CN219626595U - 一种晶圆片表面缺陷检测机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆片表面缺陷检测机构，包括安装座，所述安装座的上表面固定安装有防护罩，防护罩的内顶壁固定安装有检测灯，安装座的上表面转动连接有连接轴，连接轴的上端固定安装有安装框，安装框的内壁转动连接有旋转轴，旋转轴的表面固定安装有放置盘，放置盘的上端固定安装有气动吸盘，放置盘的上表面设置有可限制晶圆片移动的限位组件。本实用新型通过设置放置盘，根据晶圆片的尺寸可将限位销拧入不同位置的螺纹孔内，接着将晶圆片放入放置盘上的气动吸盘上后，利用气动吸盘可将晶圆片吸附形成柔性接触，从而可避免晶圆片损伤，同时，利用限位销可对晶圆片进行限位，避免了气动吸盘在停气时造成晶圆片脱落造成损伤的问题。

Description

一种晶圆片表面缺陷检测机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆片检测技术领域，尤其涉及一种晶圆片表面缺陷检测机构。

背景技术

中国专利公告号CN208888155U公开了一种晶圆流片表面缺陷检测装置，包括固定轴、锥齿盘、固定圆板、左支撑轴、右支撑轴、左螺纹管、右螺纹管、左螺纹杆、右螺纹杆、左托板、右托板、左滑杆、右滑杆、左带动齿轮、右带动齿轮、左主动齿轮、右主动齿轮、左锥齿轮和右锥齿轮；还包括支撑板、固定板、移动块、左挡板、右挡板、底板、调节丝杠、前滑块和后滑块。该装置通过设置左托板和右托板可对晶圆流片的左端和右端进行夹紧，从而可以提高晶圆流片在检测台上的稳定性，且通过前滑块和后滑块分别在两组条形通孔内部的滑动配合，使移动块可以在固定板和底板之间通过调节丝杠的转动而进行左右调节，从而可以左右调节镭射光发射器对晶圆流片顶端进行镭射光束发射的位置，实现可以控制调节光束位置，提高镭射光束在晶圆流片顶端的照射范围，方便更换检测位置。

但该装置在使用时存在以下缺陷：由于晶圆流片的厚度较薄，当上述装置上的左托板和右托板对晶圆流片的左端和右端进行夹紧时，晶圆片容易由于受到挤压而变形，从而会造成晶圆片造成损伤。为此，我们提出一种晶圆片表面缺陷检测机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆片表面缺陷检测机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆片表面缺陷检测机构，包括安装座，所述安装座的上表面固定安装有防护罩，防护罩的内顶壁固定安装有检测灯，安装座的上表面转动连接有连接轴，安装座的内部设置有可驱使连接轴转动的驱动组件，连接轴的上端固定安装有安装框，安装框的内壁转动连接有旋转轴，旋转轴的表面固定安装有放置盘，安装框的左侧设置有可驱使旋转轴转动的旋转组件，放置盘的上端固定安装有气动吸盘，放置盘的上表面设置有可限制晶圆片移动的限位组件，限位组件分别由四个限位销构成。

优选地，所述驱动组件包括固定安装在安装座内壁的第一电机，第一电机的输出端固定安装有第一直齿轮，连接轴的下端延伸至安装座的内部，并固定安装有第二直齿轮。

优选地，所述第一直齿轮与第二直齿轮啮合传动。

优选地，所述旋转组件包括固定安装在安装框左侧面的第二电机，第二电机的输出端与旋转轴的左端固定连接。

优选地，所述限位销的下端设置有外螺纹，放置盘的上端开设有与外螺纹相适配的螺纹孔。

优选地，所述螺纹孔的数量为十二个，十二个螺纹孔均分为三组，三组螺纹孔均呈圆周阵列设置在放置盘的上端。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、本实用新型通过设置放置盘，根据晶圆片的尺寸可将限位销拧入不同位置的螺纹孔内，接着将晶圆片放入放置盘上的气动吸盘上后，利用气动吸盘可将晶圆片吸附形成柔性接触，从而可避免晶圆片损伤，同时，利用限位销可对晶圆片进行限位，避免了气动吸盘在停气时造成晶圆片脱落造成损伤的问题。

2、本实用新型通过设置驱动组件和旋转组件，当晶圆片固定在放置盘上后，利用驱动组件可带动连接轴转动，从而可带动晶圆片旋转调节晶圆片与检测灯的位置，利用旋转组件可带动旋转轴转动，从而可调节晶圆片与检测灯的角度，进而可使检测人员对晶圆片进行多角度检测，提高了检测的准确性。

