CN219468952U - 一种光刻机的送料机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种光刻机的送料机构，包括两个挡板，两个所述挡板上侧的左端固定连接有隔板，所述隔板上侧固定安装有光刻机本体，所述挡板一侧面固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机输出端固定连接有第二转轴，所述第二转轴外侧传动连接有皮带，所述皮带远离第二转轴的一侧传动连接有第一转轴，所述第一转轴和第二转轴外侧的中部传动连接有传输带。该光刻机的送料机构，通过原料堆积在放置板上侧，第二驱动电机驱动连接螺纹块带动放置板向上直线移动当原料平行与推板一侧面时，通过电动伸缩杆伸缩端的反复伸缩后带动推板将原料推向传输带表面并运输至光刻机本体下侧，减小人力提高效率。

Description

一种光刻机的送料机构

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机的送料机构。

背景技术

光刻机最核心的部件之一是紫外光源，硅片的光刻也是主要通过紫外光实现，由于紫外光容易对人体造成损害，光刻机外通常设有防护板和防护柜，光刻的过程通常在防护柜内进行。

在光刻机使用过程中需要用到送料机构，中国专利CN 217932407U公开了一种光刻机的送料装置，包括U型板，两个竖板顶部之间设有光刻机，U型板两侧臂上方靠近右端处设有固定板，固定板上表面中心位置嵌设有上料斗，固定板与竖板之间还对称设有引导板，U型板两侧臂之间靠近两端处均设有转辊，转辊之间套设有输送带，U型板外壁上设有电机，电机的输出轴与其中一个转轴转动连接；该光刻机的送料装置，U型板上安装竖板，竖板两侧配有防护板，竖板之间进行防护，安装对应的光刻机，该实用新型利用防护板防止紫外光对外界环境或人体造成损伤，固定板与上料斗的配合，便于持续进行防入需要光刻的原料，在进接引板的配合下将原料输送至输送带上，在电机的配合下，进行稳定输送光刻使用。

但是，该实用新型送料机构期间需要人工在旁边从上料斗放料才能将原料输送至光刻机，消耗人力导致效率较低，不能满足使用需求，故而提出一种光刻机的送料机构来解决上述中所提出的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种光刻机的送料机构，具备自动送料等优点，解决了需要人工在旁边从上料斗放料才能将原料输送至光刻机，消耗人力导致效率较低的问题。

为实现上述自动送料目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机的送料机构，包括两个挡板，两个所述挡板上侧的左端固定连接有隔板，所述隔板上侧固定安装有光刻机本体，所述挡板一侧面固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机输出端固定连接有第二转轴，所述第二转轴外侧传动连接有皮带，所述皮带远离第二转轴的一侧传动连接有第一转轴，所述第一转轴和第二转轴外侧的中部传动连接有传输带，所述挡板右侧固定连接有送料组件。

所述送料组件包括固定板，所述固定板内侧转动连接有多个传输辊，所述固定板右侧固定连接有立柱，所述立柱右侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆伸缩端固定连接有推板，所述立柱内侧的一端固定连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆外侧螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块右侧固定连接有放置板，所述放置板右侧固定连接有套管，所述套管内壁滑动连接有滑杆。

进一步，所述挡板下侧表面固定连接有四个支撑脚，四个所述支撑脚分别固定在挡板下侧的四个角。

进一步，两个所述挡板相对一侧表面均固定连接有导板，所述隔板表面镶嵌安装有观察窗。

进一步，两个所述导板一端呈弧形结构，多个所述传输辊呈等距排列。

进一步，所述滑杆两端均固定连接在立柱一侧的内部，并且螺纹杆和滑杆呈左右垂直固定连接在立柱左右两端。

进一步，所述电动伸缩杆伸缩端贯穿立柱并延伸至其内部，所述推板靠近电动伸缩杆的表面固定连接有两个伸缩杆。

进一步，两个所述伸缩杆分别固定在推板的左右两端。

进一步，所述第二转轴和第一转轴均贯穿挡板并延伸至其外部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种光刻机的送料机构，具备以下

