CN219675128U - 一种传感器限位调节装置、观察窗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种传感器限位调节装置、观察窗装置，所述传感器限位调节装置包括传感器安装板、横向调节板、横向调节机构、垂向调节板、垂向调节机构、调节弯板、法向角度调节机构、切向角度调节机构和调节板；调节板沿横向设置，其一端通过传感器安装板与传感器连接，另一端通过切向角度调节机构连接在调节弯板其中一个端部的上表面；调节弯板远离调节板的端部沿垂向设置，通过法向角度调节机构连接在垂向调节板的上表面；垂向调节板通过垂向调节机构安装在横向调节板的上表面上，沿横向调节板垂向移动；横向调节板通过横向调节机构安装在观察窗的上表面上，沿观察窗横向移动。本实用新型能够实现横向、垂向调节和角度调节，结构简洁，调节精度高，幅度范围广。
Description
技术领域
本实用新型涉及传感器限位技术领域，具体而言涉及一种传感器限位调节装置。
背景技术
随着半导体行业的快速发展，半导体制造设备更新换代的节奏越来越快，生产工艺技术越来越精密，自动化程度日益复杂，因此传感器在工程应用上要求调节的精度越来越精确，但由于结构布局和加工累计误差的存在，在安装传感器以及后期拆卸维护上，传感器都面临重新调整的情况，若由于传感器调节的精度不够，造成物体偏离原有的目标位置，容易使运动物体接触时出现震动或撞击，严重会造成物品和设备的疲劳损坏。
例如，Mapping传感器在结构上只存在垂向和角度调节，且角度调节的幅度只能垂直安装面向下调节。如图1所示，传感器1固定在传感器安装板20上，传感器安装板20通过调节片70安装于调节板60上，另一端调整垫块30通过螺钉固定于调节板60上，通过调整调节螺钉40的旋入深度实现传感器安装板20在调节片70的约束下实现向下角度旋转；调节板60通过调节片70安装于调节叉50上，左上角安装调整垫块30，并通过调整调节螺钉40的旋入深度实现调节板60在调节片70的约束下实现垂直安装面向下的角度旋转，从而实现传感器的角度调节；调节叉50通过螺钉装在腔体的观察窗90上，可通过调节叉50上的腰形孔来实现垂向调节。
在实际装配调节过程中，由于对面接收面板安装位置固定，且面板尺寸较小，在装配好后需要对传感器进行位置调节；在调节过程中发现，由于结构加工以及装配误差，发现传感器调节范围有限，因此对此结构进行优化改进，在此调节自由度的基础上又增加可纵向以及角度调节幅度可上、下的调节，这样使调节覆盖的范围更广，以解决由于结构布局和加工累计误差造成的传感器匹配不上的问题。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术中的不足，提供一种传感器限位调节装置既可以实现横向和垂向调节，还可以实现传感器的角度调节，结构简洁，调节精度高，幅度范围广，有效解决半导体制造设备在工作过程中传感器检测精度低、调节范围窄的问题。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
本实用新型实施例提出了一种传感器限位调节装置，所述传感器限位调节装置包括传感器安装板、横向调节板、横向调节机构、垂向调节板、垂向调节机构、调节弯板、法向角度调节机构、切向角度调节机构和调节板；
所述调节板沿横向设置，其一端通过传感器安装板与传感器连接，另一端通过切向角度调节机构连接在调节弯板其中一个端部的上表面；所述调节弯板远离调节板的端部沿垂向设置，通过法向角度调节机构连接在垂向调节板的上表面；
所述垂向调节板通过垂向调节机构安装在横向调节板的上表面上，且沿横向调节板垂向移动；所述横向调节板通过横向调节机构安装在观察窗的上表面上，且沿观察窗横向移动。
进一步地，所述横向调节机构包括第一限位槽、第一腰形孔和第一紧固件；
所述第一限位槽设置在观察窗上表面；所述横向调节板嵌入在第一限位槽内，其横向尺寸小于第一限位槽的横向尺寸；所述横向调节板上设置有多个沿横向延伸的第一腰形孔，第一紧固件一一对应地穿过第一腰形孔，将横向调节板固定在第一限位槽底部。
进一步地，所述垂向调节板的底面和第一限位槽的顶面平齐。
进一步地，所述垂向调节机构包括第二限位槽、第二腰形孔、弯爪和第二紧固件；
所述第二限位槽沿垂向方向延伸，设置在横向调节板的顶面上；所述垂向调节板两侧设置有弯爪，弯爪的横向尺寸与第二限位槽的横向尺寸相当，弯爪的竖向尺寸小于第二限位槽的竖向尺寸，弯爪卡入第二限位槽，通过第二限位槽约束垂向调节板沿垂向移动；
