CN219808033U - 加料装置和晶体生长装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型开了一种加料装置和晶体生长装置，加料装置包括加料管、阀体和遮挡组件，阀体可运动地设于出料口处以开关出料口，且在阀体运动至打开出料口的位置时，阀体的外周沿与出料口的外周沿上下至少部分间隔以限定出预设出料区，遮挡组件包括至少一个遮挡件，遮挡件可运动地设于加料管的底部，且遮挡组件具有遮挡位置，在遮挡位置时，在预设平面上，遮挡件的正投影位于阀体的正投影外轮廓外侧，遮挡组件位于预设出料区的径向外侧、遮挡组件的邻近加料管中心轴线的一端高于预设出料区的下边沿，预设平面与加料管的中心轴线垂直。加料装置可以将加料时飞溅的物料与周边热场隔开，以提升热场使用寿命。

Description

加料装置和晶体生长装置

技术领域

本实用新型涉及长晶技术领域，尤其是涉及一种加料装置和晶体生长装置。

背景技术

相关技术中，使用CZ法(Czochralski，直拉单晶制造法)长晶时，首先利用籽晶接触熔汤，然后调节加热器的功率，在达到结晶温度时，利用单晶炉顶部的提拉轴向上上升籽晶，籽晶与熔汤接触的固液界面处液态硅冷却为固态晶体，从而生长出单晶硅棒。

其中，利用晶体生长装置在生产过程中，由于坩埚容量有限，通常需要采用二次加料器进行二次加料。在加料过程中，难免发生物料飞溅，飞溅的物料对周边热场尤其是导流筒(导流筒是热场的其中一个部件)造成污染，降低热场使用寿命。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种加料装置，所述加料装置可以将加料时飞溅的物料与周边热场隔开，以提升热场使用寿命。

本实用新型还提出一种具有上述加料装置的晶体生长装置。

根据本实用新型第一方面实施例的加料装置，包括：加料管，所述加料管的下端限定出出料口；阀体，所述阀体可运动地设于所述出料口处以开关所述出料口，且在所述阀体运动至打开所述出料口的位置时，所述阀体的外周沿与所述出料口的外周沿上下至少部分间隔以限定出预设出料区；遮挡组件，所述遮挡组件包括至少一个遮挡件，所述遮挡件可运动地设于所述加料管的底部，且所述遮挡组件具有遮挡位置，在所述遮挡位置时，在预设平面上，所述遮挡件的正投影位于所述阀体的正投影外轮廓外侧，所述遮挡组件位于所述预设出料区的径向外侧、所述遮挡组件的邻近所述加料管中心轴线的一端高于所述预设出料区的下边沿，所述预设平面与所述加料管的中心轴线垂直。

根据本实用新型实施例的加料装置，通过设置遮挡组件，使得处于遮挡位置的遮挡组件能将预设出料区的下边沿与周边热场隔开，从而遮挡组件便于将加料时飞溅的物料与周边热场隔开，以有效减少加料过程中因物料飞溅而附着在周边热场上的物料、甚至避免加料过程中因物料飞溅而导致物料附着在周边热场上，保证周边热场的使用可靠性和使用寿命。

在一些实施例中，所述加料管包括管体部和安装部，所述安装部环设于所述管体部的外周壁，所述安装部上设有多个安装孔，多个所述安装孔沿所述管体部的周向间隔设置，所述遮挡件可活动地设于所述安装孔，所述预设出料区构造成沿所述出料口的周向延伸为弧形或环形。

在一些实施例中，当所述预设出料区构造成沿所述出料口的周向延伸为弧形时，所述加料装置还包括：限位机构，所述限位机构用于调节并锁定所述预设出料区在所述加料管周向上的位置，所述遮挡件在所述加料管周向上的位置可调。

在一些实施例中，所述加料管上设有导向件，所述导向件形成有通孔，所述阀体上设有拉杆，所述拉杆可移动地穿设于所述通孔以用于带动所述阀体上下移动，所述限位机构包括限位件和多个限位槽，所述限位件设在所述拉杆的外周壁上，多个所述限位槽均形成在所述通孔的周壁上且沿所述通孔的周向间隔设置，在上下方向上，所述限位件的长度大于所述导向件的厚度且小于所述拉杆的长度，且所述限位件可与任一所述限位槽周向限位配合，所述遮挡件可设于任一所述安装孔以与所述预设出料区对应。

在一些实施例中，所述遮挡件为多个，在所述遮挡位置，多个所述遮挡件沿所述加料管的周向依次设置，且在所述预设平面上，相邻两个所述遮挡件的正投影部分重叠以形成重叠区域，所述重叠区域与所述加料管在所述预设平面上的正投影相交。

在一些实施例中，所述遮挡件与所述加料管转动相连，且所述遮挡件的转动轴线与所述加料管的中心轴线平行，多个所述遮挡件的转动轴线沿所述加料管的周向间隔设置，所述遮挡件的外周沿具有预设点，所述预设点与所述遮挡件的转动轴线之间的距离大于所述遮挡件的外周沿的其余部分上任意点与所述遮挡件的转动轴线之间的距离，在所述遮挡位置，在所述预设平面上，所述预设点的正投影、所述遮挡件的转动轴线的正投影和所述加料管的中心轴线的正投影位于同一直线，且所述遮挡件的正投影与所述阀体的正投影间隔设置。

在一些实施例中，所述遮挡件的转动轴线与所述加料管的中心轴线之间的间距为R，D₁/2＜R＜D₂/2，D₁为所述加料管的内径，D₂为所述加料管的最大外径；和/或，在所述预设平面上，以所述加料管的中心轴线的正投影为圆心，相邻两个所述遮挡件的转动轴线的正投影对应的圆心角为α，0.5*arccos(R_min/D₂)≤α/2≤arccos(R_min/D₂)，D₂为所述加料管的最大直径，R_min为多个所述遮挡件的转动轴线与所述加料管的中心轴线之间的间距的最小值。

在一些实施例中，所述阀体可上下移动，且所述阀体的上表面为斜面，所述斜面具有相对于竖直方向倾斜延伸的中心线，在所述预设平面上，所述中心线的正投影与预设夹角的角平分线的正投影部分重叠，其中，在所述预设平面上，以所述加料管的中心轴线的正投影为圆心，处于所述遮挡位置时的所述遮挡组件的最外侧的两个所述遮挡件的转动轴线的正投影对应的圆心角为所述预设夹角。

