CN219758502U - 距离感测模块 - Google Patents

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CN219758502U CN202320036806.0U CN202320036806U CN219758502U CN 219758502 U CN219758502 U CN 219758502U CN 202320036806 U CN202320036806 U CN 202320036806U CN 219758502 U CN219758502 U CN 219758502U
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Abstract

本实用新型提供一种距离感测模块,包括第一基板、上盖、发光单元及至少一感测画素。上盖配置第一基板以形成容置空间。发光单元配置于容置空间中的发射端。感测画素配置于容置空间中的接收端,且包括第二基板、多个感测区、导光层以及透光层。第二基板配置于容置空间中且具有顶面。多个感测区配置于第二基板内,并露出于顶面。导光层包括多个导光结构,各导光结构具有相对的第一侧以及第二侧。多个第二侧连接多个感测区。导光层位于第二基板与透光层之间,多个第一侧连接透光层。

Description

距离感测模块
技术领域
本实用新型涉及一种电子装置,且特别是有关于一种距离感测模块。
背景技术
在目前距离感测技术的应用中,从距离较远的遥感地貌探测,至中距离的工厂自动化之无人搬运车、智能机械、车辆辅助驾驶或无人车、无人机等,而至短距离的应用包括扫地机器人,手势辨识装置以及手机之人脸辨识系统等,极其广泛,无所不在。近年来突飞猛进的发展,主要是受到该技术在民生消费品以及车用电子应用的驱动所导致。在一般距离感测技术的应用中经常使用飞时测距(Time of Flight,ToF)感测装置,通过计算感测装置发射光源到接收光源反射回来的时间差或相位差来计算感测装置与待测物体间的距离。
在上述的飞时测距感测装置中,可配置有多个感测画素作为感测单元。然而,对于飞时测距感测装置的感测组件而言,只有入射在感测区域的光线会被硅吸收,但因为感测区域面积仅占感测组件的一部分,所以将导致整体收光效率不佳。在目前的架构中,可使用巨型微透镜(Giant micro lens,GML)先会聚光线后传递给感光组件,藉此提高有效填充因子(Effective fill factor)。然而,经由巨型微透镜聚焦之后的光斑,仍会有部分的光斑落在感测区域外,导致收光效率仍然不高。
实用新型内容
本实用新型是针对一种距离感测模块,可增加接收端接收感测光束时的收光效率,进而提升距离感测效果。
本实用新型提供一种距离感测模块,包括第一基板、上盖、发光单元以及至少一感测画素。上盖配置于第一基板以形成容置空间。发光单元配置于容置空间中的发射端。至少一感测画素配置于容置空间中的接收端。感测画素包括第二基板、多个感测区、导光层、透光层以及透镜层。第二基板配置于容置空间中且具有顶面。多个感测区配置于第二基板内,并露出于顶面。导光层配置于第二基板上,其中导光层包括多个导光结构,各多个导光结构具有相对的第一侧以及第二侧。多个第二侧连接多个感测区。透光层配置于导光层上。导光层位于第二基板与透光层之间,多个第一侧连接透光层。
基于上述,在本实用新型的距离感测模块中,距离感测模块的发射端包括发光单元及接收端的至少一感测画素。其中,感测画素包括第二基板、多个感测区、导光层以及透光层。导光层包括多个导光结构,用以使感测光束传递至导光层中的多个导光结构时,可通过全反射的原理将感测光束集中入射到感测区,进而减少感测光束的损失。如此一来,可增加收光量以提高感测光束的使用效率,进而提升距离感测模块的感测效果。
为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合所附图式作详细说明如下。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的距离感测模块的剖面示意图;
图2为图1中距离感测模块的接收端的俯视示意图;
图3为本实用新型一实施例的感测画素的剖面示意图;
图4为本实用新型一实施例的导光结构的立体示意图;
图5为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图;
