CN219603676U - 一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置，包括冷却挡板提升驱动装置、冷却腔体装置和可快换冷却挡板装置；所述冷却挡板提升驱动装置由直线导轨、提升支架、电动缸、电缸固定座、活动接头、电机、减速机组成，所述电动缸、电机、减速机固定安装在电缸固定座上，电动缸通过活动接头固定连接提升支架，所述电机通过减速机增驱动电动缸伸出或缩回运动，同步带动两侧提升支架沿直线导轨做上下运动；所述冷却腔体装置和可快换冷却挡板装置固定安装在提升支架下方。本实用提高了镀膜冷却挡板的冷却效果，提高镀膜成品率，另外增加冷却挡板提升驱动装置，冷却挡板拆装更换简单高效，减少维护时间。

Description

一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置。

背景技术

真空镀膜设备除应用在消费电子、集成电路、光学光电子元器件等领域外，还可以应用于医疗器械、航空航天、太阳能等领域。随着国家对环境保护的日益重视，真空镀膜的高性价比、低污染的特点将成为表面处理业内主流技术。真空镀膜技术依附其环保节能、安全可控的特性，市场覆盖率迅速扩大。

目前真空镀膜设备广泛采用蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，用于制备铜箔、铝箔等金属薄膜。常见的真空镀膜冷却挡板装置结构较单一，冷却效率较低，另外冷却挡板位置固定不可变，距离镀膜冷辊空间太小，不易拆装更换冷却挡板。镀膜设备常采用圆弧形挡板来保护镀膜两端不受到溅射，以达到较好收卷的效果。但由于挡板在蒸发或溅射过程中持续受到热量，导致挡板的温度较主辊等其它位置温度明显更高，而温度的不一致促使挡板下方的镀膜和溅射区域的镀膜热收缩效果不一致。挡板的升温不仅影响到镀膜两端收卷的效果，也大大的降低了挡板的使用寿命。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置，包括冷却挡板提升驱动装置、冷却腔体装置和可快换冷却挡板装置；

所述冷却挡板提升驱动装置由直线导轨、提升支架、电动缸、电缸固定座、活动接头、电机、减速机组成，所述电动缸、电机、减速机固定安装在电缸固定座上，电动缸通过活动接头固定连接提升支架，所述电机通过减速机增驱动电动缸伸出或缩回运动，同步带动两侧提升支架沿直线导轨做上下运动；

所述冷却腔体装置和可快换冷却挡板装置固定安装在提升支架下方；

所述冷却腔体装置由圆弧形腔体、长板形腔体一、长板形腔体二组成，

所述圆弧形腔体、长板形腔体一、长板形腔体二内部分别加工有冷却水腔室，所述长板形腔体一、长板形腔体二一端分别设置有水端接头、出水端接头；

所述可快换冷却挡板装置由上挡板一、下挡板一、上挡板二、下挡板二、弧形上挡板、弧形下挡板、左挡板、右挡板组成，所述上挡板一、下挡板一、上挡板二、下挡板二通过快换螺栓组件分别固定安装在长板形腔体一、长板形腔体二的上下面，弧形上挡板、弧形下挡板固定安装在圆弧形腔体的上下面，所述左挡板、右挡板固定安装在圆弧形腔体两端外侧面上。

进一步的，所述长板形腔体一、长板形腔体二平行设置，所述圆弧形腔体设有两组分别设置在长板形腔体一、长板形腔体二首尾两端，所述圆弧形腔体冷却水腔室内的冷却水腔室中间分隔分别与长板形腔体一、长板形腔体二形成循环冷却回路。

进一步的，所述圆弧形腔体、长板形腔体一、长板形腔体二内部的冷却水腔室内径为16mm。

进一步的，所述圆弧形腔体、长板形腔体一、长板形腔体二表面加工凹槽并焊接铜编织带，增加冷件腔体水路与冷却挡板之间传热比，提高冷却效率。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

1、本实用在冷却腔体装置中设计有高效的循环冷却水路，并通过特殊结构提高可快换冷却挡板与冷却腔体之间的热传递效率，冷却效果好，且可定期清洗内部污垢，使用寿命长；

2、镀膜可快换冷却挡板装置特殊的结构设计实现冷却挡板的快速降温，同时沉积的膜层金属不易脱落，保证真空腔室更加清洁，从而有效降低因冷却挡板持续过热而导致镀膜两端发生起皱、断膜、串泡等问题的出现，提高镀膜成品率；

3、设计有双侧同步的冷却挡板升降驱动装置，当有较多镀膜金属附着在冷却挡板上，为了保证冷却效果以及真空腔体洁净，可通过挡板提升驱动装置实现对冷却挡板快速且有效的更换，拆卸空间大、结构简单，大大提高更换效率，减少维护时间。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的正视结构示意图；

图3为本实用新型的俯视结构示意图；

图4为本实用新型的A-A视结构示意图。

1、直线导轨，2、提升支架，3、电动缸，4、电缸固定座，5、活动接头，6、电机，7、减速机，8、圆弧形腔体，9、长板形腔体一，10、长板形腔体二，11、进水端接头，12、出水端接头，13、上挡板一，14、上挡板二，15、下挡板一，16、下挡板二，17、弧形上挡板，18、弧形下挡板，19、左挡板，20、右挡板，21、快换螺栓组件，22、冷却水腔室。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

