CN219502450U - 一种高纯水静电去除装置 - Google Patents

Abstract

一种高纯水静电去除装置，包括箱体；溶气膜水箱，设置于箱体内并用于水和二氧化碳的混合，所述溶气膜水箱的两端分别设置有溶气膜出水管和溶气膜进水管、进气管、出气管；还包括，分流器，设置于箱体内，所述分流器上分为相互贯通的分流部和汇流部；汇流部用于将分流器内多余的水以及溶气膜出水管排出的水汇流并经总出水口排出使用。结构紧凑、合理，操作方便，通过让进水和进气进行对冲，提高二氧化碳在高纯水中的溶解效率，同时通过分流器上管路的设计，能够方便控制进水量，同时通过旁路管道的设计，能够多余水引出，防止高压水损坏溶气膜水箱，再通过外置的针阀调节器能够实时快速的调整进水量，方便控制二氧化碳的溶解度，具有很强的实用性。

Description

一种高纯水静电去除装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，尤其是一种高纯水静电去除装置。

背景技术

在半导体行业晶圆清洗制程中，常常会因为高电阻的超纯水中存在静电，而使得在划片制程、晶圆清洗等半导体加工过程中出现晶圆因静电吸附、静电放电或微粒子附着等物理现象，从而导致产品损伤或清洗不干净，实际使用过程中可以根据客户需求，通过电阻率的变化，控制超纯水中二氧化碳的浓度从而控制实现去除晶圆表面的静电。

目前现有的晶圆清洗制程中静电去除装置，专利号为CN217445558U，其包括箱体，箱体内分为上下两层，下层设有溶气膜水箱、与溶气膜水箱连通的气路管组、水管组；气路管组中接有气压调节阀，水管组包括进水管、出水管、浓度调节管，水管组中的流体流经溶气膜水箱。

但是在实际使用过程中存在以下问题：

1、在上述专利中溶气膜进气口和出气口分别对应溶气膜的进水口和出水口，导致由于纯水流量太大，导致无法溶解二氧化碳。

2、在上述专利中水管接法溶气膜直接与进水口相连，中间并无阀门控制流量，针阀只能起到控制旁路管路流量，对溶气膜中的流量起不到作用。正因为如此，设备所产生的工艺水的阻值只能靠输入二氧化碳的量来控制，调节的范围小，很难满足客户需求。

3、原先针阀安装在设备内部，客户在需要调节水流量时非常麻烦，需要将设备断电后拆开底板，从底下对阀门进行调节。而且由于空间较小，阀门调节并不轻松，手并不能完全伸进设备底部，只能靠手指的力量调节阀门，而且由于阀门比较紧，手指无法用力。

为此，我们提出一种高纯水静电去除装置。

实用新型内容

本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种高纯水静电去除装置，通过让进水和进气进行对冲，提高二氧化碳在高纯水中的溶解效率，同时通过分流器上管路的设计，能够方便控制进水量，具有很强的实用性。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种高纯水静电去除装置，包括：

箱体；

溶气膜水箱，设置于箱体内并用于水和二氧化碳的混合，所述溶气膜水箱的两端分别设置有用于出水的溶气膜出水管和用于进水溶气膜进水管，且在溶气膜水箱位于溶气膜出水管的一侧连接有用于进气的进气管，在溶气膜水箱位于溶气膜进水管的一侧连接有用于出气的出气管，形成水气对冲；

还包括，

分流器，设置于箱体内，所述分流器上分为相互贯通的分流部和汇流部，分流部用于将总进水口内的水可控的输送给溶气膜进水管；

汇流部用于将分流器内多余的水以及溶气膜出水管排出的水汇流并经总出水口排出使用。

其进一步特征在于：

所述分流部上设置有三个通道，分别对应连接总进水口、旁路管路和主进水管路，且主进水管路通过针阀与溶气膜进水管保持连接，控制进水流量。

所述汇流部上设置有三个通道，分别对应连接总出水口、旁路管路和溶气膜出水管，分流部和汇流部通过旁路管路相互连通。

所述进气管和出气管上均设置有气体压力传感器。

所述箱体上还设置有与溶气膜水箱相连接并用于在气压过大时进行体放气调节的气压调节阀。

所述针阀上设置有调节主进水管路流量的针阀调节器，且针阀调节器延伸出箱体。

所述主进水管路上设置有液体压力传感器。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，通过让进水和进气进行对冲，提高二氧化碳在高纯水中的溶解效率，同时通过分流器上管路的设计，能够方便控制进水量，同时通过旁路管道的设计，能够多余水引出，防止高压水损坏溶气膜水箱，再通过外置的针阀调节器能够实时快速的调整进水量，方便控制二氧化碳的溶解度，具有很强的实用性。

同时，本实用新型还具备如下优点：

(1).通过让进水路和进气路刚好对冲设置，够提高二氧化碳气体在水中的溶解度。

(2).主进水管路通过针阀与溶气膜进水管保持连接，控制溶气膜水箱内的进水量，而旁路管路能够将多余的水引出，防止主进水管路内水压过大，继而容易导致溶气膜水箱出现损坏。

(3).针阀上设置有调节主进水管路流量的针阀调节器，且针阀调节器延伸出箱体，通过针阀调节器能够实时调节主进水管路的流量，相对于传统装置中通过调整进气量来调节二氧化碳和水的溶解度，本实施例通过调整进水量同样能够调节二氧化碳和水的溶解度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的流程框图。

