CN219553606U - 一种高效固晶封装单元 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种高效固晶封装单元，包括沿着横向设置在工作台上的料片移转装置、设置在所述料片移转装置一侧的料片存放装置、用于放置晶圆蓝膜的安装台、设置在所述安装台一侧的固晶装置，所述料片移转装置上设有待固晶的料片，所述固晶装置用于将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并放置到所述料片上，所述料片存放装置包括二个料片存放组件、以及设置在所述料片存放组件上方的取料装置，本申请中固晶装置控制取晶吸嘴纵向和竖向移动，料片移转装置控制料片横向移动，从而完成在三维空间上的高度配合，完成料片的高效固晶。

Description

一种高效固晶封装单元

技术领域

本实用新型涉及二极管封装技术领域，尤其涉及一种高效固晶封装单元。

背景技术

在晶圆封装过程中，通常是采用甩臂将晶圆从晶圆蓝膜上取出安装到料片上，一般有取晶、固晶、收料等多道工序，现有的固晶装置是通过甩臂进行吸附和移动的，因此甩臂的速度和移动的距离是固晶装置加工速度的关键，对于尺寸较大的晶圆蓝膜，由于甩臂的行程较大，因此会影响晶圆固晶的速度。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是由于晶圆蓝膜的尺寸较大，采用甩臂的固晶方式会使得甩臂行程较大从而影响固晶效率，本实用新型提供了一种高效固晶封装单元来解决上述问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高效固晶封装单元，包括沿着横向设置在工作台上的料片移转装置、设置在所述料片移转装置一侧的料片存放装置、用于放置晶圆蓝膜的安装台、设置在所述安装台一侧的固晶装置，所述料片移转装置上设有待固晶的料片，所述固晶装置用于将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并放置到所述料片上，所述料片存放装置包括二个料片存放组件、以及设置在所述料片存放组件上方的取料装置。

进一步地：所述固晶装置包括纵向驱动装置、设置在所述纵向驱动装置上的竖向驱动装置、所述竖向驱动装置上设有取晶吸嘴；所述纵向驱动装置包括沿纵向设置的纵向固晶滑轨、滑动设置在所述纵向固晶滑轨上的纵向固晶滑块，所述竖向驱动装置包括设置在所述纵向固晶滑块上的竖向固晶滑轨、滑动设置在所述竖向固晶滑轨上的竖向固晶滑块，所述竖向固晶滑块上设有所述取晶吸嘴。

进一步地：所述料片移转装置包括横向移转导轨、滑动设置在所述横向移转导轨上的横向移转滑块，所述横向移转滑块上设于用于承托所述料片的托架。

进一步地：所述取料装置包括设置在所述料片存放组件上方的纵向取料滑轨、滑动设在所述纵向取料滑轨上的纵向取料滑块，所述纵向取料滑块上设有竖向取料滑轨，所述竖向取料滑轨上滑动设有竖向取料滑块，所述竖向取料滑块上设有取料气缸，所述取料气缸上设有二组反向设置的活塞杆，所述活塞杆上设有取料爪，所述取料气缸收缩可驱动二个所述取料爪相互靠近从而夹取料片。

进一步地：所述托架上设有顶推气缸，所述顶推气缸的活塞缸上设有推板，所述推板可在所述顶推气缸的驱动下将托架上的料片向远离所述顶推气缸的一侧顶推。

进一步地：所述料片存放组件包括竖向设置在所述工作台上的存料导轨、与所述存料导轨平行设置的存料丝杆、套设在所述存料丝杆上的存料滑块、设置在所述存料丝杆下端的存料电机、设置在所述存料滑块上且用于放置料片的存料架，所述存料电机可驱动所述存料丝杆转动从而驱动所述存料滑块上的存料架沿着所述存料导轨上下移动。

进一步地：所述工作台上设有限位板，所述存料架的下部设有可抵接在所述限位板上的限位块。

本实用新型的有益效果是，本实用新型通过料片移转装置控制料片在横向上的移动，通过固晶装置控制取晶吸嘴在纵向和竖向上移动，从而完成固晶操作中料片和取晶吸嘴在三维空间上的高度配合，与甩臂相比取晶吸嘴的行程大大减少，从而提高了固晶效率，顶推气缸能够将待固晶的料片卡紧在托架上，提高了固晶过程中取晶吸嘴取放晶圆的精准度，料片存放组件能够将料片保持在一定的高度，便于取料爪取料，减少取料行程。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是固晶装置的结构示意图；