附图说明

图1为实用新型提出的立体结构示意图；

图2为实用新型提出的正剖结构示意图；

图3为实用新型提出的放置盘立体结构示意图。

图中：1安装座、2防护罩、3检测灯、4连接轴、5安装框、6旋转轴、7放置盘、8气动吸盘、9第一电机、10第一直齿轮、11第二直齿轮、12第二电机、13限位销。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-3，一种晶圆片表面缺陷检测机构，包括安装座1，安装座1的上表面固定安装有防护罩2，防护罩2的内顶壁固定安装有检测灯3，安装座1的上表面转动连接有连接轴4。

安装座1的内部设置有可驱使连接轴4转动的驱动组件，驱动组件包括固定安装在安装座1内壁的第一电机9，第一电机9的输出端固定安装有第一直齿轮10，连接轴4的下端延伸至安装座1的内部，并固定安装有第二直齿轮11，第一直齿轮10与第二直齿轮11啮合传动，驱动第一电机9可带动第一直齿轮10转动，利用第一直齿轮10与第二直齿轮11啮合传动，从而可带动连接轴4转动。

连接轴4的上端固定安装有安装框5，安装框5的内壁转动连接有旋转轴6，旋转轴6的表面固定安装有放置盘7，安装框5的左侧设置有可驱使旋转轴6转动的旋转组件，旋转组件包括固定安装在安装框5左侧面的第二电机12，第二电机12的输出端与旋转轴6的左端固定连接，驱动第二电机12转动可带动旋转轴6转动。

放置盘7的上端固定安装有气动吸盘8，放置盘7的上表面设置有可限制晶圆片移动的限位组件，限位组件分别由四个限位销13构成，限位销13的下端设置有外螺纹，放置盘7的上端开设有与外螺纹相适配的螺纹孔，螺纹孔的数量为十二个，十二个螺纹孔均分为三组，三组螺纹孔均呈圆周阵列设置在放置盘7的上端。

根据晶圆片的尺寸可将四个限位销13拧入不同位置的螺纹孔内，接着将晶圆片放入放置盘7上的气动吸盘8上后，利用气动吸盘8可将晶圆片吸附形成柔性接触，从而可避免晶圆片损伤，同时，利用限位销13可对晶圆片进行限位，避免了气动吸盘8在停气时造成晶圆片脱落造成损伤的问题。

当晶圆片固定在放置盘7上后，利用驱动组件可带动连接轴4转动，从而可带动晶圆片旋转调节晶圆片与检测灯3的位置，利用旋转组件可带动旋转轴6转动，从而可调节晶圆片与检测灯3的角度，进而可使检测人员对晶圆片进行多角度检测，提高了检测的准确性。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆片表面缺陷检测机构，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)的上表面固定安装有防护罩(2)，防护罩(2)的内顶壁固定安装有检测灯(3)，安装座(1)的上表面转动连接有连接轴(4)，安装座(1)的内部设置有可驱使连接轴(4)转动的驱动组件，连接轴(4)的上端固定安装有安装框(5)，安装框(5)的内壁转动连接有旋转轴(6)，旋转轴(6)的表面固定安装有放置盘(7)，安装框(5)的左侧设置有可驱使旋转轴(6)转动的旋转组件，放置盘(7)的上端固定安装有气动吸盘(8)，放置盘(7)的上表面设置有可限制晶圆片移动的限位组件，限位组件分别由四个限位销(13)构成。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面缺陷检测机构，其特征在于：所述驱动组件包括固定安装在安装座(1)内壁的第一电机(9)，第一电机(9)的输出端固定安装有第一直齿轮(10)，连接轴(4)的下端延伸至安装座(1)的内部，并固定安装有第二直齿轮(11)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片表面缺陷检测机构，其特征在于：所述第一直齿轮(10)与第二直齿轮(11)啮合传动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面缺陷检测机构，其特征在于：所述旋转组件包括固定安装在安装框(5)左侧面的第二电机(12)，第二电机(12)的输出端与旋转轴(6)的左端固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片表面缺陷检测机构，其特征在于：所述限位销(13)的下端设置有外螺纹，放置盘(7)的上端开设有与外螺纹相适配的螺纹孔。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆片表面缺陷检测机构，其特征在于：所述螺纹孔的数量为十二个，十二个螺纹孔均分为三组，三组螺纹孔均呈圆周阵列设置在放置盘(7)的上端。