CN219704615U - 一种晶圆外径研磨装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种晶圆外径研磨装置。它解决了现有外径研磨装置虽然大多都能够适应不同尺寸晶棒的研磨，但是单次只能研磨一根晶棒，研磨效率较低等技术问题。本晶圆外径研磨装置，包括机架和底座，机架安装在底座上，机架底部设置有若干旋转电机，旋转电机的输出轴上安装有用于晶棒端部夹持的卡盘一，机架顶部安装有若干推杆电机一，推杆电机外部设置有保护壳，推杆电机一的杆部安装有安装块一，安装块一上通过转动轴转动连接有用于晶棒端部夹持的卡盘二，卡盘一和卡盘二之间设置有若干用于晶棒打磨的打磨件，打磨件通过一驱动机构滑动连接在机架上，机架侧面设置有控制面板。本实用新型能够同时研磨多个不同尺寸的晶棒，研磨效率高。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆加工技术领域，涉及一种研磨装置，特别是一种晶圆外径研磨装置。
背景技术
晶圆制造时，需要通过晶棒法将原料制成圆柱形的晶棒，再将晶棒切片，成为晶圆的粗胚。而在将晶棒切片之前，由于在晶棒成长过程中，其外径尺寸和圆度均有一定偏差，其外圆柱面也凹凸不平，所以必须对外径进行规整处理，使其尺寸、形状误差均小于允许偏差，这就需要用到外径研磨装置，现有的外径研磨装置虽然大多都能够适应不同尺寸晶棒的研磨，但是单次只能研磨一根晶棒，研磨效率较低，设计出一种晶圆外径研磨装置是很有必要的。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种晶圆外径研磨装置。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种晶圆外径研磨装置，包括机架和底座，机架安装在底座上，其特征在于，所述机架底部设置有若干旋转电机，旋转电机的输出轴上安装有用于晶棒端部夹持的卡盘一，所述机架顶部安装有若干推杆电机一，所述推杆电机外部设置有保护壳，推杆电机一的杆部安装有安装块一，安装块一上通过转动轴转动连接有用于晶棒端部夹持的卡盘二，卡盘一和卡盘二之间设置有若干用于晶棒打磨的打磨件，所述打磨件通过一驱动机构滑动连接在机架上，所述机架侧面设置有控制面板。
本实用新型的工作原理如下：将需要研磨的晶棒一端通过卡盘一固定，再根据晶棒的长度，通过调节推杆电机一将晶棒的另一端通过卡盘二固定，晶棒固定完毕后，启动旋转电机，控制晶棒以设定速度旋转，期间通过驱动机构，驱动打磨件上下往复运动对晶棒外径进行研磨。
所述驱动机构包括直线电机、安装板和推杆电机二，所述机架上开设有导槽，所述直线电机安装在导槽内，直线电机的输出端与安装板的端部相连，所述安装板上安装有若干推杆电机二，推杆电机二的杆部与打磨件相连。
采用上述结构，通过推杆电机二控制打磨件的伸缩，从而控制晶棒研磨的直径大小，并通过直线电机控制打磨件上下往复运动，实现晶棒的研磨。
所述保护壳上安装有尺寸表。
采用上述结构，能够显示推杆电机杆部伸出的长度。
所述保护壳上安装有调节按钮。
采用上述结构，通过调节按钮来控制推杆电机，从而使卡盘二精准夹持晶棒。
所述推杆电机一与机架连接处安装有固定螺栓。
采用上述结构，保持推杆电机一的稳定性。
所述机架上安装有防护门。
采用上述结构，在研磨时防止飞溅。
与现有技术相比，本晶圆外径研磨装置具有该优点：本实用新型通过设置了多个卡盘一和卡盘二，组成多个研磨单元，并且设置了可调节的机构，能够同时研磨多个不同尺寸的晶棒，研磨效率高。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型工作时的示例图。
图3是本实用新型中驱动机构的结构示意图。
图4是本实用新型的外部立体结构示意图。
图中，1、机架；2、底座；3、旋转电机；4、卡盘一；5、推杆电机一；6、保护壳；7、安装块一；8、卡盘二；9、打磨件；10、控制面板；11、直线电机；12、安装板；13、推杆电机二；14、尺寸表；15、调节按钮；16、固定螺栓；17、防护门。
