CN219772333U - 一种粉末整平组件、整平设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及粉体整平设备技术领域，特别涉及一种粉末整平组件、整平设备；所述粉末整平组件，与容纳在圆筒状容器中的粉末接触，包括：驱动轴；自转机构，所述自转机构以所述驱动轴为中心偏心设置，所述驱动轴带动所述自转机构在圆筒状容器中沿预定方向公转；压盘，所述压盘与所述自转机构连接以完成所述压盘的自转，且所述压盘具有比所述容器内径小且大于所述容器内径一半的直径。本实用新型提供的粉末整平组件可以改善圆筒状容器中心区域埋粉均匀性差、粘粉及各种埋粉异常。

Description

一种粉末整平组件、整平设备

技术领域

本实用新型涉及粉体整平设备技术领域，特别涉及一种粉末整平组件、整平设备。

背景技术

目前，针对晶片黑化的方式大多数为碳酸盐类粉体掩埋，采用晶片与还原粉体交叉堆叠的方式进行掩埋，而传统的加工方式通常是人工作业，对技术人员的熟练度要求高，常常因为掩埋粉体不均匀、平整度差、局部缺口、粉体开裂等异常影响晶片黑化后的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术中掩埋粉体不均匀的问题，提供一种粉末整平组件、整平设备。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案如下：

一种粉末整平组件，与容纳在圆筒状容器中的粉末接触，包括：

驱动轴；

自转机构，所述自转机构以所述驱动轴为中心偏心设置，所述驱动轴带动所述自转机构在圆筒状容器中沿预定方向公转；

压盘，所述压盘与所述自转机构连接以完成所述压盘的自转，且所述压盘具有比所述容器内径小且大于所述容器内径一半的直径。

在一更佳的实施例中，所述驱动轴位于所述圆筒状容器的中心。

在一更佳的实施例中，所述自转机构与所述驱动轴的偏心距小于所述圆筒状容器内径的四分之一。

在一更佳的实施例中，所述驱动轴通过偏心机构带动所述自转机构在圆筒状容器中沿预定方向公转；

所述偏心机构包括设置在驱动轴上的驱动齿轮、设置在自转机构上的传动齿轮，所述驱动齿轮与所述传动齿轮啮合。

在一更佳的实施例中，所述自转机构包括穿设在所述传动齿轮上的传动轴和驱动所述传动轴转动的第二驱动机构，所述传动轴与所述压盘连接以带动所述压盘在圆筒状容器中沿预定方向自转。

在一更佳的实施例中，所述自转机构包括与传动齿轮啮合的从动齿轮和穿设在所述从动齿轮上的从动轴，所述从动轴与所述压盘连接以带动所述压盘在圆筒状容器中沿预定方向自转。

在一更佳的实施例中，所述粉末整平组件还包括调节机构，所述调节机构设置于所述自转机构与所述压盘之间，以调节所述自转机构与所述压盘的水平距离。

在一更佳的实施例中，所述调节机构为伸缩气缸。

在一更佳的实施例中，所述粉末整平组件还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述驱动轴转动。

本实用新型提供一种整平设备，包括：

机架；

圆筒状容器，设置于所述机架上，以容纳待整平粉末；

粉末整平组件，设置于所述机架上，用于整平容纳于所述圆筒状容器内的粉末，所述粉末整平组件采用如上所述的粉末整平组件；

移动组件，设置于所述机架上，用于调节所述粉末整平组件的位置。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

改善圆筒状容器中心区域埋粉均匀性差、粘粉及各种埋粉异常。

本实用新型的其它特征和有益效果将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他有益效果可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；在下面描述中附图所述的位置关系，若无特别指明，皆是图示中组件绘示的方向为基准。

图1为本实用新型第一实施例提供的粉末整平组件结构示意图；

图2为本实用新型第一实施例提供的粉末整平组件的侧视结构示意图；

图3为本实用新型第一实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构俯视示意图；

图4为本实用新型第一实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构侧视示意图；

图5为本实用新型第一实施例的压盘运动轨迹示意图；

图6为本实用新型第二实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构俯视示意图；

图7为本实用新型第二实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构侧视示意图；

图8为本实用新型第二实施例变形例提供的粉末整平组件的内部主要结构俯视示意图；

图9为本实用新型第三实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构俯视示意图；

图10为本实用新型第三实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构侧视示意图；

图11为本实用新型提供的一种整平设备的结构示意图；

图12为本实用新型提供的部分机架及圆筒状容器的结构示意图。

附图标记：

1、机架；2、圆筒状容器；3、粉末整平组件；10、第一驱动机构；20、驱动轴；21、驱动齿轮；30、自传机构；31、传动齿轮；31a、传动轴；32、从动齿轮；32a、从动轴；33、自转轴；40、偏心机构；41、偏心压板；50、压盘；60、机壳；70、第二驱动机构；80、调节机构。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；下面所描述的本实用新型不同实施方式中所设计的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，本实用新型所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本实用新型所属领域的普通技术人员通常所理解的含义相同的含义，不能理解为对本实用新型的限制；应进一步理解，本实用新型所使用的术语应被理解为具有与这些术语在本说明书的上下文和相关领域中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过于正式的意义来理解，除本实用新型中明确如此定义之外。

