CN219561712U - 一种带涂层的粗丝劈刀 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种带涂层的粗丝劈刀，涉及微电子封装技术领域，其技术方案要点是：包括圆柱状的刀柄、以及连接于所述刀柄一端的带圆角V型槽的刀头，所述刀头由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成。本申请提供的带涂层的粗丝劈刀，具有在保证刀头具备高强度、高耐磨、高寿命的同时，提高涂层之间的结合强度的优点。

Description

一种带涂层的粗丝劈刀

技术领域

本申请涉及微电子封装技术领域，具体而言，涉及一种带涂层的粗丝劈刀。

背景技术

楔形焊劈刀，也称楔形劈刀，其是微电子加工引线键合过程中使用的焊线工具，被称为连接芯片和周边电路的“手术刀”，楔形键合的原理是通过一定的温度、压力及超声能量，在劈刀的作用下，使金属键合丝与焊盘间形成冶金键合。

楔形劈刀在工作过程中，劈刀键合面与焊盘及键合丝反复产生摩擦，因此楔形焊劈刀一般采用高硬度与韧度的硬质合金材料制备。随着芯片行业的发展与高速自动键合机的使用，需要楔形焊劈刀具有良好的焊接稳定性和优秀的使用寿命。由于硬质合金的抗腐蚀性和抗氧化性较差，在高频键合的情况下，劈刀寿命及可靠性较差，难以满足工艺的需求。为了满足微电子封装工艺的要求与劈刀加工和键合方法需求，楔形焊劈材料需要具有较高的致密度、弯曲强度和高的劈刀头部硬度。

针对上述问题，亟须进行改进。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种带涂层的粗丝劈刀，具有在保证刀头具备高强度、高耐磨性、高寿命的同时，提高涂层之间的结合强度的优点。

本申请提供了一种带涂层的粗丝劈刀，技术方案如下：

包括圆柱状的刀柄、以及连接于所述刀柄一端的带圆角V型槽的刀头，所述刀头由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成。

本申请提供的带涂层的粗丝劈刀，包括圆柱状的刀柄、以及连接于刀柄一端的带圆角V型槽的刀头，刀柄的圆柱状结构易于操控，适应多种场景下的握持或连接固定操作，带圆角V型槽的刀头，则使刀头与其他部件之间的连接更为便捷，保证引线键合过程中的操作流程，刀头由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成，脱粘结剂层能够有效降低粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，过渡层则进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，使其与硬质合金基体的结合强度更高，通过各种涂层结构之间的性能优势互补，增强刀头的抗裂纹扩展能力、冲击韧性、以及各种涂层之间结构的结合强度等机械物理性能，同时提高刀头的耐磨性和寿命。

进一步地，在本申请中，所述脱粘结剂层的厚度为0.2~3μm。

本申请提供的带涂层的粗丝劈刀，脱粘结剂层的厚度为0.2~3μm，则利于其对粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散起到降低或阻止作用，进而在使各种涂层在便捷成型的同时，增强各种涂层之间的结合强度。

进一步地，在本申请中，所述过渡层为碳化物金属层。

本申请提供的带涂层的粗丝劈刀，过渡层为碳化物金属层，进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，保证刀头具备良好的结构强度，同时，过渡层采用常用的碳化物金属层结构，其属于金刚石较易形核的结构，从而使过渡层与硬质合金基体的结合强度更高。

进一步地，在本申请中，所述过渡层的厚度为0.1~2μm。

进一步地，在本申请中，所述微纳复合耐磨层的厚度为3~8μm。

进一步地，在本申请中，所述微纳复合耐磨层由下至上依次包括微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层。

进一步地，在本申请中，单层的所述微米金刚石涂层的厚度为1~3μm，单层的所述纳米金刚石涂层的厚度为0.5~2μm。

进一步地，在本申请中，所述微纳复合耐磨层的粗糙度为Ra0.2~0.8。

由上可知，本申请提供的一种带涂层的粗丝劈刀，包括圆柱状的刀柄、以及连接于刀柄一端的带圆角V型槽的刀头，刀柄的圆柱状结构易于操控，适应多种场景下的握持或连接固定操作，带圆角V型槽的刀头，则使刀头与其他部件之间的连接更为便捷，保证引线键合过程中的操作流程，刀头由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成，脱粘结剂层能够有效降低粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，过渡层则进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，使其与硬质合金基体的结合强度更高，通过各种涂层结构的性能优势互补，增强刀头的抗裂纹扩展能力、冲击韧性、以及各种涂层之间结构的结合强度等机械物理性能，同时提高刀头的耐磨性和寿命；脱粘结剂层的厚度为0.2~3μm，则利于其对粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散起到降低或阻止作用，进而在使各种涂层在便捷成型的同时，增强各种涂层之间的结合强度；过渡层为碳化物金属层，进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，保证刀头具备良好的结构强度，同时，过渡层采用常用的碳化物金属层，其属于金刚石较易形核的结构，从而使过渡层与硬质合金基体的结合强度更高。

