CN219529496U - 一种晶棒粘接用定位装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶棒粘接用定位装置,包括底座以及置于所述底座上方并相向配置的定位组件,所述定位组件包括相对设置的夹板和连接所述夹板的连杆,至少一侧的所述夹板与所述连杆为活动连接,所述夹板可操作地移出晶棒置于所述底座上的所在位置;在每个所述夹板的端部还构置有辅助组件,其包括与所述夹板同轴连接的转向块与所述转向块一体构置的导向杆。本实用新型通过设置可活动调节的夹板与连杆、以及转向块、导向杆与压板的配合,对晶棒全方位地夹持定位,以获得粘接强度更好以及位置定位更准确的晶棒和料板;同时还可重复多次地进行操作,结构简单且易于控制,可推广应用于所有规格晶棒的粘接定位。
Description
技术领域
本实用新型属于晶棒粘接辅助装置技术领域,尤其是涉及一种晶棒粘接用定位装置。
背景技术
现有晶棒粘接都是半自动化生产线,先将料板平放后再将晶棒放置在料板上进行粘接。粘接完毕后的晶棒再被机械手放置在平板移动架上,由于料板与晶棒粘接时需要固化且定位,防止晶棒与料板粘接的位置偏斜。现有都是通过人工进行观察定位,但由于人员操作技能不同,导致晶棒与料板粘接的对中效果不一样,进而致使晶棒粘接后晶棒位置粘接不一致,需要二次修正,从而导致生产效率低且在后续切片时会产生很多废片。
实用新型内容
本实用新型提供一种晶棒粘接用定位装置,尤其是适用于晶棒粘接在料板上的位置对准,解决了现有技术中人工对准定位不准确而导致的粘接质量差、粘接效率低的技术问题。
为解决至少一个上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:
一种晶棒粘接用定位装置,包括底座以及置于所述底座上方并相向配置的定位组件,所述定位组件包括相对设置的夹板和连接所述夹板的连杆,至少一侧的所述夹板与所述连杆为活动连接,所述夹板可操作地移出晶棒置于所述底座上的所在位置;
在每个所述夹板的端部还构置有辅助组件,其包括与所述夹板同轴连接的转向块与所述转向块一体构置的导向杆,所述转向块被构造为凸轮结构,所述转向块带动所述导向杆沿所述夹板与所示转向块连接的轴向旋转。
进一步的,所述转向块的凸轮面凸置于所述夹板的侧壁面设置,所述转向块的非凸轮面凹置于所述夹板侧壁面设置;
当所述转向块的凸轮面凸置于所述夹板靠近晶棒一侧时,所述转向块的凸轮面的最外端与所述夹板靠近晶棒一侧的水平宽度差为1-2mm。
进一步的,在所述导向杆远离所述转向块的一端设有压板,所述压板与所述导向杆的铰接,驱动所述压板可压抵晶棒顶面。
进一步的,在所述压板的一侧设有垫层,所述垫层与所述转向块的凸轮面同侧设置。
进一步的,在所述夹板靠近所述转向块一侧还设有固定杆,所述固定杆垂直于所述夹板的长度竖直向下设置;
所述固定杆远离所述夹板的一端设有通孔槽,所述通孔槽与置于所述底座上的凸台卡固配合。
进一步的,所述夹板的长度小于所述底座长度的一半且不小于所述底座长度的1/4;
所述转向块与所述夹板的长度小于所述底座长度的一半;
所述固定杆位于所述底座上抓取槽的外侧,且至所述底座上抓取槽的水平距离不超过5-10mm。
进一步的,所述连杆的两个端部固设在构置于所述底座转角的立柱上,所述连杆为管状结构,其内部设有空腔;与所述连杆活动连接的所述夹板的一端被内嵌于所述空腔中。
进一步的,与所述连杆活动连接的所述夹板被构置为L型结构,其横截面与所述连杆的横截面的结构相适配。
进一步的,与所述连杆活动连接的所述夹板可朝远离所述底座一侧水平向外移动,
与所述连杆活动连接的所述夹板和所述连杆连接的一端为多级叠放构置的滑轨。
