CN219978699U - 一种黑色光刻胶显影机供应装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种黑色光刻胶显影机供应装置，涉及供应装置技术领域，为解决现有的显影机供应装置在进行供应时只能通过流量计测定供应的流量，无法对显影液的供应量进行定量控制，导致供应过大影响显影效果的问题。包括供应平台，供应平台的下端设置有安装下座，安装下座与供应平台一体成型设置，供应平台的上端设置有配电箱；还包括：输液泵，其设置在所述配电箱的前端位置上，配电箱的输出端与输液泵的输入端电性连接，且输液泵的一侧设置有定量罐，定量罐的一侧设置有支撑托架，支撑托架的上端设置有储液罐；导流管，其设置在所述储液罐的下方外壁上，导流管与储液罐的内部连通设置，且导流管的起始端上设置有出液阀。

Description

一种黑色光刻胶显影机供应装置

技术领域

本实用新型涉及供应装置技术领域，具体为一种黑色光刻胶显影机供应装置。

背景技术

用化学显影液溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域称为光刻胶显影，光刻胶显影的主要目的是把掩模版图形准确复制到光刻胶中，显影机是将晒制好的印版通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备，黑色光刻胶显影机在使用的过程中需要为其供应显影液。

例如公告号为：CN210155512U（名为一种光刻胶匀胶显影机的供应装置），包括光阻瓶、缓存罐和喷嘴，光阻瓶通过第一输液管与缓存罐连通，缓存罐通过第二输液管与电动计量泵连接，所述电动计量泵与机台上的喷嘴连接，所述光阻瓶包括安装在内腔内的光阻袋和瓶端口，光阻袋与瓶端口的出液口连接，出液口上插接有第一输液管，第一输液管伸入光阻袋内吸取光阻液，第一输液管对应瓶端口设有一体连接的管盘，管盘贴合放置在瓶端口上端固定住第一输液管，管盘上端通过瓶盖与瓶端口连接挤压固定；瓶端口侧端设有进气管，进气管与外端输气管连接进入光阻瓶的内腔内挤压光阻袋；所述缓存罐上端连通有排气管，排气管内设有检测液体位置的液位传感器，排气管上设有气路单向阀并与气体过滤器连接，所述管盘与瓶端口之间贴合安装有密封垫，密封垫通过瓶盖挤压管盘与瓶端口贴合密封，所述瓶盖套接在第一输液管的管盘上端，瓶盖通过内螺纹与瓶端口的外螺纹旋转固定连接。

上述显影机供应装置在进行供应时只能通过流量计测定供应的流量，无法对显影液的供应量进行定量控制，导致供应过大影响显影效果的问题，为此，我们提供一种黑色光刻胶显影机供应装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种黑色光刻胶显影机供应装置，以解决上述背景技术中提出的现有的显影机供应装置在进行供应时只能通过流量计测定供应的流量，无法对显影液的供应量进行定量控制，导致供应过大影响显影效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种黑色光刻胶显影机供应装置，包括供应平台，供应平台的下端设置有安装下座，安装下座与供应平台一体成型设置，供应平台的上端设置有配电箱；

还包括：

输液泵，其设置在所述配电箱的前端位置上，配电箱的输出端与输液泵的输入端电性连接，且输液泵的一侧设置有定量罐，定量罐的一侧设置有支撑托架，支撑托架的上端设置有储液罐；

导流管，其设置在所述储液罐的下方外壁上，导流管与储液罐的内部连通设置，且导流管的起始端上设置有出液阀，导流管的两端分别与储液罐和定量罐连通设置；

输送管和供应管，其分别设置在所述输液泵的进液端和出液端位置上，输送管与储液罐连通设置，且供应管上设置有调节阀，调节阀的下方设置有流量计，调节阀和流量计均与供应管通过法兰密封连接；

液位显示器，其设置在所述支撑托架的前端位置上，且储液罐的内部设置有液位传感器，液位传感器与液位显示器的连接位置上设置有传感器接线。

优选的，所述定量罐的前端面上设置有透视镜，透视镜与定量罐机械密封连接。

优选的，所述透视镜的前端面上设置有刻度尺，刻度尺与透视镜一体成型设置。

优选的，所述供应管与供应平台的连接位置上设置有穿接孔，穿接孔与供应平台一体成型设置。

优选的，所述储液罐的出液位置上设置有出液滤网，出液滤网与储液罐一体成型设置。

优选的，所述储液罐的顶部设置有注液口，注液口与储液罐的内部连通设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过将供应管的终端连接到显影机的喷嘴上，然后先打开出液阀使得显影液通过导流管注入定量罐的内部，通过定量罐上的刻度尺对显影液进行定量制取，克服了现有的显影机供应装置在进行供应时只能通过流量计测定供应的流量，无法对显影液的供应量进行定量控制，导致供应过大影响显影效果的问题。

2、液位余量通过液位显示器直观呈现，液位不足时，通过注液口向储液罐补充显影液，接着通过输液泵将定量罐内部的显影液抽出，抽出后通过调节阀调节供应管供应显影液的流量，调节的流量数值被流量计测量，从而达到精确调节流量的目的。

附图说明

图1为本实用新型的黑色光刻胶显影机供应装置整体结构示意图；

图2为本实用新型的储液罐内部结构示意图；

图3为本实用新型的定量罐结构示意图；

图4为本实用新型的供应管与供应平台连接结构示意图；

图中：1、供应平台；2、安装下座；3、配电箱；4、支撑托架；5、储液罐；6、注液口；7、传感器接线；8、液位显示器；9、定量罐；10、导流管；11、出液阀；12、输送管；13、输液泵；14、供应管；15、液位传感器；16、出液滤网；17、透视镜；18、刻度尺；19、调节阀；20、流量计；21、穿接孔。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种黑色光刻胶显影机供应装置，包括供应平台1，供应平台1的下端设置有安装下座2，安装下座2与供应平台1一体成型设置，供应平台1的上端设置有配电箱3；

