CN219731044U - 一种点源坩埚取放装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种点源坩埚取放装置,属于蒸镀坩埚领域,包括外壳和设在外壳内的坩埚体,所述外壳的内侧壁盘绕有加热丝,所述坩埚体的上端设有凸缘,所述外壳的两侧均固定连接有固定块,所述固定块的内部转动安装有螺套,所述固定块上设有用于驱动螺套转动的驱动件,所述螺套的内部螺纹连接有螺杆,所述螺杆的上端固定连接有支撑块;通过固定块、螺套、驱动件、螺杆和支撑块的设置,在取放坩埚时,可启动驱动件带动螺套转动,使螺套带动螺杆竖向运动,使螺杆带动支撑块升降,可利用支撑块将坩埚体顶起,无需人工操作,可降低安全隐患。
Description
技术领域
本实用新型属于蒸镀坩埚技术领域,具体涉及一种点源坩埚取放装置。
背景技术
蒸镀是指在真空条件下,采用一定的加热方式使镀膜材料(或称膜料)气化并沉积到基片表面的工艺;广泛应用于显示面板的制作过程。点源坩埚是蒸镀工艺中最重要的设备之一。
现有的公告号为CN214572198U的中国专利公开了一种蒸镀坩埚结构,包括坩埚本体、压力传感器、PLC和送料部件,所述坩埚本体包括用于盛放镀膜材料的容纳腔,所述坩埚本体外沿其外周方向缠绕有加热丝,所述坩埚本体的底部设置检测容纳腔重量的压力传感器,所述坩埚本体的上部连接有与所述容纳腔相连通的送料部件,所述压力传感器通过PLC与所述送料部件相连。
针对上述中的相关技术,发明人发现该技术中至少存在如下问题:坩埚一般需要人工进行取放,操作比较麻烦,且未完全冷却的坩埚存在一定的安全隐患。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种点源坩埚取放装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种点源坩埚取放装置,包括外壳和设在外壳内的坩埚体,所述外壳的内侧壁盘绕有加热丝,所述坩埚体的上端设有凸缘,所述外壳的两侧均固定连接有固定块,所述固定块的内部转动安装有螺套,所述固定块上设有用于驱动螺套转动的驱动件,所述螺套的内部螺纹连接有螺杆,所述螺杆的上端固定连接有支撑块。
作为一种优选的实施方式,所述外壳的内底壁设有压力传感器。
作为一种优选的实施方式,所述外壳的内部设有隔热层。
作为一种优选的实施方式,所述驱动件包括固定安装在固定块上的电机、固定安装在电机输出端的主齿轮以及固定安装在螺套上的从齿轮,所述主齿轮与从齿轮啮合。
作为一种优选的实施方式,所述外壳的外侧壁上开设有滑槽,所述螺杆的下端固定连接有滑块,所述滑块滑动于滑槽内。
作为一种优选的实施方式,所述支撑块的顶部设有耐热层。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
该点源坩埚取放装置,通过固定块、螺套、驱动件、螺杆和支撑块的设置,在取放坩埚时,可启动驱动件带动螺套转动,使螺套带动螺杆竖向运动,使螺杆带动支撑块升降,可利用支撑块将坩埚体顶起,无需人工操作,可降低安全隐患;
该点源坩埚取放装置,通过驱动件的设置,可启动电机带动主齿轮转动,使主齿轮带动从齿轮转动,使从齿轮带动螺套转动,操作方便。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型的剖面结构示意图;
图3为本实用新型图2中A处结构放大图。
图中:1、外壳;2、坩埚体;3、加热丝;4、凸缘;5、固定块;6、螺套;7、驱动件;71、电机;72、主齿轮;73、从齿轮;8、螺杆;9、支撑块;10、压力传感器;11、隔热层;12、滑槽;13、滑块;14、耐热层。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型做进一步的描述。
