CN219984194U - 多晶硅颗粒除尘装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了多晶硅颗粒除尘装置,属于多晶硅生产技术领域,解决了现有出口除尘筛分装置灰尘排出不方便,筛分区还容易堆积灰尘,使得筛分不彻底的问题,装置包括:除尘主体,所述除尘主体包括反应器,反应器内设置有反应腔;设置在反应器内的自调节脱粉机构,自调节脱粉机构包括:抽气部;气体净化组件,与气体净化组件连通的出风调节组件以及空气加湿组件;本申请中设置有气体净化组件、出风调节组件以及气体加湿组件,气体净化组件的设置能够对空气进行充分的过滤处理,避免外界杂质污染多晶硅,然后净化后的气体被空气加湿组件加湿处理,加湿后雾化气体经过出风调节组件调节,可以满足不同角度多晶硅的除尘处理。
Description
技术领域
本实用新型属于多晶硅生产技术领域,具体涉及多晶硅颗粒除尘装置。
背景技术
多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料,在有机硅、多晶硅生产过程中,从流化床反应器生产出来的多晶硅由于硅烷裂解同时存在均相反应和异相反应,而均相反应会形成大量细小粉末,如果不及时对多晶硅表面进行除尘作业,会影响多晶硅的品质。
经检索,中国专利CN213434981U公开了一种多晶硅用筛分机出口除尘筛分装置,包括硅料通道,所述硅料通道的下部设有筛分区,所述筛分区包括筛分板、以及设置在筛分板下部的导流槽,所述导流槽用于排出从筛分板落下的硅粉,所述筛分板上设有筛孔,所述硅料通道上部开设有除尘出口,所述除尘出口连接有除尘管,所述硅料通道的一侧为进料口,所述进料口的对侧开设有出料口;但是现有出口除尘筛分装置灰尘排出不方便,同时,筛分区还容易堆积灰尘,使得筛分不彻底,基于此,我们提出了多晶硅颗粒除尘装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术的不足之处,提供多晶硅颗粒除尘装置,解决了现有出口除尘筛分装置灰尘排出不方便,同时,筛分区还容易堆积灰尘,使得筛分不彻底的问题。
本实用新型是这样实现的,多晶硅颗粒除尘装置,所述多晶硅颗粒除尘装置包括:
除尘主体,所述除尘主体包括反应器,反应器内设置有反应腔,反应腔内可拆卸安装有用于放置多晶硅的硅粒放置板,硅粒放置板内开设有多组连通槽;
设置在反应器内的自调节脱粉机构,所述自调节脱粉机构与反应腔连通,用于将湿气通入反应器内部脱粉;
其中,所述自调节脱粉机构包括:
抽气部;
气体净化组件,用于抽入气体的净化,避免脱粉过程中杂质进入;
与气体净化组件连通的出风调节组件,所述出风调节组件用于调节排出气体的角度;
空气加湿组件,与出风调节组件连通,用于净化后空气的加湿作业优选地,所述气体净化组件包括:
净化组件安装座,所述净化组件安装座与抽气部固定连接;
设置在净化组件安装座内的前置粗滤部,所述前置粗滤部用于空气的粗滤;
后置过滤部,可拆卸安装在所述净化组件安装座内,用于空气的充分过滤处理。
优选地,所述后置过滤部包括:
后置过滤座,所述后置过滤座固定安装在净化组件安装座内,且后置过滤座内开设有多组后置过滤槽;
可拆卸安装在所述后置过滤槽内的后置过滤芯,所述后置过滤芯内部中空,其内壁开设有过滤扰流槽。
优选地,所述后置过滤芯顶部可拆卸安装有过滤密封垫,在后置过滤芯的顶部开设有过滤排出槽,过滤排出槽用于过滤后气体的导流。
优选地,所述前置粗滤部包括:
前置过滤座,可拆卸安装在净化组件安装座内;
至少一组前置过滤槽,开设在所述前置过滤座内,用于抽入气体的过滤处理。
优选地,所述空气加湿组件包括:
空气加湿座,与净化组件安装座固定连接;
空气加湿器,设置在空气加湿座的一侧,且用于空气的加湿处理;
至少一组雾化喷头,所述雾化喷头安装在空气加湿座内,且与空气加湿器贯穿连通,用于雾化水的排出。
优选地,所述出风调节组件包括:
出风座,所述出风座与空气加湿座可拆卸连接,且与反应腔贯穿连通;
