CN219664130U - 一种光阻喷涂装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及液晶显示技术领域，公开了一种光阻喷涂装置。光阻喷涂装置包括光阻供应机构、驱动机构和喷涂机构，光阻供应机构为喷涂机构供应光阻，驱动机构能够驱动喷涂机构沿预设方向运动，喷涂机构包括第一喷嘴组件和第二喷嘴组件，第一喷嘴组件和第二喷嘴组件均能够喷涂光阻，第二喷嘴组件设置在第一喷嘴组件沿前进方向的后方，第二喷嘴组件的喷涂流量可调。本实用新型的光阻喷涂装置，第二喷嘴组件可以对第一喷嘴组件喷涂的光阻厚度进行补偿，从而保证其在基板上喷涂的光阻厚度均匀、准确。

Description

一种光阻喷涂装置

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种光阻喷涂装置。

背景技术

在晶片的生产过程中，需要采用微影成像技术在基板表面形成预设图像，具体地，先在基板表面均匀喷覆光阻材料，而后再放置于曝光机下进行曝光，以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像，最后再以药剂进行显影而得到实际图像。

图1是现有技术提供的光阻喷涂装置的示意图，如图1所示，光阻喷涂装置包括驱动机构(未图示)和喷嘴20，喷嘴20设置在基板10的上方，喷嘴20的开口呈线性且沿X向延伸，驱动机构驱动喷嘴20沿垂直于X向的Y向运动，从而实现对整个基板10表面的喷涂。在喷涂前，需要预先设定好喷嘴20的喷涂厚度，图2是现有技术提供的光阻喷涂装置在基板上喷涂的光阻厚度的分布图，如图2所示，图中的直线表示预设喷涂厚度，实折线表示喷嘴20的实际喷涂厚度，由图2可见，在喷嘴20的起刀位置(即喷嘴20开启的预设时间内)，其喷涂量会出现不稳定的情况，导致在开始的预设时间内喷嘴20喷涂在基板10上的光阻厚度大于预设喷涂厚度，进而影响产品质量。

因此，亟待需要一种光阻喷涂装置来解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种光阻喷涂装置，在基板上喷涂的光阻厚度均匀、准确。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种光阻喷涂装置，包括光阻供应机构、驱动机构和喷涂机构，所述光阻供应机构为所述喷涂机构供应光阻，所述驱动机构能够驱动所述喷涂机构沿预设方向运动，所述喷涂机构包括第一喷嘴组件和第二喷嘴组件，所述第一喷嘴组件和所述第二喷嘴组件均能够喷涂光阻，所述第二喷嘴组件设置在所述第一喷嘴组件沿前进方向的后方，所述第二喷嘴组件的喷涂流量可调。

作为一个可选的方案，所述第二喷嘴组件包括第二喷嘴本体和流量控制阀，所述流量控制阀的进口端与所述光阻供应机构连接，所述流量控制阀的出口端与所述第二喷嘴本体连接。

作为一个可选的方案，所述第一喷嘴组件包括第一喷嘴本体和第一启闭阀，所述第一启闭阀的进口端与所述光阻供应机构连接，所述第一启闭阀的出口端与所述第一喷嘴本体连接。

作为一个可选的方案，所述喷涂机构还包括三通管，所述三通管一端与所述光阻供应机构连通，所述三通管的另外两端分别与所述第一喷嘴组件和所述第二喷嘴组件连通。

作为一个可选的方案，所述第一喷嘴组件的第一喷涂出口和所述第二喷嘴组件的第二喷涂出口均为线型且相互平行，所述第一喷涂出口的延伸方向和第二喷涂出口的延伸方向均垂直于所述预设方向。

