CN219621204U - 合制金退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了合制金退火炉，包括底板，所述底板的上表面固定连接有两组相对称的支撑腿，两组所述支撑腿的顶端共同固定连接有炉体，所述底板的上表面固定连接有框体，所述框体的内底壁固定连接有相对称的立板，所述框体的内底壁放置有相对称的蓄电池，两个所述立板的顶端共同放置有挡板，所述框体的内底壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆，两组所述电动伸缩杆的顶端共同固定连接有顶板。本装置通过挡板与顶板的配合，能够对加工物进行水平调节，取代了现有手动上料的方式，避免工人在对加工物进行放置时出现不便的现象，通过设置有引导块，可以对加工物的放置进行引导，避免工人对加工物进行移动时出现不便的现象。

Description

合制金退火炉

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，尤其是合制金退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。

根据中国专利号为CN218262642U所所公开的一种适用于镍合金制造的退火炉，包括退火炉机箱和轨体，退火炉机箱的内部设置有退火腔，退火腔为贯通退火炉机箱前后的腔体，轨体的两端经由退火腔延伸至退火炉机箱外部，轨体位于退火炉机箱外部的区域构成两个操作工位，轨体位于退火腔内部的区域构成退火工位，传统该装置在使用时多数需要将加工件人力手动放入至进料口内部，此类上料过程中容易因加工件自身体积过大或自重等因素出现上料失败的现象，为此我们提出合制金退火炉解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供合制金退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

合制金退火炉，包括底板，所述底板的上表面固定连接有两组相对称的支撑腿，两组所述支撑腿的顶端共同固定连接有炉体，所述底板的上表面固定连接有框体，所述框体的内底壁固定连接有相对称的立板，所述框体的内底壁放置有相对称的蓄电池，两个所述立板的顶端共同放置有挡板，所述框体的内底壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆，两组所述电动伸缩杆的顶端共同固定连接有顶板，所述顶板的上表面固定连接有顶块，所述顶块的上表面与挡板的底面固定连接，所述顶板的底面固定连接有相对称的弹簧，每个所述弹簧的底端均与框体的内底壁固定连接，所述框体的内侧壁开设有相对称的导向槽，每个所述导向槽的内部均活动连接有导向块，两个所述导向块相互靠近的一侧面分别与顶板的左右两侧面固定连接，所述底板的上表面固定连接有引导块。

在进一步的实施例中，所述底板的下方设有两组相对称的防滑垫，每组所述防滑垫的上表面均与底板的底面固定连接。

在进一步的实施例中，所述引导块的左侧面固定连接有加固板，所述加固板的左端与框体的右侧面固定连接。

在进一步的实施例中，所述挡板的上方设有限位板，所述限位板的底端与挡板的上表面连接。

在进一步的实施例中，每个所述框体的内部均设有限位垫，每个所述限位垫的底面均与框体的内底壁固定连接。

在进一步的实施例中，所述底板的上方设有相对称的警示牌，两个所述警示牌相互靠近的一侧面分别与炉体的左右两侧面固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本装置通过挡板与顶板的配合，能够对加工物进行水平调节，取代了现有手动上料的方式，避免工人在对加工物进行放置时出现不便的现象，通过设置有引导块，可以对加工物的放置进行引导，避免工人对加工物进行移动时出现不便的现象，通过设置有电动伸缩杆，能够为该装置对加工物的水平调节过程提供所需动力，避免工人在对其进行调节时容易因动力不足出现失败的现象，通过导向槽与引导块的配合，能够使该装置的调节过程更加平稳流畅，避免该装置在对加工物进行水平调节时出现卡顿的现象。

