CN219563730U - 一种探针卡陶瓷片打孔装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种探针卡陶瓷片打孔装置，属于探针卡加工技术领域，包括工作台，其顶端固定有侧板与支撑板，所述侧板顶端侧面固定有直板，所述支撑板顶端开有放置槽并设有压紧机构，所述放置槽两侧壁均开有第一凹槽，所述第一凹槽中设有夹持机构，所述直板底端开有第二凹槽，其一侧壁通过第一驱动电机连接有第一丝杆，所述第一丝杆上连接有第一限位块，所述第一限位块底端通过连杆固定有移动板，所述移动板底端开有第三凹槽，侧面通过第二驱动电机连接有第二丝杆，所述第二丝杆上通过第二限位块连接有液压缸，其活塞杆通过安装座连接有打孔刀；使用该装置，所述打孔刀调节起来较为容易，满足了陶瓷片上不同位置的打孔需求，使用起来更加方便。

Description

一种探针卡陶瓷片打孔装置

技术领域

本实用新型涉及探针卡加工技术领域，特别涉及一种探针卡陶瓷片打孔装置。

背景技术

在对合格的芯片封装前，通常要实行电特性检测，依据EDS检测结果，对合格芯片才可进行封装，而这种EDS检测，是由内装有各种测量软件和检测仪器的检测机及装载有探针卡的探针台来实现的，在检测时，探针卡的每一个探针与半导体芯片PAD直接接触，实现半导体晶圆中的芯片PAD及检测机电连接，从而实现对半导体芯片的电特性检测目的，通常的垂直探针卡，包括测试头及PCB，其中测试头包括，测试头上盖板，测试头下盖板和探针组成，探针放在测试头上盖板和测试头下盖板中，测试时，测试针的上端和下端分别接触芯片PAD和PCB、PAD，从而实现信号的导通，此过程中信号通过测试针传输。

目前探针卡上陶瓷片在进行生产加工时需要对其打孔，而现有的探针卡陶瓷片打孔装置针对陶瓷片不同的打孔位置会导致打孔刀调节起来较为麻烦，因此亟需设计一种探针卡陶瓷片打孔装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种探针卡陶瓷片打孔装置，以解决现有的探针卡陶瓷片打孔装置针对陶瓷片不同的打孔位置会导致打孔刀调节起来较为麻烦的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种探针卡陶瓷片打孔装置，包括工作台，所述工作台上固定有侧板与支撑板，所述侧板顶端侧面固定有直板，所述支撑板顶端开有放置槽并设有压紧机构，所述放置槽两侧壁均开有第一凹槽，所述第一凹槽中设有夹持机构；

所述直板底端开有第二凹槽，所述第二凹槽一侧壁固定有第一驱动电机，另一侧壁固定有第一轴承，所述第一驱动电机输出端连接有第一丝杆，所述第一丝杆上螺纹连接有第一限位块且其另一端与所述第一轴承连接，所述第一限位块底端通过连杆固定有移动板，所述移动板底端开有第三凹槽，侧面安装有第二驱动电机，所述第三凹槽侧壁固定有第二轴承，所述第二驱动电机输出端延伸至所述第三凹槽中并连接有第二丝杆，所述第二丝杆上螺纹连接有第二限位块且其另一端与所述第二轴承连接，所述第二限位块底端安装有液压缸，其活塞杆连接有安装座，所述安装座底端连接有打孔刀。

可选的，所述压紧机构包括两个固定轴，两个所述固定轴位于所述放置槽两侧并固定于所述支撑板上，其外表面均活动连接有圆管，所述圆管侧面固定有连接杆，所述连接杆另一端滑动连接有第一滑杆，所述第一滑杆顶端固定有第一圆形块，底端固定有压块，所述连接杆还与所述第一圆形块通过环绕于所述第一滑杆侧面的第一弹簧连接。

可选的，所述夹持机构包括第二滑杆，所述第二滑杆与所述支撑板滑动连接且其一端位于所述第一凹槽中并固定有夹块，另一端位于所述支撑板侧面并固定有第二圆形块，所述第二圆形块与所述支撑板通过环绕于所述第二滑杆侧面的第二弹簧连接。

在本实用新型提供的一种探针卡陶瓷片打孔装置中，包括工作台，其顶端固定有侧板与支撑板，所述侧板顶端侧面固定有直板，所述支撑板顶端开有放置槽并设有压紧机构，所述放置槽两侧壁均开有第一凹槽，所述第一凹槽中设有夹持机构，所述直板底端开有第二凹槽，其一侧壁通过第一驱动电机连接有第一丝杆，所述第一丝杆上连接有第一限位块，所述第一限位块底端通过连杆固定有移动板，所述移动板底端开有第三凹槽，侧面通过第二驱动电机连接有第二丝杆，所述第二丝杆上通过第二限位块连接有液压缸，其活塞杆通过安装座连接有打孔刀；使用该装置，所述打孔刀调节起来较为容易，满足了陶瓷片上不同位置的打孔需求，使用起来更加方便。