图6为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图;
图7为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图;
图8A为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图;
图8B为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图;
图9为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图;
图10为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图;
图11为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图;
图12A及图12B分别为本实用新型不同实施例的导光结构的剖面示意图。
附图标记说明
50:距离感测模块;
60:第一基板;
70:发射端;
72:发光单元;
80:接收端;
92:挡墙;
94:上盖;
100,100A~100G:感测画素;
110:第二基板;
120:感测区;
121:非感测区;
130:导光层;
132、132A~132E:导光结构;
134:介质结构;
136:反射界面;
140:透光层;
150、150A:透镜层;
152:透镜;
A1:第一侧;
A2:第二侧;
A3:侧壁;
C1、C2:中心线;
E:焦平面;
F:待感测目标;
G1:间距;
L:感测光束;
O1,O2:窗口;
S1:顶面;
S2:入射面。
具体实施方式
现将详细地参考本实用新型的示范性实施例,示范性实施例的实例说明于附图中。只要有可能,相同元件符号在图式和描述中用来表示相同或相似部分。
图1为本实用新型一实施例的距离感测模块的剖面示意图。为方便说明,图1所显示各组件的数量及尺寸仅为示意。请参考图1。距离感测模块50用以发出光线照射待感测目标F及感测从待感测目标F反射的光线,并通过计算光线的飞行时间(ToF)来测量距离感测模块50与待感测目标F间的距离。本实施例提供一种距离感测模块50,包括第一基板60、上盖94、发光单元72以及至少一感测画素100。其中,上盖94配置于第一基板60以形成容置空间E,其中容置空间E具有发射端70以及接收端80。发光单元72配置于发射端70,且至少一感测画素100配置于接收端80。发射端70用以对待感测目标F(例如手指)提供感测光束L(即发光单元72所提供,本实用新型并不限制发射端70中发光单元72的数量),而接收端80用以接收由待感测目标F所反射的感测光束L以进行分析。
在本实施例中,距离感测模块50还包括挡墙92,且感测画素100包括第二基板110。第二基板110设置于容置空间E且电连接第一基板60,第二基板110的材料例如是硅(Si),具有顶面S1,此顶面S1为第二基板110远离第一基板60的表面。挡墙92设置于容置空间E中且连接上盖94,用以将容置空间E区隔为发射端70及接收端80。此外,上盖94具有分别对应发射端70及接收端80的窗口O1、O2,发光单元72发射的光线通过窗口O1向外发射至待感测目标F,而从待感测目标F反射的光线则通过窗口O2进入接收端80。此外,挡墙92可与上盖94一体成形或分开成形,本实用新型并不限于此。
图2为图1中距离感测模块的接收端的俯视示意图。请同时参照图1及图2。本实施例所显示的感测画素100可应用于图1所显示的接收端80中,其中感测画素100在接收端80中的配置数量可以是单个或多个,本实用新型并不限于此,以下以多个感测画素100说明为例。接收端80的多个感测画素100可以数组方式排列。例如感测画素100可排列为3x3的数组并共享第二基板110,但本实用新型对于感测画素100的排列方式不限。此外,每个感测画素100中可包括感测区120及位于感测区120周遭的非感测区121。如图2所示,每个感测画素100可包括排列为2x2数组的四个感测区120,各感测区120之间可能具有间隙(即非感测区121),感测区120用以感测光信号。非感测区121则可包括用以读取感测区120所感测光信号的电路区及感测区120周遭的净空区。因此,感测区120所组成的数组不必然中心对齐感测画素100,且感测区120数组的面积亦可能小于感测画素100的面积。意即,感测区120可与感测画素100中的其他构件(例如透镜)形成错位配置。感测画素100的具体结构将于后续段落更详细说明。
