CN219712495U - 气动真空挡板阀 - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Abstract
本实用新型提供了一种气动真空挡板阀,包括阀体、阀板、阀盖以及气缸,气缸安装在阀盖上,气缸的活塞杆延伸至阀体内与阀板连接,阀体的底壁上设有出气口,阀体的侧壁上设有进气口,气缸用于驱动阀板密封或开启出气口,阀盖上与气缸对应的位置穿设有朝着阀体内腔延伸的轴套,气缸的活塞杆滑动配装在轴套内;轴套下端的内壁与活塞杆的外壁之间配装有滑动轴承,轴套上端的内壁与活塞杆之间设置有密封组件;轴套与阀板之间设置有沿活塞杆的轴向延伸的弹性件,以使得阀板始终具有往下运动的趋势,且在阀体侧壁内设有冷却通道。本实用新型提供一种气动真空挡板阀,能够有效保证阀板升降平稳,并且密封性能稳定,耐高温效果好,不易失效。
Description
技术领域
实用新型涉及挡板阀技术领域,具体地说是一种气动真空挡板阀。
背景技术
真空挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流,其由于具有密封可靠、流导大、安全性好以及可手控、电控、气控等特点,形式多样,规格齐全,公称尺寸DN150~1200,结构合理等,因此,被广泛用于大、中型多种真空装置的真空系统之中,如用于真空镀膜设备,真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设备等。目前真空挡板阀根据驱动力的类型又可以分为电动真空挡板阀和气动真空挡板阀。
气动真空挡板阀结构中,通过气缸驱使阀板的上下移动以实现出气口的开启或关闭,现有技术中由于阀板通细长的连接杆作为连接,在其移动过程中连接杆容易发生偏斜,从而导致阀板的平面度受到影响,最终影响阀板对于出气口的密封性能;另一方面的,对于一些高温真空设备中,除了挡板阀自身元件的材料需要满足耐热性能外,如何在原因的结构基础上增加冷却系统也是非常有必要的。
实用新型内容
实用新型解决的问题是,为了克服现有技术中的至少一种缺陷,提供一种气动真空挡板阀,能够有效保证阀板升降平稳,并且密封性能稳定,耐高温效果好,不易失效。
为解决上述问题,实用新型提供一种气动真空挡板阀,包括阀体、阀板、阀盖以及气缸,所述阀盖安装在所述阀体的上部开口端,所述气缸安装在所述阀盖上,且所述气缸的活塞杆延伸至所述阀体内与所述阀板连接,所述阀体的底壁上开设有出气口,所述阀体的侧壁上开设有进气口,所述气缸的伸缩用于驱动所述阀板密封或开启所述出气口,所述阀盖上与所述气缸对应的位置穿设有朝着所述阀体内腔延伸的轴套,所述气缸的活塞杆滑动配装在所述轴套内;所述轴套下端的内壁与所述活塞杆的外壁之间配装有滑动轴承,所述轴套上端的内壁与所述活塞杆之间设置有密封组件;所述轴套与所述阀板之间设置有沿所述活塞杆的轴向延伸的弹性件,以使得所述阀板始终具有往下运动的趋势;所述阀体的周向侧壁为双层结构,且双层侧壁之间留有空隙以形成冷却通道;所述阀体的侧壁上分别设置有与所述冷却通道连通的进液口以及出液口。
实用新型的气动真空挡板阀与现有技术相比具有以下优点:
本实用新型的气动真空挡板阀结构中,将气缸连接在阀盖上,并且在阀盖上设置有相应的轴套,并且轴套的一端延伸至阀体内腔中,气缸的活塞杆滑动且密封配合在轴套中;另外的在轴套位于阀体内腔中一端的内壁上还设置有滑动轴承,保证活塞杆运行的平稳性;再一方面的,本结构中在轴套与阀板之间还设有弹性件,在阀板闭合过程中,在弹簧的弹性复位力作用下能够保证阀板的下移更加的平稳,并且当阀板与出气口配合后,在弹簧弹力作用下,就算气缸的气压发生细微变化也不会导致阀板密封失效,保证阀板始终压合在出气口;另外的,本实用新型的阀体结构中将周向侧壁设置成双层结构,并且双层壳体之间形成冷却通道,在阀体的侧壁上开设有相应的进液口以及出液口,用于循环通入冷却液,使得整个阀体能够更好的适用高温工况。
