CN219872111U - 一种曝光机用升降工作台结构 - Google Patents

一种曝光机用升降工作台结构 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及曝光机技术领域,且公开了一种曝光机用升降工作台结构,解决了目前工作台的高度一定导致曝光效果较差的问题,其包括底座,所述底座的顶部固定安装有U型架,U型架上安装有曝光设备,曝光设备的下方设有工作台,工作台的底部安装有升降机构,升降机构上安装有平移机构,升降机构包括位于底座上方的底板;本实用新型,通过U型杆和升降块以及内杆和U型框之间的配合,便于对工作台进行支撑并限位,并通过旋转盘一和双向丝杆以及滑套和滚轮一之间的配合,便于两个滑套移动,并通过驱动杆和安装板之间的配合,从而便于工作台进行升降,提高工作台上曝光材料的曝光效果。

Description

一种曝光机用升降工作台结构
技术领域
本实用新型属于曝光机技术领域,具体为一种曝光机用升降工作台结构。
背景技术
直写式光刻技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式光刻技术的影像直接转移技术,利用该技术生产的直写式曝光机工艺流程短,生产成本低;根据授权公告号为:CN209674185U,名称为“一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机”的专利文件,其通过设置能够带动工作台相对曝光系统移动的移动装置,实现对工作台上的待曝光材料上各个区域进行完全曝光;同时,将卷放装置和卷轴装置直接安装在工作台上,使卷放装置和卷轴装置能随工作台一起移动,从而使得待曝光区域与工作台在移动曝光时保持相对静止,不会对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯,减少了对卷材品质的影响,提高了曝光质量;但仍存在以下缺陷:
其虽然能够实现工作台的水平移动,但是工作台的高度一定,因此导致曝光效果较差。
实用新型内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种曝光机用升降工作台结构,有效的解决了目前工作台的高度一定导致曝光效果较差的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种曝光机用升降工作台结构,包括底座,所述底座的顶部固定安装有U型架,U型架上安装有曝光设备,曝光设备的下方设有工作台,工作台的底部安装有升降机构,升降机构上安装有平移机构;
升降机构包括位于底座上方的底板,底板的顶部对称固定安装有两个U型框,两个U型框的内部均固定安装有内杆,两个内杆的外侧均活动套接有升降块,两个升降块分别与两个内杆滑动连接,两个升降块的顶部均固定安装有U型杆,两个U型杆的顶部分别贯穿两个U型框并均与工作台的底部固定连接,且两个U型杆分别与两个U型框活动连接。
优选的,所述底板的顶部固定安装有U型板一,U型板一的内部转动连接有双向丝杆,双向丝杆的一端贯穿U型板一并固定安装有旋转盘一,双向丝杆的外侧对称螺纹套接有两个滑套,两个滑套的底部均固定安装有滚轮一,两个滚轮一的底部均位于U型板一的内部底壁。
优选的,所述工作台的底部固定安装有安装板,安装板的底部对称转动连接有两个驱动杆,两个驱动杆远离安装板的一端分别与两个滑套的顶部转动连接。
优选的,所述平移机构包括固定于底座顶部的U型板二,U型板二的内部固定安装有导向杆,底板活动套设于导向杆的外侧,底板的底部靠近四角位置均固定安装有滚轮二,滚轮二位于底座的顶部。
优选的,所述底板的底部固定安装有齿板,U型架的内部转动连接有转轴,转轴位于齿板的下方,转轴的一端贯穿U型架并固定安装有旋转盘二,转轴的外侧固定安装有齿轮,齿轮与齿板啮合连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
(1)、本实用新型,通过U型杆和升降块以及内杆和U型框之间的配合,便于对工作台进行支撑并限位,并通过旋转盘一和双向丝杆以及滑套和滚轮一之间的配合,便于两个滑套移动,并通过驱动杆和安装板之间的配合,从而便于工作台进行升降,提高工作台上曝光材料的曝光效果;
(2)、该新型通过旋转盘二和转轴以及齿轮和齿板之间的配合,便于底板沿着导向杆进行移动,继而能够使得工作台平移,从而便于对工作台上待曝光材料上各个区域的完全曝光。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。
在附图中:
图1为本实用新型曝光机用升降工作台结构示意图;
图2为本实用新型升降机构结构示意图;
图3为本实用新型U型框结构示意图;
图4为本实用新型平移机构结构示意图;
图5为本实用新型转轴结构示意图;
图中:1、底座;2、工作台;3、升降机构;301、底板;302、U型板一;303、驱动杆;304、安装板;305、U型框;306、旋转盘一;307、滚轮一;308、双向丝杆;309、滑套;3010、U型杆;3011、内杆;3012、升降块;4、平移机构;401、U型板二;402、滚轮二;403、转轴;404、旋转盘二;405、导向杆;406、齿轮;407、齿板;5、U型架;6、曝光设备。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例;基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例一,由图1给出,本实用新型包括底座1,底座1的顶部固定安装有U型架5,U型架5上安装有曝光设备6,曝光设备6的下方设有工作台2,工作台2的底部安装有升降机构3,升降机构3上安装有平移机构4;
使用状态下,通过升降机构3调节工作台2的高度,提高工作台2上待曝光材料的曝光效果,同时可通过平移机构4对工作台2进行平移,实现对工作台2上待曝光材料上各个区域的完全曝光。
具体的,由图2-3给出,升降机构3包括位于底座1上方的底板301,底板301的顶部对称固定安装有两个U型框305,两个U型框305的内部均固定安装有内杆3011,两个内杆3011的外侧均活动套接有升降块3012,两个升降块3012分别与两个内杆3011滑动连接,两个升降块3012的顶部均固定安装有U型杆3010,两个U型杆3010的顶部分别贯穿两个U型框305并均与工作台2的底部固定连接,且两个U型杆3010分别与两个U型框305活动连接,底板301的顶部固定安装有U型板一302,U型板一302的内部转动连接有双向丝杆308,双向丝杆308的一端贯穿U型板一302并固定安装有旋转盘一306,双向丝杆308的外侧对称螺纹套接有两个滑套309,两个滑套309的底部均固定安装有滚轮一307,两个滚轮一307的底部均位于U型板一302的内部底壁,工作台2的底部固定安装有安装板304,安装板304的底部对称转动连接有两个驱动杆303,两个驱动杆303远离安装板304的一端分别与两个滑套309的顶部转动连接;
使用状态下,首先旋转旋转盘一306,带动双向丝杆308的转动,并通过两个滚轮一307的限位作用带动两个滑套309的移动,同时通过两个驱动杆303带动安装板304上下移动,并实现工作台2的升降,而两侧U型框305和U型杆3010对工作台2进行支撑限位,便于工作台2的平稳升降,最后实现对工作台2高度的调节来提高曝光效果。
具体的,由图4-5给出,平移机构4包括固定于底座1顶部的U型板二401,U型板二401的内部固定安装有导向杆405,底板301活动套设于导向杆405的外侧,底板301的底部靠近四角位置均固定安装有滚轮二402,滚轮二402位于底座1的顶部,底板301的底部固定安装有齿板407,U型架5的内部转动连接有转轴403,转轴403位于齿板407的下方,转轴403的一端贯穿U型架5并固定安装有旋转盘二404,转轴403的外侧固定安装有齿轮406,齿轮406与齿板407啮合连接;
使用状态下,首先旋转旋转盘二404,带动转轴403的转动,并通过齿轮406和齿板407的啮合作用带动底板301进行平移,同时通过滚轮二402的支撑实现底板301的平稳移动,最后将工作台2进行移动实现对工作台2上待曝光材料上各个区域的完全曝光。