作为一个可选的方案，所述光阻供应机构包括：

储存罐，所述储存罐内容纳有光阻；

出料管，所述出料管的出口端与所述喷涂机构相连通；

第一泵组件，所述第一泵组件一端与所述储存罐连接，另一端与所述出料管的入口端相连接，所述第一泵组件能将所述储存罐内的光阻泵出。

作为一个可选的方案，所述光阻供应机构还包括：

缓存罐和过滤组件，所述过滤组件的两端分别与所述第一泵组件和所述缓存罐连接，所述第一泵组件能将经过滤组件过滤的光阻泵入所述缓存罐中；

第二泵组件，所述第二泵组件一端与所述缓存罐连接，另一端与所述出料管相连接，所述第二泵组件能够将所述缓存罐内的光阻泵送至所述出料管。

作为一个可选的方案，所述光阻供应机构还包括：

第二启闭阀，所述第二启闭阀连接在所述过滤组件与所述缓存罐之间；和/或

第三启闭阀，所述第三启闭阀设置在所述缓存罐与所述第二泵组件之间。

作为一个可选的方案，所述光阻喷涂装置还包括冲洗机构，所述冲洗机构包括：

冲洗液罐，所述冲洗液罐容纳有冲洗液；

第三泵组件，所述第三泵组件的一端与所述冲洗液罐连接，另一端与所述出料管连接，所述第三泵组件能将所述冲洗液罐内的冲洗液泵入所述出料管内。

作为一个可选的方案，所述冲洗机构还包括三通阀，所述三通阀包括第一入口端、第二入口端和总出口端，所述第一入口端与所述第二泵组件连接，所述第二入口端与所述第三泵组件连接，所述总出口端与所述出料管连接。

本实用新型有益效果为：

本实用新型的光阻喷涂装置，通过光阻供应机构能够为喷涂机构提供光阻，通过驱动机构能够驱动喷涂机构相对于基板沿预设方向运动，此过程中喷涂机构工作能够实现在基板表面喷涂光阻。喷涂机构的第一喷嘴组件可以先对基板表面进行喷涂，而第二喷嘴可以根据第一喷嘴组件在沿预设方向的各个位置喷涂的光阻厚度，在适当的时间以适当的流量进行喷涂，从而对第一喷嘴组件喷涂的光阻厚度进行补偿，进而保证在第一喷嘴组件和第二喷嘴组件均喷涂结束后，基板上各个位置处喷涂的光阻的厚度均匀、准确。

附图说明

图1是现有技术提供的光阻喷涂装置的示意图；

图2是现有技术提供的光阻喷涂装置在基板上喷涂的光阻厚度的分布图；

图3是本实用新型具体实施方式提供的光阻喷涂装置的结构示意图；

图4是本实用新型具体实施方式提供的喷涂机构的局部结构示意图；

图5是本实用新型具体实施方式提供的光阻喷涂装置在基板上喷涂的光阻厚度的分布图。

图中：

10、基板；20、喷嘴；

1、光阻供应机构；11、储存罐；12、出料管；13、第一泵组件；14、缓存罐；15、过滤组件；16、第二泵组件；17、第二启闭阀；18、第三启闭阀；

2、喷涂机构；21、第一喷嘴组件；211、第一喷嘴本体；2111、第一喷涂出口；212、第一启闭阀；22、第二喷嘴组件；221、第二喷嘴本体；2211、第二喷涂出口；222、流量控制阀；23、三通管；

3、冲洗机构；31、冲洗液罐；32、第三泵组件；33、三通阀；331、第一入口端；332、第二入口端；333、总出口端。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实施例提供了一种光阻喷涂装置，其可用于在基板10表面喷涂光阻。图3是本实施例提供的光阻喷涂装置的结构示意图，图4是本实施例提供的喷涂机构的局部结构示意图，如图3和图4所示，光阻喷涂装置包括光阻供应机构1、驱动机构(未图示)和喷涂机构2，光阻供应机构1用于为喷涂机构2供应光阻，驱动机构能够驱动喷涂机构2沿预设方向(即图3中的Y向)运动，喷涂机构2包括第一喷嘴组件21和第二喷嘴组件22，第一喷嘴组件21和第二喷嘴组件22均可以喷涂光阻，第二喷嘴组件22设置在第一喷嘴组件21沿前进方向的后方，第二喷嘴组件22的喷涂流量可调。

在使用本实施例的光阻喷涂装置时，使喷涂机构2位于基板10的上方，光阻供应机构1工作并为喷涂机构2提供光阻，驱动机构驱动喷涂机构2相对于基板10沿预设方向运动，此过程中喷涂机构2工作，从而能够实现在基板10表面喷涂光阻。在喷涂过程中，喷涂机构2的第一喷嘴组件21先对基板10表面进行喷涂，而第二喷嘴组件22根据第一喷嘴组件21沿预设方向在各个位置喷涂的光阻厚度，在适当的时间以适当的流量进行喷涂，从而对第一喷嘴组件21喷涂的光阻厚度进行补偿，进而保证在第一喷嘴组件21和第二喷嘴组件22均喷涂结束后，基板10上各个位置处喷涂的光阻的厚度均匀、准确。