图3为本实用新型一实施例的感测画素的剖面示意图。请参考图1及图3。在本实施例中,感测画素100包括第二基板110、多个感测区120、导光层130、透光层140以及透镜层150。值得一提的是,在本实施例中,感测画素100的数量为多个,设置于距离感测模块50的接收端80,且多个感测画素100共享同一个第二基板110,如图1所显示。每个感测画素100的多个感测区120配置于第二基板110内,并露出于第二基板110的顶面S1,但本实用新型并不限于此。本例的感测区120排列为2x2数组,而图3显示出其中2个感测区120。具体而言,每个感测区120具有入射面S2,且入射面S2与第二基板110的顶面S1可共平面。此外,如图1所显示,第二基板110可由容置空间E中的接收端80延伸至发射端70,并且于位在发射端70区域配置一参考光感测组件(未显示),用以在发射端70对发光单元72所提供的感测光束L进行额外的感测,以利后续的距离计算使用。
图4为本实用新型一实施例的导光结构的立体示意图。请参考图3及图4。导光层130配置于第二基板110及透光层140之间,其中导光层130包括多个导光结构132,其材料例如为氮化物、磷化物、砷化物等。各导光结构132具有相对的第一侧A1以及第二侧A2,各导光结构132的第一侧A1连接透光层140,各导光结构132的第二侧A2连接所述的多个感测区120。换言之,各导光结构132的第一侧A1在导光层130与透光层140的交接处共平面,而各导光结构132的第二侧A2在导光层130与第二基板110的交接处共平面,且第二侧A2的正投影与相对应感测区120的入射面S2完全重迭。具体而言,各导光结构132还具有侧壁A3,连接并环绕于第一侧A1以及第二侧A2之间。在本实施例中,如图4所示,第一侧A1的面积大于第二侧A2的面积,第二侧A2在第二基板110上的正投影完全重迭于第一侧A1在第二基板110上的正投影。更进一步地,第二侧A2在第二基板110上的正投影中心对齐于第一侧A1在第二基板110上的正投影中心,也就是第一侧A1与第二侧A2中心对齐。举例而言,在本实施例中,多个导光结构132的外型为平头多角锥体,如图所显示的四角柱。然而在不同的实施例中,多个导光结构132的外型也可设计为六角柱/锥、八角柱/锥,或平头圆锥体等圆柱/锥,本实用新型并不限于此。
请再参阅图3,具体而言,导光层130还包括介质结构134,其材料例如为氧化物,围绕导光层130中的多个导光结构132。其中,导光结构132的折射率大于介质结构134的折射率。具体而言,在本实施例中,当发光单元72发射的是波长940nm的光线,导光结构132的折射率例如为1.9,介质结构134的折射率例如为1.45。当发光单元72发射的是不同波段的光线时,导光结构132与介质结构134的折射率会随之略有不同,例如当发光单元72发射的是550nm的光线时,导光结构132及介质结构134的折射率分别例如为1.92及1.46,但本实用新型并不限于此。由于导光结构132的折射率大于介质结构134,因此,进入导光层130的光线将通过导光结构132的引导,自第一侧A1传导至第二侧A2后入射到感测区120。其中,通过第一侧A1的感测光束中,一部分不碰到侧壁A3而直接经第二侧A2进入感测区120,另一部分则在传递到侧壁A3后,因导光结构132的折射率大于侧壁A3外的介质结构,使得感测光束产生全反射而从侧壁A3反射至第二侧A2以进入感测区120。在本实施例中,多个导光结构132的配置位置及数量对应于多个感测区120。
透光层140由透光材料制成,例如为二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiN)、树脂类聚合物或光阻等介电质,其折射率例如为1.52。透光层140配置于导光层130与透镜层150之间,可做为透镜层150及导光层130的接合介质,以稳固连接导光层130及透镜层150。透镜层150包括至少一透镜152,配置于透光层140上。在本实施例中,透镜层150中透镜152的数量为多个,其中透镜152的数量与感测画素100中感测区120的数量相同,且这些透镜152的配置的位置对应于多个导光结构132。