CN219602198U - 水箱组件及pvd镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种水箱组件及PVD镀膜设备，水箱组件包括箱本体、触发器、浮动模块及报警器。液体储存在箱本体的储水腔内，浮动模块的浮动件设置在储水腔内，导向件的一端连接浮动件，另一端穿设于箱本体顶壁上的连通孔内，触发器设置在箱本体的顶壁上。当浮动件随着储水腔内的液面的升高上浮的过程中，通过连通孔与导向件的配合为浮动件的浮动提供导向作用，便于触发器有效检测到浮动件。当储水腔内储满液体或即将储满液体时，浮动件抵触或靠近触发器，触发器根据检测到的浮动件的信号控制报警器响应。上述水箱组件通过在储水腔内的顶壁上设置触发器感应液面上的浮动件，即可实现对报警器的触发，触发的结构简单，触发过程可靠。

Description

水箱组件及PVD镀膜设备

技术领域

本申请涉及储水技术领域，特别是涉及水箱组件及PVD镀膜设备。

背景技术

水箱作为储液装置，被广泛的应用在各种需要储存或排除液体的场合中。因此，水箱一般会设置溢水报警装置，当水箱中的液体加满以后，通过报警装置进行提示，降低溢水风险。然而，传统的水箱的溢水报警装置结构复杂，进而导致水箱的成本增加。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种降低报警结构复杂度的水箱组件及PVD镀膜设备。

一种水箱组件，所述水箱组件包括箱本体、触发器、浮动模块及报警器，所述箱本体内形成有储水腔，所述箱本体的顶壁上开设有与所述储水腔连通的连通孔；所述触发器设置于所述箱本体的顶壁上，并位于所述储水腔内；所述浮动模块包括浮动件及导向件，所述浮动件位于所述储水腔内，所述导向件的一端连接于所述浮动件，所述导向件的另一端穿设于所述连通孔内，且所述导向件能够通过所述连通孔引导所述浮动件向靠近或远离所述触发器的方向往复移动，所述触发器用于感应所述浮动件以产生感应信号；所述报警器连接于所述触发器，所述触发器用于根据所述感应信号控制所述报警器响应。

在其中一个实施例中，所述导向件的外壁与所述连通孔的内壁之间具有间隙。

在其中一个实施例中，所述储水腔的内壁上设置有限位件，所述导向件位于所述储水腔内的部分与所述限位件沿所述连通孔的轴线方向导向配合，且所述限位件限制所述导向件相对于所述箱本体转动；或者

所述导向件的外壁上形成有导向凸条，所述连通孔的内壁上形成有导向槽，所述导向凸条穿设于所述导向槽内，并能够在所述导向槽内移动；或者

所述连通孔的内壁上设置有凸起，所述导向件的外壁上开设有条形导槽，所述凸起穿设于所述条形导槽内，以使所述凸起能够在所述条形导槽内相对于所述导向件导向移动；或者

所述连通孔为非圆孔，所述导向件为非圆柱形杆，且所述导向件的横截面的形状与所述连通孔的形状一致。

在其中一个实施例中，所述箱本体上还开设有进水口，所述进水口与所述储水腔连通，所述进水口处设置有进水阀；

所述箱本体上还开设有排水口，所述排水口与所述储水腔连通，所述排水口处设置有排水阀。

在其中一个实施例中，所述水箱组件还包括水位仪，所述水位仪设置在所述箱本体上，所述水位仪电性连接于所述排水阀，所述水位仪用于根据检测到的所述储水腔内的液位控制所述排水阀的开度；

所述水位仪电性连接于所述进水阀，所述水位仪用于根据检测到的所述储水腔内的液位控制所述进水阀的开度。

在其中一个实施例中，所述水箱组件还包括移动座，所述移动座包括移动轮及底座，所述移动轮设置于所述底座的底壁上，所述底座的顶壁上形成有放置槽，所述箱本体能够放置在所述放置槽内。