以下，以目标为在基板10上喷涂预设喷涂厚度的光阻为例，对光阻喷涂装置的使用方法进行说明。

第一步，进行试验测量。具体地，驱动机构驱动喷涂机构2沿预设方向在试验基板上方运动，且此过程只开启第一喷嘴组件21。喷涂结束后，测量试验基板沿预设方向各个位置的光阻厚度，从而获取如图2所示的第一喷嘴组件21在沿Y向不同位置处(对应于各个喷涂时刻)的实际光阻喷涂厚度，图2中的实直线为预设喷涂厚度，实折线为实际喷涂后，如图2所示，在第一喷嘴组件21开始喷涂时，其实际喷涂厚度大于预设喷涂厚度，且从t1时刻开始，实际喷涂厚度逐渐降低，并在t2时刻以后实际喷涂厚度稳定在预设喷涂厚度。

第二步，根据上述试验结果，计算喷涂机构2的运行程序。图5是本实施例提供的光阻喷涂装置在基板10上喷涂的光阻厚度的分布图，图5中实直线表示预设喷涂厚度，虚直线表示第一喷嘴组件21的设定数值，实折线表示第一喷嘴组件21的实际喷涂厚度，虚折线表示第二喷嘴组件22的实际喷涂厚度。如图5所示，喷涂机构2的运行程序包括：(1)计算第一喷嘴组件21的设定数值，其中设定数值低于预设喷涂厚度，保证第一喷嘴组件21在t1时间内的实际喷涂厚度等于预设喷涂厚度。(2)计算第二喷嘴组件22的运行方式，其中，第二喷嘴组件22在t1时刻开启，且在t1～t2的时间段内喷涂流量逐渐增加，在时刻t2以后，以稳定的流量(即稳定的厚度)进行喷涂，该稳定的厚度与第一喷嘴组件21的设定厚度之和为基板10上的喷涂的光阻的总厚度。

可以理解的是，一些情况下，第一喷嘴组件21在结束喷涂前的预设时间段内也可能出现实际喷涂厚度与设定厚度不一致的情况，对于此种情况，在第一步试验测量的步骤中可以测得，故在第二步计算喷涂机构2的运行程序时，可以调整第二喷嘴组件22在该结束喷涂前的预设时间段的喷涂流量，从而使第二喷嘴组件22在此时间段内对第一喷嘴组件21的喷涂厚度进行补偿，以保证基板10整体喷涂的均匀性和厚度的准确性。

可选地，驱动机构可以为直线模组等现有任意一种可以输出直线运动的结构，在此不做具体限定。

如图3所示，喷涂机构2还包括三通管23，三通管23一端与光阻供应机构1连通，三通管23的另外两端分别与第一喷嘴组件21和第二喷嘴组件22连通，从而实现喷涂机构2同时为第一喷嘴组件21和第二喷嘴组件22供应光阻。

如图3和图4所示，第一喷嘴组件21包括第一喷嘴本体211和第一启闭阀212。第一启闭阀212的进口端与三通管23的一端连接，从而实现与光阻供应机构1连接，第一启闭阀212的出口端与第一喷嘴本体211连接。当第一喷嘴组件21达到喷涂终点，而第二喷嘴组件22还未到达喷涂终点时，可以通过第一启闭阀212单独关闭第一喷嘴本体211，从而避免第一喷嘴本体211将光阻喷涂在其他位置，既能保证喷涂位置的精准性，也能避免光阻浪费。可以理解的是，第一启闭阀212可以为电磁阀、气动阀等，在此不做具体限定。

如图3和图4所示，第二喷嘴组件22包括第二喷嘴本体221和流量控制阀222，流量控制阀222的进口端与三通管23的一端连接，从而实现与光阻供应机构1连接，流量控制阀222的出口端与第二喷嘴本体221连接。通过流量控制阀222可以控制第二喷嘴组件22的实际喷涂流量，进而控制第二喷嘴组件22在基板10上喷涂的光阻厚度。本实施例中，流量控制阀222可以为节流阀。