以下实施例用于说明本实用新型,但不能用来限制本实用新型的保护范围。实施例中的条件可以根据具体条件做进一步的调整,在本实用新型的构思前提下对本实用新型的方法简单改进都属于本实用新型要求保护的范围。
请参阅图1-3,本实用新型提供一种点源坩埚取放装置,包括外壳1和设在外壳1内的坩埚体2,外壳1的内侧壁盘绕有加热丝3,通过加热丝3可对坩埚体2进行加热,外壳1的内部设有隔热层11,通过隔热层11可提高外壳1的保温隔热效果,外壳1的内底壁设有压力传感器10,通过压力传感器10可检测坩埚体2内重量。
坩埚体2的上端设有凸缘4,外壳1的两侧均固定连接有固定块5,固定块5的内部转动安装有螺套6,固定块5上设有用于驱动螺套6转动的驱动件7,螺套6的内部螺纹连接有螺杆8,螺杆8的上端固定连接有支撑块9,支撑块9的顶部设有耐热层14,通过固定块5、螺套6、驱动件7、螺杆8和支撑块9的设置,在取放坩埚时,可启动驱动件7带动螺套6转动,使螺套6带动螺杆8竖向运动,使螺杆8带动支撑块9升降,可利用支撑块9将坩埚体2顶起,无需人工操作,可降低安全隐患。
其中,驱动件7包括固定安装在固定块5上的电机71、固定安装在电机71输出端的主齿轮72以及固定安装在螺套6上的从齿轮73,主齿轮72与从齿轮73啮合,可启动电机71带动主齿轮72转动,使主齿轮72带动从齿轮73转动,使从齿轮73带动螺套6转动。
其中,外壳1的外侧壁上开设有滑槽12,螺杆8的下端固定连接有滑块13,滑块13滑动于滑槽12内,通过滑槽12与滑块13的配合,能够对螺杆8起到导向作用。
本实用新型的工作原理及使用流程:首先,通过固定块5、螺套6、驱动件7、螺杆8和支撑块9的设置,在取放坩埚时,可启动电机71带动主齿轮72转动,使主齿轮72带动从齿轮73转动,使从齿轮73带动螺套6转动,使螺套6带动螺杆8竖向运动,使螺杆8带动支撑块9升降,可利用支撑块9将坩埚体2顶起,无需人工操作,可降低安全隐患,
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种点源坩埚取放装置,包括外壳(1)和设在外壳(1)内的坩埚体(2),其特征在于:所述外壳(1)的内侧壁盘绕有加热丝(3),所述坩埚体(2)的上端设有凸缘(4),所述外壳(1)的两侧均固定连接有固定块(5),所述固定块(5)的内部转动安装有螺套(6),所述固定块(5)上设有用于驱动螺套(6)转动的驱动件(7),所述螺套(6)的内部螺纹连接有螺杆(8),所述螺杆(8)的上端固定连接有支撑块(9)。
2.根据权利要求1所述的一种点源坩埚取放装置,其特征在于:所述外壳(1)的内底壁设有压力传感器(10)。
3.根据权利要求1所述的一种点源坩埚取放装置,其特征在于:所述外壳(1)的内部设有隔热层(11)。
4.根据权利要求1所述的一种点源坩埚取放装置,其特征在于:所述驱动件(7)包括固定安装在固定块(5)上的电机(71)、固定安装在电机(71)输出端的主齿轮(72)以及固定安装在螺套(6)上的从齿轮(73),所述主齿轮(72)与从齿轮(73)啮合。
5.根据权利要求1所述的一种点源坩埚取放装置,其特征在于:所述外壳(1)的外侧壁上开设有滑槽(12),所述螺杆(8)的下端固定连接有滑块(13),所述滑块(13)滑动于滑槽(12)内。
6.根据权利要求1所述的一种点源坩埚取放装置,其特征在于:所述支撑块(9)的顶部设有耐热层(14)。
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