CN219640545U - 一种磷化铟加工用烘烤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及磷化铟加工技术领域，公开了一种磷化铟加工用烘烤装置，所述烘烤罐的内壁盘绕设置有加热盘管，且烘烤罐的内部设置有旋转烘烤机构，所述烘烤罐的罐体后侧设置有端盖启闭机构，所述支撑底板的板架上方堆叠放置有多组烘烤料箱。本实用新型通过手摇式的端盖启闭机构对烘烤罐的旋转启闭，能够轻松、便捷的将烘烤罐的罐口启闭开合，而后在堆叠放置形式的旋转烘烤机构中的集料箱体对磷化铟的堆叠放置下，能够以相互堆叠组装的形式，将磷化铟装入烘烤罐内进行烘烤工作，其方面具有简单、便捷的上料、取料性能，能够便于工作人员对磷化铟进行上下料，降低操作强度，另一方面能够提高上下料高效性，节省劳动时长。

Description

一种磷化铟加工用烘烤装置

技术领域

本实用新型涉及磷化铟加工技术领域，特别涉及一种磷化铟加工用烘烤装置。

背景技术

磷化铟是一种重要的化合物半导体材料，其具有饱和电子漂移速度高、抗辐射能力强、导热性好、光电转换效率高、禁带宽度高等诸多优点，被广泛应用于生产射频器件、光模块、LED、激光器、探测器、传感器、太空太阳能电池等器件上；而为了能够提高磷化铟生长材料的质量，改善其电学性质，磷化铟在生产过程中，往往需利用高温退火处理方法，以改善晶片的电学均匀性和制备半绝缘磷化铟材料，例如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了一种具有防烫结构的磷化铟加工用烘烤装置(公开公告号CN216977401U)，此类装置通过主动电机上的主动轮通过皮带带动从动轮转动，进而带动烘烤炉转动，使磷化铟在加工的过程中受热均匀，完成对磷化铟的烘烤。

但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的磷化铟烘烤装置，还存在一些不足之处：此类利用主动电机驱动烘烤炉转动对磷化铟进行均匀烘烤的方式，由于烘烤炉为固定形式，无论是对磷化铟进行上料烘烤，还是将烘烤后的磷化铟取出，其上下料都极为不便，增加操作强度的同时，又降低了生产效率。为此，本领域技术人员提供了一种磷化铟加工用烘烤装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种磷化铟加工用烘烤装置，可以有效解决背景技术中现有对于磷化铟烘烤过程中，其上下料较为不便捷的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种磷化铟加工用烘烤装置，包括烘烤罐，所述烘烤罐的内壁盘绕设置有加热盘管，且烘烤罐的内部设置有旋转烘烤机构，所述烘烤罐的罐体后侧设置有端盖启闭机构；

所述旋转烘烤机构包括安装在烘烤罐罐底的支撑轴以及安装在支撑轴底部输出端一侧的传动电机，所述支撑轴的顶部输出端设置有支撑底板，所述支撑底板的板架下方位于边缘位置处沿其周向排布设置有多组支撑滚轮，且支撑底板的板架上方堆叠放置有多组烘烤料箱。

作为本实用新型再进一步的方案：所述烘烤料箱包括堆叠放置在支撑底板上方的集料箱体，所述集料箱体的端口处呈星三角对称形式设置有三组吊环。

作为本实用新型再进一步的方案：所述集料箱体的箱体外部对称开设有多组卡扣槽，所述支撑底板的板架上方位于边缘位置处对称设置有卡扣在卡扣槽内部的多组臂力支杆。

作为本实用新型再进一步的方案：所述传动电机的输出端设置有同步带轮A，所述支撑轴的底部输出端设置有同步带轮B，且同步带轮A与同步带轮B之间通过同步带连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述端盖启闭机构包括安装在烘烤罐罐体后侧的支撑立架，所述支撑立架的支架内部转动连接有旋转轴，所述旋转轴的轴杆上半部设置有旋转架，且旋转架的支架顶端设置有压盖烘烤罐罐口的启闭端盖，所述旋转轴的轴杆底端设置有贯穿烘烤罐罐底的传动轴，且传动轴的轴杆一端设置有启闭手轮。

作为本实用新型再进一步的方案：所述传动轴的轴杆另一端设置有锥齿轮A，所述旋转轴的轴杆底端设置有与锥齿轮A相啮合的锥齿轮B。

作为本实用新型再进一步的方案：所述启闭端盖的板面对称连通有两组风筒，所述风筒的筒道内部由里向外依次设置有通风扇、吸附网板、除尘网板，所述吸附网板采用活性炭材质构件，所述除尘网板采用不锈钢滤网材质构件。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过手摇式的端盖启闭机构对烘烤罐的旋转启闭，能够轻松、便捷的将烘烤罐的罐口启闭开合，而后在堆叠放置形式的旋转烘烤机构中的集料箱体对磷化铟的堆叠放置下，能够以相互堆叠组装的形式，将磷化铟装入烘烤罐内进行烘烤工作，其方面具有简单、便捷的上料、取料性能，能够便于工作人员对磷化铟进行上下料，降低操作强度，另一方面能够提高上下料高效性，节省劳动时长，提高烘烤效率。

