CN219713383U - 一种电子材料产生的废液废气焚烧系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种电子材料产生的废液废气焚烧系统。所述系统应用于高端电子材料产生的废液废气的焚烧系统，包括：焚烧炉、余热回收锅炉、急冷罐、吸收塔、洗涤塔、换热器、加热器、一级SCR催化炉、二级SCR催化炉、一级助燃风机、二级助燃风机、一级主风机、二级主风机和烟囱，所述焚烧炉的进口用于接入待焚烧废液以及废气，所述焚烧炉的出口与所述余热回收锅炉的进口相导通。本实用新型的高端电子材料产生的废液废气焚烧系统在处理高含氮有机物，以及卤素的废液废气时，可以做到高效、稳定、长期连续运行。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种应用于电子材料产生的废液废气的焚烧系统。
背景技术
在高端电子材料生产中，产生大量的含甲醛、一氧化碳、二甲胺、以及部分一氯甲烷等废液废气；一般的废水治理技术(生物法、湿法氧化法、物理法等)效率较差，很难快速处理，一般的废气治理技术主要包括活性炭吸附、溶剂洗涤、焚烧等方式具有能耗高或者效率较差的特点；同时，废液以及废气的分开处理也有投资高、占地面积大等显著缺点。
发明内容
本实用新型实施例提供应用于高端电子材料产生的废液废气的焚烧系统，针对上述问题，在处理应用于高端电子材料产生的废液废气的焚烧系统的高浓度废液以及废气时，可以做到高效、稳定、长期连续运行。
本实用新型提供的一种高端电子材料产生的废液废气的焚烧系统，所述系统包括：焚烧炉、余热回收锅炉、急冷罐、吸收塔、洗涤塔、换热器、加热器、一级SCR催化炉、二级SCR催化炉、一级助燃风机、一级主风机、二级主风机和烟囱；
所述焚烧炉的进口用于接入待焚烧废液以及废气，所述焚烧炉的出口与所述余热回收锅炉的进口相导通，所述一级助燃风机设置在所述焚烧炉的助燃空气通道上；
所述急冷罐的进口与余热回收锅炉的出口相导通；
所述吸收塔的进口与急冷罐的出口相导通；
所述洗涤塔的进口与所述吸收塔的出口相导通；
所述换热器冷侧入口通过一级主风机与洗涤塔出口相导通。
所述加热器进口与换热器冷侧出口相导通。
所述一级以及二级SCR催化炉串联后与加热器出口相导通。
所述换热器的热侧进口与二级SCR催化炉出口相导通。
所述换热器的热侧出口通过二级主风机与烟囱相导通。
在一种可行的方案中，还包括废液增压泵以及废气增压泵；
所述废液增压泵以及废气增压泵串联在所述焚烧炉的进口，所述废液增压泵用于对待焚烧废液进行加压，所述废气增压泵用于对待焚烧废气进行加压。
在一种可行的方案中，所述焚烧炉采用天然气作为燃料气体。
在一种可行的方案中，所述加热器还设有二级助燃风机，所述二级助燃风机安设在所述加热器的助燃口处。
在一种可行的方案中，还包括：所述焚烧炉为立式焚烧炉
在一种可行的方案中，还包括：氨水喷雾系统；
所述的氨水喷雾系统通过喷枪与所述余热回收锅炉内的二次燃烧室连通，所述氨水喷雾系统用于调控进入所述余热回收锅炉中还原剂NH3的含量。
在一种可行的方案中，还包括：急冷罐
所述急冷罐进口与所述余热回收锅炉的出口相导通，所述急冷罐中的液态水与高温废气直接接触，用于将余热回收后的尾气快速降温，高温烟气中Cl离子被急冷罐中的液态水吸收，并防止二噁英的产生；所述急冷罐与石墨冷却系统连通，所述石墨冷却系统用于将所述急冷罐中被升温的液态水与外界冷却水接触降温，使所述急冷罐一直具备急冷效果；所述急冷罐底部与一级循环浓缩系统连通，循环水泵循环运行，将所述急冷罐中的酸性浓缩，并回收。
在一种可行的方案中，还包括：吸收塔
所述吸收塔进口与所述急冷罐的出口相连通，所述吸收塔中与所述循坏泵连通，循环泵将吸收塔底部液态泵入吸收塔顶层，所述急冷罐出口的未被液态水吸收的物质在所述吸收塔中也液态水再次接触，Cl离子被快速吸收；所述吸收塔底部与所述二级循环浓缩系统连接，通过循环浓缩系统，Cl离子在吸收塔内部浓缩回收；所述吸收塔的顶部与所述补水泵连通，所述吸收塔底部与所述急冷罐的底部管道连通，所述急冷罐的水位由所述吸收塔控制，所述吸收塔底部水位由所述顶部补水阀控制。