在其中一个实施例中，所述移动座还包括限位弹臂，所述限位弹臂的一端设置于所述底座上，所述限位弹臂的另一端能够抵接在所述箱本体的外壁上。

在其中一个实施例中，所述限位弹臂的一端为连接端，另一端为抵接端，所述连接端连接于所述底座的外壁上，所述抵接端位于所述底座的上方并能够抵接于所述箱本体的外壁上，所述抵接端相对于所述连接端受力能够发生弹性变形。

在其中一个实施例中，所述限位弹臂的数量为至少两个，全部所述限位弹臂绕所述底座的周向间隔设置。

上述水箱组件，液体储存在箱本体的储水腔内，由于浮动模块的浮动件设置在储水腔内，导向件的一端连接浮动件，另一端穿设于箱本体顶壁上的连通孔内，触发器设置在箱本体的顶壁上。进而当浮动件随着储水腔内的液面的升高上浮的过程中，通过连通孔与导向件的配合为浮动件的浮动提供导向作用，便于触发器有效检测到浮动件。当储水腔内储满液体或即将储满液体时，浮动件抵触或靠近触发器，触发器根据检测到的浮动件的信号控制报警器响应。上述水箱组件通过在储水腔内的顶壁上设置触发器感应液面上的浮动件，即可实现对报警器的触发，触发的结构简单，触发过程可靠。

一种PVD镀膜设备，所述PVD镀膜设备包括镀膜装置、冷却装置及如上所述的水箱组件，所述冷却装置设置于所述镀膜装置上，所述冷却装置内形成有冷却通道；所述箱本体与所述冷却装置连接，以使所述冷却通道与所述储水腔连通。

附图说明

图1为一实施例中的水箱组件的结构示意图。

图2为图1中的移动座的结构示意图。

附图标记说明：

10、水箱组件；100、箱本体；110、储水腔；120、连通孔；130、限位件；140、进水口；150、进水阀；160、排水口；200、触发器；300、浮动模块；310、浮动件；320、导向件；400、报警器；500、水位仪；600、移动座；610、移动轮；620、底座；622、放置槽；630、限位弹臂；632、连接端；634、抵接端。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1，图1示出了本申请一实施例中的水箱组件10的结构示意图，本申请一实施例提供的水箱组件10，包括箱本体100、触发器200、浮动模块300及报警器400，箱本体100内形成有储水腔110，箱本体100的顶壁上开设有与储水腔110连通的连通孔120；触发器200设置于箱本体100的顶壁上，并位于储水腔110内；浮动模块300包括浮动件310及导向件320，浮动件310位于储水腔110内，导向件320的一端连接于浮动件310，导向件320的另一端穿设于连通孔120内，且导向件320能够通过连通孔120引导浮动件310向靠近或远离触发器200的方向往复移动，触发器200用于感应浮动件310以产生感应信号；报警器400连接于触发器200，触发器200用于根据感应信号控制报警器400响应。

上述水箱组件10，液体储存在箱本体100的储水腔110内，由于浮动模块300的浮动件310设置在储水腔110内，导向件320的一端连接浮动件310，另一端穿设于箱本体100顶壁上的连通孔120内，触发器200设置在箱本体100的顶壁上。进而当浮动件310随着储水腔110内的液面的升高上浮的过程中，通过连通孔120与导向件320的配合为浮动件310的浮动提供导向作用，便于触发器200有效检测到浮动件310。当储水腔110内储满液体或即将储满液体时，浮动件310抵触或靠近触发器200，触发器200根据检测到的浮动件310的信号控制报警器400响应。上述水箱组件10通过在储水腔110内的顶壁上设置触发器200感应液面上的浮动件310，即可实现对报警器400的触发，触发的结构简单，触发过程可靠。

一实施例中，导向件320的外壁与连通孔120的内壁之间具有间隙。通过导向件320的外壁与连通孔120的内壁之间形成间隙，能够使得空气由该间隙进入储水腔110或使得储水腔110内的空气由该间隙排出，保证储水腔110内的压强与外界气压一致，进而保证储水腔110的进液或排液。在其他实施例中，导向件320的外壁与连通孔120的内壁之间还可以相接触，可以在箱本体100的顶壁上单独开设通气孔，通气孔与储水腔110连通，保证储水腔110内的压强与外界压强一致。