在一些实施例中，所述遮挡组件还具有收纳位置，在所述收纳位置，多个所述遮挡件上下层叠设置且均位于处于关闭所述出料口位置的所述阀体的下方，且所述遮挡件在所述预设平面上的正投影位于所述加料管在所述预设平面上的正投影外轮廓内，所述阀体处于关闭所述出料口的位置且所述遮挡组件处于所述收纳位置时，最上方的所述遮挡件与所述阀体之间的间距为a，0＜a＜10mm，相邻两个所述遮挡件之间的间距为b，5mm＜b＜30mm。

根据本实用新型第二方面实施例的晶体生长装置，包括：坩埚和导流筒，所述导流筒设于所述坩埚的上侧；加料装置，所述加料装置为根据本实用新型上述第一方面实施例的加料装置，所述加料装置适于设于所述导流筒的径向内侧且用于向所述坩埚内加料，在所述遮挡位置，所述遮挡组件的外周沿与所述加料管的中心轴线之间的最大距离小于所述坩埚的半径，且所述遮挡组件将所述预设出料区的下边沿与所述导流筒隔开。

根据本实用新型实施例的晶体生长装置，通过设置遮挡组件，使得处于遮挡位置的遮挡组件能将预设出料区的下边沿与周边热场隔开，从而遮挡组件便于将加料时飞溅的物料与周边热场隔开，以有效减少加料过程中因物料飞溅而附着在周边热场上的物料、甚至避免加料过程中因物料飞溅而导致物料附着在周边热场上，保证周边热场的使用可靠性和使用寿命。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型一个实施例的加料装置的剖视图，遮挡组件处于收纳位置，剖视位置偏离于阀体斜面的中心线；

图2是图1中所示的加料装置的另一个剖视图，遮挡组件处于遮挡位置，剖视位置偏离于阀体斜面的中心线；

图3是图1中所示的加料装置的俯视图；

图4是图1中所示的加料装置的仰视图；

图5是图2中所示的加料管和遮挡组件的仰视图；

图6是图5中所示的遮挡组件在预设平面上的正投影示意图；

图7是根据本实用新型一个实施例的晶体生长装置的示意图。

附图标记：

晶体生长装置200、坩埚101、导流筒102、

加料装置100、预设出料区100a、

加料管1、出料口10、管体部11、安装部12、安装孔120、第一法兰部121、第二法兰部122、

阀体2、斜面2a、减重槽2c、

遮挡组件3、遮挡件31、第一遮挡件311、第二遮挡件312、

第一区域Ω1、第二区域Ω2、重叠区域Ω3、

限位机构4、限位件41、限位槽42、

导向件5、通孔5a、穿孔5b、加料口5c、

拉杆6、旋转杆7。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

下面，参考附图描述根据本实用新型实施例的加料装置100。

如图1和图2所示，加料装置100包括加料管1和阀体2，加料管1的下端限定出出料口10，阀体2可运动地设于出料口10处以开关出料口10，则阀体2打开出料口10时，加料管1内的物料可以通过出料口10流出以实现加料，阀体2关闭出料口10时，加料管1内的物料无法通过出料流出，此时加料停止。其中，在阀体2运动至打开出料口10的位置时，阀体2的外周沿与出料口10的外周沿上下至少部分间隔以限定出预设出料区100a，此时加料管1内的物料仅能通过预设出料区100a流出以实现加料。

可以理解的是，预设出料区100a可以由阀体2的外周沿的一部分与出料口10的外周沿的一部分上下间隔开以限定出；或者，预设出料区100a还可以由阀体2的整个外周沿与出料口10的整个外周沿上下间隔开以限定出。可见，预设出料区100a可以基本位于出料口10的外周沿的下侧，阀体2打开出料口10时，加料管1内的物料先通过出料口10并在阀体2的作用下流向预设出料区100a，并实现出料。

如图1和图2所示，加料装置100还包括遮挡组件3，遮挡组件3包括至少一个遮挡件31，遮挡件31可运动地设于加料管1的底部；遮挡组件3具有遮挡位置(如图2、图5和图7所示)，在遮挡位置时，在预设平面上，遮挡件31的正投影位于阀体2的正投影外轮廓外侧，且遮挡组件3位于预设出料区100a的径向外侧、遮挡组件3的邻近加料管1中心轴线L1的一端高于预设出料区100a的下边沿，预设平面与加料管1的中心轴线L1垂直。

在本申请下面的描述中，以加料管1的中心轴线L1竖直设置、预设平面水平设置为例进行说明，本领域技术人员容易理解加料管1的中心轴线L1相对于竖直方向倾斜一定角度的实施方案，此时预设平面可以相对于水平面倾斜一定角度。

显然，在遮挡位置时，遮挡件31不易与阀体2干涉，便于阀体2开关出料口10，以控制出料，同时当阀体2打开出料口10时，由于遮挡组件3的邻近加料管1中心轴线L1的一端高于预设出料区100a的下边沿，则通过出料口10的物料可以流向预设出料区100a的下边沿，处于遮挡位置的遮挡组件3不会阻挡物料自预设出料区100a流出，以便实现加料装置100的正常加料操作，而且由于遮挡组件3位于预设出料区100a的径向外侧，则在加料管1的径向上、遮挡组件3位于预设出料区100a的外侧，遮挡组件3具有一定的遮挡范围，那么物料自预设出料口10流至盛料装置(例如后文所述的坩埚101等)时引起的飞溅可以在一定程度上被遮挡组件3在加料管1周向和径向上遮挡，以便避免飞溅的物料附着至盛料装置周围的部件(例如后文所述的导流筒102等)上而影响工艺；当然，即使物料在预设出料区100a具有一定的水平初始速度，使得物料流至盛料装置中的落料位置与加料管1的中心轴线L1具有一定距离，本申请中遮挡组件3的设置也可以对加料时引起的飞溅物料在加料管1周向和径向上均能进行遮挡。

其中，在预设平面上，遮挡组件3处于遮挡位置时遮挡件31的正投影位于阀体2的正投影外轮廓外侧，可以理解为，遮挡组件3处于遮挡位置时，在预设平面上，遮挡件31的正投影位于阀体2在阀体2的运动范围内任意位置的正投影外轮廓外侧，便于使得处于遮挡位置的遮挡组件3不会影响阀体2在其运动范围内的任意运动，那么遮挡组件3处于遮挡位置时，阀体2可以自打开出料口10的位置运动至关闭出料口10的位置、也可以自关闭出料口10的位置运动至打开出料口10的位置等；而预设出料区100a的下边沿可以理解为预设出料区100a的最低位置，那么预设出料区100a的下边沿可以形成在阀体2的外周沿上。

