CN219827071U - 隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置，属于隔音降噪技术领域；其中，隔音罩包括罩体和柔性的隔音件，罩体具有能容纳机械泵的腔体，腔体的开口朝下设置，罩体设有与腔体连通的通孔，隔音件沿着通孔的内壁面设置，并形成能供机械泵的管件穿设的安装孔；另外，机械泵组件包括泵体和隔音罩，泵体设在腔体内，泵体设有管件，管件穿设在安装孔；真空镀膜装置包括机械泵组件。本实用新型不仅能促使机械泵得到保护作用，而且还能解决机械泵运行所引发的噪音污染问题。

Description

隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置

技术领域

本实用新型属于隔音降噪技术领域，特别涉及一种隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置。

背景技术

对于现在太阳能电池生产线用的PVD(也即物理气相沉积，Physical VaporDeposition)镀膜设备，电池片市场提出产能提升的需求，因此，PVD设备中的腔体抽气时间需要尽量缩短。然而，对于常用于腔体抽气工作的机械泵而言，其通常裸露在PVD设备的外面，存在着一定的安全性问题，而且，其在工作运行中会剧烈振动，并产生刺耳的噪音，给车间造成一定的噪音污染，因此，机械泵工作所产生的噪音污染成为一大难题。

虽然安装人员将机械泵放置在电柜里，可以减少部分噪音，但是，电柜和机械泵成为一体，电柜会随着机械泵一起振动，还是会产生噪音，可见，这种方式无法很好地解决噪音污染问题。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置，不仅能对机械泵提供一定的保护作用，而且还能够解决机械泵运行所产生的噪音污染问题。

为解决上述技术问题所采用的技术方案：

第一方面，本实用新型提供一种隔音罩，其包括罩体和柔性的隔音件，所述罩体具有能容纳机械泵的腔体，所述腔体的开口朝下设置，所述罩体设有与所述腔体连通的通孔，所述隔音件沿着所述通孔的内壁面设置，并形成能供机械泵的管件穿设的安装孔。

本实用新型至少具有如下的有益效果：在使用该隔音罩时，将罩体直接往下罩住机械泵，并促使机械泵的管件穿过罩体的通孔，然后利用隔音件来填充通孔的内壁面与管件之间的间隙，令机械泵完全位于封闭腔内，那么，在机械泵运行过程中，机械泵剧烈振动所产生的噪音无法传播至罩体之外，而且，罩体与机械泵并无直接接触，罩体不会随机械泵的振动而振动，从而能同时解决了机械泵的安全性问题以及机械泵引发的噪音污染问题。

作为上述技术方案的进一步改进，所述罩体包括隔音板；所述隔音板设有多块，所有的所述隔音板可拆连接，并形成所述腔体。如此设置，可以根据机械泵的规格尺寸，采用多块隔音板来快速组装出相应的罩体，让罩体能够完全罩住机械泵。

作为上述技术方案的进一步改进，所述隔音板包括依次层叠连接的穿孔板块、蜂窝结构层和背面板块，所述穿孔板块靠近所述腔体设置。隔音板采用如此的结构设计，能形成共振吸声结构，并起到优良的吸声效果。

作为上述技术方案的进一步改进，所述蜂窝结构层为蜂窝棉层。在穿孔板块和背面板块之间采用蜂窝棉层，能够吸收射入的声波能量，对声波起到衰减作用，尤其是对高频的吸收能力非常强，从而进一步提升隔音罩的吸音降噪效果。

作为上述技术方案的进一步改进，相邻两所述隔音板通过搭扣连接。如此设置，无需借助辅助工具便可拆装隔音板，非常方便。

作为上述技术方案的进一步改进，其中一所述隔音板设有把手和所述通孔。在设置有通孔的隔音板上增加把手，能够为工作人员在机械泵维护工作中提供施力点，使得隔音板的拆装更为便利。

作为上述技术方案的进一步改进，所述罩体的下方设有所述隔音件，所述隔音件与所述罩体连接，并覆盖所述腔体的开口。在罩体的腔体开口处设置隔音件，那么，可以防止腔体内的声波经地面传播开来，使隔音效果更佳。

作为上述技术方案的进一步改进，所述隔音件为隔音棉。

第二方面，本实用新型提供一种机械泵组件，其包括泵体和上述技术方案任一所述的隔音罩，所述泵体设在所述腔体内，所述泵体设有管件，所述管件穿设在所述安装孔。

第三方面，本实用新型提供一种真空镀膜装置，其包括上述技术方案所述的机械泵组件。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明；