在一种可行的方案中，还包括：洗涤塔
所述洗涤塔进口与所述吸收塔的出口相导通，所述洗涤塔的循环喷淋液为碱液，碱性喷淋液与被吸收塔处理后尾气接触，洗涤气体中残存的Cl离子。
在一种可行的方案中，还包括：换热器
所述换热器的冷侧进口通过所述的一级主风机与所述洗涤塔的出口相导通，所述换热器主要为经过所述洗涤后的尾气升温。
所述一级以及二级循环浓缩系统与所述急冷罐以及所述吸收塔相连接，所述一级以及二级循环浓缩系统通过部分溶液回流，确保溶液中的物质循环倍浓缩，确保较高浓度的Cl离子被产生。
综上，该系统具有系统集成度高、净化效率高、运行能耗低的优势。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型一种应用于高端电子材料产生的废液废气的焚烧系统示意图。
图中标号：
1-一级助燃风机、2-废气增压泵、3-废液增压泵、4-焚烧炉、5-余热回收锅炉、6-急冷罐、7-吸收塔、8-洗涤塔、9-一级主风机、10-换热器、11-二级助燃风机、12-加热器、13-一级SCR催化炉、14-二级SCR催化炉、15-二级主风机、16-烟囱、17-氨水喷雾系统、18-石墨冷却系统、19-一级循环浓缩系统、20-二级循环浓缩系统
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，也可以是成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通讯连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
本实用新型实施例提供应用于高端电子材料产生的废液废气的焚烧系统，包括：焚烧炉、余热回收锅炉、急冷罐、吸收塔、洗涤塔、换热器、加热器、一级SCR催化炉、二级SCR催化炉、一级助燃风机、一级主风机、二级主风机和烟囱，所述焚烧炉的进口用于接入待焚烧废液以及废气，所述焚烧炉的出口与所述余热回收锅炉的进口相导通，所述一级助燃风机设置在所述焚烧炉的助燃空气通道上；
所述急冷罐的进口与余热回收锅炉的出口相导通；
所述吸收塔的进口与所述急冷罐的出口相导通；
所述洗涤塔的进口与所述吸收塔的出口相导通。
所述吸收塔的出口通过一级主风机与所述换热器的冷侧进口相导通。
所述加热器的进口与所述换热器的冷侧出口相导通。
所述一级SCR催化炉与二级SCR催化炉串联后与所述加热器的出口相导通。
所述SCR催化炉出口与所述换热器的热侧进口相导通；
所述换热器的热侧出口通过所述二级主风机与所述烟囱相导通；
采用该技术方案，高端电子材料产生的废液废气通过一套装置集中处理，焚烧效率高、分离效果好，相比单独的废液处理备以及单独的废气处理设备，该焚烧装置结构简单，便于维护，处理效率较高，且运行能耗低。
一种可行的方案中还包括；废液增压泵以及废气增压泵；
所述废液增压泵以及废气增压泵串联在所述焚烧炉的进口，所述废液增压泵用于对待焚烧废液进行加压，所述废气增压泵用于对待焚烧废气进行加压。
采用该技术方案，是为了使废液进入焚烧炉时具有一定的压力，具有一定的雾化效果，以降低后续焚烧过程中的雾化负担，使废液的燃烧更加彻底；以及废气进入焚烧炉时具有一定的压力，使废气的燃烧更加彻底。
在一种可行的方案中，所述焚烧炉采用天然气作为燃料气体。
采用该技术方案，一方面是天然气的成本较低，另一方面，是天然气的热值相对较高，产生的温度足以引燃大部分的有机物。
在一种可行的方案中，所述加热器还设有二级助燃风机，所述二级助燃风机安设在所述加热器的助燃口处。
在一种可行的方案中，所述焚烧炉为立式焚烧炉。
采用该技术方案，是因为立式焚烧炉的燃烧效果更好，可以使废液获得更加充分的燃烧，同时立式焚烧炉占地空间更小。