进一步的,所述弹性件为弹簧,所述弹簧套装在所述活塞杆的外部,且所述弹簧内壁与所述活塞杆外壁之间留有间隙,所述弹簧的上下两端分别与轴套的下端以及所述阀板上端面相抵靠。上述结构中,选用弹簧作为弹性件,结构简单,安装方便;并且弹簧可以套装在活塞杆外部,稳定性高。
作为改进的,所述阀盖的下端面上连接有三根竖向设置且沿其周向分布的导向杆,所述阀板的上端面上连接有三个分别滑动配装在各所述导向杆外部的导向套。上述改进结构中,导向杆以及导向套的设置能够更好的保证阀板升降的平稳性,进而保证密封性能的稳定性。
再改进的,所述阀板的下端面上开设有环形的燕尾槽,所述燕尾槽内配装有第一密封圈,且所述第一密封圈的下端面外凸于所述阀板的下端面。上述改进结构中,在阀板的下单设置第一密封圈能够增加密封效果;另外的,燕尾槽的设置可以有效避免第一密封圈脱落。
再进一步的,所述密封组件包括两个第二密封圈、轴环以及压盖,所述轴套靠近所述气缸一端的内壁上开设有安装槽;两个所述第二密封圈的内圈密封套装在活塞杆外部,两个所述第二密封圈的外圈均配装在所述安装槽内,所述轴环的径向外端配装在所述安装槽内且位于两个第二密封圈之间,所述轴环的径向内端与所述活塞杆外壁滑动配合,所述压盖配装在所述安装槽的外端,以使得两个所述第二密封圈沿轴向抵接在轴环的上下两端。上述结构中,密封组件包括两个第二密封圈,提高密封性能;并且在两个第二密封圈之间设置轴环,能够实现径向限位,保证上下两个第二密封圈密封面的对称。
再改进的,所述阀盖上与所述气缸对应的位置开设有沉头通孔,所述轴套的外端设置有与所述沉头通孔的沉头台阶密封配合的定位凸板,所述阀盖上设置有用于安装所述气缸的压板,且所述压板的内端抵紧限位在所述轴套的外端;所述压盖配装在所述定位凸板的上端面上。上述改进结构中,压板的设置即方便气缸的安装,又能实现轴套的抵压限位,使得轴套与阀板的连接不需要其他的紧固件,简化连接结构。
附图说明
图1为实用新型的气动真空挡板阀的结构示意图;
图2为图1中X处放大结构图;
图3为图1中的气动真空挡板阀的局部仰视图。
附图标记说明:
1、阀体;2、阀板;3、阀盖;4、气缸;5、出气口;6、进气口;7、轴套;8、滑动轴承;9、弹性件;10、导向杆;11、导向套;12、第二密封圈;13、轴环;14、压盖;15、安装槽;16、沉头通孔;17、定位凸板;18、压板;19、冷却通道;20、进液口;21、连接块。
具体实施方式
为使实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对实用新型的具体实施例做详细的说明。
在实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上端”、“下端”、“外侧壁”、“底壁”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对实用新型的限制。
在实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在实用新型中的具体含义。
如图1、2所示,实用新型提供了一种气动真空挡板阀,包括阀体1、阀板2、阀盖3以及气缸4,其中阀体1的上部开口,阀盖3安装在阀体1的上部开口端,并且气缸4竖直安装在阀盖3上,另外的,气缸4的活塞杆延伸至阀体1内并且可拆卸的连接在阀板2的上端面,具体的,在阀板2的上端连接有两块对开的连接块21,两个连接块21之间形成用于容置活塞杆下端部的连接头的安装腔。再一方面的,上述结构中在阀体1的底壁上开设有出气口5,阀体1的侧壁上开设有进气口6,并且进气口6与出气口5呈垂直分布,通过气缸4的活塞杆的伸缩以实现阀板2密封或开启出气口5;本实施例中在阀盖3上与气缸4对应的位置穿设有朝着阀体1内腔延伸的轴套7,气缸4的活塞杆滑动配装在轴套7内,并且在轴套7下端的内壁与活塞杆的外壁之间配装有滑动轴承8,滑动轴承8的设置使得活塞杆的升降更加的平稳,并且径向具有一定的限位作用。