由此，加料装置100在使用时，可以在保持阀体2关闭出料口10的情况下，将遮挡组件3切换至遮挡位置，而后再将阀体2切换至打开出料口10的位置，此时阀体2的外周沿与出料口10的外周沿之间形成预设出料区100a，遮挡组件3位于预设出料区100a的径向外侧且遮挡组件3的邻近加料管1中心轴线L1的一端高于预设出料区100a的下边沿，实现正常出料、加料。

例如，加料装置100用于晶体生长装置200时，晶体生长装置200的导流筒102设于坩埚101的上侧，加料装置100可以设于坩埚101的上侧并向坩埚101内加料，此时加料管1可以设于导流筒102的径向内侧，处于遮挡位置的遮挡组件3能将预设出料区100a的下边沿与导流筒102隔开，从而遮挡组件3便于将加料时飞溅的物料与坩埚101周边热场例如导流筒102等隔开，以有效减少加料过程中因物料飞溅而附着在周边热场上的物料、甚至避免加料过程中因物料飞溅而导致物料附着在周边热场上，保证周边热场的使用可靠性和使用寿命，同时也可以降低附着在导流筒102上的物料掉落后污染单晶硅棒，进而提升长晶可靠性。当然，加料装置100还可以用于其他需要加料且需要遮挡物料飞溅的装置中，处于遮挡位置的遮挡组件3用于将预设出料区100a的下边沿与加料装置100的周边部件隔开。

在本实用新型的一个示例中，遮挡组件3位于遮挡位置时，导流筒102底部的与预设出料区100a正对区域的正投影位于遮挡组件3的正投影的范围内。由此，通过预设出料区100a落入到熔汤时，溅起的物料可以被遮挡组件3遮挡，避免物料飞溅至导流筒102的底部。

根据本实用新型实施例的加料装置100，通过设置遮挡组件3，使得处于遮挡位置的遮挡组件3能将预设出料区100a的下边沿与周边热场隔开，从而遮挡组件3便于将加料时飞溅的物料与周边热场隔开，以有效减少加料过程中因物料飞溅而附着在周边热场上的物料、甚至避免加料过程中因物料飞溅而导致物料附着在周边热场上，保证周边热场的使用可靠性和使用寿命，同时也可以降低附着在导流筒102上的物料掉落后污染单晶硅棒，进而提升长晶可靠性。

在本申请的描述中，“轴向”是指加料管1的中心轴线L1的延伸方向，“周向”是指绕加料管1中心轴线L1的方向，“径向”是指在径向平面内通过加料管1中心轴线L1的方向，径向平面与加料管1的中心轴线L1垂直。

可以理解的是，遮挡件31的材质可以根据加料装置100内设置的物料具体选取；示例性地，加料装置100用于实现硅料的添加，遮挡件31可以为石英件，以避免对硅液造成污染。

可选地，在图2和图5的示例中，遮挡件31形成为平板结构，在遮挡位置时，遮挡件31可以与加料管1的中心轴线L1垂直布置，以便使得遮挡件31在预设平面上的正投影面积较大，以有利于提升遮挡件31的遮挡范围，便于适当节省加料装置100加料过程中的占用空间；当然，在本申请其他示例中，形成为平板结构的遮挡件31还可以在遮挡位置时相对于加料管1的中心轴线L1倾斜布置。

此外，遮挡件31的结构不限于此，例如遮挡件31还可以形成为曲面板等结构；换言之，遮挡件31的下表面可以形成为遮挡面，遮挡面可以为平面或曲面，遮挡面可以水平设置、也可以倾斜设置。

可选地，如图1所示，遮挡件31形成为等厚平板结构，遮挡件31的厚度为t，5mm＜t＜50mm，以便同时兼顾遮挡件31的结构强度和遮挡组件3的占用空间，即在保证遮挡件31结构强度的同时，又不会使得遮挡件31占用空间过大而易造成空间浪费。

可以理解的是，当遮挡件31为多个时，多个遮挡件31的形状、尺寸可以相同或不同；例如，多个遮挡件31均为等厚平板结构时，多个遮挡件31的厚度可以相等或不等。当然，遮挡件31还可以形成为非等厚结构。

在一些实施例中，如图1、图2和图5所示，加料管1包括管体部11和安装部12，管体部11的下端限定出出料口10，安装部12环设于管体部11的外周壁，则安装部12可以形成为环状结构，便于在一定程度上提升管体部11的结构强度和结构稳定性；安装部12上设有多个安装孔120，多个安装孔120沿管体部11的周向间隔设置，遮挡件31可活动地设于安装孔120，便于实现遮挡件31与加料管1的活动连接，同时遮挡件31与加料管1的连接位置不会遮挡出料口10影响出料。

其中，预设出料区100a构造成沿出料口10的周向延伸为弧形或环形，则预设出料区100a的设置较为灵活，便于实现阀体2结构、以及阀体2运动方式的灵活设置。例如，预设出料区100a构造成沿出料口10的周向延伸为弧形时，处于打开出料口10位置的阀体2的部分外周沿与出料口10的部分外周沿上下间隔以限定出预设出料区100a，此时处于遮挡位置的遮挡组件3在预设平面上的正投影可以形成为环形、或处于遮挡位置的遮挡组件3在预设平面上的正投影形成为与预设出料区100a径向相对的弧形，只需使得处于遮挡位置的遮挡组件3的遮挡范围与自预设出料区100a流出的物料的落料位置对应的飞溅范围相匹配即可，从而使得遮挡组件3可以将飞溅范围与周围热场隔开；预设出料区100a构造成沿出料口10的周向延伸为环形时，处于打开出料口10位置的阀体2的整个外周沿与出料口10的整个外周沿上下间隔以限定出预设出料区100a，此时处于遮挡位置的遮挡组件3在预设平面上的正投影可以形成为环形，遮挡组件3的遮挡范围为环形，以便使遮挡范围与落料位置处的飞溅范围匹配。

可以理解的是，在本申请上述实施例中，预设出料区100a无论是构造成沿出料口10的周向延伸为弧形，还是构造成沿出料口10的周向延伸为环形，遮挡件31的数量都可以小于或等于安装孔120的数量。