有益效果：

1、该光刻机的送料机构，通过原料堆积在放置板上侧，第二驱动电机驱动连接螺纹块带动放置板向上直线移动当原料平行与推板一侧面时，通过电动伸缩杆伸缩端的反复伸缩后带动推板将原料推向传输带表面并运输至光刻机本体下侧，减小人力提高效率。

2、该光刻机的送料机构，通过原料竖向堆积后放在放置板上侧表面，启动第二驱动电机输出端带动螺纹杆外侧螺纹块螺纹转动并将连接的放置板直线向上移动至顶端的原料和推板向平行时关闭第二驱动电机，解决了需要人工在旁边从上料斗放料才能将原料输送至光刻机，消耗人力导致效率较低的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构主视图；

图2为本实用新型立柱侧面的结构剖视图；

图3为本实用新型立柱的结构俯视图；

图4为本实用新型固定板的结构俯视图；

图5为本实用新型传输带的结构俯视图。

图中：1挡板、2隔板、3观察窗、4光刻机本体、5第一驱动电机、6支撑脚、7第一转轴、8固定板、9传输辊、10立柱、11电动伸缩杆、12第二驱动电机、13螺纹杆、14螺纹块、15放置板、16套管、17滑杆、18推板、19伸缩杆、20第二转轴、21皮带、22导板、23传输带。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

请参阅图1-5，本实施例中的一种光刻机的送料机构，包括两个挡板1，两个挡板1相对一侧表面均固定连接有导板22，两个导板22一端呈弧形结构，两个挡板1上侧的左端固定连接有隔板2，隔板2表面镶嵌安装有观察窗3，隔板2上侧固定安装有光刻机本体4，挡板1一侧面固定连接有第一驱动电机5，第一驱动电机5输出端固定连接有第二转轴20，第二转轴20外侧传动连接有皮带21，皮带21远离第二转轴20的一侧传动连接有第一转轴7，第二转轴20和第一转轴7均贯穿挡板1并延伸至其外部，第一转轴7和第二转轴20外侧的中部传动连接有传输带23，挡板1右侧固定连接有送料组件。

送料组件包括固定板8，固定板8内侧转动连接有多个传输辊9，多个传输辊9呈等距排列，固定板8右侧固定连接有立柱10，立柱10右侧固定连接有电动伸缩杆11，电动伸缩杆11伸缩端贯穿立柱10并延伸至其内部，电动伸缩杆11伸缩端固定连接有推板18，推板18靠近电动伸缩杆11的表面固定连接有两个伸缩杆19，两个伸缩杆19分别固定在推板18的左右两端，立柱10内侧的一端固定连接有第二驱动电机12，第二驱动电机12输出端固定连接有螺纹杆13，螺纹杆13外侧螺纹连接有螺纹块14，螺纹块14右侧固定连接有放置板15，放置板15右侧固定连接有套管16，套管16内壁滑动连接有滑杆17，滑杆17两端均固定连接在立柱10一侧的内部，并且螺纹杆13和滑杆17呈左右垂直固定连接在立柱10左右两端。

本实施例中，当电动伸缩杆11伸缩端带动推板18将放置板15上侧原料推向传输辊9过程中，螺纹杆13外侧螺纹块14带动放置板15继续向上移动配合推板18将原料持续推入传输带23上侧表面，减小人力和物力，观察窗3内部混合有陶瓷粉末对光刻机本体4起到防护，减少紫外光源对人体造成的伤害。