附图说明

图1为本实用新型一种磷化铟加工用烘烤装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种磷化铟加工用烘烤装置中端盖启闭机构的结构示意图；

图3为本实用新型一种磷化铟加工用烘烤装置中旋转烘烤机构的结构示意图；

图4为本实用新型一种磷化铟加工用烘烤装置中烘烤料箱的结构示意图。

图中：1、烘烤罐；2、臂力支杆；3、烘烤料箱；31、集料箱体；32、吊环；33、卡扣槽；4、启闭端盖；5、风筒；6、旋转架；7、旋转轴；8、支撑立架；9、启闭手轮；10、传动轴；11、锥齿轮A；12、锥齿轮B；13、通风扇；14、吸附网板；15、除尘网板；16、加热盘管；17、支撑底板；18、支撑滚轮；19、支撑轴；20、传动电机；21、同步带轮A；22、同步带；23、同步带轮B。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1-4所示，一种磷化铟加工用烘烤装置，包括烘烤罐1，烘烤罐1的内壁盘绕设置有加热盘管16，且烘烤罐1的内部设置有旋转烘烤机构，旋转烘烤机构包括安装在烘烤罐1罐底的支撑轴19以及安装在支撑轴19底部输出端一侧的传动电机20，支撑轴19的顶部输出端设置有支撑底板17，支撑底板17的板架下方位于边缘位置处沿其周向排布设置有多组支撑滚轮18，且支撑底板17的板架上方堆叠放置有多组烘烤料箱3，烘烤料箱3包括堆叠放置在支撑底板17上方的集料箱体31，集料箱体31的端口处呈星三角对称形式设置有三组吊环32，集料箱体31的箱体外部对称开设有多组卡扣槽33，支撑底板17的板架上方位于边缘位置处对称设置有卡扣在卡扣槽33内部的多组臂力支杆2，在对磷化铟进行烘烤工作时，将待烘烤加工的磷化铟放入至集料箱体31内，而后可利用吊装设备，将其吊钩挂入烘烤料箱3的吊环32，将装有磷化铟的烘烤料箱3吊入烘烤罐1内，且在吊装的同时，通过其外部卡扣槽33与臂力支杆2的导向卡合限位，使烘烤料箱3吊放在支撑底板17上，而后利用相同的吊装方式，依次将烘烤料箱3堆叠放置，堆放在支撑底板17上，一方面提高磷化铟堆料放置的均匀性，有利于进行全面的烘烤工作，另一方面堆叠放料的形式操作较为简单。

烘烤罐1的罐体后侧设置有端盖启闭机构，端盖启闭机构包括安装在烘烤罐1罐体后侧的支撑立架8，支撑立架8的支架内部转动连接有旋转轴7，旋转轴7的轴杆上半部设置有旋转架6，且旋转架6的支架顶端设置有压盖烘烤罐1罐口的启闭端盖4，旋转轴7的轴杆底端设置有贯穿烘烤罐1罐底的传动轴10，且传动轴10的轴杆一端设置有启闭手轮9，传动轴10的轴杆另一端设置有锥齿轮A11，旋转轴7的轴杆底端设置有与锥齿轮A11相啮合的锥齿轮B12，在对磷化铟堆叠放料完毕后，工作人员可手摇启闭手轮9，带动传动轴10转动，同步的驱动锥齿轮A11转动，通过锥齿轮A11与锥齿轮B12的啮合传动，驱动旋转轴7旋转，旋转轴7在旋转过程中，通过旋转架6带动启闭端盖4旋转位移，压盖在烘烤罐1的端口处，对烘烤罐1进行封盖处理，继而利用其内壁的加热盘管16，对磷化铟进行加热烘烤工作。

启闭端盖4的板面对称连通有两组风筒5，风筒5的筒道内部由里向外依次设置有通风扇13、吸附网板14、除尘网板15，吸附网板14采用活性炭材质构件，除尘网板15采用不锈钢滤网材质构件，在对磷化铟加热烘烤过程中，通风扇13同步工作，将外界空气经除尘网板15、吸附网板14除尘、净化后，通过风筒5抽送至烘烤罐1内，将吸入到烘烤罐1内的空气中的颗粒物进行净化，确保进入烘烤箱体中的空气的洁净，增加加热效率，提高热量的利用率，降低资源的损耗。

