CN210155512U - 一种光刻胶匀胶显影机的供应装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，包括光阻瓶、缓存罐和喷嘴，光阻瓶通过第一输液管与缓存罐连通，光阻瓶通过内置光阻袋与第一输液管连接，通过氮气进入内腔挤压光阻袋输送，避免了光阻液与气体接触，防止光阻液凝固和产生气泡，光阻袋代替传统的不锈钢光阻桶的使用，避免光阻桶在余量不多的情况下不能使用的情况，提高了光阻液的使用效率，减少了浪费；瓶端口通过与第一输液管的密封设计，瓶盖与瓶端口相互挤压管盘，使管盘通过密封垫与出液口的密封，出液口内设有密封层，加强了光阻袋的密封效果；流量计检测光阻瓶输出的液量，便于计算余量，及时提醒人员更换。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻胶设备技术领域，具体为一种光刻胶匀胶显影机的供应装置。
背景技术
半导体制造工艺中，光刻工艺一直被认为是集成电路制造中关键的步骤，在整个工艺过程中需要被多次使用，其稳定性及可靠性对产品的质量、良率和成本有着重要的影响；光刻工艺是一个复杂的过程，其本质是把电路结构以图形的形式复制到以后要进行刻蚀和离子注入的晶圆上，首先利用光刻胶涂布系统在晶圆上形成一层感光材料——光刻胶薄层，再将平行光经过掩膜版照射在光刻胶薄层上使其曝光而变质，最后利用显影液进行显影完成图形转移。
其中光阻一般通过不锈钢的光阻桶储存并供应，在光阻桶内的光阻稀少的情况下，会造成大量气泡进入管路，而空气残留于光阻中会影响光刻工艺，例如可能造成光阻涂覆不均匀，而使得最终形成的器件图形扭曲，造成一定的损失。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，包括光阻瓶、缓存罐和喷嘴，光阻瓶通过第一输液管与缓存罐连通，缓存罐通过第二输液管与电动计量泵连接，所述电动计量泵与机台上的喷嘴连接；
所述光阻瓶包括安装在内腔内的光阻袋和瓶端口，光阻袋与瓶端口的出液口连接，出液口上插接有第一输液管，第一输液管伸入光阻袋内吸取光阻液，第一输液管对应瓶端口设有一体连接的管盘，管盘贴合放置在瓶端口上端固定住第一输液管，管盘上端通过瓶盖与瓶端口连接挤压固定；瓶端口侧端设有进气管，进气管与外端输气管连接进入光阻瓶的内腔内挤压光阻袋；
所述缓存罐上端连通有排气管，排气管内设有检测液体位置的液位传感器，排气管上设有气路单向阀并与气体过滤器连接。
优选的，所述管盘与瓶端口之间贴合安装有密封垫，密封垫通过瓶盖挤压管盘与瓶端口贴合密封。
优选的，所述瓶盖套接在第一输液管的管盘上端，瓶盖通过内螺纹与瓶端口的外螺纹旋转固定连接。
优选的，所述出液口内设有密封层，加强光阻瓶运输和存放时的密封性，第一输液管刺破密封层进入光阻袋内。
优选的，所述光阻瓶与缓存罐之间的第一输液管上安装有流量计。
优选的，所述缓存罐内的第一输液管位于缓存罐内液面下端，第二输液管的管口位于第一输液管的管口的下端，便于第一输液管输入的液体气泡上浮。
优选的，所述电动计量泵与喷嘴之间设有控制通断的电磁阀，电磁阀及时截断液体输送。
优选的，所述进气管外端设有螺纹对接头，螺纹对接头与外端输气管螺纹密封连接。
优选的，所述电动计量泵、液位传感器、流量计和电磁阀与主机台电性连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：光阻瓶通过内置光阻袋与第一输液管连接，通过氮气进入内腔挤压光阻袋输送，避免了光阻液与气体接触，防止光阻液凝固和产生气泡，光阻袋代替传统的不锈钢光阻桶的使用，避免光阻桶在余量不多的情况下不能使用的情况，提高了光阻液的使用效率，减少了浪费；瓶端口通过与第一输液管的密封设计，瓶盖与瓶端口相互挤压管盘，使管盘通过密封垫与出液口的密封，出液口内设有密封层，加强了光阻袋的密封效果；流量计检测光阻瓶输出的液量，便于计算余量，及时提醒人员更换。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的瓶端口结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
如图1～2所示，
本实施例中，一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，包括光阻瓶1、缓存罐2和喷嘴3，光阻瓶1通过第一输液管11与缓存罐2连通，缓存罐2通过第二输液管21与电动计量泵31连接，所述电动计量泵31与机台上的喷嘴3连接；
所述光阻瓶1包括安装在内腔12内的光阻袋13和瓶端口14，光阻袋13与瓶端口14的出液口15连接，出液口15上插接有第一输液管11，第一输液管11伸入光阻袋13内吸取光阻液，第一输液管11对应瓶端口14设有一体连接的管盘16，管盘16贴合放置在瓶端口14上端固定住第一输液管11，管盘16上端通过瓶盖17与瓶端口14连接挤压固定；瓶端口14侧端设有进气管18，进气管18与外端输气管19连接进入光阻瓶1的内腔12内挤压光阻袋13；