本实施例中，第一喷嘴本体211、第二喷嘴本体221可以为现有的喷嘴，其内部结构在此不做详细说明。

如图3和图4所示，第一喷嘴本体211的出口端即为第一喷嘴组件21的第一喷涂出口2111，第二喷嘴本体221的出口端即为第二喷嘴组件22的第二喷涂出口2211。本实施例中，第一喷涂出口2111和第二喷涂出口2211均为线型且相互平行，第一喷涂出口2111的延伸方向和第二喷涂出口2211的延伸方向均沿垂直于Y向的X向延伸。故在驱动组件驱动喷嘴机构沿Y向运动的过程中，喷涂机构2可以实现对基板10上表面(即X-Y平面)整个平面的喷涂。

如图3所示，光阻供应机构1包括储存罐11、出料管12和第一泵组件13。其中储存罐11用于容纳光阻，出料管12的出口端与喷涂机构2相连通，第一泵组件13一端与储存罐11连接，另一端与出料管12的入口端相连接，第一泵组件13能将储存罐11内的光阻泵出。

一些实施例中，第一泵组件13的出口端直接与出料管12连接，并可以直接将储存罐11内的光阻通过出料管12泵送到喷涂机构2中。

一些实施例中，如图3所示，光阻供应机构1还包括缓存罐14、过滤组件15和第二泵组件16。其中，过滤组件15的两端分别与第一泵组件13和缓存罐14连接，第二泵组件16一端与缓存罐14连接，另一端与出料管12相连接。即第一泵组件13先将储存罐11内的光阻经过过滤组件15过滤后泵入缓存罐14中进行缓存，第二泵组件16再将缓存罐14内的光阻泵送至出料管12，最后经喷涂机构2喷涂到基板10上，从而保证喷涂到基板10上光阻的清洁度，进而保证后续产品的质量。可选地，第一泵组件13和第二泵组件16均可以为波纹管泵，其他实施例中，第一泵组件13和第二泵组件16也可以选择现有的其他能够实现对较为粘稠液体泵送的泵体，在此不做限定。可选地，过滤组件15可以为现有的任意一种光阻过滤器，光阻过滤器的具体结构及工作原理在此不再赘述。

优选地，如图3所示，光阻供应机构1还包括第二启闭阀17，第二启闭阀17连接在过滤组件15与缓存罐14之间。第一泵组件13开启前，先开启第二启闭阀17，从而使缓存罐14与储存罐11之间能够导通，当第一泵组件13工作结束后，再关闭第二启闭阀17，从而避免第二泵组件16的工作影响光阻在储存罐11与缓存管之间的输送。光阻供应机构1还包括第三启闭阀18，第三启闭阀18设置在缓存罐14与第二泵组件16之间。在开启第二泵组件16前，先开启第三启闭阀18，从而使缓存罐14与喷涂机构2之间能够导通。在第二泵组件16使用结束后，关闭第三启闭阀18，从而避免出料管12内的光阻回流到储存罐11内。可选地，第一启闭阀212和第二启闭阀17均可以为电磁阀或气动阀。

优选地，如图3所示，光阻喷涂装置还包括冲洗机构3，冲洗机构3包括冲洗液罐31和第三泵组件32，冲洗液罐31用于容纳冲洗液，第三泵组件32的一端与冲洗液罐31连接，另一端与出料管12连接。在光阻喷涂装置喷涂一定数量的基板10后，第一喷嘴组件21和第二喷嘴组件22中可能有部分光阻固化，此时可以通过冲洗机构3对喷涂机构2进行清洗，保证后续喷涂的准确性。具体地，关闭第二泵组件16并开启第三泵组件32，第三泵组件32将冲洗液罐31内的冲洗液泵入出料管12内，进而泵送到喷涂机构2中，从而对第一喷嘴组件21和第二喷嘴组件22进行清洗。可选地，第三泵组件32可以为螺纹管泵也可以为其他能够泵送液体的泵，在此不做具体限定。

