CN219508011U - 一种多工位同步旋转转架 - Google Patents

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白海萍
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郭喜明
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一种多工位同步旋转转架,解决现有技术存在的仅能间歇性的实现工件的二次自转,镀膜均匀性差,装载量小,实用性差的问题。包括若干个、沿同一圆周分别转动设置在下部公转盘上的工位自转轴,工位自转轴下端固定设置的工位自转小齿轮分别与固定大齿轮相啮合;工位自转轴的上端分别固定设置有齿轮箱,齿轮箱的上侧设置有若干组、沿同一圆周布置的同步自转齿轮轴;同步自转齿轮轴的上端分别设置有同步自转架,同步自转架的上端与上回转盘相连,上回转盘的中部通过工位定位转轴与上部公转盘转动相连。其设计合理,结构紧凑,工件公、自转可调,且工件工位本身还能够同时实现二次自转,装载量大,可有效提高生产效率。

Description

一种多工位同步旋转转架
技术领域
本实用新型属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种工件公、自转可调,且工件工位本身还能同时实现二次自转,装载量大,可有效提高生产效率的多工位同步旋转转架。
背景技术
无论是装饰涂层还是刀具等硬质涂层,都要求被镀工件表面厚度尽可能的均匀一致,因此,在物理气相沉积的镀膜过程中,一般需要有两个或三个转动量才能满足要求。即:在要求大转盘公转转动的同时,各个工件承载台还要自转转动。目前,在机械结构的设计上,通常是在大转盘底部中央装有一个大的固定齿轮,且固定齿轮周围是一些小的行星齿轮与其啮合,这样就能够实现公、自转的传动。同时,为了能使镀膜更加均匀,最好还要使工件自身再次实现二次自转;然而,现有采用拨片驱动的二次自转结构,只能间歇性的实现工件的二次自转,镀膜的均匀性差;另外,一些普通的齿轮传动二次自转的结构,在考虑布置工位以相邻工位不发生碰撞的原则时,势必会降低固有体积设备的装载量,难以发挥设备装载的最大效率,实用性差。故有必要对现有技术的工位同步旋转装置进行改进。
实用新型内容
本实用新型就是针对上述问题,提供一种工件公、自转可调,且工件工位本身还能同时实现二次自转,装载量大,可有效提高生产效率的多工位同步旋转转架。
本实用新型所采用的技术方案是:该多工位同步旋转转架包括若干个工位自转轴,其特征在于:所述工位自转轴沿同一圆周、分别转动设置在下部公转盘上,且工位自转轴的下端分别固定设置有工位自转小齿轮,所述工位自转小齿轮分别与设置在下部公转盘下方的固定大齿轮相啮合;所述工位自转轴的上端则分别固定设置有齿轮箱,齿轮箱的上侧设置有若干组、沿同一圆周布置的同步自转齿轮轴;所述同步自转齿轮轴的上端,分别通过同步架连接套与竖向布置的同步自转架的下端相连,同步自转架的上端分别通过同步架转动轴与上回转盘相连,且所述上回转盘的中部还通过工位定位转轴与上部公转盘转动相连。
所述齿轮箱内侧的中部设置有固定小齿轮,固定小齿轮通过中部通孔活动套设在工位自转轴上,且固定小齿轮与工位自转轴之间设置有滚珠轴承座,所述固定小齿轮与齿轮箱下方设置的下固定盘固定相连,下固定盘通过固定销柱与下部公转盘相连;所述同步自转齿轮轴的下端通过同步小齿轮与固定小齿轮相啮合。以利用同步小齿轮与中部的固定小齿轮的啮合传动,来驱使各组同步自转齿轮轴旋转,进而带动其上端固定连接的同步自转架在随着齿轮箱和上回转盘一次自转的过程中(下部公转盘公转),自身还能够产生二次自转,让工件表面的镀膜厚度尽可能的均匀一致。
