CN219663286U - 一种半导体废气处理设备气缸式刮刀 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体废气处理设备气缸式刮刀，包括装置本体，所述装置本体包括标准气缸、上进气仓、下出气仓和气缸驱动装置，所述上进气仓安装在标准气缸顶部，所述下出气仓安装在标准气缸底部，所述气缸驱动装置安装在下出气仓底部；所述气缸驱动装置包括固定螺母、安装垫片、轴杆和防腐蚀弹簧，所述安装垫片安装在固定螺母底部，所述轴杆固定在安装垫片底部，所述防腐蚀弹簧固定在轴杆表面。该种半导体废气处理设备气缸式刮刀可以高效的对废气进气口进行清理，从防止废气进气口出现堵塞的情况发生。

Description

一种半导体废气处理设备气缸式刮刀

技术领域

本实用新型涉及半导体废气处理技术领域，具体为一种半导体废气处理设备气缸式刮刀。

背景技术

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。

现有的半导体废气处理设备有如下缺陷：

现有半导体废气处理设备中，在机台的废气进气口容易堵塞，导致半导体生产停滞延误，影响半导体废气处理设备的正常运行。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体废气处理设备气缸式刮刀，解决了现有半导体废气处理设备中，在机台的废气进气口容易堵塞，导致半导体生产停滞延误，影响半导体废气处理设备的正常运行的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体废气处理设备气缸式刮刀，包括装置本体，所述装置本体包括标准气缸、上进气仓、下出气仓和气缸驱动装置，所述上进气仓安装在标准气缸顶部，所述下出气仓安装在标准气缸底部，所述气缸驱动装置安装在下出气仓底部；

优选的，所述气缸驱动装置包括固定螺母、安装垫片、轴杆和防腐蚀弹簧，所述安装垫片安装在固定螺母底部，所述轴杆固定在安装垫片底部，所述防腐蚀弹簧固定在轴杆表面。

优选的，所述标准气缸顶部设有上连接块，所述标准气缸底部设有下连接块，所述上连接块和下连接块均为圆形结构且为上下两端均为贯通式结构，所述上连接块和下连接块表面均设有若干组螺纹。

优选的，所述上进气仓侧面设有进气管，所述进气管前端安装有进气连接器。

优选的，所述下出气仓侧面设有出气管，所述出气管前端安装有出气连接器。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种半导体废气处理设备气缸式刮刀。具备以下有益效果：

该种半导体废气处理设备气缸式刮刀分为上下两部分，中间用螺丝连接，上部分为标准气缸，利用空气驱动轴杆上下动作，下半部分为防腐蚀弹簧，气缸和弹簧可根据管径定做选择，气缸推动弹簧在管壁内滑动，将附着物脱离管壁，从而防止进气口的堵塞问题，本装置具有动力强，不会被卡死等优点，且维护方便，便于工作人员进行使用。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体底部的结构示意图；

图3为本实用新型标准气缸的结构示意图。

图中，1、装置本体；2、标准气缸；3、上进气仓；4、下出气仓；5、气缸驱动装置；6、固定螺母；7、安装垫片；8、轴杆；9、防腐蚀弹簧；10、进气管；11、进气连接器；12、出气管；13、出气连接器；14、上连接块；15、下连接块；16、螺纹。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种半导体废气处理设备气缸式刮刀，包括装置本体1，所述装置本体1包括标准气缸2、上进气仓3、下出气仓4和气缸驱动装置5，所述上进气仓3安装在标准气缸2顶部，所述下出气仓4安装在标准气缸2底部，所述气缸驱动装置5安装在下出气仓4底部；

所述气缸驱动装置5包括固定螺母6、安装垫片7、轴杆8和防腐蚀弹簧9，所述安装垫片7安装在固定螺母6底部，所述轴杆8固定在安装垫片7底部，所述防腐蚀弹簧9固定在轴杆8表面，在使用时，轴杆8受到气压后会下降，进一步轴杆8带推动防腐蚀弹簧9在管壁内滑动，将附着物脱离管壁，从而保证了进气口的堵塞问题。

所述标准气缸2顶部设有上连接块14，所述标准气缸2底部设有下连接块15，所述上连接块14和下连接块15均为圆形结构且为上下两端均为贯通式结构，所述上连接块14和下连接块15表面均设有若干组螺纹16，上连接块14是为了便于与上进气仓3进行连接，下连接块15是为了便于下出气仓4进行安装。

所述上进气仓3侧面设有进气管10，所述进气管10前端安装有进气连接器11，气体首先会通过上进气仓3内的进气管10进行上进气仓3内，上进气仓3内的气体就会进入标准气缸2内，标准气缸2内产生气压，从而对底部的轴杆8进行顶动。

所述下出气仓4侧面设有出气管12，所述出气管12前端安装有出气连接器13，在对标准气缸2内的气体进行放出时，气体就会通过下出气仓4的出气管12进行排出，从而出气管12内气体通过出气连接器13进行排出，进一步轴杆8进行回收工作。

工作原理：作业时，工作人员对装置本体1安装在废气进气口，在对废气进气口进行清理时，工作人员使用装置本体1，气体首先会通过上进气仓3内的进气管10进行上进气仓3内，上进气仓3内的气体就会进入标准气缸2内，标准气缸2内产生气压，从而对底部的轴杆8进行顶动，轴杆8受到气压后会下降，进一步轴杆8带推动防腐蚀弹簧9在管壁内滑动，将附着物脱离管壁，从而保证了进气口的堵塞问题。

本实用新型的1、装置本体；2、标准气缸；3、上进气仓；4、下出气仓；5、气缸驱动装置；6、固定螺母；7、安装垫片；8、轴杆；9、防腐蚀弹簧；10、进气管；11、进气连接器；12、出气管；13、出气连接器；14、上连接块；15、下连接块；16、螺纹，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有半导体废气处理设备中，在机台的废气进气口容易堵塞，导致半导体生产停滞延误，影响半导体废气处理设备的正常运行的问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，可以高效的对废气进气口进行清理，从防止废气进气口出现堵塞的情况发生。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种半导体废气处理设备气缸式刮刀，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括标准气缸(2)、上进气仓(3)、下出气仓(4)和气缸驱动装置(5)，所述上进气仓(3)安装在标准气缸(2)顶部，所述下出气仓(4)安装在标准气缸(2)底部，所述气缸驱动装置(5)安装在下出气仓(4)底部；

所述气缸驱动装置(5)包括固定螺母(6)、安装垫片(7)、轴杆(8)和防腐蚀弹簧(9)，所述安装垫片(7)安装在固定螺母(6)底部，所述轴杆(8)固定在安装垫片(7)底部，所述防腐蚀弹簧(9)固定在轴杆(8)表面。

2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备气缸式刮刀，其特征在于：所述标准气缸(2)顶部设有上连接块(14)，所述标准气缸(2)底部设有下连接块(15)，所述上连接块(14)和下连接块(15)均为圆形结构且为上下两端均为贯通式结构，所述上连接块(14)和下连接块(15)表面均设有若干组螺纹(16)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备气缸式刮刀，其特征在于：所述上进气仓(3)侧面设有进气管(10)，所述进气管(10)前端安装有进气连接器(11)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备气缸式刮刀，其特征在于：所述下出气仓(4)侧面设有出气管(12)，所述出气管(12)前端安装有出气连接器(13)。