CN219957397U - 一种半导体激光Bar的腔面镜检固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，属于光电检测技术领域，其中，固定主体上设置有预设数量的固定槽，每个固定槽的底面与第一侧面为垂直设置，第二陶瓷条贴合于第一侧面固定，第一陶瓷条置于底面上且端面与第二陶瓷条的表面相接，第一陶瓷条的表面与第二陶瓷条的表面相垂直；Bar条贴合于第一陶瓷条和第二陶瓷条的垂直相交表面放置，陶瓷压块置于第一陶瓷条表面且紧贴Bar条。通过本实用新型的技术方案，提高了检测过程的稳定性和Bar条装卸及检验效率，保证了检测结果的准确性，提高了后期激光器产品的合格率及性能质量，同时避免了腔面检测过程中新增缺陷的风险。

Description

一种半导体激光Bar的腔面镜检固定装置

技术领域

本实用新型涉及光电检测技术领域，尤其涉及一种半导体激光Bar的腔面镜检固定装置。

背景技术

目前，随着光电子技术的发展，半导体激光器以体积小，重量轻，高效稳定等优势占据广阔的应用市场。目前半导体激光技术在科研、生产、国防、医疗等多个方面均有应用。半导体激光器生产制造各个环节，如腔面镀膜过程，均有可能产生大量缺陷。这些缺陷将会严重影响激光器的寿命。半导体激光器件的寿命是影响其应用的重要技术指标之一。

而且，半导体激光Bar腔面缺陷是影响激光器性能的重要因素。而在现有腔面检测技术中，在Bar腔面镀膜完成后仅在镀膜架上检测腔面异常，无法筛选出后续拆架、解理之后新增缺陷的Bar条。或者，直接在Bar黏盒内检验，可能导致腔面直接接触盒内黏性物质，存在腔面检测过程中新增缺陷的风险。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，通过第一陶瓷条和第二陶瓷条为待检的Bar条提供镜检置放区域，在Bar条的待检腔面能够保持明亮、清晰视野的同时避免表面接触导致的划痕或破损，并通过陶瓷压块为Bar条提供稳定受力，提高检测过程的稳定性和Bar条装卸及检验效率，保证检测结果的准确性。本发明的装置在Bar条封装烧结前提前筛选缺陷条，对腔面的进一步筛选保障了Bar条成品质量，避免了后期生产成本的浪费，同时保障了后续使用Bar条封装烧结的其他激光器件质量，提高了后期激光器产品的合格率及性能质量，同时避免了腔面检测过程中新增缺陷的风险。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，包括：固定主体、第一陶瓷条、第二陶瓷条和陶瓷压块；

所述固定主体上设置有预设数量的固定槽，每个所述固定槽的底面与第一侧面为垂直设置，所述第二陶瓷条贴合于所述第一侧面固定，所述第一陶瓷条置于所述底面上且端面与所述第二陶瓷条的表面相接，所述第一陶瓷条的表面与所述第二陶瓷条的表面相垂直；

所述Bar条贴合于所述第一陶瓷条和所述第二陶瓷条的垂直相交表面放置，所述陶瓷压块置于所述第一陶瓷条表面且紧贴所述Bar条。

在上述技术方案中，优选地，所述底面与水平面夹角为5°，同时所述第一侧面与竖直面的夹角为5°，使得所述底面与所述第一侧面相互垂直。

在上述技术方案中，优选地，所述第一陶瓷条靠近所述Bar条的一侧表面为光面陶瓷，所述第二陶瓷条靠近所述Bar条的一侧表面为光面陶瓷，所述陶瓷压块靠近所述Bar条的一侧表面为光面陶瓷。

在上述技术方案中，优选地，所述底面与所述第一侧面的相接处设置有圆形沟槽，所述第二陶瓷条靠近所述第一侧面的一角空置于所述圆形沟槽中。

在上述技术方案中，优选地，所述圆形沟槽的直径为0.5～1.5mm。

在上述技术方案中，优选地，所述第二陶瓷条的高度大于所述Bar条高度的1/2，且所述Bar条顶部的待检腔面高于所述第二陶瓷条的顶面。

在上述技术方案中，优选地，所述第一陶瓷条和所述第二陶瓷条均采用粘合剂与所述固定槽进行粘连固定。

在上述技术方案中，优选地，所述固定主体为硬铝材质机加工而成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过第一陶瓷条和第二陶瓷条为待检的Bar条提供镜检置放区域，在Bar条的待检腔面能够保持明亮、清晰视野的同时避免了表面接触导致的划痕或破损，并通过陶瓷压块为Bar条提供稳定受力，提高了检测过程的稳定性和Bar条装卸及检验效率，保证了检测结果的准确性。本发明的装置在Bar条封装烧结前提前筛选缺陷条，对腔面的进一步筛选保障了Bar条成品质量，避免了后期生产成本的浪费，同时保障了后续使用Bar条封装烧结的其他激光器件质量，提高了后期激光器产品的合格率及性能质量，同时避免了腔面检测过程中新增缺陷的风险。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例公开的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置的结构示意图；