所述同步自转齿轮轴上还设置有同步大齿轮,且相邻的两组同步自转齿轮轴之间通过同步大齿轮相啮合传动。以通过同步大齿轮在相邻的同步自转齿轮轴之间传递动力,使各组同步自转齿轮轴上端连接的同步自转架同步转动,且避免各同步自转架同步转动过程中的相互干扰,从而使得装载量成倍提高,有效提升设备的生产效率。
所述齿轮箱上侧设置的同步自转齿轮轴的数量为四组,其中两组相对布置的同步自转齿轮轴通过同步小齿轮与齿轮箱中部设置的固定小齿轮相啮合,另外两组同步自转齿轮轴则分别通过同步大齿轮与一组带有同步小齿轮的同步自转齿轮轴上的同步大齿轮相啮合。以利用与固定小齿轮相啮合的同步小齿轮驱动两组相对布置的同步自转齿轮轴旋转,并通过相互啮合的同步大齿轮,来驱使另外两组同步自转齿轮轴同步旋转,进而在实现连续同步传动的同时,有效减少齿轮箱内部结构的重量。
所述上回转盘与齿轮箱的上侧之间设置有若干组上转盘支撑杆。以通过上转盘支撑杆来支撑住上回转盘,并使上回转盘和齿轮箱一同随着工位自转轴的转动而自转。
所述固定大齿轮固定设置在真空炉体内侧的底部,所述下部公转盘和上部公转盘之间设置有若干组公转盘支撑杆,且下部公转盘的中部设置有转盘转动主轴,转盘转动主轴的上端与下部公转盘固定相连,转盘转动主轴的下端则穿过固定大齿轮的中部、向下伸出到真空炉体底部的外侧;所述转盘转动主轴的下端还通过联轴器与机体支架上设置的减速机的输出端相连,减速机的输入端与驱动电机的输出端相连。以利用驱动电机和减速机来驱使转盘转动主轴转动,进而带动下部公转盘以及其上布置的多工位同步转架一同进行公转。
本实用新型的有益效果:由于本实用新型采用若干个、沿同一圆周分别转动设置在下部公转盘上的工位自转轴,工位自转轴的下端分别固定设置有工位自转小齿轮,工位自转小齿轮分别与设置在下部公转盘下方的固定大齿轮相啮合;工位自转轴的上端分别固定设置有齿轮箱,齿轮箱的上侧设置有若干组、沿同一圆周布置的同步自转齿轮轴;同步自转齿轮轴的上端分别通过同步架连接套与同步自转架的下端相连,同步自转架的上端则通过同步架转动轴与上回转盘相连,上回转盘的中部通过工位定位转轴与上部公转盘转动相连的结构形式,所以其设计合理,结构紧凑,工件公、自转可调,且工件工位本身还能同时实现二次自转,本结构在保证被镀工件表面厚度均匀一致的同时,还能够使装载量成倍提高,大幅度提升设备的生产效率。
附图说明
图1是本实用新型的一种结构示意图。
图2是图1的俯视图。
图3是图2移除同步自转架后的一种齿轮箱内部结构示意图。
图4是图1中的多工位同步转架安装在真空炉体内的一种使用状态示意图。
图5是图4的俯视图。
图中序号说明:1固定大齿轮、2下部公转盘、3工位自转小齿轮、4工位自转轴、5固定销柱、6下固定盘、7齿轮箱、8固定小齿轮、9滚珠轴承座、10同步自转定位轴、11同步自转齿轮轴、12同步小齿轮、13同步大齿轮、14同步架连接套、15同步自转架、16同步架转动轴、17上回转盘、18上转盘支撑杆、19工位定位转轴、20上部公转盘、21多工位同步转架、22公转盘支撑杆、23真空炉体、24转盘转动主轴、25机体支架、26联轴器、27减速机、28驱动电机、29真空炉门、30炉门铰链、31电弧蒸发源、32加热装置。
具体实施方式
根据图1~5详细说明本实用新型的具体结构。该多工位同步旋转转架包括若干个、沿同一圆周分别转动设置在下部公转盘2上的工位自转轴4,并且,每个工位自转轴4的下端分别固定设置有工位自转小齿轮3;各个工位自转小齿轮3分别与设置在下部公转盘2下方的固定大齿轮1相啮合。工位自转轴4的上端则分别固定设置有齿轮箱7,齿轮箱7的上侧设置有若干组、沿同一圆周布置的同步自转齿轮轴11。