可选地，在图1和图2的示例中，安装部12包括沿轴向间隔设置的第一法兰部121和第二法兰部122，第一法兰部121上形成有第一孔，第二法兰部122上形成有第二孔，第一孔和第二孔上下相对设置且构成安装孔120；当遮挡件31与加料管1转动相连时，每个遮挡件31分别通过旋转杆7与安装孔120枢转配合，即旋转杆7穿设于安装孔120且旋转杆7与安装孔120枢转配合，旋转杆7可以带动遮挡件31绕枢转中心轴线(即遮挡件31的转动轴线L2)转动。其中，旋转杆7的上端适于与第一驱动装置相连以实现遮挡件31的转动，则第一驱动装置距离出料口10较远，在加料装置100用于对高温盛料装置进行加料时，第一驱动装置距离盛料装置较远，有利于减小高温对第一驱动装置的影响，提升第一驱动装置的使用寿命。

在一些实施例中，如图1-图3所示，当预设出料区100a构造成沿出料口10的周向延伸为弧形时，加料装置100还包括限位机构4，限位机构4用于调节并锁定预设出料区100a在加料管1周向上的位置，遮挡件31在加料管1周向上的位置可调。

例如，阀体2的部分外周沿为预设边沿，阀体2打开出料口10时，预设边沿与出料口10的外周沿上下间隔以限定出预设出料区100a，则预设边缘在出料口10周向上的位置就决定了预设出料区100a在出料口10周向上的位置，此时限位机构4可以用于调节并锁定预设边沿在加料管1周向上的位置；而遮挡件31在加料管1周向上的位置可调，则在加料管1的周向上，遮挡件31的位置可以根据预设边沿的位置确定，使得遮挡组件3位于预设出料区100a的径向外侧，以使遮挡范围与预设出料区100a所在位置对应的加料时的物料飞溅范围对应，从而达到遮挡组件3将飞溅的物料与周围部件隔开的目的。

由此，本申请通过设置限位机构4，以调节预设出料区100a在加料管1周向上的位置，从而便于避免预设出料区100a长期处于同一位置易使得物料对管体部11的同一位置区域产生磨损，则在加料装置100使用一段时间后，调节预设出料区100a在加料管1周向上的位置，从而调节流动的物料与管体部11的接触位置，继而减轻管体部11的磨损，有利于延长加料管1的使用寿命。

示例性地，在图1、图2和图5的示例中，预设出料区100a构造成沿出料口10的周向延伸为弧形，且处于遮挡位置的遮挡组件3在预设平面上的正投影形成为与预设出料区100a径向相对的弧形，加料装置100使用时，可以先通过限位机构4将预设边沿调节至合适的第一位置并锁定，阀体2无法转动，阀体2打开出料口10时预设出料区100a位于与第一位置对应的位置，遮挡件31设于与预设边沿对应的安装孔120，使得预设出料区100a和位于遮挡位置的遮挡组件3径向相对；加料装置100使用一段时间后，通过限位机构4转动阀体2以使预设边沿沿加料管1的周向运动至合适的第二位置位置并锁定，阀体2无法转动，阀体2打开出料口10时预设出料区100a位于与第二位置对应的位置，此时改变遮挡件31的周向位置，使得预设出料区100a和位于遮挡位置的遮挡组件3径向相对；如此循环。

可以理解的是，限位机构4能调节的预设出料区100a的周向位置范围、以及限位机构4单次调节预设出料区100a的周向位置所对应的阀体2转动角度都可以根据实际需求具体设置。示例性地，对于加料管1的一整圈而言，预设出料区100a的周向位置可以经限位机构4多次依次调节后再次回到初始位置，多次调节后阀体2相对于初始位置转动了360°的转动角度，多次调节时阀体2的转动角度可以相等或不等；当然，限位机构4还可以构造成在小于360°的阀体2转动范围内调节预设出料区100a的周向位置。

需要说明的是，本申请的描述中，“弧形”应作广义理解，可以指沿加料管1的周向延伸为长条形的形状，不限于圆弧或椭圆弧。

在一些实施例中，如图1-图3所示，加料管1上设有导向件5，导向件5形成有通孔5a，阀体2上设有拉杆6，拉杆6可移动地穿设于通孔5a以用于带动阀体2上下移动，便于使得在预设平面上、阀体2在其运动范围内的任意位置的正投影范围均基本相同，有利于节省阀体2运动时在预设平面上的各个方向上的占用空间，从而有利于降低加料管1对使用场景的限制需求，提升适用性。

示例性地，在图1-图3的示例中，导向件5设于加料管1的顶部，拉杆6穿设于通孔5a，拉杆6的上端伸出通孔5a，且拉杆6的上端适于与第二驱动装置相连以实现阀体2的上下移动，则第二驱动装置距离出料口10较远，在加料装置100用于对高温盛料装置进行加料时，第二驱动装置距离盛料装置较远，有利于减小高温对第二驱动装置的影响，提升第二驱动装置的使用寿命。当然，导向件5在上下方向上的位置不限于加料管1的顶部。

进一步地，导向件5还形成有多个穿孔5b，多个穿孔5b与安装部12上的多个安装孔120一一上下相对设置；当遮挡件31通过旋转杆7安装于安装孔120时，旋转杆7还可以穿设于穿孔5b，此时导向件5也可以对旋转杆7起到一定限位作用，以提升旋转杆7的运动稳定性。

可选地，在图1和图2的示例中，阀体2的下侧形成有减重槽2c，减重槽2c的底壁形成有安装孔，减重槽2c内设有止挡件，止挡件止抵于减重槽2c的底壁，拉杆6穿设于安装孔且拉杆与止挡件固定相连。

如图1-图3所示，限位机构4包括限位件41和多个限位槽42，限位件41设在拉杆6的外周壁上，多个限位槽42均形成在通孔5a的周壁上，且多个限位槽42沿通孔5a的周向间隔设置，每个限位槽42可以由通孔5a的周壁向外凹入形成；在上下方向上，限位件41的长度大于导向件5的厚度，且限位件41的长度小于拉杆6的长度，且限位件41可与任一限位槽42周向限位配合。