至少一组出风导流板,所述出风导流板用于进入反应腔内空气的导流;
与出风导流板连接的调节驱动部,所述调节驱动部安装在出风座的一侧。
优选地,所述调节驱动部包括:
调节电机,固定安装在出风座内;
与调节电机固定连接的传动件,传动件的一侧固定连接有出风导流板;
至少一组从动件,所述从动件设置在传动件的两侧,且从动件的一侧也固定连接有出风导流板。
优选地,所述出风导流板上开设有多组降噪槽,降噪槽用于排出空气的消音降噪。
优选地,所述除尘主体还包括:
反应盖板,可拆卸安装在所述反应器的顶部;
开设在所述反应盖板上的含尘导流管,所述含尘导流管与反应腔贯穿连通,用于灰尘的辅助排出。
与现有技术相比,本申请实施例主要有以下有益效果:
本申请中设置有气体净化组件、出风调节组件以及气体加湿组件,气体净化组件的设置能够对空气进行充分的过滤处理,避免外界杂质污染多晶硅,然后净化后的气体被空气加湿组件加湿处理,加湿后洁净的雾化气体经过出风调节组件调节,可以满足不同角度多晶硅的除尘处理。
附图说明
图1是本实用新型提供的多晶硅颗粒除尘装置的结构示意图。
图2是本实用新型的轴测图。
图3是本实用新型的主视图。
图4是本实用新型的俯视图。
图5是本实用新型提供的自调节脱粉机构的结构示意图。
图6是本实用新型提供的自调节脱粉机构的轴测图。
图7是本实用新型提供的自调节脱粉机构的主视图。
图8是本实用新型提供的自调节脱粉机构的俯视图。
图9是本实用新型提供的气体净化组件的结构示意图。
图10是本实用新型提供的气体净化组件的俯视图。
图11是本实用新型提供的气体净化组件的仰视图。
图中:1-除尘主体、11-反应器、111-反应腔、112-排料口、12-反应盖板、121-含尘导流管、13-硅粒放置板、131-连通槽、2-自调节脱粉机构、21-出风调节组件、211-出风座、212-调节电机、213-传动件、214-从动件、215-出风导流板、2151-降噪槽、22-空气加湿组件、221-空气加湿器、222-空气加湿座、223-雾化喷头、23-抽气部、3-气体净化组件、31-净化组件安装座、32-前置过滤座、321-前置过滤槽、33-后置过滤部、331-后置过滤座、332-后置过滤芯、333-过滤扰流槽、334-过滤密封垫、335-过滤排出槽。
具体实施方式
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请技术领域的技术人员通常理解的含义相同;本文中在申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本申请;本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。本申请的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。
在本文中提及“实施例”意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
现有出口除尘筛分装置灰尘排出不方便,同时,筛分区还容易堆积灰尘,使得筛分不彻底,基于此,我们提出了多晶硅颗粒除尘装置,简而言之,装置包括:除尘主体1,所述除尘主体1包括反应器11,反应器11内设置有反应腔111,反应腔111内可拆卸安装有用于放置多晶硅的硅粒放置板13,设置在反应器11内的自调节脱粉机构2,自调节脱粉机构2包括:抽气部23;气体净化组件3,用于抽入气体的净化,避免脱粉过程中杂质进入;与气体净化组件3连通的出风调节组件21以及空气加湿组件22。在工作时,反应后的多晶硅颗粒落入所述硅粒放置板13上,然后开启所述抽风部以及空气加湿组件22,抽风部将外部的气体抽入,气体净化组件3对空气进行充分的过滤处理,避免外界杂质污染多晶硅,然后净化后的气体被空气加湿组件22加湿处理,加湿后洁净的雾化气体经过出风调节组件21调节,可以满足不同角度多晶硅的除尘处理。本申请中设置有气体净化组件3、出风调节组件21以及气体加湿组件,气体净化组件3的设置能够对空气进行充分的过滤处理,避免外界杂质污染多晶硅,然后净化后的气体被空气加湿组件22加湿处理,加湿后洁净的雾化气体经过出风调节组件21调节,可以满足不同角度多晶硅的除尘处理。