进一步的,在所述滑轨上设有定位销,所述定位销凸设于所述连杆的外壁设置,所述定位销可垂直于所述连杆的壁厚伸缩移动,以固定与所述连杆活动连接的所述夹板和所述连杆的连接位置。
进一步的,与所述连杆活动连接的所述夹板可朝远离所述底座一侧竖向翻转,
与所述连杆活动连接的所述夹板和所述连杆连接的一端为铰接配置。
进一步的,在所述立柱与所述夹板连接的内侧壁和外侧壁上均设有水平构置的垫块,所述垫块可顶托与所述连杆活动连接的所述夹板使其水平放置。
进一步的,所述夹板的外壁面还设有弹性垫,所述弹性垫至少包裹在所述夹板端部的内壁面和下端面一侧;所述弹性垫可沿所述夹板的长度方向间隔设置或整体设置。
进一步的,在所述连杆的内侧壁和下端面上也包裹有所述弹性垫。
采用本实用新型设计的一种晶棒粘接用定位装置,通过可活动调节的夹板与连杆、和转向块的共同配合,以定位晶棒两侧面宽度方向的位置精度;通过晶棒两端的连杆夹持以及底座上的定位块的共同配合,以对晶棒的长度方向进行定位;通过压板与底座的相互配合,以控制晶棒高度方向的定位;从而可对晶棒全方位地夹持定位,以获得粘接强度更好以及位置定位更准确的晶棒和料板,进而可保证在粘接晶棒时使晶棒与料板精准对接;同时还可重复多次地进行操作,结构简单且易于控制,可推广应用于所有规格晶棒的粘接定位。
附图说明
图1是实施例一夹板朝远离底座一侧水平向外移动时的示意图;
图2是夹板与辅助组件配合的立体图一;
图3是夹板与辅助组件配合的立体图二;
图4是夹板与辅助组件配合的立体图三;
图5是实施例二夹板朝远离底座一侧水平向外移动时的示意图;
图6是实施例一夹板朝远离底座一侧水平向外移动时的示意图;
图7是实施例三夹板朝远离底座一侧水平向外移动时的示意图;
图8是实施例一夹板朝远离所述底座一侧竖向翻转时的示意图;
图9是实施例二夹板朝远离所述底座一侧竖向翻转时的示意图。
图中:
10、底座 11、立柱 12、定位块
13、抓取槽 20、定位组件 21、夹板
22、连杆 23、滑轨 24、定位销
25、垫块 26、弹性垫 30、辅助组件
31、转向块 32、导向杆 33、压板
34、垫层 35、固定杆
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。
本实施例提出一种晶棒粘接用定位装置,如图1-9所示,包括底座10以及置于底座10上方并相向配置的定位组件20,定位组件20包括相对设置的夹板21和连接夹板21的连杆22,底座10上设有用于放置料板的支座及空间,当料板放置完毕后,再在料板上方放置晶棒(附图省略),在放置晶棒时,定位组件20中至少有一侧的夹板21与连杆22为活动连接,夹板21可沿其与连杆22的活动连接处进行调整,可操作地移出晶棒置于底座10上的所在位置。
进一步的,在每个夹板21悬空端的端部还构置有辅助组件30,其包括与夹板21同轴连接的转向块31、与转向块31一体构置的导向杆32、以及与导向杆32铰接的压板33,转向块31被构造为凸轮结构,转向块31可带动导向杆32和压板33沿夹板21与导向杆32连接的轴向旋转。
具体地,如图2-4所示,转向块31通过转轴与夹板21的端部连接。导向杆32为条形板,其一端与转向块31一体加工设置,另一端悬空构置;且导向杆32垂直于夹板21的长度设置。