Claims (5)

1.一种曝光机用升降工作台结构,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有U型架(5),U型架(5)上安装有曝光设备(6),曝光设备(6)的下方设有工作台(2),工作台(2)的底部安装有升降机构(3),升降机构(3)上安装有平移机构(4);
升降机构(3)包括位于底座(1)上方的底板(301),底板(301)的顶部对称固定安装有两个U型框(305),两个U型框(305)的内部均固定安装有内杆(3011),两个内杆(3011)的外侧均活动套接有升降块(3012),两个升降块(3012)分别与两个内杆(3011)滑动连接,两个升降块(3012)的顶部均固定安装有U型杆(3010),两个U型杆(3010)的顶部分别贯穿两个U型框(305)并均与工作台(2)的底部固定连接,且两个U型杆(3010)分别与两个U型框(305)活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种曝光机用升降工作台结构,其特征在于:所述底板(301)的顶部固定安装有U型板一(302),U型板一(302)的内部转动连接有双向丝杆(308),双向丝杆(308)的一端贯穿U型板一(302)并固定安装有旋转盘一(306),双向丝杆(308)的外侧对称螺纹套接有两个滑套(309),两个滑套(309)的底部均固定安装有滚轮一(307),两个滚轮一(307)的底部均位于U型板一(302)的内部底壁。
3.根据权利要求2所述的一种曝光机用升降工作台结构,其特征在于:所述工作台(2)的底部固定安装有安装板(304),安装板(304)的底部对称转动连接有两个驱动杆(303),两个驱动杆(303)远离安装板(304)的一端分别与两个滑套(309)的顶部转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种曝光机用升降工作台结构,其特征在于:所述平移机构(4)包括固定于底座(1)顶部的U型板二(401),U型板二(401)的内部固定安装有导向杆(405),底板(301)活动套设于导向杆(405)的外侧,底板(301)的底部靠近四角位置均固定安装有滚轮二(402),滚轮二(402)位于底座(1)的顶部。
5.根据权利要求4所述的一种曝光机用升降工作台结构,其特征在于:所述底板(301)的底部固定安装有齿板(407),U型架(5)的内部转动连接有转轴(403),转轴(403)位于齿板(407)的下方,转轴(403)的一端贯穿U型架(5)并固定安装有旋转盘二(404),转轴(403)的外侧固定安装有齿轮(406),齿轮(406)与齿板(407)啮合连接。
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