CN219677240U - 一种耐用型静电吸附盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于静电吸附盘领域，具体公开了一种耐用型静电吸附盘，包括安装基板、底板、第一柔性夹板、静电板和面板；所述安装基板表面固定有环形挡板，环形挡板内部设置有底板，且底板与安装基板为焊接固定，安装基板表面边缘呈环形分布开设有若干定位孔，所述底板内部设置有第一柔性夹板，第一柔性夹板表面设置有静电板，静电板表面设置有第二柔性夹板，第二柔性夹板表面设置有面板，所述底板、第一柔性夹板、静电板和第二柔性夹板半径相同，且都位于环形挡板内部，所述面板表面中部呈矩形分布有若干吸附凸起。
Description
技术领域
本实用新型涉及静电吸附盘领域，具体为一种耐用型静电吸附盘。
背景技术
在晶圆的刻蚀、物理气相沉积和化学气相沉积等工艺步骤中，通常需要采用静电吸附装置来固定和支撑晶圆，静电吸附装置一般包括基座以及设置在基座上用于吸附晶圆的静电吸附盘，静电吸附装置利用静电吸附原理将待加工的晶圆吸附在静电吸附盘表面，避免了晶圆在进行工艺处理过程中发生移位或者错位。
目前市场上的静电吸附卡盘，一般使用在卡盘表面，晶圆的背面流动氦气的方式对晶圆降温，目前的理论认为，晶圆背面的氦气气压在4-6Torr时气体导热的效率最高，因此在冷却时，为了保持高气压，采用比较浅的导气槽，气体流量也比较小，为3-5sccm,但是如果卡盘表面颗粒物增多导致静电吸力降低的情况下，高气压会导致晶圆跳起，从而造成工艺失败。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种耐用型静电吸附盘，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种耐用型静电吸附盘，包括安装基板、底板、第一柔性夹板、静电板和面板；所述安装基板表面固定有环形挡板，环形挡板内部设置有底板，且底板与安装基板为焊接固定，安装基板表面边缘呈环形分布开设有若干定位孔，所述底板内部设置有第一柔性夹板，第一柔性夹板表面设置有静电板，静电板表面设置有第二柔性夹板，第二柔性夹板表面设置有面板，所述底板、第一柔性夹板、静电板和第二柔性夹板半径相同，且都位于环形挡板内部，所述面板表面中部呈矩形分布有若干吸附凸起。
优选的，所述面板表面位于若干吸附凸起两侧分别设置有若干冷却孔和若干负压孔，若干冷却孔和若干负压孔相互对应设置，且都横向分布。
优选的，所述面板侧面开设有冷却通道，冷却通道与若干冷却孔相互连通，冷却通道内部设置有冷却管，所述冷却管另一端与氦气管道连通；所述面板侧面开设有负压通道，负压通道与若干负压孔连通，负压通道内部设置有真空管，真空管另一端与抽真空泵连通。
优选的，所述面板中部开设有若干卸料孔，所述卸料孔内部安装有微型气缸，微型气缸输出端固定连接有顶针。
优选的，所述面板中心设置有检测凸起，所述检测凸起端部安装固定有温度传感器。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型在静电板的上下两侧分别设置有第一柔性夹板和第二柔性夹板，能够对静电板起到防护作用，达到一定的缓冲效果，在面板表面中部呈矩形分布有若干吸附凸起，吸附凸起由氮化钛材料制成，氮化钛材料硬度高，耐磨，能够满足耐用的标准。
2、本实用新型通过冷却孔、冷却通道、负压孔和负压通道的配合，在面板将物件静电吸附后，用于冷却的氦气通过氦气管道进入冷却管内，并从面板表面开设的冷却孔喷于物件表面，而后在抽真空泵的作用下，使负压孔内呈负压状态，从而引导氦气流经物件表面后从负压孔排出，而在此过程中，便能够实现对物件的降温处理。
附图说明
图1为本实用新型整体的立体结构示意图；
图2为本实用新型整体的正面结构示意图。
图中：1、安装基板；2、环形挡板；3、底板；4、定位孔；5、第一柔性夹板；6、静电板；7、第二柔性夹板；8、面板；9、吸附凸起；10、冷却孔；11、冷却通道；12、冷却管；13、负压孔；14、负压通道；15、真空管；16、卸料孔；17、微型气缸；18、顶针；19、检测凸起；20、温度传感器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种耐用型静电吸附盘，包括安装基板1、底板3、第一柔性夹板5、静电板6和面板8；安装基板1表面边缘呈环形分布开设有若干定位孔4，通过若干的定位孔4可将安装基板1安装固定，在安装基板1表面固定有环形挡板2，环形挡板2由绝缘材料制成，能够防止外部物件接触而降低静电电压，从而保证静电吸附的效果，环形挡板2内部设置有底板3，且底板3与安装基板1为焊接固定；