其中：

1、箱体；2、溶气膜水箱；3、气压调节阀；4、溶气膜出水管；5、针阀；6、溶气膜进水管；7、进气管；8、出气管；9、总出水口；10、总进水口；11、分流器；12、旁路管路；13、主进水管路；

501、针阀调节器；

1101、分流部；1102、汇流部。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。

如图1-图2所示，本实施例公开了一种高纯水静电去除装置，包括箱体1、溶气膜水箱2和分流器11；

其中箱体1作为整个装置的外壳，起到防护防尘作用；

溶气膜水箱2设置于箱体1内并用于水和二氧化碳的混合，倾斜设置在箱体1内，并通过夹具进行固定；

同时在溶气膜水箱2的两端分别设置有用于出水的溶气膜出水管4和用于进水溶气膜进水管6，且在溶气膜水箱2位于溶气膜出水管4的一侧连接有用于进气的进气管7，在溶气膜水箱2位于溶气膜进水管6的一侧连接有用于出气的出气管8，让水路和气路刚好对冲设置，够提高二氧化碳气体在水中的溶解度，同时在进气管7和出气管8上均设置有气体压力传感器，通过压力传感器能够判断溶解度大小，继而方便后续进行调节。

分流器11设置于箱体1内，且分流器11上分为分流部1101和汇流部1102两个分区，分流部1101上设置有三个通道，分别对应连接总进水口10、旁路管路12和主进水管路13，总进水口10连接到箱体1外并将外界纯水引入，同时主进水管路13和旁路管路12实现分流，主进水管路13通过针阀5与溶气膜进水管6保持连接，控制溶气膜水箱2内的进水量，而旁路管路12能够将多余的水引出，防止主进水管路13内水压过大，继而容易导致溶气膜水箱2出现损坏，同时主进水管路13上设置有液体压力传感器，实时监控主进水管路13内的水压情况。

同时汇流部1102上设置有三个通道，分别对应连接总出水口9、旁路管路12和溶气膜出水管4，总出水口9延伸出箱体1并将反应后溶解二氧化碳的水引出，同时将分流部1101内多余的水引出，进行过压保护，同时多余的水进入到溶解二氧化碳的水，能够提高溶解度，提高含二氧化碳的成品水的整体稳定性。

针阀5上设置有调节主进水管路13流量的针阀调节器501，且针阀调节器501延伸出箱体1，通过针阀调节器501能够实时调节主进水管路13的流量，相对于传统装置中通过调整进气量来调节二氧化碳和水的溶解度，本实施例通过调整进水量同样能够调节二氧化碳和水的溶解度。

箱体1上还设置有与溶气膜水箱2相连接并用于在气压过大时进行体放气调节的气压调节阀3，进一步保护溶气膜水箱2。

本实施例的具体结构及工作过程如下：

水从总进水口10进入，经过箱体1内的溶气膜水箱2，与对冲设置的二氧化碳气体融合，二氧化碳气体溶解在水中形成清洗液，再从总出水口9排出。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在本实用新型的保护范围之内，可以作任何形式的修改。

Claims (7)

1.一种高纯水静电去除装置，其特征在于，包括：

箱体(1)；

溶气膜水箱(2)，设置于箱体(1)内并用于水和二氧化碳的混合，所述溶气膜水箱(2)的两端分别设置有用于出水的溶气膜出水管(4)和用于进水溶气膜进水管(6)，且在溶气膜水箱(2)位于溶气膜出水管(4)的一侧连接有用于进气的进气管(7)，在溶气膜水箱(2)位于溶气膜进水管(6)的一侧连接有用于出气的出气管(8)，形成水气对冲；

还包括，

分流器(11)，设置于箱体(1)内，所述分流器(11)上分为相互贯通的分流部(1101)和汇流部(1102)，分流部(1101)用于将总进水口(10)内的水可控的输送给溶气膜进水管(6)；

汇流部(1102)用于将分流器(11)内多余的水以及溶气膜出水管(4)排出的水汇流并经总出水口(9)排出使用。

2.如权利要求1所述的一种高纯水静电去除装置，其特征在于：所述分流部(1101)上设置有三个通道，分别对应连接总进水口(10)、旁路管路(12)和主进水管路(13)，且主进水管路(13)通过针阀(5)与溶气膜进水管(6)保持连接，控制进水流量。

3.如权利要求2所述的一种高纯水静电去除装置，其特征在于：所述汇流部(1102)上设置有三个通道，分别对应连接总出水口(9)、旁路管路(12)和溶气膜出水管(4)，分流部(1101)和汇流部(1102)通过旁路管路(12)相互连通。

4.如权利要求1所述的一种高纯水静电去除装置，其特征在于：所述进气管(7)和出气管(8)上均设置有气体压力传感器。

5.如权利要求1所述的一种高纯水静电去除装置，其特征在于：所述箱体(1)上还设置有与溶气膜水箱(2)相连接并用于在气压过大时进行体放气调节的气压调节阀(3)。

6.如权利要求2所述的一种高纯水静电去除装置，其特征在于：所述针阀(5)上设置有调节主进水管路(13)流量的针阀调节器(501)，且针阀调节器(501)延伸出箱体(1)。

7.如权利要求2所述的一种高纯水静电去除装置，其特征在于：所述主进水管路(13)上设置有液体压力传感器。