所述垂向调节板上设置有多个沿垂向延伸的第二腰形孔，第二紧固件一一对应地穿过第二腰形孔，将垂向调节板固定在横向调节板上。
进一步地，所述调节弯板呈z型。
进一步地，所述法向角度调节机构包括第一钢珠、第一螺钉、第一压缩弹簧和第一调节螺栓；
所述垂向调节板与调节弯板的连接面上设置有第一钢珠凹槽，第一钢珠放置在第一钢珠凹槽内；所述第一压缩弹簧套设在第一螺钉上，位于第一螺钉和调节弯板之间；所述第一螺钉竖直穿过调节弯板上的通孔，将调节弯板固定在垂向调节板上的同时，施加向下的力在第一钢珠上，将第一钢珠限位在第一钢珠凹槽内；所述第一调节螺栓竖直穿过调节弯板临近垂向调节板的端部处的通孔旋入垂向调节板，当第一调节螺栓的旋入深度变化时，调节弯板将第一钢珠作为支点调整其自身的法向旋转角度。
进一步地，所述第一钢珠凹槽的直径大于第一钢珠的直径。
进一步地，所述切向角度调节机构包括第二钢珠、第二螺钉、第二压缩弹簧和第二调节螺栓；
所述调节弯板与调节板的连接面上设置有第二钢珠凹槽，第二钢珠放置在第二钢珠凹槽内；所述第二压缩弹簧套设在第二螺钉上，位于第二螺钉和调节板之间；所述第二螺钉竖直穿过调节板上的通孔，将调节板固定在调节弯板上的同时，施加向下的力在第二钢珠上，将第二钢珠限位在第二钢珠凹槽内；所述第二调节螺栓竖直穿过调节板临近调节弯板的端部处的通孔旋入调节弯板，当第二调节螺栓的旋入深度变化时，调节板将第二钢珠作为支点调整其自身的切向旋转角度。
进一步地，所述第二钢珠凹槽的直径大于第二钢珠的直径。
本实用新型还提及一种观察窗装置，所述观察窗装置包括观察窗本体、传感器，以及安装在观察窗本体上的如前所述的传感器限位调节装置；所述传感器安装在传感器限位调节装置上。
本实用新型的有益效果是：
第一，本实用新型提出的传感器限位调节装置，通过横向调节板和垂向调节板，并与压缩弹簧和调节螺栓配合，以钢珠作为支点进行调节，不仅可实现传感器的横向和垂向调节，还可以通过改变调节螺栓的旋入深度实现传感器的法向和切向角度调节，且实现垂直观察窗向上、向下的调节。
第二，本实用新型提出的传感器限位调节装置，根据传感器所需调节横向和垂向的距离大小，可通过改变横向调节板和垂向调节板上腰形孔和限位槽的尺寸便可实现调节距离的变化。
第三，本实用新型提出的传感器限位调节装置，根据传感器所需调节角度的大小，可通过改变调节板和调节弯板上调节螺栓的旋入深度，便可实现调节旋转角度的变化；也可通过调整钢珠与调节螺栓的距离来实现调节幅度的变化。
第四，本实用新型提出的传感器限位调节装置，结构简洁，调节精度高、范围广，便于调整和维护。
附图说明
图1是现有技术中的传感器安装结构示意图。
图2为本实用新型实施例的传感器限位调节装置的结构示意图。
图3为本实用新型实施例的法向角度调节机构和切向角度调节机构的结构示意图。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
需要注意的是，实用新型中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
图2为本实用新型实施例的传感器限位调节装置的结构示意图。参见图1，传感器限位调节装置包括传感器安装板、横向调节板、横向调节机构、垂向调节板、垂向调节机构、调节弯板、法向角度调节机构、切向角度调节机构和调节板。
调节板沿横向设置，其一端通过传感器安装板与传感器连接，另一端通过切向角度调节机构连接在调节弯板其中一个端部的上表面；调节弯板远离调节板的端部沿垂向设置，通过法向角度调节机构连接在垂向调节板的上表面。
垂向调节板通过垂向调节机构安装在横向调节板的上表面上，且沿横向调节板垂向移动；横向调节板通过横向调节机构安装在观察窗的上表面上，且沿观察窗横向移动。
参见图2和图3，本实施例的传感器限位调节机构的调节原理如下：
(1)横向移动：横向调节板9安装于观察窗12上的第一限位槽11内实现横向移动，传感器1在横向调节板9横向移动下进行横向调节，当调节到指定位置时，通过第一紧固件(如螺钉)固定于观察窗12的第一限位槽11内，横向调节板9上第一腰形孔的长度可根据横向所需调节距离进行调整。
(2)垂向移动：垂向调节板10上有第二腰形孔和弯爪，弯爪卡入横向调节板9的第二限位槽内，通过第二限位槽约束实现垂向调节板10的垂向移动，传感器1在垂向调节板的移动下进行垂向调节，当调节到指定位置时，通过第二紧固件(如螺钉)将垂向调节板10固定于横向调节板9上，垂向调节板10上第二腰形孔的长度和横向调节板9上的第二限位槽的尺寸可根据垂向所需调节距离进行调整。