附图说明

图1为本实用新型中炉体的立体结构示意图。

图2为本实用新型中框体的内部结构示意图。

图3为本实用新型中顶板的立体结构示意图。

图4为本实用新型图2中A处结构放大示意图。

图中：1、底板；2、框体；3、加固板；4、引导块；5、挡板；6、限位板；7、顶块；8、炉体；9、警示牌；10、支撑腿；11、防滑垫；12、电动伸缩杆；13、弹簧；14、立板；15、蓄电池；16、导向块；17、限位垫；18、导向槽；19、顶板。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型中，合制金退火炉，包括底板1，底板1的上表面固定连接有两组相对称的支撑腿10，两组支撑腿10的顶端共同固定连接有炉体8，底板1的上表面固定连接有框体2，框体2的内底壁固定连接有相对称的立板14，框体2的内底壁放置有相对称的蓄电池15，两个立板14的顶端共同放置有挡板5，框体2的内底壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆12，两组电动伸缩杆12的顶端共同固定连接有顶板19，顶板19的上表面固定连接有顶块7，顶块7的上表面与挡板5的底面固定连接，顶板19的底面固定连接有相对称的弹簧13，每个弹簧13的底端均与框体2的内底壁固定连接，框体2的内侧壁开设有相对称的导向槽18，每个导向槽18的内部均活动连接有导向块16，两个导向块16相互靠近的一侧面分别与顶板19的左右两侧面固定连接，底板1的上表面固定连接有引导块4。

底板1的下方设有两组相对称的防滑垫11，每组防滑垫11的上表面均与底板1的底面固定连接，起到了对该装置进行防滑定位的作用，避免该装置容易因稳定性不足出现倾倒的现象，引导块4的左侧面固定连接有加固板3，加固板3的左端与框体2的右侧面固定连接，能够对引导块4进行定位加固，避免引导块4容易因稳定性不足出现脱落的现象。

挡板5的上方设有限位板6，限位板6的底端与挡板5的上表面连接，可以对加工物进行暂时定位，避免加工物容易因稳定性不足出现掉落的现象，每个框体2的内部均设有限位垫17，每个限位垫17的底面均与框体2的内底壁固定连接，能够对顶板19的复位进行限位保护，避免顶板19容易因复位超位出现损坏的现象，底板1的上方设有相对称的警示牌9，两个警示牌9相互靠近的一侧面分别与炉体8的左右两侧面固定连接，能够对周围工人或人群进行警示，避免工作现场容易因工人距离过近出现安全隐患的问题。

本实用新型的工作原理是：

在使用时，首先将该装置与蓄电池15相连通，并通过控制开关进行控制，然后利用引导块4将加工物放置在挡板5处，并利用限位板6对其进行暂时定位，接着利用电动伸缩杆12的运转，使顶板19推动顶块7进行移动，并通过顶块7的移动使挡板5与加工物进行水平调节，同时利用导向槽18与导向块16的配合对此过程进行限位导向，达到了取代现有该装置上料方式的目的，避免工人在对该装置进行上料时容易因加工物自身体积或自重等因素出现上料不便的现象。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.合制金退火炉，其特征在于：包括底板（1），所述底板（1）的上表面固定连接有两组相对称的支撑腿（10），两组所述支撑腿（10）的顶端共同固定连接有炉体（8），所述底板（1）的上表面固定连接有框体（2），所述框体（2）的内底壁固定连接有相对称的立板（14），所述框体（2）的内底壁放置有相对称的蓄电池（15），两个所述立板（14）的顶端共同放置有挡板（5），所述框体（2）的内底壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆（12），两组所述电动伸缩杆（12）的顶端共同固定连接有顶板（19），所述顶板（19）的上表面固定连接有顶块（7），所述顶块（7）的上表面与挡板（5）的底面固定连接，所述顶板（19）的底面固定连接有相对称的弹簧（13），每个所述弹簧（13）的底端均与框体（2）的内底壁固定连接，所述框体（2）的内侧壁开设有相对称的导向槽（18），每个所述导向槽（18）的内部均活动连接有导向块（16），两个所述导向块（16）相互靠近的一侧面分别与顶板（19）的左右两侧面固定连接，所述底板（1）的上表面固定连接有引导块（4）。

2.根据权利要求1所述的合制金退火炉，其特征在于：所述底板（1）的下方设有两组相对称的防滑垫（11），每组所述防滑垫（11）的上表面均与底板（1）的底面固定连接。

3.根据权利要求1所述的合制金退火炉，其特征在于：所述引导块（4）的左侧面固定连接有加固板（3），所述加固板（3）的左端与框体（2）的右侧面固定连接。

4.根据权利要求1所述的合制金退火炉，其特征在于：所述挡板（5）的上方设有限位板（6），所述限位板（6）的底端与挡板（5）的上表面连接。

5.根据权利要求1所述的合制金退火炉，其特征在于：每个所述框体（2）的内部均设有限位垫（17），每个所述限位垫（17）的底面均与框体（2）的内底壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的合制金退火炉，其特征在于：所述底板（1）的上方设有相对称的警示牌（9），两个所述警示牌（9）相互靠近的一侧面分别与炉体（8）的左右两侧面固定连接。