本申请能够有效避免多晶硅表面灰尘的堆积和吸附,同时还有效解决了多晶硅生产过程中,从流化床反应器11生产出来的多晶硅由于硅烷裂解同时存在均相反应和异相反应,而均相反应会形成大量细小粉末,如果不及时对多晶硅表面进行除尘作业,会影响多晶硅的品质的问题。
本实用新型实施例提供了多晶硅颗粒除尘装置,如图1-4所示,所述多晶硅颗粒除尘装置包括:
除尘主体1,所述除尘主体1包括反应器11,反应器11内设置有反应腔111,反应腔111内可拆卸安装有用于放置多晶硅的硅粒放置板13,硅粒放置板13内开设有多组连通槽131;
设置在反应器11内的自调节脱粉机构2,所述自调节脱粉机构2与反应腔111连通,用于将湿气通入反应器11内部脱粉。
需要说明的是,本申请中,反应器11可以为流化床反应器11,其目的是生产出多晶硅颗粒,反应器11为现有技术,其型号和规格在此不作限定,同时,反应器11的底部高于硅粒放置板13的位置可以开设有至少一组排料口112,排料口112可以排除净化后的多晶硅颗粒。
示例性的,硅粒放置板13与反应器11之间可以通过卡扣或螺栓可拆卸连接,同时,硅粒放置板13可以为圆板或矩形座,为了方便多晶硅的排出,其可以为中心位置高、边缘位置处低设置,而连通槽131可以为矩形槽、圆槽或菱形槽,连通槽131的设置可以方便自调节脱粉机构2排出雾化后洁净的空气。
在本申请中,所述除尘主体1还包括:
反应盖板12,可拆卸安装在所述反应器11的顶部;
开设在所述反应盖板12上的含尘导流管121,所述含尘导流管121与反应腔111贯穿连通,用于灰尘的辅助排出。
需要说明的是,所述反应盖板12与反应器11之间通过卡扣可拆卸连接,含尘导流板内壁抛光处理,其可以设置在反应盖板12的中心位置处,还可以设置在反应盖板12的偏心位置处。
其中,如图5-8所示,所述自调节脱粉机构2包括:
抽气部23;
气体净化组件3,用于抽入气体的净化,避免脱粉过程中杂质进入;
与气体净化组件3连通的出风调节组件21,所述出风调节组件21用于调节排出气体的角度;
空气加湿组件22,与出风调节组件21连通,用于净化后空气的加湿作业。
在本申请中,抽气部23可以为鼓风机或抽风机,抽气部23的出风口与气体净化组件3贯穿连通。
在本实施例中,在工作时,反应后的多晶硅颗粒落入所述硅粒放置板13上,然后开启所述抽风部以及空气加湿组件22,抽风部将外部的气体抽入,气体净化组件3对空气进行充分的过滤处理,避免外界杂质污染多晶硅,然后净化后的气体被空气加湿组件22加湿处理,加湿后洁净的雾化气体经过出风调节组件21调节,可以满足不同角度多晶硅的除尘处理。本申请中设置有气体净化组件3、出风调节组件21以及气体加湿组件,气体净化组件3的设置能够对空气进行充分的过滤处理,避免外界杂质污染多晶硅,然后净化后的气体被空气加湿组件22加湿处理,加湿后洁净的雾化气体经过出风调节组件21调节,可以满足不同角度多晶硅的除尘处理。
本申请能够有效避免多晶硅表面灰尘的堆积和吸附,同时还有效解决了多晶硅生产过程中,从流化床反应器11生产出来的多晶硅由于硅烷裂解同时存在均相反应和异相反应,而均相反应会形成大量细小粉末,如果不及时对多晶硅表面进行除尘作业,会影响多晶硅的品质的问题。
本实用新型进一步较佳实施例中,如图9-11所示,所述气体净化组件3包括:
净化组件安装座31,所述净化组件安装座31与抽气部23固定连接;
设置在净化组件安装座31内的前置粗滤部,所述前置粗滤部用于空气的粗滤;
后置过滤部33,可拆卸安装在所述净化组件安装座31内,用于空气的充分过滤处理。