在本实施例中,无论夹板21的位置如何,导向杆32始终是与夹板21是同平面设置,且转向块31的凸轮面凸置于夹板21的侧壁面设置,转向块31的非凸轮面凹置于夹板21的侧壁面设置。当导向杆32竖直朝下设置时,转向块31的凸轮面朝远离晶棒一侧设置,其非凸轮面朝靠近晶棒一侧设置,且转向块31的非凸轮面凹置于夹板21的外壁面设置,也就是小于夹板21的外壁面的宽度。当导向杆32竖直向下,夹板21水平设置与连杆22的端部连接时,转向块31的凸轮面朝外其非凸轮面朝内设置,放置晶棒中,导向杆32可以对晶棒侧壁面起引导作用,使其安全地竖直朝下移动并精准地进入底座10上。在晶棒完全进入底座10上后,且所有夹板21都靠近晶棒的壁面设置时,以限位晶棒宽度方向的位置;再控制导向杆32竖直朝上设置,此时,转向块31的凸轮面朝靠近晶棒一侧设置,其非凸轮面朝远离晶棒一侧设置,转向块31的非凸轮面凹置于夹板21的外壁面。且转向块31的凸轮面凸置于夹板21的内侧壁面,以抵顶晶棒的壁面,晶棒壁面四周设有四组转向块31,相互对应地抵顶晶棒的壁面,以定位晶棒宽度方向的位置。
进一步的,压板33被置于导向杆32远离转向块31的一端,压板33的宽度沿夹板21的长度方向设置,与导向杆32的铰接轴沿夹板21的长度方向设置,并设置在导向杆32端部的凹槽中。压板33的端部设有沿宽度方向设置的凸台,通过扭力弹簧可与导向杆32凹槽中的内壁连接,通过扭力弹簧可控制压板33位置定位,使压板33与导向杆32同杆设置或旋转设置,旋转压板33的位置,直至压板33与晶棒顶部接触并压抵晶棒顶面。
控制压板33与导向杆32的位置,以在导向杆32竖直朝上设置在夹板21的上方时,当夹板21靠近晶棒侧壁面后,再控制压板33旋转以压顶晶棒的顶部,定位晶棒的高度。当然,也可以通过扭力弹簧,直接将压板33垂直于导向杆32的长度方向设置,使其相对位置始终一致。即,当导向杆32竖直朝下设置时,压板33垂直于导向杆32朝外设置;当导向杆32竖直朝上设置时,压板33就靠近晶棒的一侧设置,且压顶晶棒的顶部。
在压板33的一侧设有垫层34,垫层34为树脂板或橡胶垫,且垫层34与转向块31的凸轮面同侧设置,控制压板33可直接是其带有垫层34的一侧压制在晶棒的顶部,以挤压晶棒完全与料板粘接。
在本申请中,辅助组件30的初始位置是位于夹板21的端部且其导向杆32和压板33均朝下设置,且压板33垂直于导向杆32朝远离晶棒一侧的方向延伸设置,如图2所示。当个夹板21归位后,即所有夹板21都夹持着晶棒的两侧面时,再控制转向块31朝外旋转180°,使导向杆32靠近晶棒的外壁面设置且转向块31的凸轮面抵顶晶棒的侧壁面,同时压板33扣押在晶棒的顶部以按压晶棒,以加固晶棒与料板的粘接强度,如图3所示。
如图4所示,当转向块31的凸轮面凸置于夹板21靠近晶棒一侧时,转向块31的凸轮面的最外端与夹板21靠近晶棒一侧的水平宽度差h1为1-2mm。在本实施例中,选项卡31为橡胶块,其凸轮面直接接触晶棒也不会对晶棒的外壁面产生磕碰或损伤。进一步的,在夹板21靠近晶棒一侧的内侧壁上设有橡胶弹性垫26,其中,转向块31的凸轮面的最外端相对于夹板21靠近晶棒一侧的内侧壁上的弹性垫26的水平宽度差h1不超过1-2mm。由于,橡胶制成的转向块31和弹性垫26都具有弹性,所以其都不会对晶棒产生金属杂质,亦可保证两侧转向块31的凸轮面都面向晶棒一侧接触时的安全性,亦不会对晶棒的表面产生损坏。
进一步的,在夹板21靠近转向块31的一侧还设有固定杆35,固定杆35垂直于夹板21的长度竖直向下设置;固定杆35的一端固定连接在夹板21的外侧面上,其远离夹板21的一端设有通孔槽,该通孔槽与置于底座10上的凸台卡固配合,此中卡固配合的结构为本领域中常见的支撑配合结构,附图省略。当然,对于固定杆35与凸台的配合结构,也可以做成其它类型的配合结构,如插接式或卡扣式,只要能保证在夹板21和转向块31夹持并顶固晶棒外壁面时,固定杆35可将夹板21稳定地固定在底座10上即可。进而,固定杆35可与夹板21、立柱11和底座10一同围成一个稳定的四方形结构,以固定夹板21的水平位置,从而可保证其夹持晶棒两侧壁面的稳定性和安全性,亦可保证转向块31的凸轮面对晶棒两侧壁面的紧密贴合。