可见，当限位件41配合于限位槽42时，限位机构4实现了拉杆6的周向限位，使得限位机构4可以通过拉杆6锁定预设出料区100a在加料管1周向上的位置，同时当需要通过限位机构4调节预设出料区100a的周向位置时，由于限位件41的长度大于限位槽42在上下方向上的长度且小于拉杆6的长度，可以将拉杆6上移至某一高度位置，使得限位件41与对应限位槽42脱离配合，此时转动拉杆6以带动阀体2转动，改变预设边沿的周向位置，从而改变预设出料区100a的周向位置，直至限位件41处于与预设出料区100a的目标位置对应的限位槽42的正上方时，再将拉杆6下移使得限位件41与目标限位槽42限位配合，实现对调节后的预设出料区100a的周向位置的锁定。当然，在调节预设出料区100a的周向位置过程中，还可以先将拉杆6下移至某一高度位置以使限位件41与对应限位槽42脱离配合，并在转动拉杆6后，再将拉杆6上移使得限位件41与目标限位槽42限位配合。

此外，限位件41的长度大于导向件5的厚度，不仅便于实现限位机构4的调节锁定，还便于保证在阀体2开关出料口10以控制正常加料的整个运动过程中，限位件41与对应限位槽42始终限位配合，以便保证阀体2移动稳定。可见，限位件41在上下方向上的位置与导向件5在上下方向上的位置相关。

其中，遮挡件31可设于任一安装孔120以与预设出料区100a对应，则遮挡件31与安装孔120可拆卸配合，遮挡件31可以通过设于不同的安装孔120来调节其周向位置，便于简化遮挡件31与加料管1之间的配合。

当然，遮挡件31在加料管1周向上位置的调节方式不限于此；例如，安装部12与管体部11转动配合，此时可以通过安装部12相对于管体部11转动来改变遮挡件31的周向位置，可以节省遮挡件31的拆装操作。

在一些实施例中，如图2、图5和图6所示，遮挡件31为多个，在遮挡位置，多个遮挡件31沿加料管1的周向依次设置，且在预设平面上，相邻两个遮挡件31的正投影部分重叠以形成重叠区域Ω3，以便保证遮挡组件3在预设平面上的正投影在加料管1周向上连续，从而便于提升遮挡组件3在加料管1周向上的遮挡效果，有利于避免因相邻两个遮挡件31的正投影之间存在间隙而易导致飞溅的物料通过该间隙附着在周围部件上。

其中，重叠区域Ω3与加料管1在预设平面上的正投影相交，便于使得遮挡组件3在预设平面上的正投影不会与加料管1的外轮廓之间存在间隔，尤其是当加料管1的外轮廓、遮挡件31的外轮廓均具有圆弧形的情况下，有利于提升遮挡组件3在加料管1径向上的遮挡效果，以避免因遮挡组件3的正投影与加料管1的正投影之间存在间隙而易导致飞溅的物料通过该间隙附着在周围部件上。

下面以遮挡件31为两个为例进行说明，本领域技术人员在阅读了下面的描述后，容易理解遮挡件31为三个或三个以上的实施方案。

如图2、图5和图6所示，两个遮挡件31分别为第一遮挡件311和第二遮挡件312，在遮挡位置，第一遮挡件311和第二遮挡件312沿周向依次设置，且在预设平面上，第一遮挡件311的正投影对应第一区域Ω1，第二遮挡件312的正投影对应第二区域Ω2，第一区域Ω1和第二区域Ω2部分重叠以形成重叠区域Ω3，加料管1在预设平面上的正投影可以对应第三区域，重叠区域Ω3与第三区域存在交集，该交集可以是一个点(如图5和图6所示)、也可以是一个区域，即交集非空。

当然，在本申请其他实施例中，遮挡组件3还可以包括一个遮挡件31，以便简化加料装置100的结构。

在一些实施例中，如图1、图2和图5所示，遮挡件31与加料管1转动相连，且遮挡件31的转动轴线L2与加料管1的中心轴线L1平行，多个遮挡件31的转动轴线L2沿加料管1的周向间隔设置，遮挡件31的外周沿具有预设点，预设点与遮挡件31的转动轴线L2之间的距离大于遮挡件31的外周沿的其余部分上任意点与遮挡件31的转动轴线L2之间的距离，则预设点可以理解为遮挡件31的外周沿上与遮挡件31的转动轴线L2相距最远的点。

其中，在遮挡位置，在预设平面上，预设点的正投影P、遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2和加料管1的中心轴线L1的正投影O1位于同一直线，以便提升处于遮挡位置的遮挡组件3在加料管1径向上的遮挡范围，从而进一步提升遮挡组件3在加料管1径向上的遮挡效果；而且，在遮挡位置，遮挡件31的正投影与阀体2的正投影间隔设置，以便进一步避免遮挡件31与阀体2发生干涉。

例如，在图1、图2和图5的示例中，加料管1形成为圆管，遮挡件31形成为圆形平板结构，遮挡件31的转动轴线L2与遮挡件31的中心轴线间隔设置，且在预设平面上，预设点的正投影P与遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2关于遮挡件31的中心轴线对称，也就是说，在预设平面上，预设点的正投影P、遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2和遮挡件31的中心轴线的正投影位于同一直线上；在遮挡位置，加料管1的中心轴线L1的正投影O1位于遮挡件31的正投影外轮廓外侧，且在预设平面上，预设点的正投影P和遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2均位于连接加料管1的中心轴线L1的正投影O1和遮挡件31的中心轴线的正投影的直线上，以便最大化地利用遮挡件31，使得处于遮挡位置的遮挡组件3具有良好的遮挡效果。

在一些实施例中，如图1、图2和图5所示，遮挡件31的转动轴线L2与加料管1的中心轴线L1之间的间距为R，D₁/2＜R＜D₂/2，R可以为D₁/2～D₂/2范围内的任意数值，D₁为加料管1的内径，D₂为加料管1的最大外径，而出料口10的直径与加料管1的内径基本相当，以便避免在遮挡位置时遮挡件31遮挡出料口10而影响出料效率，同时在预设平面上，遮挡件31的正投影与加料管1的正投影存在重叠部分，以便遮挡件31与加料管1的组装；和/或，在预设平面上，以加料管1的中心轴线L1的正投影O1为圆心，相邻两个遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2对应的圆心角为α，0.5*arccos(R_min/D₂)≤α/2≤arccos(R_min/D₂)，α/2可以为0.5*arccos(R_min/D₂)～arccos(R_min/D₂)范围内的任意数值，D₂为加料管1的最大直径，R_min为多个遮挡件31的转动轴线L2与加料管1的中心轴线L1之间的间距的最小值，以避免α过小以使得相邻两个遮挡件31在预设平面上的正投影对应的重叠区域Ω3的面积较大，而降低遮挡组件3的遮挡范围和遮挡效果，同时还可以避免α过大使得相邻遮挡件31之间和/或遮挡组件3与加料管1之间易存在空隙，而降低遮挡组件3的遮挡效果。