在本实施例中,净化组件安装座31可以为内部中空的矩形座或圆座,且净化组件安装座31通过紧固螺栓或无缝焊接的方式与抽气部23固定连接,前置粗滤部与后置过滤部33配合工作可以对大颗粒以及小颗粒灰尘的分级充分过滤处理,从而保证进入反应器11内气体的洁净。
本实用新型进一步较佳实施例中,如图9-11所示,所述后置过滤部33包括:
后置过滤座331,所述后置过滤座331固定安装在净化组件安装座31内,且后置过滤座331内开设有多组后置过滤槽;
可拆卸安装在所述后置过滤槽内的后置过滤芯332,所述后置过滤芯332内部中空,其内壁开设有过滤扰流槽333。
在本实施例中,所述后置过滤芯332顶部可拆卸安装有过滤密封垫334,在后置过滤芯332的顶部开设有过滤排出槽335,过滤排出槽335用于过滤后气体的导流。
需要说明的是,后置过滤座331可以为圆座或矩形座,且后置过滤座331上可以矩阵均布或环形均布设置有多组后置过滤槽,后置过滤槽可以为矩形槽或圆槽,且后置过滤芯332可以采用PTEE过滤膜,滤膜的直径为20-50mm,同时,后置过滤芯332通过卡扣或螺纹安装在后置过滤槽内,且本申请中,后置过滤芯332中心位置设置过滤扰流槽333,过滤扰流槽333可以设置螺旋状扰流凸片,螺旋状扰流凸片的设置实现了对进入所述后置过滤芯332内气体的扰流,使得气体与后置过滤芯332的充分接触。
本实用新型进一步较佳实施例中,如图11所示,所述前置粗滤部包括:
前置过滤座32,可拆卸安装在净化组件安装座31内;
至少一组前置过滤槽321,开设在所述前置过滤座32内,用于抽入气体的过滤处理。
在本实施例中,前置过滤座32可以为圆座或矩形座,且其可以通过螺纹或卡扣可拆卸安装在净化组件安装座31内,前置过滤槽321可以为矩形槽或圆槽,进一步的,为了强化其过滤效果,前置过滤槽321内还可以设置有过滤纤维、活性炭以及PP棉的一种或多种组合。
本实用新型进一步较佳实施例中,如图5-8所示,所述空气加湿组件22包括:
空气加湿座222,与净化组件安装座31固定连接;
空气加湿器221,设置在空气加湿座222的一侧,且用于空气的加湿处理;
至少一组雾化喷头223,所述雾化喷头223安装在空气加湿座222内,且与空气加湿器221贯穿连通,用于雾化水的排出。
在本实施例中,空气加湿座222通过螺栓与净化组件安装座31固定连接,而本申请中空气加湿器221为现有技术,其外接有蒸馏水罐,空气加湿器221能够将蒸馏水雾化处理,同时雾化喷头223表面开设有多组出水口,雾化喷头223呈周向设置在空气加湿座222内,从而保证气体与水汽的充分接触。
本实用新型进一步较佳实施例中,如图5-8所示,所述出风调节组件21包括:
出风座211,所述出风座211与空气加湿座222可拆卸连接,且与反应腔111贯穿连通;
至少一组出风导流板215,所述出风导流板215用于进入反应腔111内空气的导流;
与出风导流板215连接的调节驱动部,所述调节驱动部安装在出风座211的一侧。
需要说明的是,工作时,开启所述调节驱动部,调节驱动部带动所述出风导流板215摆动,实现了对出风角度的调节。
在本实施例中,所述出风导流板215上开设有多组降噪槽2151,降噪槽2151用于排出空气的消音降噪,而在本申请中,降噪槽2151开设在出风导流板215的侧壁上,其可以矩阵或线性均布设置,降噪槽2151内可以填充有消音海绵或聚酯纤维消音垫。
在本申请中一个可选的实施例中,所述调节驱动部包括:
调节电机212,固定安装在出风座211内;
与调节电机212固定连接的传动件213,传动件213的一侧固定连接有出风导流板215;
至少一组从动件214,所述从动件214设置在传动件213的两侧,且从动件214的一侧也固定连接有出风导流板215。
需要说明的是,调节电机212可以为单向异步电机,且调节电机212的输出端过盈配合连接有传动件213,传动件213以及从动件214可以为齿轮,传动件213与从动件214之间啮合传动,在工作,开启调节电机212,调节电机212带动传动件213转动,传动件213带动从动件214转动,从而实现了对出风角度的调节。