一实施例中，储水腔110的内壁上设置有限位件130，导向件320位于储水腔110内的部分与限位件130沿连通孔120的轴线方向导向配合，且限位件130限制导向件320相对于箱本体100转动。通过设置限位件130能够进一步保证浮动件310浮动的方向，保证触发器200感应浮动件310的可靠性。

具体地，限位件130上形成有限位槽，导向件320穿设于限位槽内，利用限位槽限制导向件320转动。例如，限位槽为非圆形槽，导向件320为非圆柱体，当导向件320穿设于限位槽内后，使得导向件320只能沿着连通孔120的轴线方向移动，而不能发生转动。

在其他实施例中，还可以在导向件320上设置限位凸起，限位凸起限位在限位件130上。

在另一实施例中，导向件320的外壁上形成有导向凸条，连通孔120的内壁上形成有导向槽，导向凸条穿设于导向槽内，并能够在导向槽内移动。通过导向凸条与连通孔120内壁上的导向槽的配合，能够有效限制导向件320在连通孔120内转动，进而限制浮动件310在储水腔110内转动。

再一实施例中，连通孔120的内壁上设置有凸起，导向件320的外壁上开设有条形导槽，凸起穿设于条形导槽内，以使凸起能够在条形导槽内相对于导向件320导向移动。通过导向件320的外壁上条形导槽与连通孔120内壁上的凸起的配合，能够有效限制导向件320在连通孔120内转动，进而限制浮动件310转动。

在其他实施例中，连通孔120还可以为非圆孔，导向件320为非圆柱形杆，且导向件320的横截面的形状与连通孔120的形状一致。利用非圆形的连通孔120与导向件320的配合，有效限制导向件320转动。

参阅图1，一实施例中，箱本体100上还开设有进水口140，进水口140与储水腔110连通，进水口140处设置有进水阀150。通过设置进水口140便于输送液体至储水腔110内，且通过设置进水阀150，能够控制输送液体的速度和流量。

在本实施例中，进水口140开设在箱本体100靠近顶壁的侧壁上或开设于箱本体100的顶壁上。通过将进水口140开设在箱本体100靠近顶壁的位置或顶壁上，能够防止在输送液体的过程中，储水腔110内的液体由进水口140返流。

具体地，箱本体100上开设有至少两个进水口140，各个进水口140间隔设置，每一进水口140上均设置有进水阀150。通过设置至少两个进水口140，能够提高调节进液流量的范围，进一步提高水箱组件10的适应性。

一实施例中，箱本体100上还开设有排水口160，排水口160与储水腔110连通，排水口160处设置有排水阀。通过设置排水口160便于排出储水腔110内的液体，且通过设置排水阀，能够控制液体排出的速度。

在本实施例中，排水口160开设在箱本体100靠近底壁的侧壁上或开设于箱本体100的底壁上。通过将排水口160开设在箱本体100靠近底壁的位置或底壁上，能够进一步提高排液的速度，且便于将储水腔110内的液体排干净。

具体地，箱本体100上开设有至少两个排水口160，各个排水口160间隔设置，每一排水口160上均设置有排水阀。通过设置至少两个排水口160，能够提高调节液体排出的速度范围，更进一步提高水箱组件10的适应性。

参阅图1，一实施例中，水箱组件10还包括水位仪500，水位仪500设置在箱本体100上。通过设置水位仪500用于检测储水腔110内的液位高度，便于使用者直观地观测到储水腔110内的液位的高度。

一实施例中，水位仪500电性连接于进水阀150，水位仪500用于根据检测到的储水腔110内的液位控制进水阀150的开度。当水位仪500检测到储水腔110内的液位较高时，可以控制进水阀150降低开度，减缓进液速度。当水位仪500检测到储水腔110内的液位较低时，储水腔110内的液体溢出风险低，可以根据使用要求去控制进水阀150的开度，或者可以增大进水阀150的开度。

一实施例中，水位仪500电性连接于排水阀，水位仪500用于根据检测到的储水腔110内的液位控制排水阀的开度。当水位仪500检测到储水腔110内的液位较高时，可以控制排水阀增大开度，提高排液速度，进而降低液体溢出风险。当水位仪500检测到储水腔110内的液位较低时，储水腔110内的液体溢出风险低，可以根据使用要求去控制排水阀的开度，或者可以降低排水阀的开度。

