CN219519894U - 一种全覆盖式刮除清理工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种全覆盖式刮除清理工装，涉及单晶硅制造技术领域，其可至少部分解决现有技术无法一次性的将副室内壁清理完成，需要转动清理装置进行多次清理的问题。本实用新型实施例一的一种全覆盖式刮除清理工装，包括中心支撑件，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板组件；弹性刮板组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板；还包括横向设置并用于驱动弹性刮板靠近或远离中心支撑件的伸缩杆，伸缩杆的一端设置于中心支撑件周壁上，另一端设置于弹性刮板的凹侧。

Description

一种全覆盖式刮除清理工装

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，具体涉及一种全覆盖式刮除清理工装。

背景技术

单晶炉副室内壁横截面通常为圆形，常规的针对单晶炉副室内壁的清理工装通常是固定的尺寸，针对不同尺寸的单晶炉副室内壁需要不同尺寸的清理工装进行清理，导致目前的清理工装通用性不强。

而目前，为解决清理工装可以适用于不同尺寸副室的问题，需要采用具有一定弹性的弧形刮板，通过弧形刮板的变形与不同尺寸的副室内壁贴合，从而进行清理。但是这种可以适用于不同尺寸副室的清理工装具有以下缺点：

目前的刮板在沿副室内壁的轴向处于同一平面，且刮板的弧长通常是一定的，为高效的刮除清理副室内壁，刮板需要与副室内壁贴合，因此，清理工装在刮板的非受压的自然状态下贴合的副室内壁为清理工装可以高效清理的最大尺寸，而清理工装在清理其他尺寸的副室内壁时，需要刮板受压变形以贴合副室内壁，在此过程中，刮板所在圆弧所对应的圆心角也会相应变大，进而导致刮板之间的间距会缩小，因此，当刮板处于非受压的自然状态时，目前的清理工装的刮板之间需要预留一定的间距，以确保清理工装应用至不同尺寸时，受压变形后刮板之间不会互相抵压干涉，否则，刮板在自然状态下的间距过小或无间距，会导致清理工装应用到尺寸较小的副室时，受压变形后的刮板之间会互相抵接，造成刮板无法应用至较小的副室，但刮板之间预留一定间距又会导致清理工装无法一次性清理完成全部的副室内壁，需要清理装置在一次清理后转动刮板，对刮板之间的缝隙位置进行再次清理，导致单晶炉副室的内壁清理十分麻烦。

因此，需要设计出一种可以适应不同尺寸的单晶炉副室，并且可以一次性的对单晶炉副室的全部内壁进行清理的装置，以解决清理装置对副室内壁进行多次清理的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种全覆盖式刮除清理工装，用于解决现有技术无法一次性的将单晶炉副室的内壁清理完成，需要转动清理装置对单晶炉副室内壁进行多次清理的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

本实用新型提供一种全覆盖式刮除清理工装，包括中心支撑件，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板组件；

弹性刮板组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板；

还包括横向设置并用于驱动弹性刮板靠近或远离中心支撑件的伸缩杆，伸缩杆的一端设置于中心支撑件周壁上，另一端设置于弹性刮板的凹侧。

在一些可选的实施例中，所述中心支撑件的形状为圆筒形或方筒形或圆柱形或方柱形中的任意一种。

在一些可选的实施例中，所述弹性刮板的数量为两块，两块弹性刮板对称的设置于中心支撑件的两侧。

在一些可选的实施例中，所述弹性刮板在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：180°至270°。

在一些可选的实施例中，所述弹性刮板的数量为四块，四块弹性刮板沿中心支撑件的周向均匀分布；

四块弹性刮板中，相对的两块弹性刮板沿同一水平高度设置，相邻的两块弹性刮板上下分层设置。

在一些可选的实施例中，所述弹性刮板在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：90°至120°。

在一些可选的实施例中，所述中心支撑件的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆的支撑板，支撑板横向固定于中心支撑件的周壁上。

在一些可选的实施例中，所述中心支撑件的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆的支撑板；

伸缩杆的一端横向铰接于中心支撑件的周壁上并可沿中心支撑件的周向摆动；另一端与弹性刮板固定连接；

每块弹性刮板的凹侧至少与两个伸缩杆的输出端垂直固定连接。

在一些可选的实施例中，所述支撑板上设置有圆弧形或矩形的滑槽，所述伸缩杆上设置有插入滑槽内并与滑槽滑动连接的滑块。

在一些可选的实施例中，所述伸缩杆包括液压伸缩杆、气压伸缩杆、电动伸缩杆中的任意一种。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的一种全覆盖式刮除清理工装，包括中心支撑件，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板组件；

弹性刮板组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板；

还包括横向设置并用于驱动弹性刮板靠近或远离中心支撑件的伸缩杆，伸缩杆的一端设置于中心支撑件周壁上，另一端设置于弹性刮板的凹侧。

其效果是：通过设置呈双层或多层分布的弹性刮板，并且弹性刮板可以通过伸缩杆靠近或远离中心支撑件，可以实现弹性刮板之间在自然状态下无间隙，在变形状态下利用上下重叠避免互相抵压的巧妙设计构思，从而使得弹性刮板组件的弹性刮板在适应不同尺寸的副室时，确保弹性刮板沿竖直方向一次性将副室的内周壁覆盖完全，一次性的对单晶炉副室的全部内壁进行清理。