具体实施方式
以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
如图1-4所示，本晶圆外径研磨装置，包括机架1和底座2，机架1安装在底座2上，机架1底部设置有若干旋转电机3，旋转电机3的输出轴上安装有用于晶棒端部夹持的卡盘一4，机架1顶部安装有若干推杆电机一5，推杆电机外部设置有保护壳6，推杆电机一5的杆部安装有安装块一7，安装块一7上通过转动轴转动连接有用于晶棒端部夹持的卡盘二8，卡盘一4和卡盘二8之间设置有用于晶棒打磨的打磨件9，打磨件9通过一驱动机构滑动连接在机架1上，机架1侧面设置有控制面板10。
本实用新型中卡盘一4和卡盘二8采用现有的四爪卡盘。
本实用新型中各机构通过现有技术进行连接，并通过控制面板10实现同步控制。
驱动机构包括直线电机11、安装板12和推杆电机二13，机架1上开设有导槽，直线电机11安装在导槽内，直线电机11的输出端与安装板12的端部相连，安装板12上安装有若干推杆电机二13，推杆电机二13的杆部与打磨件9相连。
本实用新型中旋转电机3、推杆电机一5、推杆电机二13和打磨件9的数量具体为五个。
推杆电机一5的保护壳6上安装有尺寸表14。
推杆电机一5的保护壳6上安装有调节按钮15。
推杆电机一5与机架1连接处安装有固定螺栓16。
机架1上安装有防护门17。
本实用新型中防护门17采用现有的透明防护门17，能够在研磨时观察内部晶棒的研磨情况。
本实用新型的工作原理：将需要研磨的晶棒一端通过卡盘一4固定，再根据晶棒的长度，通过调节推杆电机一5将晶棒的另一端通过卡盘二8固定，晶棒固定完毕后，启动旋转电机3，控制晶棒以设定速度旋转，期间通过驱动机构，驱动打磨件9上下往复运动对晶棒外径进行研磨。
以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (6)
1.一种晶圆外径研磨装置，包括机架(1)和底座(2)，机架(1)安装在底座(2)上，其特征在于，所述机架(1)底部设置有若干旋转电机(3)，旋转电机(3)的输出轴上安装有用于晶棒端部夹持的卡盘一(4)，所述机架(1)顶部安装有若干推杆电机一(5)，所述推杆电机外部设置有保护壳(6)，推杆电机一(5)的杆部安装有安装块一(7)，安装块一(7)上通过转动轴转动连接有用于晶棒端部夹持的卡盘二(8)，卡盘一(4)和卡盘二(8)之间设置有若干用于晶棒打磨的打磨件(9)，所述打磨件(9)通过一驱动机构滑动连接在机架(1)上，所述机架(1)侧面设置有控制面板(10)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆外径研磨装置，其特征在于，所述驱动机构包括直线电机(11)、安装板(12)和推杆电机二(13)，所述机架(1)上开设有导槽，所述直线电机(11)安装在导槽内，直线电机(11)的输出端与安装板(12)的端部相连，所述安装板(12)上安装有若干推杆电机二(13)，推杆电机二(13)的杆部与打磨件(9)相连。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆外径研磨装置，其特征在于，所述保护壳(6)上安装有尺寸表(14)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆外径研磨装置，其特征在于，所述保护壳(6)上安装有调节按钮(15)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆外径研磨装置，其特征在于，所述推杆电机一(5)与机架(1)连接处安装有固定螺栓(16)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆外径研磨装置，其特征在于，所述机架(1)上安装有防护门(17)。
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