另外,在本实施例中,这些透镜152的焦平面E重迭于导光结构132的第一侧A1,且多个透镜152的中心线C1与多个第一侧A1的中心线C2具有间距G1。其中,可依照透镜152的焦距搭配设计透光层140的厚度,以使透镜152的焦平面E与导光结构132的第一侧A1重迭。此外,所谓中心线C1、C2即分别为通过透镜152及第一侧A1的中心点且垂直于水平方向上的虚拟线。换言之,透镜152与相对应的导光结构132呈现离轴(off-axis)设计:透镜152在第二基板110上的正投影之几何中心与对应的第一侧A1在第二基板110上的正投影之几何中心不重迭;亦即透镜152与第一侧A1并非中心对齐。值得一提的是,由于本实施例中第一侧A1、第二侧A2及感测区120中心对齐,而透镜152与第一侧A1并非中心对齐,故可见透镜152与第二侧A2、感测区120亦非中心对齐。
因此,当感测光束L自发射端70出射,并经由待感测目标F反射至接收端80而进入感测画素100时,感测光束L依序由透镜层150、透光层140及导光层130传递至对应的感测区120。其中,感测光束L传递至导光层130时,通过第一侧A1范围内而进入导光结构132的感测光束L,可通过全反射而经侧壁A3反射到第二侧A2所对应的感光区120,进而减少感测光束L的损失。如此一来,因感测区120未与透镜152中心对齐,以致原本在无导光结构132时经透镜152会聚后无法入射到感测区120的部分感测光束L,可通过导光结构132的引导而入射到感测区120,增加收光效率,进而提升感测画素100的感测效果。
图5为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图。请参考图5。本实施例的感测画素100A类似于图3所显示的感测画素100。两者不同之处在于,在本实施例中,一个感测画素100A的感测区120的数量仍为多个(例如四个),但透镜层150A中透镜152的数量为一个,例如是巨大微透镜(Giant Micro Lens),且覆盖多个感测区120,亦即多个感测区120共享一个透镜152。透镜152的中心线C1与多个第一侧A1的中心线C2都具有间距G1。换句话说,透镜152与多个导光结构132间呈现离轴设计。当感测光束L传递至导光层130时,各导光结构132可将通过第一侧A1的光束通过全反射引导至相应的第二侧A2以入射到感测区120,使光线尽量集中入射到感测区120而非感测区120以外的区域,进而减少感测光束L的损失。以本实施例来说,在未设置导光结构132的情况下,感测光束L透镜152会聚后,有部分的光束将传递到多个感测区120之间的非感测区而造成浪费。通过本实施所公开的导光层130,可有效收集被会聚的光线到感测区120,提高感测光束L的使用效率,进而提升感测画素100A的感测效果。
图6为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图。请参考图6。本实施例的感测画素100B类似于图3所显示的感测画素100。两者不同之处在于,在本实施例中,多个透镜152的焦平面与多个第一侧A1具有间隔。透镜152的焦平面例如是设计于邻近第二侧A2处或其他位置上,本实用新型并不限于此。因此,相较于透镜152的焦平面重迭于第一侧A1,本实施例中的感测光束L从透光层140到导光层130交界面的入射角度较小,因此通过第一侧A1的感测光束L在导光结构132中有越多部分可直接入射到感测区120,而另一部分传递到侧壁A3的光束与侧壁A3的法线间的角度亦越容易大于临界角而发生全反射,进而从侧壁A3反射到感测区120。因此可降低在侧壁A3上未产生全反射所造成的损失,更进一步提升感测光束L的使用效率。
图7为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图。请参考图7。本实施例的感测画素100C类似于图5所显示的感测画素100A。两者不同之处在于,在本实施例中,透镜152的焦平面与多个第一侧A1具有间隔。透镜152的焦平面例如是设计于邻近第二侧A2处或其他位置上,本实用新型并不限于此。感测光束L传递至导光层130中的多个导光结构132时,相较于图5所示的感测画素,可减少因在侧壁A3上未产生全反射所造成的光量损失,进而提升感测光束L的使用效率。相关原理已于前段说明,于此不再赘述。如此一来,感测光束L可较集中入射到感测区120而非感测区120以外的净空或电路区,进而减少感测光束L的损失,可增加收光效率以提高感测光束L的使用效率,进而提升感测画素100C的感测效果。