图1是本实用新型实施例所提供的机械泵组件的结构示意图；

图2是本实用新型实施例所提供的隔音罩的结构立体图；

图3是本实用新型实施例所提供的隔音罩中，隔音板的结构示意图；

图4是本实用新型实施例所提供的隔音罩中，穿孔板块的结构示意图。

附图中标记如下：100、罩体；110、隔音板；111、顶板；112、侧板；113、第一板块；114、第二板块；115、穿孔板块；116、蜂窝结构层；117、背面板块；118、圆孔；120、第一通孔；130、第二通孔；140、第三通孔；200、搭扣；300、把手；400、隔音件；500、抽真空管。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，如果具有“若干”之类的词汇描述，其含义是一个或者多个，多个的含义是两个及以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二、第三只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

需要说明的是，附图中X方向是由隔音罩的后侧指向前侧；Y方向是由隔音罩的左侧指向右侧；Z方向是由隔音罩的下侧指向上侧。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

参照图1至图4，下面对本实用新型的隔音罩、机械泵组件及真空镀膜装置举出若干实施例。

如图1至图4所示，本实用新型实施例提供了一种隔音罩，能够配合机械泵来使用，可以同时解决机械泵因外露的安装方式而存在的安全隐患以及机械泵在运行时所产生的噪音污染问题，并且，能有效隔绝机械泵所带来的振动视觉效果。

隔音罩的结构包括有罩体100和柔性的隔音件400。

其中，罩体100内部中空形成有腔体，腔体的开口朝下设置，以便工作人员将罩体100往下罩住机械泵。可以理解的是，若机械泵安装在地面，则罩体100会与地面相接触，促使腔体呈封闭状态，与外界隔绝。腔体的形状可以呈圆柱状、棱柱状、半球状或其他形状，腔体的形状和大小可以根据实际情况设置，在此不做具体限定，只需要腔体的形状和尺寸满足能容纳机械泵的条件即可。

而且，罩体100设置有通孔，通孔与腔体相连通。

可以理解的是，通孔的形状可以为圆孔、方孔或其他形状，在此不作具体限定，只要通孔能够允许机械泵的管件通过并延伸至罩体100之外，而且，通孔的内径大于机械泵的管件的外径，促使管件不会与通孔的内壁面相接触。管件可以与通孔同轴设置或偏心设置。通孔可以设置在罩体100的顶面，也可以设置在罩体100的侧面。通孔的数量不限于一个、两个，通孔的数量主要是根据机械泵的管件数量情况而定。

隔音件400沿着通孔的内壁面设置，并形成有安装孔，安装孔能供机械泵的管件穿设，而且，管件会与安装孔的内壁面相接触。可以理解的是，柔性的隔音件400具有能发生形变的特点，隔音件400的作用是用于填充机械泵的管件与通孔之间的间隙，促使机械泵能够位于封闭腔内，防止封闭腔内的噪音经该间隙往外传播，造成噪音污染，并且，隔音件400能起到良好的缓冲作用，避免管件在随机械泵振动时会激烈碰撞到罩体100而导致噪音产生。柔性的隔音件400可以为隔音棉或吸音棉。

可以理解的是，本实施例提供的隔音罩具有如下的技术效果：当隔音罩使用于机械泵时，与机械泵连接的管件穿过罩体100的通孔设置，而且，柔性的隔音件400位于管件的外周面与通孔的内周面之间，充分填充了管件与通孔之间的间隙。另外，由于机械泵安装在地面上，隔音罩的底面与地面完好接触，基本无缝隙，因此，机械泵位于完全封闭的空间内；同时，又由于机械泵与罩体100之间、管件与罩体100之间并无直接接触的关系，隔音件400能够发挥着优良的缓冲和隔音作用，因此，罩体100不会受到机械泵和管件的振动影响。

那么，当机械泵运行时，即使机械泵会发生剧烈的振动，并产生噪音，噪音也无法往外传播，并且，罩体100不会随机械泵和管件振动而振动并产生噪音，因此，本实施例提供的隔音罩能够同时解决机械泵因裸露在外面而存在的安全性问题以及机械泵和管件振动而引发的噪音污染问题。