图3是料片移转装置的结构示意图；

图4是取料装置的结构示意图；

图5是托架的结构示意图；

图6是料片存放组件的结构示意图。

图中1、料片移转装置，2、料片存放装置，3、安装台，4、固晶装置，5、料片，6、料片存放组件，7、取料装置，8、取晶吸嘴，9、纵向固晶滑轨，10、纵向固晶滑块，11、竖向固晶滑轨，12、竖向固晶滑块，13、横向移转导轨，14、横向移转滑块，15、托架，16、纵向取料滑轨，17、纵向取料滑块，18、竖向取料滑轨，19、竖向取料滑块，20、取料气缸，21、取料爪，22、顶推气缸，23、推板，24、存料导轨，25、存料丝杆，26、存料滑块，27、存料电机，28、存料架，29、限位板，30、限位块。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。相反，本实用新型的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本实用新型的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本实用新型的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

如图1所示，本实用新型提供了一种高效固晶封装单元，包括沿着横向设置在工作台上的料片移转装置1、设置在所述料片移转装置1一侧的料片存放装置2、用于放置晶圆蓝膜的安装台3、设置在所述安装台3一侧的固晶装置4，所述料片移转装置1上设有待固晶的料片5，所述固晶装置4用于将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并放置到所述料片5上，所述料片存放装置2包括二个料片存放组件6、以及设置在所述料片存放组件6上方的取料装置7。

二个料片存放组件6中一个用于放置固晶完成的料片5，一个用于放置待固晶的料片5，取料装置7将待固晶的料片5取出并放置的所述料片移转装置1上，通过料片移转装置1控制料片5在横向移动至与所述安装台3对应的位置，通过固晶装置4控制取晶吸嘴8将晶圆蓝膜上的晶圆取出并放置到料片5上，从而完成晶圆的高效固晶，固晶完成之后，料片移转装置1将固晶完成的料片5向料片存放组件6方向移转，取料装置7将固晶完成的料片5放置到用于放置固晶完成的料片5的料片存放组件6上。

如图2所示，所述固晶装置4包括纵向驱动装置、设置在所述纵向驱动装置上的竖向驱动装置、所述竖向驱动装置上设有取晶吸嘴8；所述纵向驱动装置包括沿纵向设置的纵向固晶滑轨9、滑动设置在所述纵向固晶滑轨9上的纵向固晶滑块10，所述竖向驱动装置包括设置在所述纵向固晶滑块10上的竖向固晶滑轨11、滑动设置在所述竖向固晶滑轨11上的竖向固晶滑块12，所述竖向固晶滑块12上设有所述取晶吸嘴8。

如图3所示，所述料片移转装置1包括横向移转导轨13、滑动设置在所述横向移转导轨13上的横向移转滑块14，所述横向移转滑块14上设于用于承托所述料片5的托架15。现有技术中的取晶吸嘴8一般会采用甩臂的形式，对于尺寸较大的晶圆蓝膜，该种形式的固晶方式会使得甩臂的运行行程较大，从而影响封装速度，本申请中固晶装置4控制取晶吸嘴8纵向和竖向移动，料片移转装置1控制料片5横向移动，从而完成在三维空间上的高度配合，完成料片5的高效固晶。

如图4所示，所述取料装置7包括设置在所述料片存放组件6上方的纵向取料滑轨16、滑动设在所述纵向取料滑轨16上的纵向取料滑块17，所述纵向取料滑块17上设有竖向取料滑轨18，所述竖向取料滑轨18上滑动设有竖向取料滑块19，所述竖向取料滑块19上设有取料气缸20，所述取料气缸20上设有二组反向设置的活塞杆，所述活塞杆上设有取料爪21，所述取料气缸20收缩可驱动二个所述取料爪21相互靠近从而夹取料片5。

取料装置7上的纵向取料滑轨16和纵向取料滑块17的配合使得取料爪21能够在二个料片存放组件6之间进行移动，竖向取料滑轨18和竖向取料滑块19的配合使得取料爪21能够在竖向上移动，从而完成将托架15上固晶完成的料片5移转到料片存放组件6上，并将待固晶的料片存放组件6上的料片5移转至托架15上。

如图5所示，所述托架15上设有顶推气缸22，所述顶推气缸22的活塞缸上设有推板23，所述推板23可在所述顶推气缸22的驱动下将托架15上的料片5向远离所述顶推气缸22的一侧顶推。顶推气缸22能够将待固晶的料片5卡紧在托架15上，防止料片5晃动，同时也使得固晶过程中取晶吸嘴8取放晶圆更加精准。