(3)法向角度调整：垂向调节板10的端头处设有第一钢珠凹槽，与之配合的调节弯板处也设有相应的凹槽，第一钢珠7-1限位于第一钢珠凹槽内，通过第一螺钉5-1与垂向调节板10进行连接，第一螺钉5-1与调节弯板4之间有第一压缩弹簧6-1，压紧固定调节弯板4，通过改变装在调节弯板4上第一调节螺栓8-1的旋入深度，以第一钢珠7-1为支点实现传感器1的法向旋转角度调节，实现垂直观察窗向上、向下的调节，也可通过调整第一钢珠7-1与第一调节螺栓8-1的距离来实现调节弯板4旋转调节幅度的变化。
(4)切向角度调整：相应的，调节板3装配于调节弯板4上，调节原理与调节弯板4一致，通过第二钢珠7-2、第二螺钉5-2、第二调节螺栓8-2、第二压缩弹簧6-2，实现传感器的切向旋转角度调节以及调节板3旋转调节幅度的变化。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种传感器限位调节装置，其特征在于，所述传感器限位调节装置包括传感器安装板、横向调节板、横向调节机构、垂向调节板、垂向调节机构、调节弯板、法向角度调节机构、切向角度调节机构和调节板；
所述调节板沿横向设置，其一端通过传感器安装板与传感器连接，另一端通过切向角度调节机构连接在调节弯板其中一个端部的上表面；所述调节弯板远离调节板的端部沿垂向设置，通过法向角度调节机构连接在垂向调节板的上表面；
所述垂向调节板通过垂向调节机构安装在横向调节板的上表面上，且沿横向调节板垂向移动；所述横向调节板通过横向调节机构安装在观察窗的上表面上，且沿观察窗横向移动。
2.根据权利要求1所述的传感器限位调节装置，其特征在于，所述横向调节机构包括第一限位槽、第一腰形孔和第一紧固件；
所述第一限位槽设置在观察窗上表面；所述横向调节板嵌入在第一限位槽内，其横向尺寸小于第一限位槽的横向尺寸；所述横向调节板上设置有多个沿横向延伸的第一腰形孔，第一紧固件一一对应地穿过第一腰形孔，将横向调节板固定在第一限位槽底部。
3.根据权利要求2所述的传感器限位调节装置，其特征在于，所述垂向调节板的底面和第一限位槽的顶面平齐。
4.根据权利要求1所述的传感器限位调节装置，其特征在于，所述垂向调节机构包括第二限位槽、第二腰形孔、弯爪和第二紧固件；
所述第二限位槽沿垂向方向延伸，设置在横向调节板的顶面上；所述垂向调节板两侧设置有弯爪，弯爪的横向尺寸与第二限位槽的横向尺寸相当，弯爪的竖向尺寸小于第二限位槽的竖向尺寸，弯爪卡入第二限位槽，通过第二限位槽约束垂向调节板沿垂向移动；
所述垂向调节板上设置有多个沿垂向延伸的第二腰形孔，第二紧固件一一对应地穿过第二腰形孔，将垂向调节板固定在横向调节板上。
5.根据权利要求1所述的传感器限位调节装置，其特征在于，所述调节弯板呈Z型。
6.根据权利要求1所述的传感器限位调节装置，其特征在于，所述法向角度调节机构包括第一钢珠、第一螺钉、第一压缩弹簧和第一调节螺栓；
所述垂向调节板与调节弯板的连接面上设置有第一钢珠凹槽，第一钢珠放置在第一钢珠凹槽内；所述第一压缩弹簧套设在第一螺钉上，位于第一螺钉和调节弯板之间；所述第一螺钉竖直穿过调节弯板上的通孔，将调节弯板固定在垂向调节板上的同时，施加向下的力在第一钢珠上，将第一钢珠限位在第一钢珠凹槽内；所述第一调节螺栓竖直穿过调节弯板临近垂向调节板的端部处的通孔旋入垂向调节板，当第一调节螺栓的旋入深度变化时，调节弯板将第一钢珠作为支点调整其自身的法向旋转角度。
7.根据权利要求6所述的传感器限位调节装置，其特征在于，所述第一钢珠凹槽的直径大于第一钢珠的直径。
8.根据权利要求1所述的传感器限位调节装置，其特征在于，所述切向角度调节机构包括第二钢珠、第二螺钉、第二压缩弹簧和第二调节螺栓；
所述调节弯板与调节板的连接面上设置有第二钢珠凹槽，第二钢珠放置在第二钢珠凹槽内；所述第二压缩弹簧套设在第二螺钉上，位于第二螺钉和调节板之间；所述第二螺钉竖直穿过调节板上的通孔，将调节板固定在调节弯板上的同时，施加向下的力在第二钢珠上，将第二钢珠限位在第二钢珠凹槽内；所述第二调节螺栓竖直穿过调节板临近调节弯板的端部处的通孔旋入调节弯板，当第二调节螺栓的旋入深度变化时，调节板将第二钢珠作为支点调整其自身的切向旋转角度。
9.根据权利要求8所述的传感器限位调节装置，其特征在于，所述第二钢珠凹槽的直径大于第二钢珠的直径。
10.一种观察窗装置，其特征在于，所述观察窗装置包括观察窗本体、传感器，以及安装在观察窗本体上的如权利要求1-9任一项中所述的传感器限位调节装置；所述传感器安装在传感器限位调节装置上。
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