CN219776307U - 一体式热炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种一体式热炉，该一体式热炉包括机架、加热件和隔热件，加热件设在机架内，隔热件填充于机架与加热件的外侧壁之间，隔热件上设有沿加热件长度方向延伸设置的气流通道。气流通道具有气体进口，且与外部气源相连。该一体式热炉采用气冷的方式实现在快速降温阶段加热件的降温，有利于压缩半导体制造的工艺时间，提高生产效率，还能够使得一体式热炉的其他零部件减少由于自然散热长时高温产生的影响，延长其寿命。

Description

一体式热炉

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种一体式热炉。

背景技术

硅片在扩散工艺过程中，往往需要将热场的温度预加热至某一温度，然后在工艺结束后降温至另一温度。传统热场采用的是自然被动散热方式，由于保温隔层阻挡热量散出，降温时间长，生产效率低。在扩散炉周围，由于高温热量散出，周围零件温度跟着提升并长时间保持，影响其寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种一体式热炉，该一体式热炉能够通过气体进行快速冷却，有利于压缩半导体制造的工艺时间，提高生产效率，还能够使得一体式热炉的其他零部件减少由于自然散热长时高温产生的影响，延长其寿命。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种一体式热炉，包括：机架；至少一个加热件，所述加热件设在所述机架内；隔热件，所述隔热件填充于所述机架与所述加热件的外侧壁之间，所述隔热件上设有沿所述加热件长度方向延伸设置的气流通道，所述气流通道具有气体进口，且与外部气源相连。

在一些实施例中，所述气流通道还具有气体出口。

在一些具体的实施例中，所述一体式热炉还包括封堵件，所述封堵件用于封堵所述气体出口。

在一些具体的实施例中，所述封堵件包括封堵塞，所述封堵塞可拆卸地设于所述气体出口。

在一些更具体的实施例中，所述封堵塞为锥形结构。

在一些具体的实施例中，所述封堵件包括封堵板和驱动件，所述驱动件设于所述机架，所述封堵板连接于所述驱动件的驱动端，所述驱动件用于驱动所述封堵板封堵或者打开所述气体出口。

在一些实施例中，所述机架上设有环绕所述气体进口设置的进气管，所述一体式热炉还包括控制阀，所述控制阀的进口与所述外部气源相连，所述控制阀的出口与所述进气管相连。

在一些实施例中，所述气流通道为多个，多个所述气流通道沿所述加热件的周向间隔分布。

在一些实施例中，所述机架包括框架和两个封板，所述框架沿所述加热件的长度方向的两端敞开设置，两个封板连接于所述框架的敞开端，所述封板上设有与所述气体出口对应的第一连通口。

在一些实施例中，所述气流通道为沿所述加热件长度方向延伸设置的蛇形通道。

本实用新型的一体式热炉的有益效果：加热件加热升温过程中，外部气源不需要朝向气体进口输送气流，在一体式热炉快速降温阶段，外部气源将气体通入气流通道，以实现隔热件以及加热件的快速降温，相比于现有技术中自然冷却的方式，本实施例的一体式热炉采用气冷的方式实现在快速降温阶段加热件的降温，有利于压缩半导体制造的工艺时间，提高生产效率，还能够使得一体式热炉的其他零部件减少由于自然散热长时高温产生的影响，延长其寿命

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型实施例的一体式热炉的结构示意图；

图2是图1所示结构的A-A向截面图；

图3是本实用新型的一体式热炉的第二个方向的结构示意图；

图4是本实用新型的一体式热炉的第三个方向的结构示意图。

附图标记：

1、机架；11、框架；12、封板；121、第一连通口；122、第二连通口

2、加热件；

3、隔热件；31、气流通道；

4、封堵件；41、封堵板；42、驱动件；

5、控制阀；6、进气管。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图4描述本实用新型实施例的一体式热炉的结构示意图。

本实用新型公开了一种一体式热炉，如图1及图3所示，该一体式热炉包括机架1、加热件2和隔热件3，加热件2设在机架1内，隔热件3填充于机架1与加热件2的外侧壁之间，隔热件3上设有沿加热件2长度方向延伸设置的气流通道31。气流通道31具有气体进口，且与外部气源相连。可以理解的是，在实际工作过程中，加热件2加热升温过程中，外部气源不需要朝向气体进口输送气流，在一体式热炉快速降温阶段，外部气源将气体通入气流通道31，以实现隔热件3以及加热件2的快速降温，相比于现有技术中自然冷却的方式，本实施例的一体式热炉采用气冷的方式实现在快速降温阶段加热件2的降温，有利于压缩半导体制造的工艺时间，提高生产效率，还能够使得一体式热炉的其他零部件减少由于自然散热长时高温产生的影响，延长其寿命。

在一些实施例中，气流通道31还具有气体出口。可以理解的是，在气冷降温过程中，两端敞开的气流通道31能够进一步提升散热效果，从而进一步提升气冷速率。

在一些具体的实施例中，如图4所示，一体式热炉还包括封堵件4，封堵件4用于封堵气体出口。可以理解的是，在一体式热炉加热或者以指定温度工作时，使用封堵件4将气体出口封堵，使得一体热炉在加热过程中内部处于封闭状态，能够降低热量流失，从而节约能源。

在一些具体的实施例中，封堵件4包括封堵塞，封堵塞可拆卸地设于气体出口。可以理解的是，封堵件4包括封堵塞，在实际使用过程中，如果需要封闭气体出口只需要将封堵塞塞入气体出口即可，需要打开气体出口时，只需要拔出封堵塞即可，操作非常简单。

