CN219824436U - 可空管期间煅烧吹扫的扩散炉 - Google Patents

Abstract

本申请公开了可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，包括：扩散炉本体，所述扩散炉本体的一侧设置有炉盖，且扩散炉本体的底端安装有支架，所述支架内部一侧的上端安装有氮气进气管，且支架内部一侧的下端安装有氧气进气管，所述氮气进气管和氧气进气管的一侧安装有主流管。本申请可通过在出舟后将扩散炉升温，并通入氮气和氧气，将压力设置为600mbar，此时气体配合高温使得残留物从石英表面掉落下来，最终残留物被吹入收集箱内部收集，实现在扩散炉本体内部空管和工艺间隙下进行高温煅烧吹扫，保证扩散炉本体一直处于一个良好的状态，提高工作的效率，从而解决了需要在扩散炉状态恶化时才高温煅烧处理而降低工作效率的问题。

Description

可空管期间煅烧吹扫的扩散炉

技术领域

本申请涉及扩散炉技术领域，具体是可空管期间煅烧吹扫的扩散炉。

背景技术

扩散工序是太阳能电池车间的核心工序，将硅片放置在炉管内进行高温通源扩散，其原理是通过氮气携带磷源进入炉管内，并在高温下与氧气反应生成五氧化二磷，五氧化二磷再沉积到硅片表面形成磷单质，最后通过高温将表面磷扩散至内部形成PN结，扩散炉的扩散工艺在扩散炉管中完成，扩散炉管在炉口设有炉门，炉门在驱动机构的作用下可打开和关闭。扩散工艺前，炉门打开，送料机构(送料浆)将硅片送入扩散炉管内，然后送料浆退出，炉门关闭；接着开始扩散工艺过程，按照设定值进行升/降温，在两个工艺之间，均为常压恒温状态。

在目前生产过程中，由于来料污染、酸沉积、异常污染等问题，炉管底部受到污染后，炉管需要定期进行高温煅烧，以保证良率，在煅烧期间，无法进行正常生产，影响机台产出。

实用新型内容

本申请的目的在于提供可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，包括：扩散炉本体，所述扩散炉本体的一侧设置有炉盖，且扩散炉本体的底端安装有支架，所述支架内部一侧的上端安装有氮气进气管，且支架内部一侧的下端安装有氧气进气管，所述氮气进气管和氧气进气管的一侧安装有主流管，且主流管的一端贯穿扩散炉本体的底端，所述扩散炉本体底端的另一侧安装有排料管，且排料管的底端安装有收集箱，所述收集箱一侧的上端安装有出气管。

作为本申请进一步的方案：所述扩散炉本体内部的一侧安装有漏斗环，且漏斗环一侧的中间位置处开设有中孔。

作为本申请进一步的方案：所述扩散炉本体内部的另一侧安装有风环，且风环的一侧均匀开设有出气孔，所述风环的一端与主流管相连。

作为本申请进一步的方案：所述收集箱内部底端的一侧安装有料板，且料板一侧的收集箱内部安装有滤网。

作为本申请进一步的方案：所述料板的侧视形状为三角形，且料板两端的收集箱侧壁对应铰接有清理门。

与现有技术相比，本申请的有益效果是：

1、该可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，通过在出舟后，将扩散炉本体内的温度设置为800±100℃，通过氮气进气管、氧气进气管和主流管通入3000±1000sccm的氮气、3000±1000sccm的氧气，压力设置为600mbar，此时气体配合高温使得降低残留物在石英表面的附着力，诱发残留物从石英表面掉落下来，最终残留物被吹入收集箱内部收集，实现在扩散炉本体内部空管和工艺间隙下进行高温煅烧吹扫，保证扩散炉本体一直处于一个良好的状态，提高工作的效率，从而解决了需要在扩散炉状态恶化时才高温煅烧处理而降低工作效率的问题。

附图说明

图1为本申请的立体结构示意图。

图2为本申请的正视剖面结构示意图。

图3为本申请漏斗环的立体结构示意图。

图4为本申请料板的立体结构示意图。

图中：1、扩散炉本体；2、收集箱；3、清理门；4、支架；5、炉盖；6、排料管；7、出气管；8、滤网；9、料板；10、氮气进气管；11、氧气进气管；12、主流管；13、风环；14、出气孔；15、漏斗环；16、中孔。