附图说明

图1为本实用新型实施例1中的弹性刮板完全撑开后的俯视结构示意图；

图2为本实用新型实施例1中的弹性刮板完全撑开后的主视结构示意图；

图3为本实用新型实施例2中的弹性刮板完全撑开后的俯视结构示意图；

图4为本实用新型实施例3中的弹性刮板完全撑开后的俯视结构示意图；

图5为本实用新型实施例3中的弹性刮板完全撑开后的主视结构示意图；

图6为本实用新型实施例3在使用之前的俯视结构示意图；

图7为本实用新型实施例3在使用时的俯视结构示意图；

图8为本实用新型实施例3在使用时的主视结构示意图；

图9为本实用新型实施例4中的弹性刮板完全撑开后的俯视结构示意图；

图10为本实用新型实施例4中的弹性刮板完全撑开后的主视结构示意图。

附图标记说明：

1-中心支撑件，11-支撑板，111-滑槽，2-伸缩杆，201-滑块，3-弹性刮板，4-副室。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面通过参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型：

实施例1：

参照图1及图2所示，本实施例提供一种全覆盖式刮除清理工装，包括中心支撑件1，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板3组件；弹性刮板3组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板3；还包括横向设置并用于驱动弹性刮板3靠近或远离中心支撑件1的伸缩杆2，伸缩杆2的一端设置于中心支撑件1周壁上，另一端设置于弹性刮板3的凹侧。

如图1和图2所示，本实施例通过设置呈双层分布的弹性刮板3，并且弹性刮板3可以通过伸缩杆2靠近或远离中心支撑件1，可以实现弹性刮板3之间在自然状态下无间隙，在变形状态下利用上下重叠避免互相抵压的巧妙设计构思，从而使得弹性刮板3组件的弹性刮板3在适应不同尺寸的副室4时，确保弹性刮板3沿竖直方向一次性将副室4的内周壁覆盖完全，一次性的对单晶炉副室4的全部内壁进行清理。本实施例中的弹性刮板3为半圆弧形的弹性刮板3。

在一些可选的实施例中，所述中心支撑件1的形状为圆筒形或方筒形或圆柱形或方柱形中的任意一种。本实施例中的中心支撑件1的形状为圆筒形，在某些实施例中，中心支撑件1的形状还可以为方筒形。在某些实施例中，中心支撑件1的形状还可以为圆柱形。在某些实施例中，中心支撑件1的形状还可以为方柱形。

在一些可选的实施例中，所述弹性刮板3的数量为两块，两块弹性刮板3对称的设置于中心支撑件1的两侧。本实施例中的两块弹性刮板3的形状相同。

在一些可选的实施例中，所述弹性刮板3在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：180°至270°。本实施例中，弹性刮板3在自然状态下所在圆弧的圆心角大小为180°。在某些实施例中，弹性刮板3在自然状态下所在圆弧的圆心角大小还可以我185°、190°、200°、220°、240°。

在一些可选的实施例中，所述中心支撑件1的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆2的支撑板11，支撑板11横向固定于中心支撑件1的周壁上。

在一些可选的实施例中，所述伸缩杆2包括液压伸缩杆、气压伸缩杆、电动伸缩杆的任意一种。本实施例中，每块弹性刮板3与中心支撑件1之间的伸缩杆2为一根。本实施例中的伸缩杆2为电动伸缩杆。

实施例2：

在上述实施例1的基础上，参照图3所示，所述伸缩杆2的一端横向铰接于中心支撑件1的周壁上并可沿中心支撑件1的周向摆动；另一端与弹性刮板3固定连接；每块弹性刮板3的凹侧至少与两个伸缩杆2的输出端垂直固定连接。本实施例中，如图3所示，每块弹性刮板3的凹侧与两个伸缩杆2的输出端垂直固定连接。每块弹性刮板3的凹侧与两个或者多个伸缩杆2的输出端垂直固定连接，可以为弹性刮板3提供更好的支撑作用。

在一些可选的实施例中，所述支撑板11上设置有圆弧形或矩形的滑槽111，所述伸缩杆2上设置有插入滑槽111内并与滑槽111滑动连接的滑块201。

本实施例中，由于伸缩杆2与中心支撑件1连接的一端铰接在中心支撑件1的周壁上并可沿中心支撑件1的周向摆动，使得弹性刮板3产生变形，弹性刮板3所在圆弧的圆心角产生相应变化后，通过伸缩杆2的摆动降低伸缩杆2输出端与弹性刮板3连接处的应力集中程度，避免伸缩杆2输出端从弹性刮板3上脱落。