在一些更具体的实施例中，封堵塞为锥形结构。可以理解的是，封堵塞为锥形结构能够提升对气体出口的封堵作用，从而确保一体热炉在加热过程中内部处于封闭状态。

这里需要补充说明的是，在本实用新型的实施例中，封堵塞可以根据实际需要选择材料、形状以及尺寸，在此不对封堵塞的具体材料、形状以及尺寸做出限定。

在一些具体的实施例中，如图4所示，封堵件4包括封堵板41和驱动件42，驱动件42设于机架1，封堵板41连接于驱动件42的驱动端，驱动件42用于驱动封堵板41封堵或者打开气体出口。可以理解的是，在实际工作过程中，如果需要封闭气体出口，驱动件42驱动封堵板41朝向气体出口运动直到封闭气体出口即可，需要打开气体出口时，驱动件42驱动封堵板41朝向远离气体出口的方向运动直到打开气体出口即可。由此，实现了气体出口的自动化开闭，无需操作人员手动封堵或者打开气体出口。

在一些实施例中，如图3所示，机架1上设有环绕气体进口设置的进气管6，一体式热炉还包括控制阀5，控制阀5的进口与外部气源相连，控制阀5的出口与进气管6相连。可以理解的是，在实际工作过程中，需要冷却时只需要将控制阀5打开，外部气源的气体即可通过控制阀5进入气流通道31，实现了气流通道31内的自动化通气控制，无需操作人员手动操作。

在一些实施例中，如图2所示，气流通道31为多个，多个气流通道31沿加热件2的周向间隔分布。由此，能够提升冷却效果。

在一些实施例中，如图3-图4所示，机架1包括框架11和两个封板12，框架11沿加热件2的长度方向的两端敞开设置，两个封板12连接于框架11的敞开端，封板12上设有与气体出口对应的第一连通口121。。由此，可以方便一体式热炉的组装，提升一体式热炉的组装效率，并且将隔热件3封装在框架11内部，避免隔热件3掉出的现象发生。

在一些实施例中，气流通道31为沿加热件2长度方向延伸设置的蛇形通道。可以理解的上，气流通道31形成为蛇形通道，能够延长气流通道31的长度，从而提升冷却效果。

实施例：

下面参考图1-图4描述本实用新型一个具体实施例的一体式热炉的结构。

如图1-图4所示，本实施例的一体式热炉包括机架1、加热件2、隔热件3、进气管6、控制阀5及封堵件4，机架1包括框架11和两个封板12，框架11沿加热件2的长度方向的两端敞开设置，两个封板12连接于框架11的敞开端，一个封板12上设有第一连通口121，另一个封板12上设有第二连通口122。加热件2设在机架1内，隔热件3填充于机架1与加热件2的外侧壁之间，隔热件3上设有沿加热件2长度方向延伸设置的气流通道31，气流通道31的气流进口和气流出口分别与第一连通口121及第二连通口122连通。封堵件4包括封堵板41和驱动件42，驱动件42设于机架1，封堵板41连接于驱动件42的驱动端，驱动件42用于驱动封堵板41封堵或者打开第二连通口122。进气管6设在封板12上且环绕第一连通口121设置，控制阀5的进口与外部气源相连，控制阀5的出口与进气管6相连。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一体式热炉，其特征在于，包括：

机架(1)；

至少一个加热件(2)，所述加热件(2)设在所述机架(1)内；

隔热件(3)，所述隔热件(3)填充于所述机架(1)与所述加热件(2)的外侧壁之间，所述隔热件(3)上设有沿所述加热件(2)长度方向延伸设置的气流通道(31)，所述气流通道(31)具有气体进口，且与外部气源相连。

2.根据权利要求1所述的一体式热炉，其特征在于，所述气流通道(31)还具有气体出口。

3.根据权利要求2所述的一体式热炉，其特征在于，所述一体式热炉还包括封堵件(4)，所述封堵件(4)用于封堵所述气体出口。

4.根据权利要求3所述的一体式热炉，其特征在于，所述封堵件(4)包括封堵塞，所述封堵塞可拆卸地设于所述气体出口。

5.根据权利要求4所述的一体式热炉，其特征在于，所述封堵塞为锥形结构。

6.根据权利要求3所述的一体式热炉，其特征在于，所述封堵件(4)包括封堵板(41)和驱动件(42)，所述驱动件(42)设于所述机架(1)，所述封堵板(41)连接于所述驱动件(42)的驱动端，所述驱动件(42)用于驱动所述封堵板(41)封堵或者打开所述气体出口。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的一体式热炉，其特征在于，所述机架(1)上设有环绕所述气体进口设置的进气管(6)，所述一体式热炉还包括控制阀(5)，所述控制阀(5)的进口与所述外部气源相连，所述控制阀(5)的出口与所述进气管(6)相连。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的一体式热炉，其特征在于，所述气流通道(31)为多个，多个所述气流通道(31)沿所述加热件(2)的周向间隔分布。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的一体式热炉，其特征在于，所述机架(1)包括框架(11)和两个封板(12)，所述框架(11)沿所述加热件(2)的长度方向的两端敞开设置，两个所以封板(12)连接于所述框架(11)的敞开端，所述封板(12)上设有与所述气体进口对应的第一连通口(121)。

10.根据权利要求1-6中任一项所述的一体式热炉，其特征在于，所述气流通道(31)为沿所述加热件(2)长度方向延伸设置的蛇形通道。