可以理解的是，遮挡件31为n个，n≥2，多个遮挡件31的转动轴线L2与加料管1的中心轴线L1之间的间距为依次为R₁、R₂、…、R_n，则R_min＝{R₁，R₂，…，R_n}。显然，R₁、R₂、…、R_n可以相等、或至少两个不等。

本申请中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本申请中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在一些实施例中，如图1、图2和图5所示，阀体2可上下移动，以节省阀体2所需的运动空间，同时便于有效保证处于遮挡位置的遮挡组件3不会与处于运动范围内任意位置的阀体2发生干涉；阀体2的上表面为斜面2a，斜面2a具有相对于竖直方向倾斜延伸的中心线，中心线可以指示斜面2a的倾斜方向，阀体2打开出料口10时物料在斜面2a的引导下趋于沿中心线的延伸方向朝向预设出料区100a的下边沿流动；在预设平面上，中心线的正投影与预设夹角的角平分线的正投影(如图5中所示的投影线L)部分重叠，也就是说，在预设平面上，中心线的正投影与预设夹角的角平分线的正投影位于同一直线上，其中，在预设平面上，以加料管1的中心轴线L1的正投影O1为圆心，处于遮挡位置时的遮挡组件3的最外侧的两个遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2对应的圆心角为预设夹角。

由此，在预设平面上，便于使得中心线的正投影与处于遮挡位置的遮挡组件3的正投影在周向上的中心区域径向相对，从而便于使得遮挡组件3形成的遮挡范围可以基本以物料的出料位置/或落料位置为中心径向向外扩展、同时以物料的出料位置/或落料位置为中心周向向两侧扩展，提升遮挡效果。

显然，当遮挡件31为两个时，在预设平面上，以加料管1的中心轴线L1的正投影O1为圆心，该两个遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2对应的圆心角即为预设夹角；当遮挡件31为m个，m≥3时，该多个遮挡件31分别为沿周向依次设置的第一遮挡件311、第二遮挡件312、…第m遮挡件，在预设平面上，以加料管1的中心轴线L1的正投影O1为圆心，第一遮挡件311的转动轴线L2的正投影O2和第m遮挡件的转动轴线L2的正投影O2对应于其余遮挡件32所在一侧的圆心角即为预设夹角。

可以理解的是，阀体2上下移动，如果预设出料区100a构成早沿出料口10的周向延伸为弧形，则阀体2打开出料口10时，阀体2的一部分位于遮挡组件3的下方，阀体2还有一部分位于遮挡组件3的上方以用于关闭出料口10的部分区域，此时未被关闭的出料口10的另一部分区域与预设出料区100a连通，物料在斜面2a的引导下沿中心线延伸方向朝向预设出料区100a的下边沿流动，并实现出料。

当然，阀体2的设置不限于此；在本申请其他实施例中，阀体2可以包括本体和开关门，本体和开关门转动相连，开关门具有打开位置和关闭位置，在打开位置，开关门打开出料口10的一部分，在关闭位置，本体和开关门共同关闭出料口10，此时预设出料区100a的下边沿形成在开关门的外周沿上；开关门运动至打开位置时，开关门的一部分位于遮挡组件3的下方，开关门还有一部分位于遮挡组件3的上方以与本体配合，物料在开关门的引导下向下流向预设出料区100a的下边沿；开关门的转动轴线与加料管1的中心轴线L1垂直时，开关门运动所需空间较小，便于有效保证处于遮挡位置的遮挡组件3不会与处于运动范围内任意位置的开关门发生干涉。

在一些实施例中，如图1、图3和图4所示，遮挡组件3还具有收纳位置，在收纳位置，多个遮挡件31上下层叠设置，且多个遮挡件31均位于处于关闭出料口10位置的阀体2的下方，且遮挡件31在预设平面上的正投影位于加料管1在预设平面上的正投影外轮廓内，则遮挡件31在预设平面上的正投影并未伸出加料管1在预设平面上的正投影外轮廓外，以减小遮挡组件3在收纳位置时的占用空间，同时可以利用加料管1的占用空间收纳多个遮挡件31，从而减小遮挡组件3在收纳位置时加料装置100的占用空间。

可见，当加料装置100用于晶体生长装置200时，只要加料管1能顺利通过晶体生长装置200提供的加料空间，则处于收纳位置的遮挡组件3也能顺利通过加料空间，便于有效避免遮挡组件3与其他部件发生干涉，从而有利于降低对加料空间的要求，提升加料装置100的适用性。

显然，在收纳位置，遮挡件31的中心轴线与加料管1的中心轴线L1之间距离较小、或者遮挡件31的中心轴线与加料管1的中心轴线L1重合。

在一些实施例中，如图1所示，阀体2处于关闭出料口10的位置且遮挡组件3处于收纳位置时，最上方的遮挡件31与阀体2之间的间距为a，0＜a＜10mm，即使部分物料流至最上方遮挡件31的上侧，该遮挡件31与阀体2之间的间距相对较大，以便避免该遮挡件31上侧的物料干涉遮挡件31的转动，保证遮挡件31顺利切换；相邻两个遮挡件31之间的间距为b，5mm＜b＜30mm，即使部分物料流至相邻两个遮挡件31中下侧遮挡件31的上侧，而相邻遮挡件31之间的间距相对较大，以便避免相邻遮挡件31转动干涉。

例如，a可以为3mm、4mm、6mm、7mm、或9mm等，b可以为7mm、10mm、15mm、21mm、27mm、或28mm等。

根据本实用新型第二方面实施例的晶体生长装置200，如图7所示，包括坩埚101、导流筒102和加料装置100，导流筒102设于坩埚101的上侧，加料装置100为根据本实用新型上述第一方面实施例的加料装置100，加料装置100适于设于导流筒102的径向内侧且用于向坩埚101内加料，在遮挡位置，遮挡组件3的外周沿与加料管1的中心轴线L1之间的最大距离小于坩埚101的半径r，有利于在进行加料前或加料过程中，适当减小加料装置100与坩埚101在上下方向上的距离(例如上升坩埚101等)，从而减小在加料过程中物料的下落高度，以减小物料对坩埚101的冲击、和/或、避免物料飞溅等；同时，在遮挡位置，遮挡组件3将预设出料区100a的下边沿与导流筒102隔开，以避免物料飞溅附着在导流筒102上，起到保护导流筒102的作用，当然，遮挡组件3也可以在一定程度上保护坩埚101周边的其他部件。

