CN219676083U - 一种用于半导体材料测电阻的探针测试台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体材料电阻技术领域，且公开了一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，包括测试台本体，所述测试台本体的上部固定连接有上限定套，所述上限定套的内侧活动套接有横杆，所述横杆的内部活动套接有调控板，所述调控板的内部固定连接有显微镜探头。该用于半导体材料测电阻的探针测试台，通过半导体材料电阻夹持在横向挤压限定板的内部进行限定，同时启动摇臂一侧安装的电机，摇臂在限位套的内侧进行转动，摇臂在限位套内部的角度可进行调控后，摇臂带动半导体材料电阻的角度进行套接，使得对半导体材料电阻外部不同位置和角度的电阻进行测试时，可增加角度调控时的便捷性，从而增加测试效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体材料电阻技术领域，具体为一种用于半导体材料测电阻的探针测试台。
背景技术
电阻器简称电阻，主要物理特征是变电能为热能，也可说它是一个耗能元件，电流经过它就产生内能。电阻在电路中通常起分压分流的作用，对信号来说，交流与直流信号都可以通过电阻，在半导体材料电阻生产制备过程中，需要对电阻进行探测，常见利用探针与电阻接触，同时探针可对电阻的阻值等数据进行测量，为了增加测量时的便捷性，会在探针侧视台上进行测量处理。
在已公开授权的专利中，在专利号为“CN202220361766.2”的中国专利中，公开了一种半导体探针测试台；通过电动推杆使插块插入环形滑道，圆板滑入外限位环与内限位环之间，可以将探针台顶起进行升降调节，并且升降调节后，还不妨碍探针台旋转调节，这样使用较为方便，解决了目前的探针台旋转较为不便以及高度难以调节的问题；
在上述一种半导体探针测试台中，在对电阻进行测试时，需要对电阻的角度进行调控，使得方便带动探针与电阻外部不同方向进行接触，起到增加侧视时定位精准性，但在对电阻进行测试时，电阻的感应探头位于前后端，同时探头只能保持上端向下移动，使得导致在对电阻侧面探头接触时，会造成干扰的问题，为此我们提出了一种用于半导体材料测电阻的探针测试台。
实用新型内容
针对现有用于半导体材料测电阻的探针测试台的不足，本实用新型提供了一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，具备通过半导体材料电阻摆放在摇臂的上部，同时启动摇臂一侧安装的电机，电机带动摇臂转动，摇臂转动过程中，摇臂可携带半导体材料电阻前后偏移角度进行调节，使得增加半导体材料电阻外部不同位置的电阻进行探测时，增加便捷性的优点，解决了上述背景技术中提出的问题。
本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，包括测试台本体，所述测试台本体的上部固定连接有上限定套，所述上限定套的内侧活动套接有横杆，所述横杆的内部活动套接有调控板，所述调控板的内部固定连接有显微镜探头，所述测试台本体的内部活动套接有转动盘，所述转动盘的下部安装有第一电机，所述测试台本体上部的两侧分别固定连接有伸缩架，所述伸缩架的上部活动套接有角度套接套，所述角度套接套的内侧套接有探针，所述探针的后端设置有连接线，所述转动盘的内部固定连接有限位套，所述限位套的内侧活动套接有摇臂，所述摇臂一端的内部活动套接有横向挤压限定板，所述横向挤压限定板的内侧夹持有半导体材料电阻。
其中，所述上限定套内部的两侧开设有滑槽，所述横杆的侧面活动套接在滑槽的内部，同时调控板套接在横杆的内部。
其中，所述显微镜探头的下部安装有监测设备，所述显微镜探头保持与测试台本体的上部呈垂直状态。
其中，所述转动盘下部的外侧安装有转动盘，转动盘活动套接在测试台本体的内部，所述第一电机延伸至测试台本体的下部。
其中，所述限位套的内部开设有弧形凹槽，所述摇臂的外侧贴合在限位套的内壁，所述摇臂的一侧安装有电机。
其中，所述横向挤压限定板在半导体材料电阻的两侧均有安装，所述摇臂的中部开设有孔洞。
其中，所述连接线的另一侧安装在检测设备的外部，所述伸缩架包含有伸缩杆和伸缩套，所述探针的端部安装有检测探头。
与现有用于半导体材料测电阻的探针测试台对比，本实用新型具备以下
有益效果：