在一种可行的方案中，还包括：氨水喷雾系统。
所述氨水喷雾系统通过喷枪与所述余热回收锅炉相导通，所述氨水喷雾系统用于调控进入所述余热回收锅炉中二次燃烧所需还原剂NH3的含量，以及将用于做还原剂的氨水充分雾化，调控SNCR的脱硝效率
在一种可行的方案中，还包括：石墨冷却系统。
所述石墨冷却系统的热侧进口与所述急冷罐底部连通，所述石墨冷却系统的热侧出口与所述急冷罐上部连通，所述石墨冷却系统的冷侧端与外置冷却水相连通；通过冷侧端外置冷却水将热侧端的所述急冷罐的循环液降温，保证所述急冷罐具有较好的冷却效果。
在一种可行的方案中，还包括：一级以及二级循环浓缩系统。
如图1所示，本实用于高端电子材料产生的废液废气的焚烧系统，包括：焚烧炉4、余热回收锅炉5、急冷罐6、吸收塔7、洗涤塔8、一级主风机9、换热器10、加热器11、一级SCR催化炉12、二级SCR催化炉13、二级主风机14、二级主风机15
该焚烧炉4的进口用于接入待焚烧废液，以及待焚烧废气，该焚烧炉4的出口与该余热回收锅炉5的进口相导通。一级助燃风机1设置在焚烧炉4的助燃空气通道上，如图所示，起到通风、助燃的作用。废液增压泵2以及废气增压泵3设置在焚烧炉4的废液以及废气管道上，如图所示，起到对待焚烧废液以及废气进行加压,是的废液以及废气快速冲入炉膛，使得燃烧更加彻底。
该余热回收锅炉5的进口与焚烧炉4的出口连接，该余热回收锅炉5的出口与所述急冷罐6的进口相导通。如图所示，焚烧炉4的出口的高温烟气进入到余热回收锅炉5，通过控制引入冷水以及水蒸气的量，来降低余热回收锅炉5中气体的温度，回收锅炉中的余热，控制产生水蒸气的温度；所述余热回收锅炉5中含有二次焚烧功能，所述氨水喷雾系统与二次燃烧区域相导通，通过氨水喷枪将雾化氨水喷入二次焚烧区，起到脱除氮氧化物的目的
该急冷罐6的进口与余热回收锅炉5的出口连接，该急冷罐6的出口与吸收塔7的进口相导通。石墨冷却系统与急冷罐底部相导通，通过冷却系统为急冷罐中的循环液降温；一次循环浓缩系统与急冷罐底部相导通，通过一定比例的循环，起到Cl离子浓缩的目的。
该吸收塔7的进口与急冷罐6的出口连接，该吸收塔7的出口与洗涤塔8的进口相导通。二次循环浓缩系统与吸收塔底部相导通，通过一定比例的循环，起到Cl离子浓缩的目的。如图所示，吸收塔的底部与急冷罐相导通，运行中急冷罐循环液的损失由吸收塔补充；吸收塔循环液的损失由吸收塔顶部除盐水的注水口补入。
该洗涤塔8的进口与吸收塔7的出口连接，该洗涤塔8的出口通过一级主风机9与换热器10的冷侧进口相导通。洗涤塔通过碱液喷淋，将废气中残存的Cl离子彻底吸收。
该加热器12的进口与换热器10的冷侧出口连接，该加热器12的与相互串联的一级SCR催化炉13以及二级SCR催化炉14进口相导通。经过换热升温后的气体再通过加热器升温到SCR的催化温度，进入催化炉进行彻底的氮氧化物讲解处理。二级助燃风机11与加热器12的助燃管道相连接，为加热器加热补充助燃空气。
该换热器10的热侧进口与SCR催化炉14的出口连接，换热器10的热侧出口通过二级主风机15与烟囱16相互导通；SCR处理后的气体讲过换热器降温后排放烟囱
采用该技术方案，高端电子材料产生的废液以及废气可以同时或者分别进入焚烧系统处理，可操作性高，设备集成度高，处理性能稳定，运行能耗低，操作简便。
本实用新型的系统采用DCS程序通过对系统的温度、压力等数据监测完成数据分析并自动控制。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。
而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，所述系统包括：焚烧炉、余热回收锅炉、急冷罐、吸收塔、洗涤塔、换热器、加热器、一级SCR催化炉、二级SCR催化炉、一级助燃风机、一级主风机、二级主风机和烟囱；