置于晶棒四周的夹板21和转向块31共同配合,以定位晶棒两侧面宽度方向的位置精度、晶棒两端长度方向的定位由连杆夹持控制、晶棒高度方向的定位由压板33与底座10相互配合控制,从而可对晶棒全方位地夹持定位,以获得粘接强度更好以及位置定位更准确的晶棒和料板。
进一步的,与连杆22的活动连接的夹板21可朝远离底座10一侧的水平面内向外移动,如图1、5-7所示;或者,可朝远离底座10一侧的竖向方向进行翻转,如图7-8所示;以使预留出更大的放置空间,便于晶棒放置在料板上,待晶棒放置完毕后再使远离的夹板21回撤到靠近晶棒的水平悬空架设的位置,并夹持晶棒的两侧壁面,使其稳定放置,从而完成晶棒宽度方向的定位卡固,提高晶棒与料板叠放粘接的质量。
进一步的,相向构置的定位组件20均为独立设置的,两侧定位组件20中的夹板21相向悬空而置,为了避免相向水平悬置时互斥干涉,要求夹板21的长度W1小于底座10长度W的一半且不小于底座10长度的1/4。若夹板21的长度小于底座10长度的1/4,则会造成其由于过短而无法有足够的抵顶强度来夹持晶棒的水平放置,两侧的夹板21无法稳定夹持,晶棒易出现错位或倾斜。
进一步的,转向块31与夹板21的长度W2小于底座10长度W的一半,从而可保证两端相向而设的转向块31同步对晶棒的同一侧面进行抵顶固定时,不会出现干涉。
在底座10的基座上还设有四个用于机械手抓取的抓取槽13,固定杆35位于底座10上抓取槽13的外侧,且固定杆35至抓取槽13的水平距离W3不超过5-10mm。由于抓取槽13的位置与转向块31的位置部分重叠,则固定杆35的位置优先设置在抓取槽13的外侧;同时,固定杆35越靠近抓取槽13,越提高夹板21的稳固性。
进一步的,连杆22的两个端部固设在构置于底座10转角的立柱11上,优选地,连杆22为管状结构,其内部设有空腔,与连杆22活动连接的夹板21的一端被内嵌于空腔中。连杆22的两个端点均与立柱11是固定连接。
进一步的,与连杆22活动连接的夹板21被构置为L型结构,其一端是沿底座10的长度方向悬空设置,另一端是与连杆22活动连接设置。夹板21与连杆22活动连接的一端被内嵌于连杆22的空腔中,夹板21的横截面与连杆22的横截面的结构相适配。
如图1、5-7所示,与连杆22活动连接的夹板21是朝远离底座10一侧在水平面内向外移动,也即是夹板21带动辅助组件30一同沿连杆22的长度方向向外伸展,以增加两侧水平夹板21的宽度距离,使晶棒便于与料板对位接触。在底座10的基座上设有定位块12,晶棒可基于定位块12的位置被精准地下放至料板上,并与料板对中粘接;当晶棒放置完毕后,再控制活动的夹板21和辅助组件30一同沿连杆22的长度方向回撤收缩,直至回至其初始位置,即与晶棒的外壁面直接将接触并固定放置。待夹板21与转向块31的位置稳定后,再控制固定杆35远离夹板21的一端的通孔槽与置于底座10上的凸台卡固配合,使转向块31和夹板21稳定地水平横向放置,并稳定地夹持、抵顶晶棒的外壁面,以对中晶棒的宽度方向的位置。
对于活动的夹板21而言,在晶棒放置之前,对于夹板21在水平面上移动时,导向杆32始终是竖直朝下设置的,且转向块31的凸轮面朝远离晶棒一侧设置,其非凸轮面朝靠近晶棒一侧设置。待晶棒完全进入底座10上后,夹板21移动到靠近晶棒的外壁面接触时,再控制所有夹板21上的导向杆32朝都外旋转180°后竖直朝上设置,此时,转向块31的凸轮面朝靠近晶棒一侧设置,其非凸轮面朝远离晶棒一侧设置,转向块31的非凸轮面凹置于夹板21的外壁面。同时,控制固定杆35远离夹板21的一端的通孔槽与置于底座10上的凸台卡固配合,使转向块31和夹板21稳定地水平横向放置,并稳定地夹持晶棒的外壁面;且转向块31的凸轮面凸置于夹板21的内侧壁面,以抵顶晶棒的壁面,晶棒壁面四周设有四组转向块31,相互对应地抵顶晶棒的壁面,以定位晶棒宽度方向的位置。