附图说明

图1是本实用新型提供的探针卡陶瓷片打孔装置结构示意图；

图2是本实用新型提供的探针卡陶瓷片打孔装置俯视图；

图3是图2中A-A剖视图；

图4是图2中B-B剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本实用新型提供了一种探针卡陶瓷片打孔装置，其结构如图1和图2所示，包括工作台1，所述工作台1上固定有侧板2与支撑板3，所述侧板2顶端侧面固定有直板4，所述支撑板3顶端开有放置槽5并设有压紧机构6，所述放置槽5两侧壁均开有第一凹槽7，所述第一凹槽7中设有夹持机构8；所述直板4底端开有第二凹槽9，其结构如图3所示，所述第二凹槽9一侧壁固定有第一驱动电机10，另一侧壁固定有第一轴承11，所述第一驱动电机10输出端连接有第一丝杆12，所述第一丝杆12上螺纹连接有第一限位块13且其另一端与所述第一轴承11连接，所述第一限位块13底端通过连杆14固定有移动板15，所述移动板15底端开有第三凹槽16，侧面安装有第二驱动电机17，其结构如图4所示，所述第三凹槽16侧壁固定有第二轴承18，所述第二驱动电机17输出端延伸至所述第三凹槽16中并连接有第二丝杆19，所述第二丝杆19上螺纹连接有第二限位块20且其另一端与所述第二轴承18连接，所述第二限位块20底端安装有液压缸21，其活塞杆连接有安装座22，所述安装座22底端连接有打孔刀23，所述安装座22中还设有伺服电机，用来带动所述打孔刀23转动。使用所述探针卡陶瓷片打孔装置，所述打孔刀23调节起来较为容易，满足了陶瓷片上不同位置的打孔需求，使用起来更加方便。

具体的，所述压紧机构6包括两个固定轴61，两个所述固定轴61位于所述放置槽5两侧并固定于所述支撑板3上，其外表面均活动连接有圆管62，所述圆管62侧面固定有连接杆63，所述连接杆63另一端滑动连接有第一滑杆64，所述第一滑杆64顶端固定有第一圆形块66，底端固定有压块65，所述连接杆63还与所述第一圆形块66通过环绕于所述第一滑杆64侧面的第一弹簧67连接，转动两个所述连接杆63带动所述压块65移动至所述放置槽2上方，在所述第一弹簧67的弹性作用下，所述压块65对陶瓷片进行压紧固定。

具体的，所述夹持机构8包括第二滑杆81，所述第二滑杆81与所述支撑板3滑动连接且其一端位于所述第一凹槽7中并固定有夹块82，另一端位于所述支撑板3侧面并固定有第二圆形块83，所述第二圆形块83与所述支撑板3通过环绕于所述第二滑杆81侧面的第二弹簧84连接，在两个所述第二弹簧84的弹性作用下，两个所述夹块82向内移动对陶瓷片进行夹持固定。

使用时，首先将待打孔探针卡陶瓷片放置于所述放置槽5中，两个所述夹块82在所述第二弹簧84的弹性作用下向内移动将其夹持紧固，然后转动两个所述连接杆63均带动所述压块65移动至该陶瓷片上方，所述压块所述第一弹簧67的弹性作用下将陶瓷片压紧固定，接着启动所述第一驱动电机10与所述第二驱动电机17驱动所述打孔刀23平面移动至所要求的位置，最后启动所述液压缸21，其活塞杆带动所述打孔刀23向下移动对该陶瓷片进行打孔，所述打孔刀23调节起来较为容易，满足了陶瓷片上不同位置的打孔需求，使用起来更加方便。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (3)

1.一种探针卡陶瓷片打孔装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)上固定有侧板(2)与支撑板(3)，所述侧板(2)顶端侧面固定有直板(4)，所述支撑板(3)顶端开有放置槽(5)并设有压紧机构(6)，所述放置槽(5)两侧壁均开有第一凹槽(7)，所述第一凹槽(7)中设有夹持机构(8)；

所述直板(4)底端开有第二凹槽(9)，所述第二凹槽(9)一侧壁固定有第一驱动电机(10)，另一侧壁固定有第一轴承(11)，所述第一驱动电机(10)输出端连接有第一丝杆(12)，所述第一丝杆(12)上螺纹连接有第一限位块(13)且其另一端与所述第一轴承(11)连接，所述第一限位块(13)底端通过连杆(14)固定有移动板(15)，所述移动板(15)底端开有第三凹槽(16)，侧面安装有第二驱动电机(17)，所述第三凹槽(16)侧壁固定有第二轴承(18)，所述第二驱动电机(17)输出端延伸至所述第三凹槽(16)中并连接有第二丝杆(19)，所述第二丝杆(19)上螺纹连接有第二限位块(20)且其另一端与所述第二轴承(18)连接，所述第二限位块(20)底端安装有液压缸(21)，其活塞杆连接有安装座(22)，所述安装座(22)底端连接有打孔刀(23)。

2.如权利要求1所述的探针卡陶瓷片打孔装置，其特征在于，所述压紧机构(6)包括两个固定轴(61)，两个所述固定轴(61)位于所述放置槽(5)两侧并固定于所述支撑板(3)上，其外表面均活动连接有圆管(62)，所述圆管(62)侧面固定有连接杆(63)，所述连接杆(63)另一端滑动连接有第一滑杆(64)，所述第一滑杆(64)顶端固定有第一圆形块(66)，底端固定有压块(65)，所述连接杆(63)还与所述第一圆形块(66)通过环绕于所述第一滑杆(64)侧面的第一弹簧(67)连接。

3.如权利要求1所述的探针卡陶瓷片打孔装置，其特征在于，所述夹持机构(8)包括第二滑杆(81)，所述第二滑杆(81)与所述支撑板(3)滑动连接且其一端位于所述第一凹槽(7)中并固定有夹块(82)，另一端位于所述支撑板(3)侧面并固定有第二圆形块(83)，所述第二圆形块(83)与所述支撑板(3)通过环绕于所述第二滑杆(81)侧面的第二弹簧(84)连接。