图8A为本实用新型另一实施例的感测画素的剖面示意图。请参考图8A。本实施例的感测画素100D类似于图3所显示的感测画素100。两者不同之处在于,在本实施例中,多个导光结构132A的第二侧A2在第二基板110上的正投影仅部份重迭于多个导光结构132A的第一侧A1在第二基板110上的正投影。此外,多个透镜152的中心线C1重迭于多个第一侧A1的中心线C2。在本实施例中,多个导光结构132A的第一侧A1的面积相等于第二侧A2的面积。以横截面而言,多个导光结构132A呈现平行四边形。因此,当感测光束L由多个透镜152朝多个导光结构132A传递时,由于第一侧A1与透镜152中心对齐,经透镜152会聚后的感测光束L可更易于传递进入多个导光结构132A内,并引导光束传递到未与透镜152对齐的第二侧A2后入射感测区120。如此一来,感测光束L可较集中入射到感测区120,增加感测画素100D的收光及感测效果。
在不同实施例中,导光结构132A的横截面仍呈现平行四边形,但其第一侧A1与透镜152可以不是中心对齐,以便依照需求使感测光束L更容易在导光结构132A中发生全反射。在其他实施例中,感测画素100D亦可配置为类似图6所示,使透镜152的焦平面与导光结构132A多个第一侧A1具有间隔。又或在另一实施例中,感测画素100D更可配置为如图5或图7所示,在透镜层150中以一个透镜152A覆盖感测画素100D中的多个感测区120。
本实用新型对上述变化不做限制。
图8B为本实用新型另一实施例的感测画素的示意图。请参考图8B。本实施例的感测画素100D1类似于图8A所显示的感测画素100D。两者不同之处在于,在本实施例中,多个导光结构132B的第一侧A1的面积大于第二侧A2的面积。以横截面而言,多个导光结构132B呈现倒梯形,所述倒梯形的第二侧A2与侧壁A3所形成的两个夹角其中之一可为锐角(如图8B所示),更有利于产生全反射的效果。因此,相较于图8A实施例的感测画素100D,本实施例可使感测光束L更易于传递进入多个导光结构132B内。如此一来,感测光束L可较集中入射到感测区120而非感测区120以外的净空或电路区,进而减少感测光束L的损失,可增加收光效率以提高感测光束L的使用效率,进而提升感测画素100D1的感测效果。
在不同实施例中,导光结构132B呈现倒梯形,但其第一侧A1与透镜152可以不是中心对齐,例如使第一侧A1面积更向外扩大,以便接收更多的感测光束L。在其他实施例中,感测画素100D1亦可配置为类似图6所示,使透镜152的焦平面与导光结构132B多个第一侧A1具有间隔。又或在另一实施例中,感测画素100D1更可配置为如图5或图7所示,在透镜层150中以一个透镜152A覆盖感测画素100D1中的多个感测区120。本实用新型对上述变化不做限制。
图9为本实用新型另一实施例的感测画素的示意图。请参考图9。本实施例的感测画素100E类似于图3所显示的感测画素100。两者不同之处在于,在本实施例中,多个导光结构132C的侧壁A3中朝向相邻导光结构132C的部分侧壁A3设计改为垂直面。意即,多个导光结构132C中朝向感测画素100E中心的侧壁A3为垂直面。如此一来,除了可进一步增加感测光束L的使用效率,进而提升感测画素100D的感测效果之外,还可以降低制程难度以提高良率。
在不同实施例中,可设置导光结构132C的第一侧A1的面积及位置,使第一侧A1与透镜152中心对齐。此外,在其他实施例中,感测画素100E亦可配置为类似图6所示,使透镜152的焦平面与导光结构132C多个第一侧A1具有间隔。又或在另一实施例中,感测画素100E更可配置为如图5或图7所示,在透镜层150中以一个透镜152A覆盖感测画素100E中的多个感测区120。本实用新型对此不做限制。
图10为本实用新型另一实施例的感测画素的示意图。请参考图10。本实施例的感测画素100F类似于图3所显示的感测画素100。两者不同之处在于,在本实施例中,省略配置了透镜层150,因此可适用于不同的需求中,例如可设置于薄型的光感测装置中。值得一提的是,前述所有实施例中的透镜层150亦可如图10进行省略以形成不同实施例,本实用新型并不限于此。省略透镜层的感测画素除仍可通过前述各实施例中导光层的结构,将通过第一侧A1的感测光束L传递到感测区120,而达到提升收光效率的功效。具体而言,通过第一侧A1的感测光束L中,部分光束可直传递到第二侧A2而入射到感测区120,另一部分光束则可通过侧壁A3产生全反射后再传到第二侧A2并入射感测区120。此外,省略透镜层可缩减感测画素整体的高度,适用于对感测画素的高度要求较严格的薄型光感测模块;此外还具有制作上较易、降低成本等优点。