可以理解的是，加料装置100使用时，通常将加料管1的中心轴线L1与坩埚101的中心轴线对准，例如两者的中心轴线重合或两者的中心轴线相距较小距离。坩埚101的半径r可以为加料装置100伸入坩埚101内时坩埚101对应于遮挡组件3所在高度位置处的半径。

根据本实用新型实施例的晶体生长装置200，通过设置遮挡组件3，使得处于遮挡位置的遮挡组件3能将预设出料区100a的下边沿与周边热场隔开，从而遮挡组件3便于将加料时飞溅的物料与周边热场隔开，以有效减少加料过程中因物料飞溅而附着在周边热场上的物料、甚至避免加料过程中因物料飞溅而导致物料附着在周边热场上，保证周边热场的使用可靠性和使用寿命，同时也可以降低附着在导流筒102上的物料掉落后污染单晶硅棒，进而提升长晶可靠性。例如，晶体生长装置200为单晶炉时，加料装置100可以长晶可靠性，降低单晶失效，其中单晶失效是指长出的单晶硅棒中掺杂了多晶结构，从而不在属于单晶结构。

可以理解的是，当加料装置100用于晶体生长装置200时，如果在遮挡位置，遮挡组件3的外周沿与加料管1的中心轴线L1之间的最大距离大于坩埚101的半径r，此时可以以坩埚101半径r为参考对遮挡组件3进行切割，以使遮挡组件3的外周沿与加料管1的中心轴线L1之间的最大距离小于坩埚101的半径r，提升使用便利性。

可选地，加料装置100可以作为二次加料器使用。

下面参考图1-图7以一个具体的实施例详细描述根据本实用新型实施例的晶体生长装置200。值得理解的是，下述描述仅是示例性说明，而不是对实用新型的具体限制。

如图7所示，晶体生长装置200包括坩埚101、导流筒102和加料装置100，导流筒102设于坩埚101的上侧，加料装置100用于加料时，加料装置100设于导流筒102的径向内侧且位于坩埚101的上侧。

如图1-图6所示，加料装置100包括加料管1、阀体2、遮挡组件3、限位机构4、导向件5、拉杆6和旋转杆7。遮挡组件3包括沿两个遮挡件31。

加料管1包括管体部11和安装部12，管体部11形成为圆管，管体部11的下端形成有出料口10，安装部12环设于管体部11的外周壁，安装部12上形成有六个沿周向间隔设置的安装孔120，其中两个安装孔120分别设有一个旋转杆7，每个旋转杆7与对应安装孔120转动配合，每个旋转杆7下端分别连接一个遮挡件31，旋转杆7适于带动对应遮挡件31绕转动轴线L2转动。其中，遮挡件31的转动轴线L2与加料管1的中心轴线L1平行，且遮挡件31的转动轴线L2与加料管1的中心轴线L1之间的间距为R，D₁/2＜R＜D₂/2，D₁为管体部11的内径，D₂为安装部12的外径，两个遮挡件31的转动轴线L2与加料管1的中心轴线L1之间的间距相等，且两个遮挡件31的转动轴线L2沿加料管1的周向间隔设置。

在预设平面上，以加料管1的中心轴线L1的正投影O1为圆心，两个遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2对应的圆心角为α，0.5*arccos(R_min/D₂)≤α/2≤arccos(R_min/D₂)；在预设平面上，以加料管1的中心轴线L1的正投影O1为圆心，两个遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2对应的圆心角为预设夹角，阀体2的上表面为斜面2a，斜面2a具有相对于竖直方向倾斜延伸的中心线，在预设平面上，中心线的正投影与预设夹角的角平分线的正投影(如图5中所示的投影线L)位于同一直线上。

导向件5设于管体部11的上端，导向件5的中部形成有通孔5a，通孔5a的周壁形成有多个沿周向间隔设置的限位槽42，导向件5还形成有穿孔5b和加料口5c，在径向上加料口5c间隔设于通孔5a和穿孔5b之间，穿孔5b为六个且沿周向间隔设置，每个穿孔5b与一个安装孔120上下正对，旋转杆7穿设于对应穿孔5b。

拉杆6可上下移动地穿设于通孔5a以用于带动阀体2上下移动，以使阀体2开关出料口10，阀体2的上表面为斜面2a，斜面2a具有相对于竖直方向倾斜延伸的中心线，阀体2打开出料口10时，斜面2a的外周沿的一部分与出料口10的外周沿的一部分上下间隔以限定出预设出料口100a，使得预设出料口100a构造成沿出料口10的周向延伸为弧形。拉杆6的外周壁上设有限位件41，在上下方向上，限位件41的长度大于导向件5的厚度且小于拉杆6的长度，且限位件41可与任一限位槽42周向限位配合，以调节并锁定预设出料区100a在周向上的位置，而遮挡件31可设于任一安装孔120以与预设出料区100a对应，以实现调节遮挡件31在周向上的位置。

遮挡件31大致呈圆形平板，两个遮挡件31的直径基本相等且与加料管1的最大直径基本相等，至少上层遮挡件31的边缘处形成有用于避让与其他遮挡件31对应的旋转杆7的避让缺口；遮挡件31的外周沿具有预设点，预设点与遮挡件31的转动轴线L2之间的距离大于遮挡件31的外周沿的其余部分上任意点与遮挡件31的转动轴线L2之间的距离。当然，多个遮挡件31的直径还可以不等。

遮挡组件3具有遮挡位置和收纳位置，在遮挡位置时，在预设平面上，遮挡件31的正投影位于阀体2的正投影外轮廓外侧，遮挡组件3位于预设出料区100a的径向外侧，且每个遮挡件31的邻近加料管1中心轴线L1的一端高于预设出料区100a的下边沿，预设点的正投影P、遮挡件31的转动轴线L2的正投影O2和加料管1的中心轴线L1的正投影O1位于同一直线，两个遮挡件31的正投影存在重叠区域Ω3，重叠区域Ω3与加料管1在预设平面上的正投影相交；在收纳位置，两个遮挡件31上下层叠设置且均位于处于关闭出料口10位置的阀体2的下方，在预设平面上，每个遮挡件31的正投影位于加料管1的正投影外轮廓内，每个遮挡件31的中心轴线与加料管1的中心轴线L1重合。预设平面与加料管1的中心轴线L1垂直。