1、该用于半导体材料测电阻的探针测试台，通过半导体材料电阻夹持在横向挤压限定板的内部进行限定，同时启动摇臂一侧安装的电机，摇臂在限位套的内侧进行转动，摇臂在限位套内部的角度可进行调控后，摇臂带动半导体材料电阻的角度进行套接，使得对半导体材料电阻外部不同位置和角度的电阻进行测试时，可增加角度调控时的便捷性，从而增加测试效率。
2、该用于半导体材料测电阻的探针测试台，通过伸缩架的长度可进行调控，伸缩架带动探针的高度进行调控，使得避免探针与摇臂上部接触的问题，同时调控角度套接套的角度，探针在角度套接套内部的位置，使得探针可延伸的位置和角度可进行调控，使得方便带动探针端部检测触头与半导体材料电阻外部不同区域的电阻进行探测处理。
附图说明
图1为本实用新型主体结构示意图；
图2为本实用新型主体仰视结构示意图；
图3为本实用新型主体剖视结构示意图；
图4为本实用新型主体侧面剖视结构示意图；
图5为本实用新型A处放大结构示意图。
图中：1、测试台本体；2、上限定套；3、横杆；4、调控板；5、显微镜探头；6、侧伸缩架；7、角度套接套；8、探针；9、连接线；10、转动盘；11、第一电机；12、限位套；13、摇臂；14、横向挤压限定板；15、半导体材料电阻。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1、图2、图3、图4和图5，一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，包括测试台本体1，测试台本体1的上部固定连接有上限定套2，上限定套2带动监控设备的位置进行调控，上限定套2的内侧活动套接有横杆3，横杆3在上限定套2内部的位置进行调控，即调控板4在上限定套2内部前后位置进行调控，横杆3的内部活动套接有调控板4，调控调控板4在横杆3内部的位置，调控板4带动显微镜探头5的位置进行调控，增加显微镜探头5位置调控时便捷性，调控板4的内部固定连接有显微镜探头5，显微镜探头5处置在测试台本体1的上部，显微镜探头5对测试状况和测试点进行精准定位，测试台本体1的内部活动套接有转动盘10，转动盘10的角度进行调控后，转动盘10携带半导体材料电阻15的角度进行调控，转动盘10的下部安装有第一电机11，第一电机11带动转动盘10的角度进行调控，测试台本体1上部的两侧分别固定连接有伸缩架6，调控伸缩架6的长度，即探针8的角度进行调控后，避免探针8与摇臂13触碰，伸缩架6的上部活动套接有角度套接套7，角度套接套7的角度进行调控，可带动探针8端部安装的触电与待检测设备触碰，角度套接套7的内侧套接有探针8，探针8的后端设置有连接线9，连接线9带动探针8与测试台之间的位置进行连接，转动盘10的内部固定连接有限位套12，限位套12的内侧活动套接有摇臂13，摇臂13在限位套12内部的角度进行调控，摇臂13带动半导体材料电阻15的角度进行调控，摇臂13一端的内部活动套接有横向挤压限定板14，横向挤压限定板14的内侧夹持有半导体材料电阻15，向内侧挤压限定横向挤压限定板14，横向挤压限定板14对半导体材料电阻15的位置进行挤压限定。
请参阅图3，上限定套2内部的两侧开设有滑槽，横杆3的侧面活动套接在滑槽的内部，同时调控板4套接在横杆3的内部，通过上限定套2和横杆3的内部均开设有滑槽，上限定套2内部开设的滑槽携带横杆3的活动轨迹进行限定，即上限定套2可携带显微镜探头5前后移动，同时横杆3内部开设的凹槽携带显微镜探头5可左右移动，增加显微镜探头5位置调控时的便捷性，并且显微镜探头5移动至待测试区间后，可对测试状态进行实时监控的作用。
请参阅图2，显微镜探头5的下部安装有监测设备，显微镜探头5保持与测试台本体1的上部呈垂直状态，通过调控板4带动显微镜探头5的位置进行调控，并且显微镜探头5保持与测试台本体1的上部呈垂直状态，同时显微镜探头5可对测试台本体1上部摆放的设备进行监控时，可增加监控定位时的精准性。
请参阅图3，转动盘10下部的外侧安装有转动盘，转动盘活动套接在测试台本体1的内部，第一电机11延伸至测试台本体1的下部，通过启动第一电机11，第一电机11带动转动盘10转动，转动盘10转动时，可带动内部夹持的半导体材料电阻15的角度进行调控处理。
请参阅图2和图3，限位套12的内部开设有弧形凹槽，摇臂13的外侧贴合在限位套12的内壁，摇臂13的一侧安装有电机，通过限位套12的内部开设有弧形凹槽，并且摇臂13的外侧贴合在限位套12的内壁，限位套12对摇臂13的活动提供限定区间，并且启动摇臂13一侧外部安装的电机，电机带动摇臂13转动，摇臂13转动时，可对夹持半导体材料电阻15的角度进行调控，通过调控半导体材料电阻15的角度，至此可对半导体材料电阻15内部不同方向进行探查处理，从而增加测试时定位的精准性。