齿轮箱7内侧的中部设置有固定小齿轮8,固定小齿轮8通过中部通孔、活动套设在工位自转轴4的上端,且固定小齿轮8与工位自转轴4之间设置有滚珠轴承座9,以便于工位自转轴4带动齿轮箱7(连同其上的同步自转架15)一同进行一次自转的转动。固定小齿轮8与齿轮箱7下方设置的下固定盘6固定相连,下固定盘6通过竖向布置的固定销柱5与下部公转盘2固定相连。而且,同步自转齿轮轴11分别通过同步自转定位轴10与齿轮箱7内侧的底部转动相连,各个同步自转齿轮轴11的下端还分别通过同步小齿轮12与固定小齿轮8相啮合。从而,利用同步小齿轮12与中部的固定小齿轮8的啮合传动,来驱使各组同步自转齿轮轴11旋转,以带动其上端固定连接的同步自转架15,在随着齿轮箱7和上回转盘17一次自转的过程中(同时,下部公转盘2进行公转),同步自转架15自身还能够产生二次自转(如图2所示),进而让工件表面的镀膜厚度尽可能的均匀一致。
同步自转齿轮轴11上、同步小齿轮12的上方,还设置有同步大齿轮13;且相邻的两组同步自转齿轮轴11之间,通过同步大齿轮13相啮合传动。进而通过同步大齿轮13在相邻的同步自转齿轮轴11之间传递动力,使各组同步自转齿轮轴11上端所连接的同步自转架15同步转动,且避免各同步自转架15同步转动过程中的相互干扰和磕碰,同时,使得多工位同步转架21的装载量成倍提高,有效提升设备的生产效率。
齿轮箱7上侧设置的同步自转齿轮轴11的数量为四组,且四组同步自转齿轮轴11在同一圆周上均布。其中,两组相对布置的同步自转齿轮轴11,通过其下端的同步小齿轮12与齿轮箱7中部设置的固定小齿轮8相啮合;而另外两组同步自转齿轮轴11,则分别通过同步大齿轮13与一组带有同步小齿轮12的同步自转齿轮轴11上的同步大齿轮13相啮合(如图3所示)。从而,利用与固定小齿轮8相啮合的同步小齿轮12来驱动两组相对布置的同步自转齿轮轴11旋转,并通过相互啮合的三个同步大齿轮13来驱使另外两组同步自转齿轮轴11的同步旋转,在实现连续同步传动的同时,有效减少齿轮箱7内部结构的重量(减少了同步大齿轮13的使用数量)。
各组同步自转齿轮轴11的上端,分别通过同步架连接套14与竖向布置的同步自转架15的下端相连,每个同步自转架15上均悬挂设置有若干个待镀膜的工件,同步自转架15的上端则分别通过同步架转动轴16与上回转盘17相连。上回转盘17的中部,还通过工位定位转轴19与上部公转盘20转动相连。并且,上回转盘17与齿轮箱7的上侧之间设置有若干组上转盘支撑杆18;以通过上转盘支撑杆18来支撑住上回转盘17,并使上回转盘17和齿轮箱7一同随着工位自转轴4的转动而自转。
固定大齿轮1固定设置在真空炉体23内侧的底部,下部公转盘2和上部公转盘20之间设置有若干组公转盘支撑杆22;且下部公转盘2的中部设置有转盘转动主轴24,转盘转动主轴24的上端与下部公转盘2固定相连,转盘转动主轴24的下端则穿过固定大齿轮1的中部通孔、向下伸出到真空炉体23底部的外侧。并且,转盘转动主轴24的下端还通过联轴器26与机体支架25上设置的减速机27的输出端相连,减速机27的输入端与驱动电机28的输出端相连;进而利用驱动电机28和减速机27来驱使转盘转动主轴24转动,以带动下部公转盘2以及其上布置的多工位同步转架21一同进行公转。