本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

图1为本申请提供的一种带涂层的粗丝劈刀的结构示意图。

图2为本申请提供的一种带涂层的粗丝劈刀的结构关系图。

图中：1、刀柄；2、刀头。

具体实施方式

下面将结合本申请中附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参照图1和图2所示，本申请提供了一种带涂层的粗丝劈刀，包括圆柱状的刀柄1、以及连接于刀柄1一端的带圆角V型槽的刀头2，刀头2由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成。

具体地，常规劈刀的刀头2在高频键合的操作过程中，其寿命、以及可靠性较差，为了使其在具备高强度、高耐磨性、高寿命的同时，提高涂层之间的结合强度，本申请包括圆柱状的刀柄1、以及连接于刀柄1一端的带圆角V型槽的刀头2，刀柄1的圆柱状结构易于操控，适应多种场景下的握持或连接固定操作，带圆角V型槽的刀头2，则使刀头2与其他部件之间的连接更为便捷，保证引线键合过程中的操作流程，刀头2由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成，脱粘结剂层能够有效降低粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，过渡层则进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，使其与硬质合金基体的结合强度更高，通过各种涂层结构的性能优势互补，增强刀头2的抗裂纹扩展能力、冲击韧性、以及各种涂层结构之间的结合强度等机械物理性能，同时提高刀头2的耐磨性和寿命。

在一些优选的实施方式中，硬质合金基体由碳化钨和粘结剂组成，粘结剂的材质为铁、钴或镍。

具体地，以碳化钨和粘结剂组成硬质合金基体，保证硬质合金基体具备充分的结构强度，粘结剂的材质为常用的金属铁、钴或镍，从而在保证粘结剂易于获取的情况下，进一步保证硬质合金基体获得良好的结构强度。

在一些优选的实施方式中，碳化钨的粒度为0.3~2μm，粘结剂的含量为2~10wt%，粘结剂的材质为铁、钴、镍中的一种或多种。

具体地，以碳化钨和粘结剂组成硬质合金基体，保证硬质合金基体具备充分的结构强度，但是，硬质合金基体中碳化钨的粒度和粘结剂的含量也影响着硬质合金基体的结构特性：碳化钨的粒度过大，则容易导致脱粘结剂层的后表面缺陷尺寸过大，在沉积完过渡层后，脱粘结剂层与过渡层之间的连接界面处会留下缺陷，在脱粘结剂层作为中间连接结构的情况下，便导致过渡层与硬质合金基体的结合强度低；碳化钨的粒度过小则导致脱粘结剂层的表面粗糙度过低，即脱粘结剂层的表面过于光滑，作为过渡层与硬质合金基体之间的连接结构，此时的脱粘结剂层难以起到牢固且稳定的连接作用，不利于增大过渡层与硬质合金基体的结合强度；粘结剂的含量太高会导致硬质合金基体中碳化钨的骨架强度降低；粘结剂的含量过低则导致难以制备脱粘结剂层。因此，为了有效解决上述问题，在本实施例中，碳化钨的粒度为0.3~2μm，粘结剂的含量为2~10wt%，粘结剂的材质为铁、钴、镍中的一种或多种，从而保证硬质合金基体获得良好的结构强度，防止因碳化钨的粒度太大而导致结构出现缺陷，防止因碳化钨的粒度太小而导致脱粘结剂层的表面粗糙度过低，避免过渡层与硬质合金基体之间的结合强度过低或难以增大的问题出现，防止因粘结剂的含量太高而导致硬质合金基体中碳化钨的骨架强度降低，防止因粘结剂的含量太低而导致难以制备脱粘结剂层。

在一些优选的实施方式中，脱粘结剂层的厚度为0.2~3μm。

具体地，脱粘结剂层的厚度为0.2~3μm，则利于其对粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散起到降低或阻止作用，进而在使各种涂层在便捷成型的同时，增强各种涂层之间的结合强度。更为具体地，脱粘结剂层的主要成分为碳化钨，碳化钨用于将粘结剂中的钴分离脱出，脱粘结剂层作为过渡层与硬质合金基体之间的连接结构，通过脱离粘结剂中的钴，增强过渡层与硬质合金基体的结合强度。