还包括：

输液泵13，其设置在配电箱3的前端位置上，配电箱3的输出端与输液泵13的输入端电性连接，且输液泵13的一侧设置有定量罐9，定量罐9的一侧设置有支撑托架4，支撑托架4的上端设置有储液罐5；

导流管10，其设置在储液罐5的下方外壁上，导流管10与储液罐5的内部连通设置，且导流管10的起始端上设置有出液阀11，导流管10的两端分别与储液罐5和定量罐9连通设置；

输送管12和供应管14，其分别设置在输液泵13的进液端和出液端位置上，输送管12与储液罐5连通设置，且供应管14上设置有调节阀19，调节阀19的下方设置有流量计20，调节阀19和流量计20均与供应管14通过法兰密封连接；

液位显示器8，其设置在支撑托架4的前端位置上，且储液罐5的内部设置有液位传感器15，液位传感器15与液位显示器8的连接位置上设置有传感器接线7。

使用时，将供应管的终端连接到显影机的喷嘴上，然后先打开出液阀使得显影液通过导流管注入定量罐的内部，通过定量罐上的刻度尺对显影液进行定量制取，液位余量通过液位显示器直观呈现，液位不足时，通过注液口向储液罐补充显影液，接着通过输液泵将定量罐内部的显影液抽出，抽出后通过调节阀调节供应管供应显影液的流量，调节的流量数值被流量计测量。

请参阅图3，定量罐9的前端面上设置有透视镜17，透视镜17与定量罐9机械密封连接，定量罐9的前端面上设置的透视镜17起到便于贯穿定量罐9内部容量的作用。

请参阅图3，透视镜17的前端面上设置有刻度尺18，刻度尺18与透视镜17一体成型设置，透视镜17的前端面上设置的刻度尺18起到便于根据刻度定量的作用。

请参阅图4，供应管14与供应平台1的连接位置上设置有穿接孔21，穿接孔21与供应平台1一体成型设置，供应管14与供应平台1的连接位置上设置的穿接孔21起到便于供应管14与供应平台1穿接连接的作用。

请参阅图2，储液罐5的出液位置上设置有出液滤网16，出液滤网16与储液罐5一体成型设置，储液罐5的出液位置上设置的出液滤网16起到对显影液出液过滤的作用。

请参阅图1，储液罐5的顶部设置有注液口6，注液口6与储液罐5的内部连通设置，储液罐5的顶部设置的注液口6起到便于向储液罐5的内部补充显影液的作用。

工作原理：使用时，将供应管14的终端连接到显影机的喷嘴上，然后先打开出液阀11使得显影液通过导流管10注入定量罐9的内部，通过定量罐9上的刻度尺18对显影液进行定量制取，然后关闭出液阀11，液位传感器15对储液罐5内部的显影液量进行测量，液位余量通过液位显示器8直观呈现，液位不足时，通过注液口6向储液罐5补充显影液，接着通过输液泵13将定量罐9内部的显影液抽出，抽出后通过调节阀19调节供应管14供应显影液的流量，调节的流量数值被流量计20测量，从而达到精确调节流量的目的，完成黑色光刻胶显影机供应装置的使用工作。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种黑色光刻胶显影机供应装置，包括供应平台（1），供应平台（1）的下端设置有安装下座（2），安装下座（2）与供应平台（1）一体成型设置，供应平台（1）的上端设置有配电箱（3）；

其特征在于：还包括：

输液泵（13），其设置在所述配电箱（3）的前端位置上，配电箱（3）的输出端与输液泵（13）的输入端电性连接，且输液泵（13）的一侧设置有定量罐（9），定量罐（9）的一侧设置有支撑托架（4），支撑托架（4）的上端设置有储液罐（5）；

导流管（10），其设置在所述储液罐（5）的下方外壁上，导流管（10）与储液罐（5）的内部连通设置，且导流管（10）的起始端上设置有出液阀（11），导流管（10）的两端分别与储液罐（5）和定量罐（9）连通设置；

输送管（12）和供应管（14），其分别设置在所述输液泵（13）的进液端和出液端位置上，输送管（12）与储液罐（5）连通设置，且供应管（14）上设置有调节阀（19），调节阀（19）的下方设置有流量计（20），调节阀（19）和流量计（20）均与供应管（14）通过法兰密封连接；

液位显示器（8），其设置在所述支撑托架（4）的前端位置上，且储液罐（5）的内部设置有液位传感器（15），液位传感器（15）与液位显示器（8）的连接位置上设置有传感器接线（7）。

2.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述定量罐（9）的前端面上设置有透视镜（17），透视镜（17）与定量罐（9）机械密封连接。

3.根据权利要求2所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述透视镜（17）的前端面上设置有刻度尺（18），刻度尺（18）与透视镜（17）一体成型设置。

4.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述供应管（14）与供应平台（1）的连接位置上设置有穿接孔（21），穿接孔（21）与供应平台（1）一体成型设置。

5.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述储液罐（5）的出液位置上设置有出液滤网（16），出液滤网（16）与储液罐（5）一体成型设置。

6.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶显影机供应装置，其特征在于：所述储液罐（5）的顶部设置有注液口（6），注液口（6）与储液罐（5）的内部连通设置。