以下通过具体实施例对本实用新型的技术方案进行进一步的说明和描述。但本实用新型的保护范围不限于此。

图1为本实用新型第一实施例提供的粉末整平组件结构示意图；图2为本实用新型第一实施例提供的粉末整平组件的侧视结构示意图；图3为本实用新型第一实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构俯视示意图；图4为本实用新型第一实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构侧视示意图；图5为本实用新型第一实施例的压盘运动轨迹示意图；

参考图1至图4所示，本实用新型的第一实施例提供一种粉末整平组件3，所述粉末整平组件3包括：第一驱动机构10、驱动轴20、自转机构30、偏心机构40和压盘50，所述驱动轴20、自转机构30和偏心机构40位于机壳60内，以实现对上述结构的保护；所述粉末整平组件3与容纳在圆筒状容器2中的粉末接触，以实现对该些粉末的整平工作；

驱动轴20，所述驱动轴20的顶部与第一驱动机构10连接，具体而言，所述第一驱动机构10可以是电机、马达等，也可以是电机或马达与其他传动部件连接，该些传动部件可以是齿轮传动、减速器、带轮传动等，具体可根据实际工作需求进行设置，在此不做限定。

自转机构30，所述自转机构30以所述驱动轴20为中心偏心设置，所述自转机构30与所述驱动轴20的偏心距小于所述圆筒状容器2内径的四分之一；所述驱动轴20带动所述自转机构30在圆筒状容器2中沿预定方向公转；具体而言，自转机构30包括但不限于动力源以及与动力源连接的输出轴、蜗轮蜗杆、齿轮、锥齿轮、带轮等部件中的一种或多种以实现自转。动力源可以是电机、马达等。当然，自转机构30还可以是其他能够实现自转的常规机械结构，本实施例不以此为限。

压盘50，所述压盘50一般为圆形设计，以更好的适应圆筒状容器2，所述压盘50与所述自转机构30连接以完成所述压盘50的自转，且所述压盘50具有比所述容器内径小且大于所述容器内径一半的直径，所述容器应理解为前述圆筒状容器，将所述压盘50的直径调整至大于容器内径一半(半径)，以此，使得该压盘50在以所述圆筒状容器2的中心做圆周运动的情况下，通过对压盘50直径尺寸的改进，从而改善圆筒状容器2中心区域埋粉均匀性差、粘粉及各种埋粉异常；此外，本实用新型的粉末整平组件，相较现有技术而言，摒弃位于压盘50边缘的刮刀，在公转结合自转的运动下，使得圆筒状容器2的边缘会形成一层还原粉，以使得加工的晶片不会直接接触到容器的器壁，从而避免晶圆的边缘黑化不均产生。

在所述第一实施例中，所述驱动轴20位于所述圆筒状容器2的中心，所述驱动轴20通过偏心机构40带动所述自转机构30在圆筒状容器2中沿预定方向公转；

具体来说，参考图3和图4所示，所述偏心机构40包括设置在所述驱动轴20上的驱动齿轮21、设置在自转机构30上的传动齿轮31，所述驱动齿轮21与所述传动齿轮31啮合，当第一驱动机构带动驱动轴20转动时，所述驱动轴20上的驱动齿轮21会带动与其啮合的传动齿轮31转动，从而实现自转机构30以驱动轴20为中心的公转运动。在本实施例中，所述自转机构30包括与传动齿轮31啮合的从动齿轮32和穿设在所述从动齿轮上的从动轴32a，所述从动轴32a与所述压盘50连接以带动所述压盘50在圆筒状容器中沿预定方向自转，从而实现所述压盘50在完成公转的同时还能实现自转，从而实现如图5所示的运动轨迹。

图6为本实用新型第二实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构俯视示意图；图7为本实用新型第二实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构侧视示意图。

参考图6和图7所示，在所述第二实施例中，与所述第一实施例的区别在于：所述偏心机构40包括设置在所述驱动轴20上的偏心压板41，所述偏心压板41上同时穿设有驱动轴20以及自转机构30的自转轴33，通过偏心压板41实现驱动轴20与自转轴33的联动，而所述自转轴33的上端连接有第二驱动机构70，下端连接有压盘50，从而通过第二驱动机构70对压盘50的自转进行控制；由此，当第一驱动机构带动驱动轴20转动时，所述驱动轴20上的偏心压板31会带动位于偏心压板31上的自转轴33进行公转运动，可选的，根据驱动轴20设置的位置，从而确定公转的中心，例如：如图8所示，所述驱动轴20设置在所述偏心压板31的边缘，所示自转轴33设置于所示偏心压板31的中心，从而以驱动轴20的中心进行公转，而第二驱动机构70则驱动压盘50实现自转。以此，从而实现所述压盘50在完成公转的同时还能实现自转。