图2为图1所示实施例公开的A区域的放大结构示意图；

图3为本实用新型一种实施例公开的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置的固定主体结构示意图；

图4为本实用新型一种实施例公开的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置的第一陶瓷条、第二陶瓷条和陶瓷压块的结构对比示意图；

图5为本实用新型一种实施例公开的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置的使用状态示意图。

图中，各组件与附图标记之间的对应关系为：

1.固定主体，11.固定槽，12.底面，13.第一侧面，14.圆形沟槽，2.第一陶瓷条，3.第二陶瓷条，4.陶瓷压块，5.Bar条。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细描述：

如图1至图4所示，根据本实用新型提供的一种半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，包括：固定主体1、第一陶瓷条2、第二陶瓷条3和陶瓷压块4；

固定主体1上设置有预设数量的固定槽11，每个固定槽11的底面12与第一侧面13为垂直设置，第二陶瓷条3贴合于第一侧面13固定，第一陶瓷条2置于底面12上且端面与第二陶瓷条3的表面相接，第一陶瓷条2的表面与第二陶瓷条3的表面相垂直；

Bar条5贴合于第一陶瓷条2和第二陶瓷条3的垂直相交表面放置，陶瓷压块4置于第一陶瓷条2表面且紧贴Bar条5。

在该实施方式中，通过第一陶瓷条2和第二陶瓷条3为待检的Bar条5提供镜检置放区域，在Bar条5的待检腔面能够保持明亮、清晰视野的同时避免了表面接触导致的划痕或破损，并通过陶瓷压块4为Bar条5提供稳定受力，提高了检测过程的稳定性和Bar条5装卸及检验效率，保证了检测结果的准确性。本发明的装置在Bar条5封装烧结前提前筛选缺陷条，对腔面的进一步筛选保障了Bar条5的成品质量，避免了后期生产成本的浪费，同时保障了后续使用Bar条5封装烧结的其他激光器件质量，提高了后期激光器产品的合格率及性能质量，同时避免了腔面检测过程中新增缺陷的风险。

如图5所示，其中，由于半导体激光器的Bar条5体积过小、质量过轻，实际检测时仍然会出现Bar条5在移动过程中由于惯性等原因容易出现倾倒的现象。为此，增设可活动的陶瓷压块4，将该陶瓷压块4对Bar的P面予以轻微受力，由于受力轻，且接触面平滑，检测时不会对Bar条5外表造成明显影响。陶瓷压块4的设置，使得检验时半导体激光Bar的稳定性增加，大大提高了半导体激光Bar的装卸及检验的效率。

具体地，第一陶瓷条2采用较宽的片状结构，第二陶瓷条3采用较窄的条形结构，将第一陶瓷条2安装于固定槽11的底面12，将第二陶瓷条3安装于固定槽11一侧的第一侧面13。其中，固定槽11的底面12与第一侧面13之间夹角为90°，第一陶瓷条2和第二陶瓷条3安装完成后，第一陶瓷条2和第二陶瓷条3的夹角也呈90°。

在上述实施方式中，优选地，第二陶瓷条3的底面12与固定槽11的底面12相接触，第一陶瓷条2的底面12与固定槽11的底面12相接触，Bar条5的其中一直角贴紧第一陶瓷条2和第二陶瓷条3相交接处形成的直角放置，此时，第一陶瓷条2靠近Bar条5的一侧表面为光面陶瓷，第二陶瓷条3靠近Bar条5的一侧表面为光面陶瓷，陶瓷压块4靠近Bar条5的一侧表面为光面陶瓷。

在该实施方式中，第一陶瓷条2、第二陶瓷条3和陶瓷压块4上靠近Bar条5的一面均采用光面陶瓷，光面陶瓷由于平整度较高，与Bar条5接触时有利于在保护Bar条5的PN面及腔面不受明显损伤，避免了与Bar条5接触时粗糙表面摩擦导致的Bar条5划痕或破损。在检测过程中，Bar条5置于光面陶瓷上，陶瓷光面分别贴合Bar条5的N面及后腔面，陶瓷压块4置于Bar条5的后侧，与P面接触。装载好半导体激光器Bar条5的上述固定装置装置，可直接置于高倍显微镜下检验，在200X-1000X放大倍数下，待检腔面能够保持明亮、清晰，从而可准确检验出1μm尺寸及以上的缺陷。