参阅图1及图2，一实施例中，水箱组件10还包括移动座600，移动座600包括移动轮610及底座620，移动轮610设置于底座620的底壁上，底座620的顶壁上形成有放置槽622，箱本体100能够放置在放置槽622内。通过设置放置槽622便于箱本体100的安装，进而可以利用移动轮610移动箱本体100的位置，提高箱本体100使用的便利性。

具体地，底座620上开设有与放置槽622连通的走水孔，当箱本体100放置在放置槽622内，使得排水口160与底座620上的走水孔相对连通。

在本实施例中，底座620开设有走水孔的位置设置有连通管，连通管位于放置槽622内。当箱本体100放置在放置槽622内，连通管可以插接在排水口160，提高走水孔与排水口160连通的可靠性。或者连通管可以设置于排水口160处，连通管可以插接在走水孔内。

一实施例中，移动座600还包括限位弹臂630，限位弹臂630的一端设置于底座620上，限位弹臂630的另一端能够抵接在箱本体100的外壁上。通过设置限位弹臂630抵接箱本体100的外壁上，进一步提高箱本体100在底座620上设置的稳定性，提高箱本体100在移动过程中的稳定性。

具体地，限位弹臂630的一端为连接端632，另一端为抵接端634，连接端632连接于底座620的外壁上，抵接端634位于底座620的上方并能够抵接于箱本体100的外壁上，抵接端634相对于连接端632受力能够发生弹性变形。当向远离箱本体100的方向扳动抵接端634时，限位弹臂630发生弹性变形，此时便于箱本体100由放置槽622取出或放置在放置槽622内。当解除对限位弹臂630的施力后，限位弹臂630复位，抵接端634能够抵接于箱本体100上。

在本实施例中，限位弹臂630为杆状结构，杆状的限位弹臂630的一端形成为连接端632，另一端形成为抵接端634，抵接端634相对于连接端632朝放置槽622的方向弯折，以便于抵接端634能够有效抵接在箱本体100上。

一实施例中，限位弹臂630的数量为至少两个，全部限位弹臂630绕底座620的周向间隔设置。通过设置至少两个限位弹臂630能够从至少两个方向抵接于箱本体100的外壁上，进一步提高箱本体100放置在放置槽622内的可靠性。

参阅图1及2，一实施例中，一种PVD镀膜设备包括镀膜装置、冷却装置及上述任一实施例中的水箱组件10，冷却装置设置于镀膜装置上，冷却装置内形成有冷却通道；箱本体100与冷却装置连接，以使冷却通道与储水腔110连通。冷却液进入到冷却装置的冷却通道对镀膜装置进行冷却后，能够进入到箱本体100的储水腔110内进行储存。具体地，冷却通道通过进水口140与储水腔110连通。

在本实施例中，PVD镀膜设备用于太阳电池的生产加工中。PVD镀膜设备用于太阳电池的PVD工序。在PVD工序中，需要镀膜装置在高温模式和低温模式之间进行切换，因此当由高温模式切换至低温模式时，需要将冷却液注入到冷却装置的冷却通道内对镀膜装置进行降温。而经过吸热后的冷却通道内的冷却液需要排出冷却通道，排到箱本体100的储水腔110内。若在使用中出现溢液现象，会增加生产车间水汽值等，势必会影响PVD镀膜设备的其它部件的正常运行，从而影响太阳电池生产。

通过上述水箱组件10能够有效降低溢液风险，提高太阳电池在PVD工序进行加工的可靠性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种水箱组件(10)，其特征在于，所述水箱组件(10)包括：

箱本体(100)，所述箱本体(100)内形成有储水腔(110)，所述箱本体(100)的顶壁上开设有与所述储水腔(110)连通的连通孔(120)；

触发器(200)，所述触发器(200)设置于所述箱本体(100)的顶壁上，并位于所述储水腔(110)内；

浮动模块(300)，所述浮动模块(300)包括浮动件(310)及导向件(320)，所述浮动件(310)位于所述储水腔(110)内，所述导向件(320)的一端连接于所述浮动件(310)，所述导向件(320)的另一端穿设于所述连通孔(120)内，且所述导向件(320)能够通过所述连通孔(120)引导所述浮动件(310)向靠近或远离所述触发器(200)的方向往复移动，所述触发器(200)用于感应所述浮动件(310)以产生感应信号；及