如图6所示，所述料片存放组件6包括竖向设置在所述工作台上的存料导轨24、与所述存料导轨24平行设置的存料丝杆25、套设在所述存料丝杆25上的存料滑块26、设置在所述存料丝杆25下端的存料电机27、设置在所述存料滑块26上且用于放置料片5的存料架28，所述存料电机27可驱动所述存料丝杆25转动从而驱动所述存料滑块26上的存料架28沿着所述存料导轨24上下移动。

所述工作台上设有限位板29，所述存料架28的下部设有可抵接在所述限位板29上的限位块30。工作中，当取料爪21抓取完一个料片5后，存料电机27会驱动存料架28向上移动，并使得最上面的料片5始终保持在同一高度，以便取料爪21的取料，当存料架28上的料片5用完之后，存料电动会驱动所述存料丝杆25转动从而驱动所述存料滑块26沿着所述存料滑轨向下移动，在下限位置存料架28上的限位块30会抵接在所述限位板29上，能够有效的控制存料架28的下限位置，防止存料架28向下运行时超程，然后会人工或者机械会将下一组的料片5放置到存料架28上。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对所述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (7)

1.一种高效固晶封装单元，包括沿着横向设置在工作台上的料片移转装置（1）、设置在所述料片移转装置（1）一侧的料片存放装置（2）、用于放置晶圆蓝膜的安装台（3）、设置在所述安装台（3）一侧的固晶装置（4），其特征在于：所述料片移转装置（1）上设有待固晶的料片（5），所述固晶装置（4）用于将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并放置到所述料片（5）上，所述料片存放装置（2）包括二个料片存放组件（6）、以及设置在所述料片存放组件（6）上方的取料装置（7）。

2.根据权利要求1所述的一种高效固晶封装单元，其特征在于：所述固晶装置（4）包括纵向驱动装置、设置在所述纵向驱动装置上的竖向驱动装置、所述竖向驱动装置上设有取晶吸嘴（8）；

所述纵向驱动装置包括沿纵向设置的纵向固晶滑轨（9）、滑动设置在所述纵向固晶滑轨（9）上的纵向固晶滑块（10），所述竖向驱动装置包括设置在所述纵向固晶滑块（10）上的竖向固晶滑轨（11）、滑动设置在所述竖向固晶滑轨（11）上的竖向固晶滑块（12），所述竖向固晶滑块（12）上设有所述取晶吸嘴（8）。

3.根据权利要求1所述的一种高效固晶封装单元，其特征在于：所述料片移转装置（1）包括横向移转导轨（13）、滑动设置在所述横向移转导轨（13）上的横向移转滑块（14），所述横向移转滑块（14）上设有用于承托所述料片（5）的托架（15）。

4.根据权利要求1所述的一种高效固晶封装单元，其特征在于：所述取料装置（7）包括设置在所述料片存放组件（6）上方的纵向取料滑轨（16）、滑动设在所述纵向取料滑轨（16）上的纵向取料滑块（17），所述纵向取料滑块（17）上设有竖向取料滑轨（18），所述竖向取料滑轨（18）上滑动设有竖向取料滑块（19），所述竖向取料滑块（19）上设有取料气缸（20），所述取料气缸（20）上设有二组反向设置的活塞杆，所述活塞杆上设有取料爪（21），所述取料气缸（20）收缩可驱动二个所述取料爪（21）相互靠近从而夹取料片（5）。

5.根据权利要求3所述的一种高效固晶封装单元，其特征在于：所述托架（15）上设有顶推气缸（22），所述顶推气缸（22）的活塞缸上设有推板（23），所述推板（23）可在所述顶推气缸（22）的驱动下将托架（15）上的料片（5）向远离所述顶推气缸（22）的一侧顶推。

6.根据权利要求1所述的一种高效固晶封装单元，其特征在于：所述料片存放组件（6）包括竖向设置在所述工作台上的存料导轨（24）、与所述存料导轨（24）平行设置的存料丝杆（25）、套设在所述存料丝杆（25）上的存料滑块（26）、设置在所述存料丝杆（25）下端的存料电机（27）、设置在所述存料滑块（26）上且用于放置料片（5）的存料架（28），所述存料电机（27）可驱动所述存料丝杆（25）转动从而驱动所述存料滑块（26）上的存料架（28）沿着所述存料导轨（24）上下移动。

7.根据权利要求6所述的一种高效固晶封装单元，其特征在于：所述工作台上设有限位板（29），所述存料架（28）的下部设有可抵接在所述限位板（29）上的限位块（30）。