请参阅图5，横向挤压限定板14在半导体材料电阻15的两侧均有安装，摇臂13的中部开设有孔洞，通过半导体材料电阻15夹持在两组横向挤压限定板14的内侧后，同时横向挤压限定板14向内侧移动后，横向挤压限定板14可对半导体材料电阻15的位置进行挤压限定，增加半导体材料电阻15位置限定时的精准性。
请参阅图4，连接线9的另一侧安装在检测设备的外部，伸缩架6包含有伸缩杆和伸缩套，探针8的端部安装有检测探头，通过调控伸缩架6的高度，即探针8向上移动，同时探针8的位置和角度调控时，避免探针8与摇臂13之间接触造成干扰，同时调控探针8在角度套接套7内部的位置，可控制角度套接套7的角度，即探针8端部安装的检测探头可移动至半导体材料电阻15上部不同位置，同时对半导体材料电阻15外部安装的电阻进行测试时，可增加测试定位的便捷性。
工作原理：使用时，通过将带动测试的半导体材料电阻15摆放在横向挤压限定板14的内侧，同时调控横向挤压限定板14的位置，横向挤压限定板14对半导体材料电阻15的位置进行挤压限定，并且启动摇臂13一侧安装的电机，电机带动摇臂13转动，摇臂13带动半导体材料电阻15的角度进行调控，同时启动第一电机11，第一电机11带动转动盘10转动，转动盘10转动过程中，转动盘10可携带半导体材料电阻15的角度进行调控，并且控制伸缩架6的高度，角度套接套7在伸缩架6上部的角度，和探针8在角度套接套7内部延伸的深度，即探针8端部安装的检测探头可与半导体材料电阻15的上部需要测试的部位进行测试处理，同时调控调控板4的位置，调控板4对测试状况进行实时监控，即增加设备的测试的便捷性和全面性。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，包括测试台本体(1)，所述测试台本体(1)的上部固定连接有上限定套(2)，所述上限定套(2)的内侧活动套接有横杆(3)，所述横杆(3)的内部活动套接有调控板(4)，所述调控板(4)的内部固定连接有显微镜探头(5)，所述测试台本体(1)的内部活动套接有转动盘(10)，所述转动盘(10)的下部安装有第一电机(11)，其特征在于：所述测试台本体(1)上部的两侧分别固定连接有伸缩架(6)，所述伸缩架(6)的上部活动套接有角度套接套(7)，所述角度套接套(7)的内侧套接有探针(8)，所述探针(8)的后端设置有连接线(9)，所述转动盘(10)的内部固定连接有限位套(12)，所述限位套(12)的内侧活动套接有摇臂(13)，所述摇臂(13)一端的内部活动套接有横向挤压限定板(14)，所述横向挤压限定板(14)的内侧夹持有半导体材料电阻(15)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，其特征在于：所述上限定套(2)内部的两侧开设有滑槽，所述横杆(3)的侧面活动套接在滑槽的内部，同时调控板(4)套接在横杆(3)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，其特征在于：所述显微镜探头(5)的下部安装有监测设备，所述显微镜探头(5)保持与测试台本体(1)的上部呈垂直状态。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，其特征在于：所述转动盘(10)下部的外侧安装有转动盘，转动盘活动套接在测试台本体(1)的内部，所述第一电机(11)延伸至测试台本体(1)的下部。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，其特征在于：所述限位套(12)的内部开设有弧形凹槽，所述摇臂(13)的外侧贴合在限位套(12)的内壁，所述摇臂(13)的一侧安装有电机。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，其特征在于：所述横向挤压限定板(14)在半导体材料电阻(15)的两侧均有安装，所述摇臂(13)的中部开设有孔洞。
7.根据权利要求1所述的一种用于半导体材料测电阻的探针测试台，其特征在于：所述连接线(9)的另一侧安装在检测设备的外部，所述伸缩架(6)包含有伸缩杆和伸缩套，所述探针(8)的端部安装有检测探头。
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