在上述实施方式中，优选地，底面12与水平面夹角为5°，同时第一侧面13与竖直面的夹角为5°，使得底面12与第一侧面13相互垂直。

在该实施方式中，底面12呈5°倾角，即整个固定主体1的所有固定槽11均与水平面呈5°夹角，同时还要使每个固定槽11的第一侧面13与其底面12相垂直。其中，5°的倾角利于镜检时Bar条5的放置，使得检验过程Bar条5不易出现倾倒，且待检验腔面相对水平面5°左右的状态对高倍显微镜使用时的视野明亮程度影响不是很大。

在该5°倾角下，陶瓷压块4能够向Bar条5方向形成一个小的重力分力，不需要额外推动陶瓷压块4即可实现对Bar条5的稳定受力，不会对Bar条5表面造成影响。

在上述实施方式中，优选地，底面12与第一侧面13的相接处设置有圆形沟槽14，第二陶瓷条3靠近第一侧面13的一角空置于圆形沟槽14中。其中，圆形沟槽14的直径为0.5～1.5mm，优选采用1mm直径。

在该实施方式中，圆形沟槽14的设计目的是给实际机加工零件组装留下一定调整范围。零件本身机加工尺寸的误差以及粘合组装过程的操作误差等，都容易造成组装后两陶瓷条呈锐角状态，并非理想状态的90°角。这将很容易导致Bar条5倾倒、显微镜下腔面视野发暗等现象。小沟槽的设计可包容组装和机加工的误差，使得两陶瓷条呈略微≥90°的状态，确保检验时Bar条5的N面与陶瓷面接触更加紧实良好，使得Bar条5不易倾倒，且对前腔面视野明亮程度影响不大。

在上述实施方式中，优选地，第二陶瓷条3的高度大于Bar条5高度的1/2，确保Bar条5高度的一半以上与光面陶瓷贴合，且Bar条5顶部的待检腔面高于第二陶瓷条3的顶面。这样设计有两个优点：一是Bar条5放置时与陶瓷贴合高度超出一半以上，贴合面积良好，受力面大，超过重心，不易倾倒与翻倒；二是第二陶瓷条3顶面略低于待检腔面，避免了陶瓷面遮挡腔面检验视野，保证检验结果更加准确。在实施过程中，根据上述限定可灵活调整第二陶瓷条3的高度，适配多种型号、多种规格的Bar条5。

在上述实施方式中，优选地，第一陶瓷条2和第二陶瓷条3均采用粘合剂与固定槽11进行粘连固定，粘接固定时保证第一陶瓷条2和第二陶瓷条3的光面陶瓷表面朝外。

在上述实施方式中，优选地，固定主体1为硬铝材质机加工而成，固定主体1的整体底面与固定槽11的底面12之间呈5°夹角，使得固定主体1放置于水平面时，固定槽11的底面12相对于水平面呈5°倾角。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，用于固定需要进行镜检的半导体激光器的Bar条，其特征在于，包括：固定主体、第一陶瓷条、第二陶瓷条和陶瓷压块；

所述固定主体上设置有预设数量的固定槽，每个所述固定槽的底面与第一侧面为垂直设置，所述第二陶瓷条贴合于所述第一侧面固定，所述第一陶瓷条置于所述底面上且端面与所述第二陶瓷条的表面相接，所述第一陶瓷条的表面与所述第二陶瓷条的表面相垂直；

所述Bar条贴合于所述第一陶瓷条和所述第二陶瓷条的垂直相交表面放置，所述陶瓷压块置于所述第一陶瓷条表面且紧贴所述Bar条。

2.根据权利要求1所述的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，其特征在于，所述底面与水平面夹角为5°，同时所述第一侧面与竖直面的夹角为5°，使得所述底面与所述第一侧面相互垂直。

3.根据权利要求2所述的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，其特征在于，所述第一陶瓷条靠近所述Bar条的一侧表面为光面陶瓷，所述第二陶瓷条靠近所述Bar条的一侧表面为光面陶瓷，所述陶瓷压块靠近所述Bar条的一侧表面为光面陶瓷。

4.根据权利要求2所述的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，其特征在于，所述底面与所述第一侧面的相接处设置有圆形沟槽，所述第二陶瓷条靠近所述第一侧面的一角空置于所述圆形沟槽中。

5.根据权利要求4所述的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，其特征在于，所述圆形沟槽的直径为0.5～1.5mm。

6.根据权利要求1所述的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，其特征在于，所述第二陶瓷条的高度大于所述Bar条高度的1/2，且所述Bar条顶部的待检腔面高于所述第二陶瓷条的顶面。

7.根据权利要求1所述的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，其特征在于，所述第一陶瓷条和所述第二陶瓷条均采用粘合剂与所述固定槽进行粘连固定。

8.根据权利要求1所述的半导体激光Bar的腔面镜检固定装置，其特征在于，所述固定主体为硬铝材质机加工而成。