图9为本实用新型第三实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构俯视示意图；图10为本实用新型第三实施例提供的粉末整平组件的内部主要结构侧视示意图。

参考图9和图10所示，在所述第三实施例中，与所述第一实施例的区别在于：所述自转机构30包括穿设在所述传动齿轮31上的传动轴31a和驱动所述传动轴31a转动的第二驱动机构70，以此，由第一驱动机构10带动驱动轴20转动，所述驱动轴20上的驱动齿轮21会带动与其啮合的传动齿轮31转动，从而实现自转机构30以驱动轴20为中心的公转运动，而第二驱动机构70带动传动轴31a转动，实现压盘50的自转。

在一些优选实施例中，如图2所示，所述粉末整平组件还包括调节机构80，所述调节机构80设置于所述自转机构30与所述压盘50之间，以调节所述自转机构30与所述压盘50的水平距离；

具体来说，将所述调节机构80连接至所述自转机构30的自转轴33的下方，再由所述调节机构80与所述压盘50连接；较佳的，所述调节机构可以为伸缩气缸，通过伸缩气缸调节压盘50在水平方向上的位置，从而调节不同的粉末整平区域，使得圆筒状容器2内埋粉更为均匀。

如图11和图12所示，本实用新型提供一种整平设备，包括：

机架1；

圆筒状容器2，设置于所述机架1上，以容纳待整平粉末；

粉末整平组件3，设置于所述机架1上，用于整平容纳于所述圆筒状容器2内的粉末，所述粉末整平组件3采用如上实施例所述的粉末整平组件3；

移动组件(图中未示出)，设置于所述机架1上，用于调节所述粉末整平组件3的位置。

另外，本领域技术人员应当理解，尽管现有技术中存在许多问题，但是，本实用新型的每个实施例或技术方案可以仅在一个或几个方面进行改进，而不必同时解决现有技术中或者背景技术中列出的全部技术问题。本领域技术人员应当理解，对于一个权利要求中没有提到的内容不应当作为对于该权利要求的限制。

尽管本文中较多的使用了诸如机架、圆筒状容器、粉末整平组件、第一驱动机构、驱动轴、驱动齿轮、自传机构、传动齿轮、传动轴、从动齿轮、从动轴、自转轴、偏心机构、偏心压板、压盘、机壳、第二驱动机构、调节机构等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的；本实用新型实施例的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种粉末整平组件，与容纳在圆筒状容器中的粉末接触，其特征在于，包括：

驱动轴；

自转机构，所述自转机构以所述驱动轴为中心偏心设置，所述驱动轴带动所述自转机构在圆筒状容器中沿预定方向公转；

压盘，所述压盘与所述自转机构连接以完成所述压盘的自转，且所述压盘具有比所述容器内径小且大于所述容器内径一半的直径。

2.根据权利要求1所述的粉末整平组件，其特征在于：所述驱动轴位于所述圆筒状容器的中心。

3.根据权利要求1所述的粉末整平组件，其特征在于：所述自转机构与所述驱动轴的偏心距小于所述圆筒状容器内径的四分之一。

4.根据权利要求1所述的粉末整平组件，其特征在于：所述驱动轴通过偏心机构带动所述自转机构在圆筒状容器中沿预定方向公转；

所述偏心机构包括设置在驱动轴上的驱动齿轮、设置在自转机构上的传动齿轮，所述驱动齿轮与所述传动齿轮啮合。

5.根据权利要求4所述的粉末整平组件，其特征在于：所述自转机构包括穿设在所述传动齿轮上的传动轴和驱动所述传动轴转动的第二驱动机构，所述传动轴与所述压盘连接以带动所述压盘在圆筒状容器中沿预定方向自转。

6.根据权利要求4所述的粉末整平组件，其特征在于：所述自转机构包括与传动齿轮啮合的从动齿轮和穿设在所述从动齿轮上的从动轴，所述从动轴与所述压盘连接以带动所述压盘在圆筒状容器中沿预定方向自转。

7.根据权利要求1所述的粉末整平组件，其特征在于：所述粉末整平组件还包括调节机构，所述调节机构设置于所述自转机构与所述压盘之间，以调节所述自转机构与所述压盘的水平距离。

8.根据权利要求7所述的粉末整平组件，其特征在于：所述调节机构为伸缩气缸。

9.根据权利要求1所述的粉末整平组件，其特征在于：所述粉末整平组件还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述驱动轴转动。

10.一种整平设备，其特征在于，包括：

机架；

圆筒状容器，设置于所述机架上，以容纳待整平粉末；

粉末整平组件，设置于所述机架上，用于整平容纳于所述圆筒状容器内的粉末，所述粉末整平组件采用如权利要求1至9任一项所述的粉末整平组件；

移动组件，设置于所述机架上，用于调节所述粉末整平组件的位置。