底板3内部设置有第一柔性夹板5，第一柔性夹板5表面设置有静电板6，静电板6表面设置有第二柔性夹板7，第二柔性夹板7表面设置有面板8，底板3、第一柔性夹板5、静电板6和第二柔性夹板7半径相同，且都位于环形挡板2内部，在静电板6上下两侧分别设置第一柔性夹板5和第二柔性夹板7，能够对静电板6起到防护作用，达到一定的缓冲效果，在静电板6内通过静电控制器将直流电压进行增压及倍压处理，转化为高压静电，从而对物件进行吸附，面板8表面中部呈矩形分布有若干吸附凸起9，吸附凸起9由氮化钛材料制成，氮化钛材料硬度高，耐磨，能够满足耐用的标准；
面板8表面位于若干吸附凸起9两侧分别设置有若干冷却孔10和若干负压孔13，若干冷却孔10和若干负压孔13相互对应设置，且都横向分布，面板8侧面开设有冷却通道11，冷却通道11与若干冷却孔10相互连通，冷却通道11内部设置有冷却管12，冷却管12另一端与氦气管道连通；面板8侧面开设有负压通道14，负压通道14与若干负压孔13连通，负压通道14内部设置有真空管15，真空管15另一端与抽真空泵连通，在面板8将物件静电吸附后，用于冷却的氦气通过氦气管道进入冷却管12内，并从面板8表面开设的冷却孔10喷于物件表面，而后在抽真空泵的作用下，使负压孔13内呈负压状态，从而引导氦气流经物件表面后从负压孔13排出，而在此过程中，便能够实现对物件的降温处理；
面板8中心设置有检测凸起19，检测凸起19端部安装固定有温度传感器20，面板8中部开设有若干卸料孔16，卸料孔16内部安装有微型气缸17，微型气缸17输出端固定连接有顶针18，物件在被静电吸附时一直由温度传感器20对物件表面温度进行检测，当检测到物件温度达到需求时，便可启动微型气缸17，由微型气缸17带动顶针18运动，再由顶针18将物件进行卸料。
值得注意的是：整个装置通过总控制按钮对其实现控制，由于控制按钮匹配的设备为常用设备，属于现有常识技术，在此不再赘述其电性连接关系以及具体的电路结构。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种耐用型静电吸附盘，其特征在于：包括安装基板(1)、底板(3)、第一柔性夹板(5)、静电板(6)和面板(8)；所述安装基板(1)表面固定有环形挡板(2)，环形挡板(2)内部设置有底板(3)，且底板(3)与安装基板(1)为焊接固定，安装基板(1)表面边缘呈环形分布开设有若干定位孔(4)，所述底板(3)内部设置有第一柔性夹板(5)，第一柔性夹板(5)表面设置有静电板(6)，静电板(6)表面设置有第二柔性夹板(7)，第二柔性夹板(7)表面设置有面板(8)，所述底板(3)、第一柔性夹板(5)、静电板(6)和第二柔性夹板(7)半径相同，且都位于环形挡板(2)内部，所述面板(8)表面中部呈矩形分布有若干吸附凸起(9)。
2.根据权利要求1所述的一种耐用型静电吸附盘，其特征在于：所述面板(8)表面位于若干吸附凸起(9)两侧分别设置有若干冷却孔(10)和若干负压孔(13)，若干冷却孔(10)和若干负压孔(13)相互对应设置，且都横向分布。
3.根据权利要求2所述的一种耐用型静电吸附盘，其特征在于：所述面板(8)侧面开设有冷却通道(11)，冷却通道(11)与若干冷却孔(10)相互连通，冷却通道(11)内部设置有冷却管(12)，所述冷却管(12)另一端与氦气管道连通；所述面板(8)侧面开设有负压通道(14)，负压通道(14)与若干负压孔(13)连通，负压通道(14)内部设置有真空管(15)，真空管(15)另一端与抽真空泵连通。
4.根据权利要求1所述的一种耐用型静电吸附盘，其特征在于：所述面板(8)中部开设有若干卸料孔(16)，所述卸料孔(16)内部安装有微型气缸(17)，微型气缸(17)输出端固定连接有顶针(18)。
5.根据权利要求1所述的一种耐用型静电吸附盘，其特征在于：所述面板(8)中心设置有检测凸起(19)，所述检测凸起(19)端部安装固定有温度传感器(20)。
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