显然，遮挡组件3自收纳位置切换至遮挡位置、或自遮挡位置切换至收纳位置，每个遮挡件31分别转动了180°，而且两个遮挡件31的转动方向相反，以避免遮挡件31跟与其余遮挡件31对应的旋转杆7发生干涉。两个遮挡件31分别为第一遮挡件311和第二遮挡件312，第一遮挡件311间隔设置第二遮挡件312的上方，阀体2处于关闭出料口10的位置且遮挡组件3处于收纳位置时，第一遮挡件311与阀体2上下间距为a，0＜a＜10mm，第一遮挡件311与第二遮挡件312上下间距为b，5mm＜b＜30mm。

加料装置100可以通过加料口5c进行载料，此时阀体2处于关闭出料口10的位置，遮挡组件3处于收纳位置；载料完成后，加料装置100可以置于坩埚101上侧且位于导流筒102内侧，以使加料装置100到达加料位置；遮挡组件3切换至遮挡位置，以遮挡导流筒102等；而后，阀体2打开出料口10以向坩埚101加料。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种加料装置，其特征在于，包括：

加料管，所述加料管的下端限定出出料口；

阀体，所述阀体可运动地设于所述出料口处以开关所述出料口，且在所述阀体运动至打开所述出料口的位置时，所述阀体的外周沿与所述出料口的外周沿上下至少部分间隔以限定出预设出料区；

遮挡组件，所述遮挡组件包括至少一个遮挡件，所述遮挡件可运动地设于所述加料管的底部，且所述遮挡组件具有遮挡位置，在所述遮挡位置时，在预设平面上，所述遮挡件的正投影位于所述阀体的正投影外轮廓外侧，所述遮挡组件位于所述预设出料区的径向外侧、所述遮挡组件的邻近所述加料管中心轴线的一端高于所述预设出料区的下边沿，所述预设平面与所述加料管的中心轴线垂直。

2.根据权利要求1所述的加料装置，其特征在于，所述加料管包括管体部和安装部，所述安装部环设于所述管体部的外周壁，所述安装部上设有多个安装孔，多个所述安装孔沿所述管体部的周向间隔设置，所述遮挡件可活动地设于所述安装孔，

所述预设出料区构造成沿所述出料口的周向延伸为弧形或环形。

3.根据权利要求2所述的加料装置，其特征在于，当所述预设出料区构造成沿所述出料口的周向延伸为弧形时，所述加料装置还包括：

限位机构，所述限位机构用于调节并锁定所述预设出料区在所述加料管周向上的位置，所述遮挡件在所述加料管周向上的位置可调。

4.根据权利要求3所述的加料装置，其特征在于，所述加料管上设有导向件，所述导向件形成有通孔，所述阀体上设有拉杆，所述拉杆可移动地穿设于所述通孔以用于带动所述阀体上下移动，

所述限位机构包括限位件和多个限位槽，所述限位件设在所述拉杆的外周壁上，多个所述限位槽均形成在所述通孔的周壁上且沿所述通孔的周向间隔设置，在上下方向上，所述限位件的长度大于所述导向件的厚度且小于所述拉杆的长度，且所述限位件可与任一所述限位槽周向限位配合，所述遮挡件可设于任一所述安装孔以与所述预设出料区对应。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的加料装置，其特征在于，所述遮挡件为多个，在所述遮挡位置，多个所述遮挡件沿所述加料管的周向依次设置，且在所述预设平面上，相邻两个所述遮挡件的正投影部分重叠以形成重叠区域，所述重叠区域与所述加料管在所述预设平面上的正投影相交。

6.根据权利要求5所述的加料装置，其特征在于，所述遮挡件与所述加料管转动相连，且所述遮挡件的转动轴线与所述加料管的中心轴线平行，多个所述遮挡件的转动轴线沿所述加料管的周向间隔设置，所述遮挡件的外周沿具有预设点，所述预设点与所述遮挡件的转动轴线之间的距离大于所述遮挡件的外周沿的其余部分上任意点与所述遮挡件的转动轴线之间的距离，

在所述遮挡位置，在所述预设平面上，所述预设点的正投影、所述遮挡件的转动轴线的正投影和所述加料管的中心轴线的正投影位于同一直线，且所述遮挡件的正投影与所述阀体的正投影间隔设置。

7.根据权利要求6所述的加料装置，其特征在于，

所述遮挡件的转动轴线与所述加料管的中心轴线之间的间距为R，D₁/2＜R＜D₂/2，D₁为所述加料管的内径，D₂为所述加料管的最大外径；和/或，

在所述预设平面上，以所述加料管的中心轴线的正投影为圆心，相邻两个所述遮挡件的转动轴线的正投影对应的圆心角为α，0.5*arccos(R_min/D₂)≤α/2≤arccos(R_min/D₂)，D₂为所述加料管的最大直径，R_min为多个所述遮挡件的转动轴线与所述加料管的中心轴线之间的间距的最小值。

8.根据权利要求6所述的加料装置，其特征在于，所述阀体可上下移动，且所述阀体的上表面为斜面，所述斜面具有相对于竖直方向倾斜延伸的中心线，在所述预设平面上，所述中心线的正投影与预设夹角的角平分线的正投影部分重叠，

其中，在所述预设平面上，以所述加料管的中心轴线的正投影为圆心，处于所述遮挡位置时的所述遮挡组件的最外侧的两个所述遮挡件的转动轴线的正投影对应的圆心角为所述预设夹角。

9.根据权利要求5所述的加料装置，其特征在于，所述遮挡组件还具有收纳位置，在所述收纳位置，多个所述遮挡件上下层叠设置且均位于处于关闭所述出料口位置的所述阀体的下方，且所述遮挡件在所述预设平面上的正投影位于所述加料管在所述预设平面上的正投影外轮廓内，

所述阀体处于关闭所述出料口的位置且所述遮挡组件处于所述收纳位置时，最上方的所述遮挡件与所述阀体之间的间距为a，0＜a＜10mm，相邻两个所述遮挡件之间的间距为b，5mm＜b＜30mm。

10.一种晶体生长装置，其特征在于，包括：

坩埚和导流筒，所述导流筒设于所述坩埚的上侧；

加料装置，所述加料装置为根据权利要求1-9中任一项所述的加料装置，所述加料装置适于设于所述导流筒的径向内侧且用于向所述坩埚内加料，在所述遮挡位置，所述遮挡组件的外周沿与所述加料管的中心轴线之间的最大距离小于所述坩埚的半径，且所述遮挡组件将所述预设出料区的下边沿与所述导流筒隔开。