通过出风组件便于将进行均匀出风，且便于暖风均匀排出进行快速烘干处理，方便快速均匀烘干使用，本实施例中，优选的，出风组件包括开设在支撑框体103的内部顶端中间位置处的凹槽1031，和包括开设在凹槽1031下表面位于支撑框体103内部的三个出口1032，便于均匀烘干处理使用。

为了便于在烘干处理时快速出风进行均匀出风烘干处理，且便于烘干处理使用，本实施例中，优选的，出口1032、凹槽1031与支撑框体103为一体式结构，且出口1032的顶端与凹槽1031相通。

为了通过加强吹风组件便于在吹入暖风时加快吹风，方便快速吹风进行烘干使用，本实施例中，优选的，加强吹风组件包括通过连接架安装在出口1032内部的马达1033，和包括转动连接在马达1033底端的扇叶1034，且马达1033与外界电源相连接，便于加快吹风快速烘干处理。

为了通过转动组件便于将连接板1054与清洁毛刷1053转动调节使用，且便于转动清洁处理，本实施例中，优选的，转动组件包括开设在防护网罩105中间位置处的转动槽1052，和包括转动连接在转动槽1052内部的转动销1051，且方便转动调节进行清洁处理，清洁处理使得晶圆烘干箱主体100稳定操作使用。

为了通过清洁组件便于将防护网罩105的内部落入的灰尘进行清洁处理，且便于清洁处理使用，本实施例中，优选的，清洁组件包括通过螺钉安装在转动销1051端部两侧的连接板1054，和包括通过螺钉安装在连接板1054内部的清洁毛刷1053，可以在连接板1054转动时带动清洁毛刷1053转动进行清洁处理，且便于清洁处理使用。

为了便于转动清洁毛刷1053接触于防护网罩105的内表面进行清洁，且便于将防护网罩105的表面清洁灰尘处理，使得晶圆烘干箱主体100稳定安装使用，本实施例中，优选的，清洁毛刷1053与防护网罩105的内表面相接触，且两个清洁毛刷1053相互对称设置，便于转动清洁处理。

本实用新型中马达1033的型号为50KTYZ。

本实用新型的工作原理及使用流程：该种晶圆烘干箱，在使用时，直接通过支架102接触于地面将晶圆烘干箱主体100稳定放置使用，且在晶圆烘干箱主体100放置后通电使用时，将输送机101输送传输，且在晶圆烘干使用时，通过输送机101对晶圆输送，并输送至支撑框体103的内部时，此时在烘干机箱体104运转吹入暖风向支撑框体103的内部进入并吹入晶圆的表面进行烘干，且便于通过晶圆烘干箱主体100对晶圆烘干处理；

然后在晶圆烘干箱主体100进行烘干处理时，此时通过烘干机箱体104吹入暖风时，可以通过烘干机箱体104向凹槽1031的内部吹入暖风，并通过出口1032将凹槽1031的内部暖分均匀向支撑框体103的内部吹入，并通过出口1032进行均匀吹入暖风时，此时通过马达1033通电运转带动扇叶1034转动加快吹入暖风，且便于对晶圆在烘干时快速烘干，便于由晶圆烘干箱主体100对晶圆烘干时均匀吹入暖风与快速烘干使用，提高晶圆烘干箱主体100对晶圆清洗加工后烘干使用效果；

最后在晶圆烘干箱主体100使用时，在烘干机箱体104运转时通过防护网罩105对烘干机箱体104的顶端防护使用，且在防护网罩105的表面吸入大量的灰尘时，可以手持转动销1051在转动槽1052的内部转动，并在转动槽1052转动时带动连接板1054与清洁毛刷1053转动，且将清洁毛刷1053接触于防护网罩105的内表面进行清洁处理，因此便于将晶圆烘干箱主体100使用时对防护网罩105清洁处理，使得烘干机箱体104顺利运转操作使用，提高晶圆烘干箱主体100吹入暖风的使用效果，且提高晶圆烘干箱主体100对晶圆清洗加工后烘干使用效果。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例(详见上述详尽的描述)，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆烘干箱，包括晶圆烘干箱主体(100)，所述晶圆烘干箱主体(100)包括输送机(101)、支架(102)、支撑框体(103)、烘干机箱体(104)、防护网罩(105)与防护盖(106)，所述输送机(101)焊接固定在支架(102)上表面，所述支撑框体(103)通过螺栓固定安装在输送机(101)的上表面中间位置处，所述烘干机箱体(104)安装在支撑框体(103)的上表面，所述防护网罩(105)设置在烘干机箱体(104)的顶端，所述防护盖(106)设置在支架(102)的上表面位于支撑框体(103)与烘干机箱体(104)的外表面，其特征在于：所述晶圆烘干箱主体(100)上还设置有：

均匀吹风机构，且该均匀吹风机构包括出风组件与加强吹风组件，均匀吹风机构设置在支撑框体(103)的内部顶端；

清洁机构，且该清洁机构包括转动组件与清洁组件，清洁机构设置在防护网罩(105)上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干箱，其特征在于：所述出风组件包括开设在支撑框体(103)的内部顶端中间位置处的凹槽(1031)，和包括开设在凹槽(1031)下表面位于支撑框体(103)内部的三个出口(1032)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆烘干箱，其特征在于：所述出口(1032)、凹槽(1031)与所述支撑框体(103)为一体式结构，且所述出口(1032)的顶端与所述凹槽(1031)相通。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆烘干箱，其特征在于：所述加强吹风组件包括通过连接架安装在出口(1032)内部的马达(1033)，和包括转动连接在马达(1033)底端的扇叶(1034)，且所述马达(1033)与外界电源相连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干箱，其特征在于：所述转动组件包括开设在防护网罩(105)中间位置处的转动槽(1052)，和包括转动连接在转动槽(1052)内部的转动销(1051)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆烘干箱，其特征在于：所述清洁组件包括通过螺钉安装在转动销(1051)端部两侧的连接板(1054)，和包括通过螺钉安装在连接板(1054)内部的清洁毛刷(1053)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆烘干箱，其特征在于：所述清洁毛刷(1053)与所述防护网罩(105)的内表面相接触，且两个所述清洁毛刷(1053)相互对称设置。