所述焚烧炉的进口用于接入待焚烧废液以及废气，所述焚烧炉的出口与所述余热回收锅炉的进口相导通，所述一级助燃风机设置在所述焚烧炉的助燃空气通道上；
所述急冷罐的进口与余热回收锅炉的出口相导通；
所述吸收塔的进口与急冷罐的出口相导通；
所述洗涤塔的进口与所述吸收塔的出口相导通；
所述换热器冷侧入口通过一级主风机与洗涤塔出口相导通；
所述加热器进口与换热器冷侧出口相导通；
所述一级以及二级SCR催化炉串联后与加热器出口相导通；
所述换热器的热侧进口与二级SCR催化炉出口相导通；
所述换热器的热侧出口通过二级主风机与烟囱相导通。
2.根据权利要求1所述的一种电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，还包括废液增压泵以及废气增压泵；
所述废液增压泵以及废气增压泵串联在所述焚烧炉的进口，所述废液增压泵用于对待焚烧废液进行加压，所述废气增压泵用于对待焚烧废气进行加压。
3.根据权利要求1所述的一种电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，所述焚烧炉采用天然气作为燃料气体。
4.根据权利要求1所述的电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，所述加热器还设有二级助燃风机，所述二级助燃风机安设在所述加热器的助燃口处。
5.根据权利要求1所述的一种电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，还包括：所述焚烧炉为立式焚烧炉。
6.根据权利要求1所述的电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，还包括：氨水喷雾系统；
所述的氨水喷雾系统通过喷枪与所述余热回收锅炉内的二次燃烧室连通，所述氨水喷雾系统用于调控进入所述余热回收锅炉中还原剂NH3的含量。
7.根据权利要求1所述的一种电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，还包括：急冷罐；
所述急冷罐进口与所述余热回收锅炉的出口相导通，所述急冷罐中的液态水与高温废气直接接触，用于将余热回收后的尾气快速降温，高温烟气中Cl离子被急冷罐中的液态水吸收，并防止二噁英的产生；所述急冷罐与石墨冷却系统连通，所述石墨冷却系统用于将所述急冷罐中被升温的液态水与外界冷却水接触降温，使所述急冷罐一直具备急冷效果；所述急冷罐底部与一级循环浓缩系统连通，循环水泵循环运行，将所述急冷罐中的酸性浓缩，并回收。
8.根据权利要求1所述的一种电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，还包括：吸收塔；
所述吸收塔进口与所述急冷罐的出口相导通，所述吸收塔中与循坏泵连通，循环泵将吸收塔底部液态泵入吸收塔顶层，所述急冷罐出口的未被液态水吸收的物质在所述吸收塔中与液态水再次接触，Cl离子被快速吸收；所述吸收塔底部与二级循环浓缩系统连接，通过循环浓缩系统，Cl离子在吸收塔内部浓缩回收；所述吸收塔的顶部与补水泵连通，所述吸收塔底部与所述急冷罐的底部管道连通，所述急冷罐的水位由所述吸收塔控制，所述吸收塔底部水位由顶部的补水阀控制。
9.根据权利要求1所述的一种电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，还包括：洗涤塔，
所述洗涤塔进口与所述吸收塔的出口相导通，所述洗涤塔的循环喷淋液为碱液，碱性喷淋液与被吸收塔处理后尾气接触，洗涤气体中残存的Cl离子。
10.根据权利要求1所述的一种电子材料产生的废液废气的焚烧系统，其特征在于，还包括：换热器；
所述换热器的冷侧进口通过所述的一级主风机与所述洗涤塔的出口相导通，所述换热器为经过洗涤后的尾气升温。
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