报警器(400)，所述报警器(400)连接于所述触发器(200)，所述触发器(200)用于根据所述感应信号控制所述报警器(400)响应。

2.根据权利要求1所述的水箱组件(10)，其特征在于，所述导向件(320)的外壁与所述连通孔(120)的内壁之间具有间隙。

3.根据权利要求1所述的水箱组件(10)，其特征在于，所述储水腔(110)的内壁上设置有限位件(130)，所述导向件(320)位于所述储水腔(110)内的部分与所述限位件(130)沿所述连通孔(120)的轴线方向导向配合，且所述限位件(130)限制所述导向件(320)相对于所述箱本体(100)转动；或者

所述导向件(320)的外壁上形成有导向凸条，所述连通孔(120)的内壁上形成有导向槽，所述导向凸条穿设于所述导向槽内，并能够在所述导向槽内移动；或者

所述连通孔(120)的内壁上设置有凸起，所述导向件(320)的外壁上开设有条形导槽，所述凸起穿设于所述条形导槽内，以使所述凸起能够在所述条形导槽内相对于所述导向件(320)导向移动；或者

所述连通孔(120)为非圆孔，所述导向件(320)为非圆柱形杆，且所述导向件(320)的横截面的形状与所述连通孔(120)的形状一致。

4.根据权利要求1所述的水箱组件(10)，其特征在于，所述箱本体(100)上还开设有进水口(140)，所述进水口(140)与所述储水腔(110)连通，所述进水口(140)处设置有进水阀(150)；

所述箱本体(100)上还开设有排水口(160)，所述排水口(160)与所述储水腔(110)连通，所述排水口(160)处设置有排水阀。

5.根据权利要求4所述的水箱组件(10)，其特征在于，所述水箱组件(10)还包括水位仪(500)，所述水位仪(500)设置在所述箱本体(100)上，所述水位仪(500)电性连接于所述排水阀，所述水位仪(500)用于根据检测到的所述储水腔(110)内的液位控制所述排水阀的开度；

所述水位仪(500)电性连接于所述进水阀(150)，所述水位仪(500)用于根据检测到的所述储水腔(110)内的液位控制所述进水阀(150)的开度。

6.根据权利要求1-5任一项所述的水箱组件(10)，其特征在于，所述水箱组件(10)还包括移动座(600)，所述移动座(600)包括移动轮(610)及底座(620)，所述移动轮(610)设置于所述底座(620)的底壁上，所述底座(620)的顶壁上形成有放置槽(622)，所述箱本体(100)能够放置在所述放置槽(622)内。

7.根据权利要求6所述的水箱组件(10)，其特征在于，所述移动座(600)还包括限位弹臂(630)，所述限位弹臂(630)的一端设置于所述底座(620)上，所述限位弹臂(630)的另一端能够抵接在所述箱本体(100)的外壁上。

8.根据权利要求7所述的水箱组件(10)，其特征在于，所述限位弹臂(630)的一端为连接端(632)，另一端为抵接端(634)，所述连接端(632)连接于所述底座(620)的外壁上，所述抵接端(634)位于所述底座(620)的上方并能够抵接于所述箱本体(100)的外壁上，所述抵接端(634)相对于所述连接端(632)受力能够发生弹性变形。

9.根据权利要求7所述的水箱组件(10)，其特征在于，所述限位弹臂(630)的数量为至少两个，全部所述限位弹臂(630)绕所述底座(620)的周向间隔设置。

10.一种PVD镀膜设备，其特征在于，所述PVD镀膜设备包括：

镀膜装置；

冷却装置，所述冷却装置设置于所述镀膜装置上，所述冷却装置内形成有冷却通道；及

如权利要求1-9任一项所述的水箱组件(10)，所述箱本体(100)与所述冷却装置连接，以使所述冷却通道与所述储水腔(110)连通。