在本实施例中,夹板21与连杆22活动连接的一端为多级叠放构置的滑轨23,优选地,连杆22为方型管状结构,滑轨23也为方型结构,其内置于连杆22的空腔中。
进一步的,为了保证夹板21在夹持晶棒时夹持的稳定性,在滑轨23靠近连杆22的端部上上设有定位销24,定位销24背朝晶棒一侧,并凸设于连杆22的外壁设置,定位销24垂直于连杆22的壁厚,可受压后回缩到空腔中,一旦定位销24与设置在连杆22的定位孔对位成功后,即可伸出定位孔并凸置于连杆22的外壁设置,此时可固定夹板21的活动端与连杆22连接的位置,以提高整体夹持晶棒的稳定性。
在本实施例中,两侧的定位组件20中,所有的夹板21都是与连杆22是活动连接设置的,如图1所示;当然,也可只有一侧的定位组件20中的其中一个夹板21是活动构置的,如图5所示;或者,两端的定位组件20中的同一侧的夹板21是活动连接设置的,如图6所示;或者可以设置同一侧的定位组件20中的两个夹板21都是活动构置的,即同时可水平向外伸展,如图7所示。每个活动设置的夹板21上都设有一个定位销24,其工作的原理一样,在此不再详述。
相应地,对于非活动的夹板21,其始终是与连杆22的一端固定设置,在放置晶棒之前及过程中,转向块31的凸轮面始终是朝外设置,且其非凸轮面朝内设置。在放置晶棒中,导向杆32可以对晶棒侧壁面起引导作用,使其安全地竖直朝下移动并精准地进入底座10上。在晶棒完全进入底座10上后,再控制所有夹板21上的导向杆32都朝外旋转180°并都竖直朝上设置。此时,所有转向块31的凸轮面朝靠近晶棒一侧设置,其非凸轮面朝远离晶棒一侧设置,所有转向块31的非凸轮面凹置于夹板21的外壁面。同时,控制固定杆35远离夹板21的一端的通孔槽与置于底座10上的凸台卡固配合,使转向块31和夹板21稳定地水平横向放置,并稳定地夹持晶棒的外壁面;且转向块31的凸轮面都凸置于夹板21的内侧壁面,以抵顶晶棒的壁面;进而使得晶棒壁面四周设有四组转向块31,相互对应地抵顶晶棒的壁面,以定位晶棒宽度方向的位置。
如图8-9所示,与连杆22活动连接的夹板21是沿其与连杆22的连接点朝远离底座10的一侧做竖向翻转,此时,夹板21的活动端与连杆22为铰接配置。优选地,此时,连杆22的横截面为圆型结构,相应地,夹板21的活动端的横截面也为圆型结构。
在连杆22与立柱11固定不动的条件下,为了保证夹板21在水平悬放位置的稳定性,在立柱11与夹板21连接的内侧壁和外侧壁上均设有水平构置的垫块25,垫块25可顶托活动设置的夹板21,以使其水平放置。
在本实施例中,所有夹板21的初始位置都是相向水平设置的,当需要放置晶棒时,人工控制活动设置的夹板21和与其连接设置的辅助组件30翻转180°后,此时,导向杆32竖直朝上设置。再放置晶棒到底座10上,待晶棒放置后,再人工控制可活动的夹板21和辅助组件30一同反向翻转180°,回撤到其初始位置,此时,导向杆32竖直朝下设置。由于两侧夹板21的宽度位置不变,故只需保证夹板21到水平悬置时被架设的稳定性即可,受垫块25的顶托支撑,从而可保证夹板21水平放置的稳定性,不会下放扩大翻转角度与基座磕碰。待所有夹板21放置后,再控制所有夹板21上的导向杆32朝都外旋转180°后竖直朝上设置,此时,转向块31的凸轮面朝靠近晶棒一侧设置,其非凸轮面朝远离晶棒一侧设置,转向块31的非凸轮面凹置于夹板21的外壁面。同时,控制固定杆35远离夹板21的一端的通孔槽与置于底座10上的凸台卡固配合,使转向块31和夹板21稳定地水平横向放置,并稳定地夹持晶棒的外壁面;且转向块31的凸轮面凸置于夹板21的内侧壁面,以抵顶晶棒的壁面,晶棒壁面四周设有四组转向块31,相互对应地抵顶晶棒的壁面,以定位晶棒宽度方向的位置。