实施例3：

在上述实施例1的基础上，参照图4及图5所示，本实施例中，所述弹性刮板3的数量为四块，四块弹性刮板3沿中心支撑件1的周向均匀分布；

四块弹性刮板3中，相对的两块弹性刮板3沿同一水平高度设置，相邻的两块弹性刮板3上下分层设置。通过设置四块弹性刮板3，且对的两块弹性刮板3沿同一水平高度设置，相邻的两块弹性刮板3上下分层设置，使得弹性刮板3的高度仍然是双层高度的情况下，使得单块弹性刮板3的弧长降低，避免单块弹性刮板3的弧长过长，重量过大。

在一些可选的实施例中，所述弹性刮板3在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：90°至120°。本实施例中，弹性刮板3在自然状态下所在圆弧的圆心角为90°。在某些实施例中，弹性刮板3在自然状态下所在圆弧的圆心角还可以为85°、95°、100°、105°、110°、120°、150°。

在一些可选的实施例中，所述中心支撑件1的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆2的支撑板11，支撑板11横向固定于中心支撑件1的周壁上。通过设置支撑板11，可以提高伸缩杆2的稳定性。

参照图6至图8所示，使用本实施例时，使得伸缩杆2处于收缩状态，将本实施例的清理装置放入单晶炉的副室4中，此时，本实施例的使用状态如图6所示，随后，启动伸缩杆2，使得伸缩杆2伸长，使得伸缩杆2的输出端推动弹性刮板3靠近单晶炉的副室4内壁，在伸缩杆2的推动过程中，弹性刮板3会产生变形，直至弹性刮板3完全与副室4内壁完全贴合，此时，本实施例的使用状态如图7和图8所示，由于弹性刮板3变形，相邻的弹性刮板3之间会在竖直方向出现部分重叠，但弹性刮板3沿竖直方向的投影为完整的圆环形，随后，通过重力或驱动中心支撑件1的方式使得弹性刮板3往下移动即可将副室4内壁清理干净。

实施例4：

在上述实施例3的基础上，参照图9和图10所示，本实施例中，参照图所述中心支撑件1的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆2的支撑板11；

伸缩杆2的一端横向铰接于中心支撑件1的周壁上并可沿中心支撑件1的周向摆动；另一端与弹性刮板3固定连接；每块弹性刮板3的凹侧至少与两个伸缩杆2的输出端垂直固定连接。每块弹性刮板3的凹侧与两个伸缩杆2的输出端垂直固定连接。每块弹性刮板3的凹侧与两个或者多个伸缩杆2的输出端垂直固定连接，可以为弹性刮板3提供更好的支撑作用。

在一些可选的实施例中，所述支撑板11上设置有圆弧形的滑槽111，所述伸缩杆2上设置有插入滑槽111内并与滑槽111滑动连接的滑块201。

本实施例中，由于伸缩杆2与中心支撑件1连接的一端铰接在中心支撑件1的周壁上并可沿中心支撑件1的周向摆动，使得弹性刮板3产生变形，弹性刮板3所在圆弧的圆心角产生相应变化后，通过伸缩杆2的摆动降低伸缩杆2输出端与弹性刮板3连接处的应力集中程度，避免伸缩杆2的输出端从弹性刮板3上脱落。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变形和改进，这些变形和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，包括中心支撑件(1)，以及沿竖直方向的投影为圆形的弹性刮板组件；

弹性刮板组件包括至少两块沿竖直方向呈双层或多层分布的弹性刮板(3)；还包括横向设置并用于驱动弹性刮板(3)靠近或远离中心支撑件(1)的伸缩杆(2)，伸缩杆(2)的一端设置于中心支撑件(1)周壁上，另一端设置于弹性刮板(3)的凹侧。

2.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述中心支撑件(1)的形状为圆筒形或方筒形或圆柱形或方柱形中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述弹性刮板(3)的数量为两块，两块弹性刮板(3)对称的设置于中心支撑件(1)的两侧。

4.根据权利要求3所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述弹性刮板(3)在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：180°至270°。

5.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述弹性刮板(3)的数量为四块，四块弹性刮板(3)沿中心支撑件(1)的周向均匀分布；

四块弹性刮板(3)中，相对的两块弹性刮板(3)沿同一水平高度设置，相邻的两块弹性刮板(3)上下分层设置。

6.根据权利要求5所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述弹性刮板(3)在自然状态下所在圆弧的圆心角范围为：90°至120°。

7.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述中心支撑件(1)的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆(2)的支撑板(11)，支撑板(11)横向固定于中心支撑件(1)的周壁上。

8.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述中心支撑件(1)的周壁上还设置有用于支撑伸缩杆(2)的支撑板(11)；

伸缩杆(2)的一端横向铰接于中心支撑件(1)的周壁上并可沿中心支撑件(1)的周向摆动；另一端与弹性刮板(3)固定连接；

每块弹性刮板(3)的凹侧至少与两个伸缩杆(2)的输出端固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述支撑板(11)上设置有滑槽(111)，所述伸缩杆(2)上设置有插入滑槽(111)内并与滑槽(111)滑动连接的滑块(201)。

10.根据权利要求1所述的一种全覆盖式刮除清理工装，其特征在于，所述伸缩杆(2)包括液压伸缩杆、气压伸缩杆、电动伸缩杆中的任意一种。