在本申请的另一个可选的实施例中,传动件213以及从动件214还可以为转轮,且转轮之间通过传送带或传送履带连接。
综上所述,本实用新型提供了多晶硅颗粒除尘装置,在工作时,反应后的多晶硅颗粒落入所述硅粒放置板13上,然后开启所述抽风部以及空气加湿组件22,抽风部将外部的气体抽入,气体净化组件3对空气进行充分的过滤处理,避免外界杂质污染多晶硅,然后净化后的气体被空气加湿组件22加湿处理,加湿后洁净的雾化气体经过出风调节组件21调节,可以满足不同角度多晶硅的除尘处理。
本申请中设置有气体净化组件3、出风调节组件21以及气体加湿组件,气体净化组件3的设置能够对空气进行充分的过滤处理,避免外界杂质污染多晶硅,然后净化后的气体被空气加湿组件22加湿处理,加湿后洁净的雾化气体经过出风调节组件21调节,可以满足不同角度多晶硅的除尘处理。
本申请能够有效避免多晶硅表面灰尘的堆积和吸附,同时还有效解决了多晶硅生产过程中,从流化床反应器11生产出来的多晶硅由于硅烷裂解同时存在均相反应和异相反应,而均相反应会形成大量细小粉末,如果不及时对多晶硅表面进行除尘作业,会影响多晶硅的品质的问题。
需要说明的是,对于前述的各实施例,为了简单描述,故将其都表述为一系列的动作组合,但是本领域技术人员应该知悉,本实用新型并不受所描述的动作顺序的限制,因为依据本实用新型,某些步骤可能采用其他顺序或者同时进行。其次,本领域技术人员也应该知悉,说明书中所描述的实施例均属于优选实施例,涉及的动作和模块并不一定是本实用新型所必须的。
本申请所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的装置,可通过其他的方式实现。例如,以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如上述单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或通信连接可以是通过一些接口,装置或单元之间的间接耦合或通信连接,可以是电信或者其它的形式。
上述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对实用新型的保护范围进行限制。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型部分实施例,而不是全部实施例。基于这些实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型所要保护的范围。尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域普通技术人员依然可以在不冲突的情况下,不作出创造性劳动对本实用新型各实施例中的特征根据情况相互组合、增删或作其他调整,从而得到不同的、本质未脱离本实用新型的构思的其他技术方案,这些技术方案也同样属于本实用新型所要保护的范围。
Claims (10)
1.多晶硅颗粒除尘装置,所述多晶硅颗粒除尘装置包括:
除尘主体,所述除尘主体包括反应器,反应器内设置有反应腔,反应腔内可拆卸安装有用于放置多晶硅的硅粒放置板,硅粒放置板内开设有多组连通槽;
其特征在于,设置在反应器内的自调节脱粉机构,所述自调节脱粉机构与反应腔连通,用于将湿气通入反应器内部脱粉;
其中,所述自调节脱粉机构包括:
抽气部;
气体净化组件,用于抽入气体的净化,避免脱粉过程中杂质进入;
与气体净化组件连通的出风调节组件,所述出风调节组件用于调节排出气体的角度;
空气加湿组件,与出风调节组件连通,用于净化后空气的加湿作业。
2.如权利要求1所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述气体净化组件包括:
净化组件安装座,所述净化组件安装座与抽气部固定连接;
设置在净化组件安装座内的前置粗滤部,所述前置粗滤部用于空气的粗滤;
后置过滤部,可拆卸安装在所述净化组件安装座内,用于空气的充分过滤处理。