优选地，如图4所示，冲洗机构3还包括三通阀33，三通阀33包括第一入口端331、第二入口端332和总出口端332，第一入口端331与第二泵组件16连接，第二入口端332与第三泵组件32连接，总出口端332与出料管12连接。通过设置三通阀33可以灵活选择与出料管12连通的管路，进而选择向喷涂机构2泵送光阻还是泵送清洗液，连接结构简单且控制方便。可选地，三通阀33可以为气动阀也可以为电磁阀，在此不做具体限定。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种光阻喷涂装置，其特征在于，包括光阻供应机构(1)、驱动机构和喷涂机构(2)，所述光阻供应机构(1)为所述喷涂机构(2)供应光阻，所述驱动机构能够驱动所述喷涂机构(2)沿预设方向运动，所述喷涂机构(2)包括第一喷嘴组件(21)和第二喷嘴组件(22)，所述第二喷嘴组件(22)设置在所述第一喷嘴组件(21)沿前进方向的后方，所述第二喷嘴组件(22)的喷涂流量可调。

2.如权利要求1所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述第二喷嘴组件(22)包括第二喷嘴本体(221)和流量控制阀(222)，所述流量控制阀(222)的进口端与所述光阻供应机构(1)连接，所述流量控制阀(222)的出口端与所述第二喷嘴本体(221)连接。

3.如权利要求1所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述第一喷嘴组件(21)包括第一喷嘴本体(211)和第一启闭阀(212)，所述第一启闭阀(212)的进口端与所述光阻供应机构(1)连接，所述第一启闭阀(212)的出口端与所述第一喷嘴本体(211)连接。

4.如权利要求1所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述喷涂机构(2)还包括三通管(23)，所述三通管(23)一端与所述光阻供应机构(1)连通，所述三通管(23)的另外两端分别与所述第一喷嘴组件(21)和所述第二喷嘴组件(22)连通。

5.如权利要求1所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述第一喷嘴组件(21)的第一喷涂出口(2111)和所述第二喷嘴组件(22)的第二喷涂出口(2211)均为线型且相互平行，所述第一喷涂出口(2111)的延伸方向和第二喷涂出口(2211)的延伸方向均垂直于所述预设方向。

6.如权利要求1-5任一项所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述光阻供应机构(1)包括：

储存罐(11)，所述储存罐(11)内容纳有光阻；

出料管(12)，所述出料管(12)的出口端与所述喷涂机构(2)相连通；

第一泵组件(13)，所述第一泵组件(13)一端与所述储存罐(11)连接，另一端与所述出料管(12)的入口端相连接，所述第一泵组件(13)能将所述储存罐(11)内的光阻泵出。

7.如权利要求6所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述光阻供应机构(1)还包括：

缓存罐(14)和过滤组件(15)，所述过滤组件(15)的两端分别与所述第一泵组件(13)和所述缓存罐(14)连接，所述第一泵组件(13)能将经过滤组件(15)过滤的光阻泵入所述缓存罐(14)中；

第二泵组件(16)，所述第二泵组件(16)一端与所述缓存罐(14)连接，另一端与所述出料管(12)相连接，所述第二泵组件(16)能够将所述缓存罐(14)内的光阻泵送至所述出料管(12)。

8.如权利要求7所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述光阻供应机构(1)还包括：

第二启闭阀(17)，所述第二启闭阀(17)连接在所述过滤组件(15)与所述缓存罐(14)之间；和/或

第三启闭阀(18)，所述第三启闭阀(18)设置在所述缓存罐(14)与所述第二泵组件(16)之间。

9.如权利要求8所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述光阻喷涂装置还包括冲洗机构(3)，所述冲洗机构(3)包括：

冲洗液罐(31)，所述冲洗液罐(31)容纳有冲洗液；

第三泵组件(32)，所述第三泵组件(32)的一端与所述冲洗液罐(31)连接，另一端与所述出料管(12)连接，所述第三泵组件(32)能将所述冲洗液罐(31)内的冲洗液泵入所述出料管(12)内。

10.如权利要求9所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述冲洗机构(3)还包括三通阀(33)，所述三通阀(33)包括第一入口端(331)、第二入口端(332)和总出口端(333)，所述第一入口端(331)与所述第二泵组件(16)连接，所述第二入口端(332)与所述第三泵组件(32)连接，所述总出口端(333)与所述出料管(12)连接。