该多工位同步旋转转架使用时,首先,绕着炉门铰链30将真空炉门29开启,然后,把若干个待镀膜的工件依次悬挂设置在各多工位同步转架21的每个同步自转架15上,并关闭真空炉门29。随后,启动驱动电机28,利用减速机27来驱使转盘转动主轴24转动,以带动下部公转盘2以及其上布置的多工位同步转架21一同进行公转。同时,在下部公转盘2进行公转的过程中,由于工位自转轴4下端设置的工位自转小齿轮3与固定大齿轮1的相互啮合传动,进而带动工位自转轴4转动,使得齿轮箱7和上回转盘17(包括其上的多组同步自转架15)产生一次自转。并且,还利用同步自转齿轮轴11下端的同步小齿轮12与中部的固定小齿轮8的啮合传动,来驱使各组同步自转架15旋转,以在随着齿轮箱7和上回转盘17一次自转的过程中,驱动同步自转架15自身产生二次自转,进而利用真空炉体23内部设置的多组电弧蒸发源31和加热装置32来对工件表面进行镀膜生产。

Claims (6)

1.一种多工位同步旋转转架,包括若干个工位自转轴(4),其特征在于:所述工位自转轴(4)沿同一圆周、分别转动设置在下部公转盘(2)上,且工位自转轴(4)的下端分别固定设置有工位自转小齿轮(3),所述工位自转小齿轮(3)分别与设置在下部公转盘(2)下方的固定大齿轮(1)相啮合;所述工位自转轴(4)的上端则分别固定设置有齿轮箱(7),齿轮箱(7)的上侧设置有若干组、沿同一圆周布置的同步自转齿轮轴(11);所述同步自转齿轮轴(11)的上端,分别通过同步架连接套(14)与竖向布置的同步自转架(15)的下端相连,同步自转架(15)的上端分别通过同步架转动轴(16)与上回转盘(17)相连,且所述上回转盘(17)的中部还通过工位定位转轴(19)与上部公转盘(20)转动相连。
2.根据权利要求1所述的多工位同步旋转转架,其特征在于:所述齿轮箱(7)内侧的中部设置有固定小齿轮(8),固定小齿轮(8)通过中部通孔活动套设在工位自转轴(4)上,且固定小齿轮(8)与工位自转轴(4)之间设置有滚珠轴承座(9),所述固定小齿轮(8)与齿轮箱(7)下方设置的下固定盘(6)固定相连,下固定盘(6)通过固定销柱(5)与下部公转盘(2)相连;所述同步自转齿轮轴(11)的下端通过同步小齿轮(12)与固定小齿轮(8)相啮合。
3.根据权利要求2所述的多工位同步旋转转架,其特征在于:所述同步自转齿轮轴(11)上还设置有同步大齿轮(13),且相邻的两组同步自转齿轮轴(11)之间通过同步大齿轮(13)相啮合传动。
4.根据权利要求1所述的多工位同步旋转转架,其特征在于:所述齿轮箱(7)上侧设置的同步自转齿轮轴(11)的数量为四组,其中两组相对布置的同步自转齿轮轴(11)通过同步小齿轮(12)与齿轮箱(7)中部设置的固定小齿轮(8)相啮合,另外两组同步自转齿轮轴(11)则分别通过同步大齿轮(13)与一组带有同步小齿轮(12)的同步自转齿轮轴(11)上的同步大齿轮(13)相啮合。
5.根据权利要求1所述的多工位同步旋转转架,其特征在于:所述上回转盘(17)与齿轮箱(7)的上侧之间设置有若干组上转盘支撑杆(18)。
6.根据权利要求1所述的多工位同步旋转转架,其特征在于:所述固定大齿轮(1)固定设置在真空炉体(23)内侧的底部,所述下部公转盘(2)和上部公转盘(20)之间设置有若干组公转盘支撑杆(22),且下部公转盘(2)的中部设置有转盘转动主轴(24),转盘转动主轴(24)的上端与下部公转盘(2)固定相连,转盘转动主轴(24)的下端则穿过固定大齿轮(1)的中部、向下伸出到真空炉体(23)底部的外侧;所述转盘转动主轴(24)的下端还通过联轴器(26)与机体支架(25)上设置的减速机(27)的输出端相连,减速机(27)的输入端与驱动电机(28)的输出端相连。
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