在一些优选的实施方式中，脱粘结剂层中的粘结剂的含量小于1wt%。

具体地，由于硬质合金基体中的粘结剂通常为铁、钴、镍，这些金属都是金刚石石墨化元素，它们的存在会导致金刚石形核困难，在化学气相沉积法制备涂层结构的过程中，硬质合金基体会被加热到600~1000℃，在高温的状态下，铁、钴、镍等元素会向硬质合金基体的表面扩散，而为了降低铁、钴、镍的扩散，就需要硬质合金基体表面的粘结剂中的金属脱除掉，因此，在本实施例中，脱粘结剂层的厚度为0.2~3μm，则利于其对粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散起到降低或阻止作用，脱粘结剂层的粘结剂的含量小于1wt%，则防止因铁、钴、镍的大量存在而导致金刚石形核困难，进而在使各种涂层在便捷成型的同时，增强各种涂层之间的结合强度。更为具体地，硬质合金基体脱钴处理采用酸、碱两步法：首先用Murakami碱溶液腐蚀硬质合金基体表面的碳化钨相，使粘结相钴露出来，然后用硫酸与过氧化氢混合溶液刻蚀硬质合金基体表面的钴。其中，Murakami碱溶液指的是，铁氰化钾、氢氧化钾、水的比例为1:1:10制得的溶液。

在一些优选的实施方式中，过渡层为碳化物金属层。

具体地，过渡层为碳化物金属层，进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，保证刀头具备良好的结构强度，同时，过渡层采用常用的碳化物金属层结构，其属于金刚石较易形核的结构，从而使过渡层与硬质合金基体的结合强度更高。

在一些优选的实施方式中，过渡层的材质为碳化钨、碳化钛、碳化钼、碳化铬中的一种或多种。

具体地，过渡层的材质为碳化钨、碳化钛、碳化钼、碳化铬中的一种或多种，进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，保证刀头2具备良好的结构强度，同时，过渡层采用金刚石较易形核的材料，使其与硬质合金基体的结合强度更高。

在一些优选的实施方式中，过渡层的厚度为0.1~2μm。

具体地，通过将过渡层的厚度设置为0.1~2μm，使过渡层的厚度位于一个合理的数值范围内，在对脱粘结剂层与微纳复合耐磨层起到隔离作用的同时，增强脱粘结剂层与微纳复合耐磨层之间的结合力，除此之外，在化学气相沉积法制备涂层结构的过程中，硬质合金基体被加热到600~1000℃，在高温状态下，铁、钴、镍等元素会向硬质合金基体的表面扩散，虽然经过脱粘结剂处理，已进行初步的防扩散处理，但是粘结剂在高温的作用下，还会继续向硬质合金基体的表面扩散，而过渡层则进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍向硬质合金基体的表面扩散，同时，过渡层的材质为碳化钨、碳化钛、碳化钼、碳化铬中的一种或多种，其属于金刚石较易形核的材料，从而使各种涂层与硬质合金基体的结合强度更高。

在一些优选的实施方式中，过渡层由化学气相沉积或物理气相沉积制得。

具体地，作为起到良好衔接作用的过渡层，其可以由化学气相沉积或物理气相沉积制得，在高频键合的生产应用场景下，化学气相沉积、以及物理气相沉积的方式，不仅有着沉积成型简单的优势，还可以根据实际生产需求进行反应物成分的调节或改变，从而便捷的控制成品的成分和特性，具有较高的灵活性，尤其适用于本申请应用场景下的多种复合涂层结构。因此，通过上述方式得到的过渡层，在实现便捷成型的同时，保证自身与其他涂层之间的结合强度，同时增加其他涂层之间的结合力。

在一些优选的实施方式中，微纳复合耐磨层由下至上依次包括微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层。

具体地，为了保证刀头2具备良好的耐磨性，微纳复合耐磨层由下至上依次包括微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层，通过微米金刚石涂层与纳米金刚石涂层结构之间的叠加，增强微纳复合耐磨层的耐磨性和结合强度，进而保证刀头2具备较高的致密度、弯曲强度、以及硬度。

在一些优选的实施方式中，微纳复合耐磨层的厚度为3~8μm，微纳复合耐磨层由1~3个周期交替沉积的微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层组成。