实施例二：

请参阅图1，在实施例一的基础上，包括固定连接在挡板1下侧表面的四个支撑脚6，四个支撑脚6分别固定在挡板1下侧的四个角。

采用上述技术方案，实现了支撑脚6用于支撑挡板1下侧表面。

上述实施例的工作原理为：

原料竖向堆积后放在放置板15上侧表面，启动第二驱动电机12输出端带动螺纹杆13外侧螺纹块14螺纹转动并将连接的放置板15直线向上移动至顶端的原料和推板18向平行时关闭第二驱动电机12，同时启动支撑脚6连接第二转轴20通过皮带21带动第一转轴7对传输带23转动运行，电动伸缩杆11伸缩端的反复伸缩后带动推板18将原料推向传输带23表面，期间原料在传输辊9上侧传动移动至传输带23上侧导板22对原料两侧起到导向作用避免偏移，传输带23转动运输将原料运输至光刻机本体4下侧光刻使用。

上述实施例的有益效果为：

该光刻机的送料机构，通过原料堆积在放置板15上侧，第二驱动电机12驱动连接螺纹块14带动放置板15向上直线移动当原料平行与推板18一侧面时，通过电动伸缩杆11伸缩端的反复伸缩后带动推板18将原料推向传输带23表面并运输至光刻机本体4下侧，减小人力提高效率。

该光刻机的送料机构，通过原料竖向堆积后放在放置板15上侧表面，启动第二驱动电机12输出端带动螺纹杆13外侧螺纹块14螺纹转动并将连接的放置板15直线向上移动至顶端的原料和推板18向平行时关闭第二驱动电机12，解决了需要人工在旁边从上料斗放料才能将原料输送至光刻机，消耗人力导致效率较低的问题。

文中出现的电器元件均与主控器及电源电连接，主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备，且现有公开的电力连接技术，不在文中赘述。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种光刻机的送料机构，包括两个挡板(1)，其特征在于：两个所述挡板(1)上侧的左端固定连接有隔板(2)，所述隔板(2)上侧固定安装有光刻机本体(4)，所述挡板(1)一侧面固定连接有第一驱动电机(5)，所述第一驱动电机(5)输出端固定连接有第二转轴(20)，所述第二转轴(20)外侧传动连接有皮带(21)，所述皮带(21)远离第二转轴(20)的一侧传动连接有第一转轴(7)，所述第一转轴(7)和第二转轴(20)外侧的中部传动连接有传输带(23)，所述挡板(1)右侧固定连接有送料组件；

所述送料组件包括固定板(8)，所述固定板(8)内侧转动连接有多个传输辊(9)，所述固定板(8)右侧固定连接有立柱(10)，所述立柱(10)右侧固定连接有电动伸缩杆(11)，所述电动伸缩杆(11)伸缩端固定连接有推板(18)，所述立柱(10)内侧的一端固定连接有第二驱动电机(12)，所述第二驱动电机(12)输出端固定连接有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)外侧螺纹连接有螺纹块(14)，所述螺纹块(14)右侧固定连接有放置板(15)，所述放置板(15)右侧固定连接有套管(16)，所述套管(16)内壁滑动连接有滑杆(17)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料机构，其特征在于：所述挡板(1)下侧表面固定连接有四个支撑脚(6)，四个所述支撑脚(6)分别固定在挡板(1)下侧的四个角。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机的送料机构，其特征在于：两个所述挡板(1)相对一侧表面均固定连接有导板(22)，所述隔板(2)表面镶嵌安装有观察窗(3)。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机的送料机构，其特征在于：两个所述导板(22)一端呈弧形结构，多个所述传输辊(9)呈等距排列。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机的送料机构，其特征在于：所述滑杆(17)两端均固定连接在立柱(10)一侧的内部，并且螺纹杆(13)和滑杆(17)呈左右垂直固定连接在立柱(10)左右两端。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机的送料机构，其特征在于：所述电动伸缩杆(11)伸缩端贯穿立柱(10)并延伸至其内部，所述推板(18)靠近电动伸缩杆(11)的表面固定连接有两个伸缩杆(19)。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机的送料机构，其特征在于：两个所述伸缩杆(19)分别固定在推板(18)的左右两端。

8.根据权利要求3所述的一种光刻机的送料机构，其特征在于：所述第二转轴(20)和第一转轴(7)均贯穿挡板(1)并延伸至其外部。