图11为本实用新型另一实施例的感测画素的示意图。请参考图11。本实施例的感测画素100G类似于图10所显示的感测画素100F。两者不同之处在于,在本实施例中,导光层130还包括反射接口136,配置于多个导光结构132的多个侧壁A3。换言之,导光层130中的反射接口136设置在各导光结构132与介质结构134之间。举例而言,反射接口136例如为金属。因此,通过配置利于反射感测光束的反射接口136,可进一步提高感测光束L在多个导光结构132内的反射效果。前述所有实施例中的导光层130中,亦皆可配置如图11所示的反射接口136于导光结构132的侧壁A3,进一步提高感测光束L通过导光结构132入射到感测区120的效果。
图12A及图12B分别为本实用新型不同实施例的导光结构的剖面示意图。请参考图12A及图12B。除了前述实施例的导光结构132、132A、132B、132C之外,例如在透镜与相应的导光结构的第一侧A1及第二侧A2皆中心对齐时,亦可将导光结构设计为第一侧A1小于第二侧A2的平头多角锥体(如图12A所示导光结构132D)或第一侧A1与第二侧A2相等且其投影完全重迭的柱状体(如图12B所示导光结构132E),以便利用导光结构132D、132E将来自感测画素外部的感测光束引导或反射至相应的感测区,本实用新型并不限于此。
综上所述,在本实用新型的距离感测模块中,距离感测模块的发射端包括发光单元及接收端的至少一感测画素。其中,感测画素包括第二基板、多个感测区、导光层以及透光层。导光层包括多个导光结构,用以使感测光束传递至导光层中的多个导光结构时,可通过全反射的原理将感测光束集中入射到感测区,进而减少感测光束的损失。如此一来,可增加收光量以提高感测光束的使用效率,进而提升距离感测模块的感测效果。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种距离感测模块,其特征在于,包括:
第一基板;
上盖,配置于所述第一基板以形成一容置空间;
发光单元,配置于所述容置空间中的发射端;以及
至少一感测画素,配置于所述容置空间中的接收端,所述至少一感测画素包括:
第二基板,配置于所述容置空间中且具有顶面;
多个感测区,配置于所述第二基板内,并露出于所述顶面;
导光层,配置于所述第二基板上,其中所述导光层包括多个导光结构,各所述多个导光结构具有相对的第一侧以及第二侧,所述多个第二侧连接所述多个感测区;以及
透光层,配置于所述导光层上,所述导光层位于所述第二基板与所述透光层之间,所述多个第一侧连接所述透光层。
2.根据权利要求1所述的距离感测模块,其特征在于,所述导光层还包括介质结构,围绕所述多个导光结构,所述多个导光结构的折射率大于所述介质结构的折射率。
3.根据权利要求1所述的距离感测模块,其特征在于,所述第一侧的面积大于或等于所述第二侧的面积。
4.根据权利要求1所述的距离感测模块,其特征在于,所述第二侧在所述第二基板上的正投影完全重迭于所述第一侧在所述第二基板上的正投影。
5.根据权利要求4所述的距离感测模块,其特征在于,所述第二侧在所述第二基板上的正投影中心对齐于所述第一侧在所述第二基板上的正投影中心。
6.根据权利要求1所述的距离感测模块,其特征在于,所述第二侧在所述第二基板上的正投影仅部份重迭于所述第一侧在所述第二基板上的正投影。
7.根据权利要求1所述的距离感测模块,其特征在于,所述多个导光结构的外型为平头多角锥体或平头圆锥体。
8.根据权利要求1所述的距离感测模块,其特征在于,各所述多个导光结构还具有至少一侧壁,连接于所述第一侧以及所述第二侧,所述导光层还包括反射接口,配置于所述多个导光结构的所述多个侧壁,所述反射界面为金属或空气层。
9.根据权利要求1所述的距离感测模块,其特征在于,所述距离感测模块还包括:
挡墙,设置于所述容置空间中,以将所述容置空间区隔为所述发射端及所述接收端。
10.根据权利要求1所述的距离感测模块,其特征在于,所述至少一感测画素的数量为多个,且所述多个感测画素共享同一个所述第二基板。
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