具体实施方式

下面将结合本申请的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

实施例1

如图1-4，本实施例中的可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，包括：扩散炉本体1，扩散炉本体1的一侧设置有炉盖5，且扩散炉本体1的底端安装有支架4，支架4内部一侧的上端安装有氮气进气管10，且支架4内部一侧的下端安装有氧气进气管11，氮气进气管10和氧气进气管11的一侧安装有主流管12，且主流管12的一端贯穿扩散炉本体1的底端，扩散炉本体1底端的另一侧安装有排料管6，且排料管6的底端安装有收集箱2，收集箱2一侧的上端安装有出气管7。

如图2和图3，本实施例中的，扩散炉本体1内部的一侧安装有漏斗环15，且漏斗环15一侧的中间位置处开设有中孔16。

需要说明的是，残留物从中孔16吹出，并在漏斗环15的作用下进行隔离，便于将残留物排出。

如图2，本实施例中的，扩散炉本体1内部的另一侧安装有风环13，且风环13的一侧均匀开设有出气孔14，风环13的一端与主流管12相连。

需要说明的是，气体通过风环13和出气孔14均匀喷出作用在扩散炉本体1内壁，配合高温使得降低残留物在石英表面的附着力，诱发残留物从石英表面掉落下来。

如图2和图4，本实施例中的，收集箱2内部底端的一侧安装有料板9，且料板9一侧的收集箱2内部安装有滤网8。

需要说明的是，通过滤网8对残留物进行隔离，并配合料板9对残留物进行收集。

如图1、图2和图4，本实施例中的，料板9的侧视形状为三角形，且料板9两端的收集箱2侧壁对应铰接有清理门3。

需要说明的是，由于料板9的侧视形状为三角形，便于将残留物收集，可打开清理门3便于将残留物清理。

可以理解的是，该可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，能够在两个工艺的间隙中，也就是空管期间实现高温煅烧吹扫，能够很好的将残留物清理，使得扩散炉始终保证良好的状态，提高工作的效率。

上述实施例的工作原理为：

当第一批扩散工艺结束出舟时，通过外界控制器控制将扩散炉本体1内部的温度设置为750±100℃，并通过氮气进气管10和主流管12向扩散炉本体1内通入5000±1000sccm的氮气，压力设置为1060mbar，出舟后，在工艺结束前将扩散炉本体1内的温度设置为800±100℃，通过氮气进气管10、氧气进气管11和主流管12通入3000±1000sccm的氮气、3000±1000sccm的氧气，压力设置为600mbar，此时气体通过风环13和出气孔14均匀喷出作用在扩散炉本体1内壁，配合高温使得降低残留物在石英表面的附着力，诱发残留物从石英表面掉落下来，最终残留物通过中孔16落至收集箱2内部，高温的气体经过滤网8的过滤后从出气管7排出，工作结束后可打开清理门3进行清理，最终实现在扩散炉本体1内部空管的情况下进行高温煅烧吹扫，保证扩散炉本体1一直处于一个良好的状态。

对于本领域技术人员而言，显然本申请不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本申请的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本申请。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本申请的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本申请内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，包括：扩散炉本体（1），其特征在于：所述扩散炉本体（1）的一侧设置有炉盖（5），且扩散炉本体（1）的底端安装有支架（4），所述支架（4）内部一侧的上端安装有氮气进气管（10），且支架（4）内部一侧的下端安装有氧气进气管（11），所述氮气进气管（10）和氧气进气管（11）的一侧安装有主流管（12），且主流管（12）的一端贯穿扩散炉本体（1）的底端，所述扩散炉本体（1）底端的另一侧安装有排料管（6），且排料管（6）的底端安装有收集箱（2），所述收集箱（2）一侧的上端安装有出气管（7）。

2.根据权利要求1所述的可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，其特征在于：所述扩散炉本体（1）内部的一侧安装有漏斗环（15），且漏斗环（15）一侧的中间位置处开设有中孔（16）。

3.根据权利要求1所述的可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，其特征在于：所述扩散炉本体（1）内部的另一侧安装有风环（13），且风环（13）的一侧均匀开设有出气孔（14），所述风环（13）的一端与主流管（12）相连。

4.根据权利要求1所述的可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，其特征在于：所述收集箱（2）内部底端的一侧安装有料板（9），且料板（9）一侧的收集箱（2）内部安装有滤网（8）。

5.根据权利要求4所述的可空管期间煅烧吹扫的扩散炉，其特征在于：所述料板（9）的侧视形状为三角形，且料板（9）两端的收集箱（2）侧壁对应铰接有清理门（3）。