传动电机20的输出端设置有同步带轮A21，支撑轴19的底部输出端设置有同步带轮B23，且同步带轮A21与同步带轮B23之间通过同步带22连接，在对磷化铟加热烘烤过程中，传动电机20同步工作，带动同步带轮A21转动，通过同步带22的中转传动，带动同步带轮B23同步转动，继而带动支撑轴19转动，支撑轴19在转动过程中，通过利用支撑滚轮18的滚轮支撑，推动支撑底板17旋转，对其上方堆叠的烘烤料箱3进行同步旋转推动，以便于对烘烤料箱3内部的磷化铟进行均匀、全面的烘烤工作。

本实用新型的工作原理为：在对磷化铟进行烘烤工作时，将待烘烤加工的磷化铟放入至集料箱体31内，而后可利用吊装设备，将其吊钩挂入烘烤料箱3的吊环32，将装有磷化铟的烘烤料箱3吊入烘烤罐1内，且在吊装的同时，通过其外部卡扣槽33与臂力支杆2的导向卡合限位，使烘烤料箱3吊放在支撑底板17上，而后利用相同的吊装方式，依次将烘烤料箱3堆叠放置，堆放在支撑底板17上，而在对磷化铟堆叠放料完毕后，工作人员可手摇启闭手轮9，带动传动轴10转动，同步的驱动锥齿轮A11转动，通过锥齿轮A11与锥齿轮B12的啮合传动，驱动旋转轴7旋转，旋转轴7在旋转过程中，通过旋转架6带动启闭端盖4旋转位移，压盖在烘烤罐1的端口处，对烘烤罐1进行封盖处理，继而利用其内壁的加热盘管16，对磷化铟进行加热烘烤工作，且传动电机20同步工作，带动同步带轮A21转动，通过同步带22的中转传动，带动同步带轮B23同步转动，继而带动支撑轴19转动，支撑轴19在转动过程中，通过利用支撑滚轮18的滚轮支撑，推动支撑底板17旋转，对其上方堆叠的烘烤料箱3进行同步旋转推动，以便于对烘烤料箱3内部的磷化铟进行均匀、全面的烘烤工作，进一步的当磷化铟烘烤完毕后，工作人员只需反向手摇启闭手轮9，将启闭端盖4从烘烤罐1端口处移开，继而利用吊装的方式，将烘烤料箱3内部的磷化铟依次吊出，完成磷化铟的烘烤上料、取料工作。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种磷化铟加工用烘烤装置，包括烘烤罐(1)，其特征在于，所述烘烤罐(1)的内壁盘绕设置有加热盘管(16)，且烘烤罐(1)的内部设置有旋转烘烤机构，所述烘烤罐(1)的罐体后侧设置有端盖启闭机构；

所述旋转烘烤机构包括安装在烘烤罐(1)罐底的支撑轴(19)以及安装在支撑轴(19)底部输出端一侧的传动电机(20)，所述支撑轴(19)的顶部输出端设置有支撑底板(17)，所述支撑底板(17)的板架下方位于边缘位置处沿其周向排布设置有多组支撑滚轮(18)，且支撑底板(17)的板架上方堆叠放置有多组烘烤料箱(3)。

2.根据权利要求1所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述烘烤料箱(3)包括堆叠放置在支撑底板(17)上方的集料箱体(31)，所述集料箱体(31)的端口处呈星三角对称形式设置有三组吊环(32)。

3.根据权利要求2所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述集料箱体(31)的箱体外部对称开设有多组卡扣槽(33)，所述支撑底板(17)的板架上方位于边缘位置处对称设置有卡扣在卡扣槽(33)内部的多组臂力支杆(2)。

4.根据权利要求1所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述传动电机(20)的输出端设置有同步带轮A(21)，所述支撑轴(19)的底部输出端设置有同步带轮B(23)，且同步带轮A(21)与同步带轮B(23)之间通过同步带(22)连接。

5.根据权利要求1所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述端盖启闭机构包括安装在烘烤罐(1)罐体后侧的支撑立架(8)，所述支撑立架(8)的支架内部转动连接有旋转轴(7)，所述旋转轴(7)的轴杆上半部设置有旋转架(6)，且旋转架(6)的支架顶端设置有压盖烘烤罐(1)罐口的启闭端盖(4)，所述旋转轴(7)的轴杆底端设置有贯穿烘烤罐(1)罐底的传动轴(10)，且传动轴(10)的轴杆一端设置有启闭手轮(9)。

6.根据权利要求5所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述传动轴(10)的轴杆另一端设置有锥齿轮A(11)，所述旋转轴(7)的轴杆底端设置有与锥齿轮A(11)相啮合的锥齿轮B(12)。

7.根据权利要求5所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述启闭端盖(4)的板面对称连通有两组风筒(5)，所述风筒(5)的筒道内部由里向外依次设置有通风扇(13)、吸附网板(14)、除尘网板(15)，所述吸附网板(14)采用活性炭材质构件，所述除尘网板(15)采用不锈钢滤网材质构件。