在一些实施例中，罩体100通过一体成型工艺制成的。

在另一些实施例中，罩体100的结构包括有隔音板110。隔音板110的数量为多块，而且，所有的隔音板110采用可拆连接的方式，促使所有的隔音板110能够形成用于容纳机械泵的腔体。通孔设置在其中一块隔音板110上。

如此设置，工作人员可以根据机械泵的规格尺寸情况，选用一定数量的隔音板110，快速组装成罩体100，使得罩体100能完全罩着机械泵。可以理解的是，罩体100的腔体内不仅仅限于容纳一台机械泵。可拆连接方式可以为螺丝连接方式或卡扣连接方式。

在本实施例中，相邻两块隔音板110之间设置搭扣200，优选的，可以选用弹簧搭扣。通过搭扣200来建立两块隔音板110之间的连接关系，而且，对于工作人员来说，拆装隔音板110非常方便，无需借助辅助工具如螺丝刀。

进一步的，相邻两块隔音板110之间可以通过卯榫结构完成定位，并利用搭扣200建立有力的连接关系。

具体的，当罩体100呈方体状时，罩体100由五块隔音板110组成，其中，四块为侧板112，一块为顶板111。所有的侧板112与顶板111通过一定数量的搭扣200完成连接，相邻两块侧板112之间通过一定数量的搭扣200完成连接。进一步的，在相邻两块隔音板110之间可以设置有柔性的隔音件400，避免腔体内的噪音会经相邻两块隔音板110之间的缝隙向外传播，造成车间出现噪音污染的情况。

其中一块隔音板110不仅设置有用于供机械泵的管件通过的通孔，而且还设置有把手300。把手300的数量不限于一个或两个。当罩体100呈方体状时，通孔可以设置在顶板111或其中一块侧板112上，相应的，该顶板111或该侧板112安装有把手300，促使工作人员在机械泵维护工作中能够找到施力点，通过握着把手300，快速简便地完成隔音板110的拆装工作。当然，不排除所有的隔音板110都设置有把手300。

在一些实施例中，隔音板110的结构包括有穿孔板块115、蜂窝结构层116以及背面板块117。其中，穿孔板块115、蜂窝结构层116和背面板块117依次层叠设置并相互连接，而且，穿孔板块115靠近腔体设置，那么，背面板块117是远离腔体设置的，也即穿孔板块115为内板，背面板块117为外板。蜂窝结构层116可以为蜂窝状芯材或蜂窝棉层。

可以理解的是，采用上述结构的隔音板110，可以利用共振吸声原理，起到优良的吸声隔音效果。当然，不排除采用其他结构的隔音板110。

当蜂窝结构层116为蜂窝状芯材时，蜂窝结构层116的相对两侧面分别与穿孔板块115和背面板块117对应固定连接，比如通过胶水粘结。

当蜂窝结构层116为蜂窝棉层时，蜂窝结构层116可以直接置于穿孔板块115与背面板块117之间的空间，而且，穿孔板块115与背面板块117固定连接。可以理解的是，蜂窝棉层能够吸收射入的声波能量，对声波起到良好的衰减作用，尤其是对高频的吸收能力非常强，能够大幅提升隔音罩的吸音降噪效果。隔音效果能达到1米内低于85分贝。

在本实施例中，隔音板110的厚度可以为40mm至50mm。穿孔板块115为带圆孔118的不锈钢板。不锈钢板上的圆孔118的数量为多个，而且，采用阵列排布方式设置。蜂窝结构层116为黑色蜂窝棉块体。背面板块117为冷轧板。

在一些实施例中，在罩体100的下方设置有柔性的隔音件400，隔音件400与罩体100相互连接，并且，隔音件400能覆盖腔体的开口。隔音件400为隔音棉。

当机械泵安装在地面之前，可以在地面铺上一层隔音棉，完成机械泵安装工作后，将罩体100罩着机械泵，罩体100的底面与隔音棉相抵接，那么，隔音棉完全遮挡腔体的开口，能够防止腔体内的声波能量经地面传播开来，从而促进隔音效果达到更佳的水平。

另外，如图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种机械泵组件，机械泵组件的结构包括有泵体和上述实施例的隔音罩。