在本实施例中,可设置两侧的定位组件20中的所有夹板21都是活动构置的,即都同时可竖向翻转180°,即,两侧的定位组件20中,所有的夹板21都是与连杆22是活动连接设置的,即可同时竖向翻转,如图7所示。当然,也可只有一侧的定位组件20中的其中一个或两个夹板21是活动构置的,如图8所示。也通过设置可活动调节的夹板21与连杆22的配合,从而可保证在粘接晶棒时,在保证晶棒与料板精准对接的同时,还可重复多次地进行操作,结构简单且易于控制,可推广应用于所有规格晶棒的粘接定位。对于辅助组件30的工作原理,与上述一样,此处省略。
进一步的,为了防止夹板21和连杆22直接与晶棒的外壁面接触,在夹板21和连杆22的外壁面均设有弹性垫26,弹性垫26可定位晶棒的上段部,使晶棒两侧被夹持,且防止在运输过程中对晶棒造成磕碰损伤,完全将晶棒稳定地粘接在料板上进行固化,可提高晶棒与料板粘接的稳定性、以及晶棒与料板相对位置的精准度。弹性垫26至少可包裹在夹板21端部的内壁面和下端面一侧、以及在连杆21的内侧壁和下端面,简单且方便,使用数量少。优选地,弹性垫26可沿所述夹板的长度方向间隔设置或整体设置,便于安装固定。间隔设置的结构可提升晶棒整体定位的准确性;整体套设的结构可提高弹性垫26与夹板21、连杆22的配合强度,提高其使用寿命。弹性垫26由树脂垫或橡胶垫制成的结构,其可以为L型结构、或者C型结构,半包围夹板21和连杆22设置,当然,弹性垫26还可为套筒式结构,完全包裹夹板21和连杆22。
采用本实用新型设计的一种晶棒粘接用定位装置,通过可活动调节的夹板与连杆、和转向块的共同配合,以定位晶棒两侧面宽度方向的位置精度;通过晶棒两端的连杆夹持以及底座上的定位块的共同配合,以对晶棒的长度方向进行定位;通过压板与底座的相互配合,以控制晶棒高度方向的定位;从而可对晶棒全方位地夹持定位,以获得粘接强度更好以及位置定位更准确的晶棒和料板,进而可保证在粘接晶棒时使晶棒与料板精准对接;同时还可重复多次地进行操作,结构简单且易于控制,可推广应用于所有规格晶棒的粘接定位。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明,所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (14)
1.一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,包括底座以及置于所述底座上方并相向配置的定位组件,所述定位组件包括相对设置的夹板和连接所述夹板的连杆,至少一侧的所述夹板与所述连杆为活动连接,所述夹板可操作地移出晶棒置于所述底座上的所在位置;
在每个所述夹板的端部还构置有辅助组件,其包括与所述夹板同轴连接的转向块与所述转向块一体构置的导向杆,所述转向块被构造为凸轮结构,所述转向块带动所述导向杆沿所述夹板与所示转向块连接的轴向旋转。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,所述转向块的凸轮面凸置于所述夹板的侧壁面设置,所述转向块的非凸轮面凹置于所述夹板侧壁面设置;