3.如权利要求2所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述后置过滤部包括:
后置过滤座,所述后置过滤座固定安装在净化组件安装座内,且后置过滤座内开设有多组后置过滤槽;
可拆卸安装在所述后置过滤槽内的后置过滤芯,所述后置过滤芯内部中空,其内壁开设有过滤扰流槽。
4.如权利要求3所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述后置过滤芯顶部可拆卸安装有过滤密封垫,在后置过滤芯的顶部开设有过滤排出槽,过滤排出槽用于过滤后气体的导流。
5.如权利要求2-4任一所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述前置粗滤部包括:
前置过滤座,可拆卸安装在净化组件安装座内;
至少一组前置过滤槽,开设在所述前置过滤座内,用于抽入气体的过滤处理。
6.如权利要求2-4任一所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述空气加湿组件包括:
空气加湿座,与净化组件安装座固定连接;
空气加湿器,设置在空气加湿座的一侧,且用于空气的加湿处理;
至少一组雾化喷头,所述雾化喷头安装在空气加湿座内,且与空气加湿器贯穿连通,用于雾化水的排出。
7.如权利要求6所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述出风调节组件包括:
出风座,所述出风座与空气加湿座可拆卸连接,且与反应腔贯穿连通;
至少一组出风导流板,所述出风导流板用于进入反应腔内空气的导流;
与出风导流板连接的调节驱动部,所述调节驱动部安装在出风座的一侧。
8.如权利要求7所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述调节驱动部包括:
调节电机,固定安装在出风座内;
与调节电机固定连接的传动件,传动件的一侧固定连接有出风导流板;
至少一组从动件,所述从动件设置在传动件的两侧,且从动件的一侧也固定连接有出风导流板。
9.如权利要求8所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述出风导流板上开设有多组降噪槽,降噪槽用于排出空气的消音降噪。
10.如权利要求2-4任一所述的多晶硅颗粒除尘装置,其特征在于:所述除尘主体还包括:
反应盖板,可拆卸安装在所述反应器的顶部;
开设在所述反应盖板上的含尘导流管,所述含尘导流管与反应腔贯穿连通,用于灰尘的辅助排出。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202320782491.4U CN219984194U (zh) | 2023-04-11 | 2023-04-11 | 多晶硅颗粒除尘装置 |
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CN219984194U true CN219984194U (zh) | 2023-11-10 |
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CN202320782491.4U Active CN219984194U (zh) | 2023-04-11 | 2023-04-11 | 多晶硅颗粒除尘装置 |
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-
2023
- 2023-04-11 CN CN202320782491.4U patent/CN219984194U/zh active Active
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