具体地，为了保证刀头2具备良好的耐磨性，微纳复合耐磨层的厚度为3~8μm，微纳复合耐磨层由1~3个周期交替沉积的微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层组成，增强刀头2耐磨性的同时，保证刀头2具备较高的致密度、弯曲强度、以及硬度。

在一些优选的实施方式中，单层的微米金刚石涂层的厚度为1~3μm，单层的纳米金刚石涂层的厚度为0.5~2μm。

具体地，单层的微米金刚石涂层的厚度为1~3μm，单层的纳米金刚石涂层的厚度为0.5~2μm，在使刀头2的体积得到优化的同时，增强微米金刚石涂层与纳米金刚石涂层之间的结合强度，以及增强二者构成的微纳复合耐磨层与其他涂层之间的结合强度，保证刀头2具备良好的耐磨性和硬度。

在一些优选的实施方式中，微米金刚石涂层中微米金刚石的晶粒尺寸为1~8μm，纳米金刚石涂层中纳米金刚石的晶粒尺寸为100~300nm。

具体地，微米金刚石涂层中微米金刚石的晶粒尺寸为1~8μm，纳米金刚石涂层中纳米金刚石的晶粒尺寸为100~300nm，在便于通过化学气相沉积制得的同时，保证刀头2具备良好的耐磨性和硬度。

在一些优选的实施方式中，微纳复合耐磨层的粗糙度为Ra0.2~0.8。

具体地，在引线键合的操作过程中，键合面容易出现铝屑存积的现象，为了解决这一问题，微纳复合耐磨层的粗糙度为Ra0.2~0.8，由此降低铝屑在键合面的存积，提高引线键合过程中的可靠性，同时，保证刀头2与引线之间的正常接触作用力。

在一些优选的实施方式中，微纳复合耐磨层由化学气相沉积制得。

具体地，为了使微纳复合耐磨层的结构具备良好的硬度和耐磨性，微纳复合耐磨层由化学气相沉积制得。更为具体地，微米金刚石涂层的沉积条件为：真空腔室气压为4~5KPa，热丝温度为1950~2600℃，基底温度为750~1000℃，甲烷与氢气的比例为1.5%~2%，沉积时间为2~4h；纳米金刚石涂层的沉积条件为：真空腔室气压0.5~1.5KPa，反应温度为1950~2800℃，基底温度为750~1000℃，甲烷与氢气的比例为5%~10%，沉积时间为1~2h。

作为应用示例之一，一种带涂层的粗丝劈刀，包括圆柱状的刀柄1、以及连接于刀柄1一端的带圆角V型槽的刀头2，刀头2由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成，其中，硬质合金基体中钴含量为6wt%，碳化钨的粒度为0.8~1μm，脱粘结剂层的厚度为1μm，脱粘结剂层中粘结剂的金属钴的含量小于1wt%。其采用物理气相沉积制备的碳化钨过渡层的厚度为0.1μm；采用化学气相沉积制备的微纳复合耐磨层的厚度为4μm，由1个周期沉积的微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层组成，微米金刚石的晶粒尺寸为3μm，纳米金刚石的晶粒尺寸为200nm，单层微米金刚石涂层的厚度为3μm，单层纳米金刚石涂层的厚度为1μm。微纳复合耐磨层的粗糙度为Ra0.4。本实施方式通过各种涂层性能的优势互补，增强金刚石复合涂层的抗裂纹扩展能力、冲击韧性、以及涂层与硬质合金基体之间的结合强度等机械物理性能，提高刀头2的耐磨性、寿命，同时也降低铝屑在键合面的存积，提高键合的可靠性，此种方式制得的15mil劈刀的使用寿命可由几十万次变为300万次。其中，mil是一个长度单位，代表千分之一英寸，这个单位经常被应用在工程或工业中，用来表示薄片、线或纤维类结构的厚度或长度。

作为应用示例之一，一种带涂层的粗丝劈刀，包括圆柱状的刀柄1、以及连接于刀柄1一端的带圆角V型槽的刀头2，刀头2由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成，其中，硬质合金基体中钴含量为3wt%，碳化钨的粒度为0.3μm，脱粘结剂层的厚度为0.3μm，脱粘结剂层中粘结剂的金属钴的含量小于1wt%。其采用物理气相沉积制备的碳化钛和碳化钼过渡层的厚度为0.1μm；采用化学气相沉积制备的微纳复合耐磨层的厚度为6μm，由2个周期沉积的微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层组成，微米金刚石的晶粒尺寸为6μm，纳米金刚石的晶粒尺寸为250nm，单层微米金刚石涂层的厚度为2μm，单层纳米金刚石涂层的厚度为1μm。微纳复合耐磨层的粗糙度为Ra0.4。本实施方式通过各种涂层性能的优势互补，增强金刚石复合涂层的抗裂纹扩展能力、冲击韧性、以及涂层与硬质合金基体之间的结合强度等机械物理性能，提高刀头2的耐磨性、寿命，同时也降低铝屑在键合面的存积，提高键合的可靠性，此种方式制得的5mil劈刀的使用寿命可由几十万次变为150万次。