阀板2的下端面上开设有环形的燕尾槽,燕尾槽内配装有第一密封圈,且第一密封圈的下端面外凸于所述阀板2的下端面;燕尾槽设置提高了第一密封圈与阀板2连接的稳定性,不易脱落。
另外的,轴套7上端的内壁与活塞杆之间设置有密封组件;具体的,如图2所示,密封组件包括两个第二密封圈12、轴环13以及压盖14,轴套7靠近所述气缸4一端的内壁上开设有安装槽15;两个第二密封圈12的内圈密封套装在活塞杆外部,两个第二密封圈12的外圈均配装在安装槽15内,轴环13的径向外端配装在安装槽15内且位于两个第二密封圈12之间,轴环13的径向内端与活塞杆外壁滑动配合,压盖14配装在安装槽15的外端,以使得两个第二密封圈12沿轴向抵接在轴环13的上下两端,更好的保证轴套7与活塞杆之间的密封性;再一方面的,在阀盖3上与气缸4对应的位置开设有沉头通孔16,轴套7的外端设置有与沉头通孔16的沉头台阶密封配合的定位凸板17,阀盖3上设置有用于安装气缸4的压板18,且压板18的内端抵紧限位在轴套7的外端;此结构中通过压板18与阀盖3的连接同时实现轴套7与阀盖3的抵紧限位,不需要另外的紧固件,简化连接结构,方便安装;上述结构中压盖14通过连接螺钉可拆卸的配装在定位凸板17的上端面上。
如图1所示,本实施例中在轴套7与阀板2之间设置有沿活塞杆的轴向延伸的弹性件9,以使得所述阀板2始终具有往下运动的趋势。优选的,弹性件9为弹簧,弹簧套装在活塞杆的外部,且弹簧内壁与活塞杆外壁之间留有间隙,弹簧的上下两端分别与轴套7的下端以及阀板2上端面相抵靠。这样设置后,能够更好的保证阀板2与出气口5配合的密封性,并且在阀板2处于开启时,弹簧处于压缩状态,在下次的阀板2闭合过程中,在弹簧的弹性复位力作用下能够保证阀板2的下移更加的平稳,并且当阀板2与出气口5配合后,在弹簧弹力作用下,就算气缸4的气压发生细微变化也不会导致阀板2密封失效。
另一方面的,在阀盖3的下端面上连接有三根竖向设置且沿其周向分布的导向杆10,阀板2的上端面上连接有三个分别滑动配装在各导向杆10外部的导向套11。此结构中,导向杆10与导向套11的配合使得活塞杆的升降具有更好的导向作用以及周向限位作用,进一步的保证阀板2升降的平稳性,进而保证阀板2与出气口5配合的密封效果。
如图3所示,本实施例中阀体1的周向侧壁为双层结构,且双层侧壁之间留有空隙以形成冷却通道19;阀体1的侧壁上分别设置有与冷却通道19连通的进液口20以及出液口(图中未画出)。
虽然本实用新型公开披露如上,但本实用新型公开的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员,在不脱离本实用新型公开的精神和范围的前提下,可进行各种变更与修改,这些变更与修改均将落入实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种气动真空挡板阀,包括阀体(1)、阀板(2)、阀盖(3)以及气缸(4),所述阀盖(3)安装在所述阀体(1)的上部开口端,所述气缸(4)安装在所述阀盖(3)上,且所述气缸(4)的活塞杆延伸至所述阀体(1)内与所述阀板(2)连接,所述阀体(1)的底壁上开设有出气口(5),所述阀体(1)的侧壁上开设有进气口(6),所述气缸(4)的伸缩用于驱动所述阀板(2)密封或开启所述出气口(5),其特征在于:所述阀盖(3)上与所述气缸(4)对应的位置穿设有朝着所述阀体(1)内腔延伸的轴套(7),所述气缸(4)的活塞杆滑动配装在所述轴套(7)内;所述轴套(7)下端的内壁与所述活塞杆的外壁之间配装有滑动轴承(8),所述轴套(7)上端的内壁与所述活塞杆之间设置有密封组件;所述轴套(7)与所述阀板(2)之间设置有沿所述活塞杆的轴向延伸的弹性件(9),以使得所述阀板(2)始终具有往下运动的趋势;所述阀体(1)的周向侧壁为双层结构,且双层侧壁之间留有空隙以形成冷却通道(19);所述阀体(1)的侧壁上分别设置有与所述冷却通道(19)连通的进液口(20)以及出液口。