参考图1-图4，一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置，包括冷却挡板提升驱动装置、冷却腔体装置和可快换冷却挡板装置；冷却腔体装置为冷水挡板的冷却提供热传递介质，把蒸发或溅射到冷却挡板上的热量通过冷却水循环回路带走；可快换冷却挡板装置为蒸发或溅射过程中冷辊遮挡后的直接受热源，用于传导散热以及吸附沉积镀膜金属，保证冷却效果以及真空腔体洁净；冷却挡板提升驱动装置，可在需要更换冷却挡板时，让整个冷却挡板装置远离镀膜冷辊并下降到合适高度方便人工拆装更换挡板。

所述冷却挡板提升驱动装置由直线导轨1、提升支架2、电动缸3、电缸固定座4、活动接头5、电机6、减速机7组成，所述电动缸3、电机6、减速机7固定安装在电缸固定座4上，电动缸3通过活动接头5固定连接提升支架2，所述电机6通过减速机7增驱动电动缸3伸出或缩回运动，同步带动两侧提升支架2沿直线导轨1做上下运动；

所述冷却腔体装置和可快换冷却挡板装置固定安装在提升支架2下方；

所述冷却腔体装置由圆弧形腔体8、长板形腔体一9、长板形腔体二10组成，

所述圆弧形腔体8、长板形腔体一9、长板形腔体二10内部分别加工有冷却水腔室22，所述长板形腔体一9、长板形腔体二10一端分别设置有水端接头11、出水端接头12。

所述可快换冷却挡板装置由上挡板一13、下挡板一15、上挡板二14、下挡板二16、弧形上挡板17、弧形下挡板18、左挡板19、右挡板20组成，所述上挡板一13、下挡板一15、上挡板二14、下挡板二16通过快换螺栓组件21分别固定安装在长板形腔体一9、长板形腔体二10的上下面，弧形上挡板17、弧形下挡板18固定安装在圆弧形腔体的上下面，所述左挡板19、右挡板20固定安装在圆弧形腔体8两端外侧面上。

如图3所示，所述长板形腔体一9、长板形腔体二10平行设置，所述圆弧形腔体8设有两组分别设置在长板形腔体一9、长板形腔体二10首尾两端，所述圆弧形腔体冷8却水腔室内的冷却水腔室中间分隔分别与长板形腔体一9、长板形腔体二10形成循环冷却回路。所述圆弧形腔体8、长板形腔体一9、长板形腔体二10内部的冷却水腔室22内径为16mm，冷却水由进水软管流入，依次流经进水端接头11、长板形腔体一9(或长板形腔体二10)、圆弧形腔体8、长板形腔体一9(或长板形腔体二10)、圆弧形腔体8、长板形腔体一9(或长板形腔体二10)、出水端接头12。

所述圆弧形腔体8、长板形腔体一9、长板形腔体二10表面加工凹槽并焊接铜编织带，增加冷件腔体水路与冷却挡板之间传热比，提高冷却效率。

本实用在冷却腔体装置中设计有高效的循环冷却水路，并通过特殊结构提高可快换冷却挡板与冷却腔体之间的热传递效率，冷却效果好，且可定期清洗内部污垢，使用寿命长；镀膜可快换冷却挡板装置特殊的结构设计实现冷却挡板的快速降温，同时沉积的膜层金属不易脱落，保证真空腔室更加清洁，从而有效降低因冷却挡板持续过热而导致镀膜两端发生起皱、断膜、串泡等问题的出现，提高镀膜成品率；设计有双侧同步的冷却挡板升降驱动装置，当有较多镀膜金属附着在冷却挡板上，为了保证冷却效果以及真空腔体洁净，可通过挡板提升驱动装置实现对冷却挡板快速且有效的更换，拆卸空间大、结构简单，大大提高更换效率，减少维护时间。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置，其特征在于：包括冷却挡板提升驱动装置、冷却腔体装置和可快换冷却挡板装置；

所述冷却挡板提升驱动装置由直线导轨、提升支架、电动缸、电缸固定座、活动接头、电机、减速机组成，所述电动缸、电机、减速机固定安装在电缸固定座上，电动缸通过活动接头固定连接提升支架，所述电机通过减速机增驱动电动缸伸出或缩回运动，同步带动两侧提升支架沿直线导轨做上下运动；

所述冷却腔体装置和可快换冷却挡板装置固定安装在提升支架下方；

所述冷却腔体装置由圆弧形腔体、长板形腔体一、长板形腔体二组成，所述圆弧形腔体、长板形腔体一、长板形腔体二内部分别加工有冷却水腔室，所述长板形腔体一、长板形腔体二一端分别设置有水端接头、出水端接头；

所述可快换冷却挡板装置由上挡板一、下挡板一、上挡板二、下挡板二、弧形上挡板、弧形下挡板、左挡板、右挡板组成，所述上挡板一、下挡板一、上挡板二、下挡板二通过快换螺栓组件分别固定安装在长板形腔体一、长板形腔体二的上下面，弧形上挡板、弧形下挡板固定安装在圆弧形腔体的上下面，所述左挡板、右挡板固定安装在圆弧形腔体两端外侧面上。

2.根据权利要求1所述一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置，其特征在于：所述长板形腔体一、长板形腔体二平行设置，所述圆弧形腔体设有两组分别设置在长板形腔体一、长板形腔体二首尾两端，所述圆弧形腔体冷却水腔室内的冷却水腔室中间分隔分别与长板形腔体一、长板形腔体二形成循环冷却回路。

3.根据权利要求1所述一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置，其特征在于：所述圆弧形腔体、长板形腔体一、长板形腔体二内部的冷却水腔室内径为16mm。

4.根据权利要求1所述一种镀膜冷辊循环冷却快换挡板及其驱动装置，其特征在于：所述圆弧形腔体、长板形腔体一、长板形腔体二表面加工凹槽并焊接铜编织带。