作为应用示例之一，一种带涂层的粗丝劈刀，包括圆柱状的刀柄1、以及连接于刀柄1一端的带圆角V型槽的刀头2，刀头2由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成，其中，硬质合金基体中钴含量为8wt%，碳化钨的粒度为2μm，脱粘结剂层的厚度为2.5μm，脱粘结剂层中粘结剂的金属钴的含量小于1wt%。其采用物理气相沉积制备的碳化钛、碳化钼和碳化铬过渡层的厚度为1.5μm；采用化学气相沉积制备的微纳复合耐磨层的厚度为8μm，由2个周期沉积的微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层组成，微米金刚石的晶粒尺寸为7μm，纳米金刚石的晶粒尺寸为250nm，单层微米金刚石涂层的厚度为3μm，单层纳米金刚石涂层的厚度为1μm。微纳复合耐磨层的粗糙度为Ra0.7。本实施方式通过各种涂层性能的优势互补，增强金刚石复合涂层的抗裂纹扩展能力、冲击韧性、以及涂层与硬质合金基体之间的结合强度等机械物理性能，提高刀头2的耐磨性、寿命，同时也降低铝屑在键合面的存积，提高键合的可靠性，此种方式制得的20mil劈刀的使用寿命可由几十万次变为300万次。

通过以上技术方案，本申请提供的带涂层的粗丝劈刀，包括圆柱状的刀柄1、以及连接于刀柄1一端的带圆角V型槽的刀头2，刀柄1的圆柱状结构易于操控，适应多种场景下的握持或连接固定操作，带圆角V型槽的刀头2，则使刀头2与其他部件之间的连接更为便捷，保证引线键合过程中的操作流程，刀头2由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成，脱粘结剂层能够有效降低粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，过渡层则进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，使其与硬质合金基体的结合强度更高，通过各种涂层的性能优势互补，增强刀头2的抗裂纹扩展能力、冲击韧性、以及各种涂层之间的结合强度等机械物理性能，同时提高刀头的耐磨性和寿命；脱粘结剂层的厚度为0.2~3μm，则利于其对粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散起到降低或阻止作用，进而在使各种涂层在便捷成型的同时，增强各种涂层之间的结合强度；过渡层为碳化物金属层，进一步阻止粘结剂中的铁、钴、镍等金刚石石墨化元素在高温环境下向硬质合金基体表面的扩散，保证刀头具备良好的结构强度，同时，过渡层采用常用的碳化物金属层，其属于金刚石较易形核的材料，从而使过渡层与硬质合金基体的结合强度更高。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种带涂层的粗丝劈刀，包括圆柱状的刀柄、以及连接于所述刀柄一端的带圆角V型槽的刀头，其特征在于，所述刀头由依次排列设置的硬质合金基体、脱粘结剂层、过渡层和微纳复合耐磨层组成。

2.根据权利要求1所述的带涂层的粗丝劈刀，其特征在于，所述脱粘结剂层的厚度为0.2~3μm。

3.根据权利要求1所述的带涂层的粗丝劈刀，其特征在于，所述过渡层为碳化物金属层。

4.根据权利要求3所述的带涂层的粗丝劈刀，其特征在于，所述过渡层的厚度为0.1~2μm。

5.根据权利要求1所述的带涂层的粗丝劈刀，其特征在于，所述微纳复合耐磨层的厚度为3~8μm。

6.根据权利要求1所述的带涂层的粗丝劈刀，其特征在于，所述微纳复合耐磨层由下至上依次包括微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层。

7.根据权利要求6所述的带涂层的粗丝劈刀，其特征在于，单层的所述微米金刚石涂层的厚度为1~3μm，单层的所述纳米金刚石涂层的厚度为0.5~2μm。

8.根据权利要求1所述的带涂层的粗丝劈刀，其特征在于，所述微纳复合耐磨层的粗糙度为Ra0.2~0.8。