当所述转向块的凸轮面凸置于所述夹板靠近晶棒一侧时,所述转向块的凸轮面的最外端与所述夹板靠近晶棒一侧的水平宽度差为1-2mm。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,在所述导向杆远离所述转向块的一端设有压板,所述压板与所述导向杆的铰接,驱动所述压板可压抵晶棒顶面。
4.根据权利要求3所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,在所述压板的一侧设有垫层,所述垫层与所述转向块的凸轮面同侧设置。
5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,在所述夹板靠近所述转向块一侧还设有固定杆,所述固定杆垂直于所述夹板的长度竖直向下设置;
所述固定杆远离所述夹板的一端设有通孔槽,所述通孔槽与置于所述底座上的凸台卡固配合。
6.根据权利要求5所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,所述夹板的长度小于所述底座长度的一半且不小于所述底座长度的1/4;
所述转向块与所述夹板的长度小于所述底座长度的一半;
所述固定杆位于所述底座上抓取槽的外侧,且至所述底座上抓取槽的水平距离不超过5-10mm。
7.根据权利要求1-2、4、6任一项所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,所述连杆的两个端部固设在构置于所述底座转角的立柱上,所述连杆为管状结构,其内部设有空腔;与所述连杆活动连接的所述夹板的一端被内嵌于所述空腔中。
8.根据权利要求7所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,与所述连杆活动连接的所述夹板被构置为L型结构,其横截面与所述连杆的横截面的结构相适配。
9.根据权利要求8所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,与所述连杆活动连接的所述夹板可朝远离所述底座一侧水平向外移动,与所述连杆活动连接的所述夹板和所述连杆连接的一端为多级叠放构置的滑轨。
10.根据权利要求9所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,在所述滑轨上设有定位销,所述定位销凸设于所述连杆的外壁设置,所述定位销可垂直于所述连杆的壁厚伸缩移动,以固定与所述连杆活动连接的所述夹板和所述连杆的连接位置。
11.根据权利要求8所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,与所述连杆活动连接的所述夹板可朝远离所述底座一侧竖向翻转,
与所述连杆活动连接的所述夹板和所述连杆连接的一端为铰接配置。
12.根据权利要求11所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,在所述立柱与所述夹板连接的内侧壁和外侧壁上均设有水平构置的垫块,所述垫块可顶托与所述连杆活动连接的所述夹板使其水平放置。
13.根据权利要求1-2、4、6、8-12任一项所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,所述夹板的外壁面还设有弹性垫,所述弹性垫至少包裹在所述夹板端部的内壁面和下端面一侧;所述弹性垫可沿所述夹板的长度方向间隔设置或整体设置。
14.根据权利要求13所述的一种晶棒粘接用定位装置,其特征在于,在所述连杆的内侧壁和下端面上也包裹有所述弹性垫。
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