其中，泵体设置在隔音罩的腔体内，泵体设置有管件，管件穿设在隔音罩的安装孔，此时，管件的外径与安装孔的内径相吻合，也即柔性的隔音件400与管件良好接触，并无间隙。

可以理解的是，管件包括抽真空管500、电缆护管、法兰管或其他管道，需要延伸至隔音罩的腔体之外。

在一些实施例中，泵体为抽真空泵，泵体的数量为两个，并共同连接有一根抽真空管500，而且，两个泵体关于隔音罩呈对称设置。另外，泵体具有法兰管和电缆，其中，泵体的电缆可以套设有电缆护管。

对应的，罩体100上的通孔设有多个，分别为第一通孔120、第二通孔130和第三通孔140，其中，第一通孔120为法兰孔，第二通孔130为过线孔，第三通孔140为管道孔。那么，泵体的法兰管穿过第一通孔120设置，电缆护管穿过第二通孔130设置，抽真空管500穿过第三通孔140设置，如图1所示，只是示出了抽真空管500的安装情况。并且，在第一通孔120与法兰管之间的间隙填充有柔性的隔音件400，同样的，在第二通孔130与电缆护管之间的间隙以及第三通孔140与抽真空管500之间的间隙都填充有柔性的隔音件400。

可以理解的是，泵体的电缆是铺设在地面上的，因此，第二通孔130位于隔音板110的下部。在本实施例中，第二通孔130为半圆形孔。

另外，位于泵体前侧的隔音板110包括第一板块113和第二板块114，第一板块113位于第二板块114的下方，第一板块113的数量为两块。第一板块113和第二板块114都安装有把手300，第一板块113和第二板块114之间、两块第一板块113之间都是通过搭扣200实现连接，方便工作人员对第一板块113或第二板块114进行拆卸。第一板块113上设置有第一通孔120、第二通孔130和第三通孔140。

可以理解的是，泵体装入至隔音罩的腔体内，泵体与隔音罩之间并无直接接触，促使隔音罩与泵体为分体设计，并且，泵体上的管体与罩体100的通孔之间设置有柔性的隔音件400，如此设置，不仅能隔绝泵体振动带来的视觉效果，并能减少极大部分的噪音，解决了车间的噪音污染问题。

此外，本实用新型实施例还提供一种真空镀膜装置，真空镀膜装置的结构包括有上述实施例的机械泵组件以及真空腔室。

可以理解的是，机械泵组件的作用是对真空腔室进行抽真空处理，使得真空腔室的真空度能达到工作要求。真空腔室具有抽真空口，而机械泵组件中的泵体通过抽真空管500连接于抽真空口。

在机械泵组件中，由于隔音罩把泵体全罩起来，发挥着很好的隔音降噪作用，因此，在进行真空镀膜工作时，因泵体剧烈振动而产生的噪音无法传播至隔音罩的腔体之外，解决了泵体运行所引起的噪音污染问题，给予工作人员一个清静的工作环境，保护工作人员的听力。

以上对本实用新型的较佳实施方式进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出种种的等同变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (10)

1.一种隔音罩，其特征在于，包括罩体和柔性的隔音件，所述罩体具有能容纳机械泵的腔体，所述腔体的开口朝下设置，所述罩体设有与所述腔体连通的通孔，所述隔音件沿着所述通孔的内壁面设置，并形成能供机械泵的管件穿设的安装孔。

2.根据权利要求1所述的隔音罩，其特征在于，所述罩体包括隔音板；所述隔音板设有多块，所有的所述隔音板可拆连接，并形成所述腔体。

3.根据权利要求2所述的隔音罩，其特征在于，所述隔音板包括依次层叠连接的穿孔板块、蜂窝结构层和背面板块，所述穿孔板块靠近所述腔体设置。

4.根据权利要求3所述的隔音罩，其特征在于，所述蜂窝结构层为蜂窝棉层。

5.根据权利要求2所述的隔音罩，其特征在于，相邻两所述隔音板通过搭扣连接。

6.根据权利要求2所述的隔音罩，其特征在于，其中一所述隔音板设有把手和所述通孔。

7.根据权利要求1所述的隔音罩，其特征在于，所述罩体的下方设有所述隔音件，所述隔音件与所述罩体连接，并覆盖所述腔体的开口。

8.根据权利要求1所述的隔音罩，其特征在于，所述隔音件为隔音棉。

9.一种机械泵组件，其特征在于，包括泵体和如权利要求1至8任一所述的隔音罩，所述泵体设在所述腔体内，所述泵体设有管件，所述管件穿设在所述安装孔。

10.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括如权利要求9所述的机械泵组件。