所述缓存罐2上端连通有排气管22，排气管22内设有检测液体位置的液位传感器23，排气管22上设有气路单向阀24并与气体过滤器25连接。
本实施例中，所述管盘16与瓶端口14之间贴合安装有密封垫10，密封垫10通过瓶盖17挤压管盘16与瓶端口14贴合密封，防止光阻袋13与外端空气接触。
本实施例中，所述瓶盖17套接在第一输液管11的管盘16上端，瓶盖17通过内螺纹与瓶端口14的外螺纹旋转固定连接。
本实施例中，所述出液口15内设有密封层20，加强光阻瓶1运输和存放时的密封性，第一输液管11刺破密封层20进入光阻袋13内。
本实施例中，所述光阻瓶1与缓存罐2之间的第一输液管11上安装有流量计26，便于测算光阻瓶1内液体剩量。
本实施例中，所述缓存罐2内的第一输液管11位于缓存罐2内液面下端，防止液面滴漏与气体接触增加气泡，第二输液管21的管口位于第一输液管11的管口的下端，便于第一输液管11输入的液体气泡上浮，避免再次吸入管内。
本实施例中，所述电动计量泵31与喷嘴3之间设有控制通断的电磁阀32，电磁阀32及时截断液体输送。
本实施例中，所述进气管18外端设有螺纹对接头，螺纹对接头与外端输气管19螺纹密封连接。
本实施例中，所述电动计量泵31、液位传感器23、流量计26和电磁阀32与主机台电性连接。
本实用新型的工作原理为：外端输气管19输送氮气进入内腔12内挤压光阻袋13，光阻袋13内的光阻液通过第一输液管11进入缓存罐2内存储并消除气泡，缓存罐2通过第二输液管21与电动计量泵31连接，电动计量泵31将液体输送至机台上的喷嘴3。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (9)
1.一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，包括光阻瓶、缓存罐和喷嘴，光阻瓶通过第一输液管与缓存罐连通，缓存罐通过第二输液管与电动计量泵连接，所述电动计量泵与机台上的喷嘴连接，其特征在于：
所述光阻瓶包括安装在内腔内的光阻袋和瓶端口，光阻袋与瓶端口的出液口连接，出液口上插接有第一输液管，第一输液管伸入光阻袋内吸取光阻液，第一输液管对应瓶端口设有一体连接的管盘，管盘贴合放置在瓶端口上端固定住第一输液管，管盘上端通过瓶盖与瓶端口连接挤压固定；瓶端口侧端设有进气管，进气管与外端输气管连接进入光阻瓶的内腔内挤压光阻袋；
所述缓存罐上端连通有排气管，排气管内设有检测液体位置的液位传感器，排气管上设有气路单向阀并与气体过滤器连接。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，其特征在于：所述管盘与瓶端口之间贴合安装有密封垫，密封垫通过瓶盖挤压管盘与瓶端口贴合密封。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，其特征在于：所述瓶盖套接在第一输液管的管盘上端，瓶盖通过内螺纹与瓶端口的外螺纹旋转固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，其特征在于：所述出液口内设有密封层，加强光阻瓶运输和存放时的密封性，第一输液管刺破密封层进入光阻袋内。
5.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，其特征在于：所述光阻瓶与缓存罐之间的第一输液管上安装有流量计。
6.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，其特征在于：所述缓存罐内的第一输液管位于缓存罐内液面下端，第二输液管的管口位于第一输液管的管口的下端，便于第一输液管输入的液体气泡上浮。
7.根据权利要求5所述的一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，其特征在于：所述电动计量泵与喷嘴之间设有控制通断的电磁阀，电磁阀及时截断液体输送。
8.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，其特征在于：所述进气管外端设有螺纹对接头，螺纹对接头与外端输气管螺纹密封连接。
9.根据权利要求7所述的一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，其特征在于：电动计量泵、液位传感器、流量计和电磁阀与主机台电性连接。
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