2.根据权利要求1所述的气动真空挡板阀,其特征在于:所述弹性件(9)为弹簧,所述弹簧套装在所述活塞杆的外部,且所述弹簧内壁与所述活塞杆外壁之间留有间隙,所述弹簧的上下两端分别与轴套(7)的下端以及所述阀板(2)上端面相抵靠。
3.根据权利要求1或2所述的气动真空挡板阀,其特征在于:所述阀盖(3)的下端面上连接有三根竖向设置且沿其周向分布的导向杆(10),所述阀板(2)的上端面上连接有三个分别滑动配装在各所述导向杆(10)外部的导向套(11)。
4.根据权利要求3所述的气动真空挡板阀,其特征在于:所述阀板(2)的下端面上开设有环形的燕尾槽,所述燕尾槽内配装有第一密封圈,且所述第一密封圈的下端面外凸于所述阀板(2)的下端面。
5.根据权利要求3所述的气动真空挡板阀,其特征在于:所述密封组件包括两个第二密封圈(12)、轴环(13)以及压盖(14),所述轴套(7)靠近所述气缸(4)一端的内壁上开设有安装槽(15);两个所述第二密封圈(12)的内圈密封套装在活塞杆外部,两个所述第二密封圈(12)的外圈均配装在所述安装槽(15)内,所述轴环(13)的径向外端配装在所述安装槽(15)内且位于两个第二密封圈(12)之间,所述轴环(13)的径向内端与所述活塞杆外壁滑动配合,所述压盖(14)配装在所述安装槽(15)的外端,以使得两个所述第二密封圈(12)沿轴向相互抵接在轴环(13)的上下两端。
6.根据权利要求5所述的气动真空挡板阀,其特征在于:所述阀盖(3)上与所述气缸(4)对应的位置开设有沉头通孔(16),所述轴套(7)的外端设置有与所述沉头通孔(16)的沉头台阶密封配合的定位凸板(17),所述阀盖(3)上设置有用于安装所述气缸(4)的压板(18),且所述压板(18)的内端抵紧限位在所述轴套(7)的外端;所述压盖(14)配装在所述定位凸板(17)的上端面上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223603975.2U CN219712495U (zh) | 2022-12-31 | 2022-12-31 | 气动真空挡板阀 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223603975.2U CN219712495U (zh) | 2022-12-31 | 2022-12-31 | 气动真空挡板阀 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN219712495U true CN219712495U (zh) | 2023-09-19 |
Family
ID=87996361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202223603975.2U Active CN219712495U (zh) | 2022-12-31 | 2022-12-31 | 气动真空挡板阀 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN219712495U (zh) |
-
2022
- 2022-12-31 CN CN202223603975.2U patent/CN219712495U/zh active Active
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |