CN219468900U - 一种承片盘导向机构 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种承片盘导向机构，包括：基座本体，基座本体上可转动连接有转动外筒，所述转动外筒内具有第一通孔，所述第一通孔的轴线方向为第一方向；承片盘，所述承片盘设于所述转动外筒远离所述基座本体侧，所述承片盘靠近所述基座本体侧设有导向杆，所述导向杆的延伸方向为所述第一方向；导向组件，所述导向组件一端连接于所述转动外筒的外壁，其远离所述转动外筒侧设有第二通孔，所述第二通孔的轴线方向为所述第一方向；所述导向杆穿过所述第二通孔，可在所述第二通孔内沿所述第一方向移动；第一驱动组件，所述第一驱动组件设于所述第一通孔内，用于驱动所述承片盘沿所述第一方向移动；本方案提高了承片台在第一方向运动的可靠性与平稳性。

Description

一种承片盘导向机构

技术领域

本申请涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种承片盘导向机构。

背景技术

随着集成电路工艺的迅猛发展，也促使集成电路测试技术不断更新，以提高半导体行业的生产效益，其中晶圆测试对整个集成电路生产过程的良品率及成本控制起着重要作用，在半导体测试过程中需要不断的进行位置改变，在完成半导体某一位点的测试后，需使承片台先向下移动，使承片盘上的半导体材料远离探针，向下移动后对承片台进行旋转，使探针可测试下一个位点，旋转到位后承片台上移，继续测试工作，而在上下移动过程中为确保承片盘位置不发生偏移，需要承片盘具有导向机构；

现有技术公开了一种用于半导体芯片生产过程中晶圆自动传输、测试的承片台，申请号是CN202010977627.8，可在承片台运输过程中对其进行导向，但该技术中所述导向机构导向距离较短，仍存在承片盘在移动过程中发生偏移的可能性。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提供一种承片盘导向机构，包括：

基座本体，所述基座本体上可转动连接有转动外筒，所述转动外筒内具有第一通孔，所述第一通孔的轴线方向为第一方向；

承片盘，所述承片盘设于所述转动外筒远离所述基座本体侧，所述承片盘靠近所述基座本体侧设有导向杆，所述导向杆的延伸方向为所述第一方向；

导向组件，所述导向组件一端连接于所述转动外筒的外壁，其远离所述转动外筒侧设有第二通孔，所述第二通孔的轴线方向为所述第一方向；所述导向杆穿过所述第二通孔，可在所述第二通孔内沿所述第一方向移动；

第一驱动组件，所述第一驱动组件设于所述第一通孔内，用于驱动所述承片盘沿所述第一方向移动。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述导向组件包括第一连接柱，所述第一连接柱一侧与所述转动外筒连接，所述第一连接柱远离所述转动外筒侧设有第三通孔，所述第三通孔的轴线方向为所述第一方向，所述第三通孔内设有导向筒，所述导向筒内具有所述第二通孔。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一连接柱远离所述转动外筒侧沿第二方向设有第一竖向部和第二竖向部，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第一竖向部与所述第二竖向部之间设有与所述第三通孔连通的第一间隙；所述第一间隙处设有紧固组件，所述紧固组件用于驱动所述第一竖向部和所述第二竖向部向相互靠近侧移动。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述紧固组件包括设于所述第一竖向部上的第一螺纹孔，所述第一螺纹孔的轴线方向为所述第二方向，所述第二竖向部上设有与所述第一螺纹孔对应的第二螺纹孔，贯穿所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔设有与其螺纹连接的第一调节杆，旋转所述第一调节杆可锁紧所述导向筒。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述导向筒内壁上周向呈阵列分布有多个滚轮组，所述滚轮组沿第一方向分布设有多个滚珠，所述导向杆的外壁与所述滚珠抵接。

根据本申请实施例提供的技术方案，在所述第一通孔内所述承片盘靠近所述基座本体侧设有第一立柱，所述第一立柱靠近所述基座本体侧设有第二调节杆，所述第二调节杆的延伸方向为第一方向，所述第一驱动组件驱动所述第二调节杆带动所述承片盘沿所述第一方向移动。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一立柱靠近所述第二调节杆侧设有第一连接件，所述第一连接件的延伸方向为所述转动外筒的径向延长线方向，所述第一连接件靠近所述导向组件侧设有第六通孔，所述第六通孔套设于所述导向杆外。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述转动外筒外壁上设有限位组件，所述限位组件用于限制所述承片盘沿所述第一方向的位移。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述限位组件包括：

固定部，所述固定部设于所述转动外筒外壁，所述固定部包括沿所述第一方向分布设置的竖向组，每个所述竖向组包括沿周向设置的第三竖向部，两个所述第三竖向部之间设有第二间隙；

第一挡板，所述第一挡板包括一端与所述第一立柱连接的第一横向部和与所述第一横向部远离所述第一立柱侧连接的第四竖向部，所述第四竖向部可在两个所述第二间隙间沿所述第一方向移动；

传感器，所述传感器设于各所述第二间隙处，所述传感器用于检测所述第一挡板是否置于所述第二间隙内。

根据本申请实施例提供的技术方案，还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件设于所述基座本体一侧，所述第二驱动组件可用于驱动所述转动外筒带动所述承片盘转动。

综上所述，本申请提出一种承片盘导向机构，在基座本体上设有可转动连接的转动外筒，远离基座本体侧设有承片盘，承片盘靠近基座本体侧设有导向杆，导向杆延伸方向为第一方向，转动外筒的外壁上设有导向组件，导向组件远离转筒外壁设有第二通孔，导向杆贯穿第二通孔，此机构还设有驱动组件，用于驱动承片盘沿第一方向移动；使用时，驱动组件驱动承片盘沿第一方向移动时，转动外筒保持相对静止，导向组件与转动外筒相连也保持静止，导向杆与承片盘相连且贯穿于第二通孔，导向杆始终在导向组件的约束下沿第一方向运动，不会产生其他方向的偏移；故本方案提高了承片台在第一方向运动的可靠性与平稳性。

附图说明

图1为本申请实施例提供的一种承片盘导向机构的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种承片盘导向机构的侧视图；

图3为本申请实施例提供的导向筒的结构示意图。

图中所述文字标注表示为：

1、基座本体；2、转动外筒；3、承片盘；4、导向组件；41、第一连接柱；411、第一竖向部；412、第二竖向部；413、第一间隙；414、第一螺纹孔；415、第二螺纹孔；42、导向筒；421、滚珠；5、第一驱动组件；6、第一立柱；7、第一连接件；8、限位组件；81、固定部；82、第二间隙；83、第三竖向部；84、第一横向部；85、第四竖向部；9、第二驱动组件；10、导向杆；11、第二丝杠；12、第二电机、13、第二连接件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

诚如背景技术中提到的，针对现有技术中的问题，本申请提出了一种承片盘导向机构，如图1和图2所示包括：

基座本体1，所述基座本体1上可转动连接有转动外筒2，所述转动外筒2内具有第一通孔，所述第一通孔的轴线方向为第一方向；其中，当所述基座本体1水平设置时，所述第一方向为竖直方向；

承片盘3，所述承片盘3设于所述转动外筒2远离所述基座本体1侧，所述承片盘3靠近所述基座本体1侧设有导向杆10，所述导向杆10的延伸方向为所述第一方向；其中，所述承片盘3为具有线条刻画的圆盘，用于放置半导体材料；

导向组件4，所述导向组件4一端连接于所述转动外筒2的外壁，其远离所述转动外筒2侧设有第二通孔，所述第二通孔的轴线方向为所述第一方向；所述导向杆10穿过所述第二通孔，可在所述第二通孔内沿所述第一方向移动；其中，所述承片台在测试所述半导体材料过程中，需进行位置的移动，在移动过程中为防止测试探针损伤材料，需在旋转所述承片盘3前使其位置下降，旋转到下一测试位点后使所述承片盘3上升到预设位置，继续进行测试，为防止所述承片盘3产生位置偏移，需对所述承片盘3进行竖直方向移动的导向，所述导向杆10与所述承片盘3连接，在所述承片盘3沿竖直方向移动的过程中，所述导向杆10随之移动，所述导向组件4设于所述旋转外筒2，所述旋转外筒2在所述承片盘3沿所述竖直方向移动过程中保持静止，所述导向组件4保持静止，所述导向杆10穿过所述第二通孔，在所述导向组件4的约束下沿所述竖直方向移动；具体的，所述导向杆10外壁与所述导向组件4内壁抵接；

第一驱动组件5，所述第一驱动组件5设于所述第一通孔内，用于驱动所述承片盘3沿所述第一方向移动；所述第一驱动组件5包括设于所述基座本体1上方且所述转动外筒一侧的第一电机，第一电机的输出端设有第一转动轮，第二转动轮，二者外绕设有同步带，所述第一电机可驱动所述第一转动轮带动所述第二转动轮转动，所述第二转动轮中部同轴设有丝杠，所述丝杠在所述第二转动轮转动下可沿所述竖直方向进行移动，所述丝杠远离所述基座本体1侧设有承片盘3，所述承片盘3在所述丝杠的驱动下可沿所述竖直方向移动。

进一步地，所述导向组件4包括第一连接柱41，所述第一连接柱41一侧与所述转动外筒2连接，所述第一连接柱41远离所述转动外筒2侧设有第三通孔，所述第三通孔的轴线方向为所述第一方向，所述第三通孔内设有导向筒42，所述导向筒42内具有所述第二通孔；其中，所述第一连接柱41与所述导向筒42抵接，所述导向杆10与所述导向筒42抵接；在某些特定场景下，所述导向筒42沿所述竖直方向长度为24毫米。

进一步地，所述第一连接柱41远离所述转动外筒2侧沿第二方向设有第一竖向部411和第二竖向部412，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第一竖向部411与所述第二竖向部412之间设有与所述第三通孔连通的第一间隙413；所述第一间隙413处设有紧固组件，所述紧固组件用于驱动所述第一竖向部411和所述第二竖向部412向相互靠近侧移动；其中，当所述基座本体1水平放置时，所述第二方向为水平方向，沿所述基座本体长边方向；所述第一竖向部411与所述第二竖向部412平行，调节所述紧固组件可使所述第一竖向部411与所述第二竖向部412靠近，缩小所述第一间隙413，故可将所述设于所述第三通孔内的所述导向筒夹紧。

进一步地，所述紧固组件包括设于所述第一竖向部411上的第一螺纹孔414，所述第一螺纹孔414的轴线方向为所述第二方向，所述第二竖向部412上设有与所述第一螺纹孔414对应的第二螺纹孔415，贯穿所述第一螺纹孔414和所述第二螺纹孔415设有与其螺纹连接的第一调节杆，旋转所述第一调节杆可锁紧所述导向筒42；其中，所述第一螺纹孔414螺纹方向与所述第二螺纹孔415螺纹方向相反，转动调节所述第一螺杆可使所述第一竖向部411与所述第二竖向部412相向而行，缩小所述第一间隙413与所述第三通孔，使所述第一连接柱41可锁紧所述导向筒42；在某种特定场景下，所述第一螺纹孔414与所述第二螺纹孔415数量可为两个。

进一步地，如图3所示，所述导向筒42内壁上周向呈阵列分布有多个滚轮组，所述滚轮组沿第一方向分布设有多个滚珠421，所述导向杆10的外壁与所述滚珠421抵接；其中，所述导向杆10与所述设于所述导向筒42内壁的所述滚珠421抵接，所述导向杆10沿所述竖直方向运动时，所述导向杆10在所述导向筒42内移动，所述导向筒42对所述导向杆10进行位置约束，可使其不发生位置的偏移，且所述滚珠421与所述导向杆10之间为滚动摩擦，所述摩擦力较小，可使所述导向杆10在沿所述第一方形运动过程中保持平稳性。

进一步地，在所述第一通孔内所述承片盘3靠近所述基座本体1侧设有第一立柱6，所述第一立柱6靠近所述基座本体1侧设有第二调节杆，所述第二调节杆的延伸方向为第一方向，所述第一驱动组件5驱动所述第二调节杆带动所述承片盘3沿所述第一方向移动；其中，所述第二调节杆为所述丝杠的丝杆，所述第二调节杆远离所述第一立柱6侧套设有所述第二转动轮，所述第一电机驱动所述第一转动轮转动，所述第二转动轮驱动所述第二调节杆沿竖直方向移动，所述第一立柱6与所述第二调节杆和所述承片盘3连接，所述承片盘3在所述第一驱动组件5驱动下沿所述竖直方向移动。

进一步地，所述第一立柱6靠近所述第二调节杆侧设有第一连接件7，所述第一连接件7的延伸方向为所述转动外筒2的径向延长线方向，所述第一连接件7靠近所述导向组件4侧设有第六通孔，所述第六通孔套设于所述导向杆10外；其中，所述导向杆10设于所述第六通孔，所述第一连接件7靠近所述导向杆10侧设有第二固定件，所述第二固定件使所述导向杆10固定于所述第一连接件7，使所述第一立柱6沿所述竖直方向移动时，所述导向杆10与所述第一立柱6做相应的移动。

进一步地，所述转动外筒2外壁上设有限位组件8，所述限位组件8用于限制所述承片盘3沿所述第一方向的位移；所述限位组件8可限制所述承片盘3沿所述竖直方向上下移动的最大限度，当所述限位组件8感知所述承片盘3已移动最大限度时，所述承片盘3立即停止移动。

进一步地，所述限位组件8包括：

固定部81，所述固定部81设于所述转动外筒2外壁，所述固定部81包括沿所述第一方向分布设置的竖向组，每个所述竖向组包括沿周向设置的第三竖向部83，两个所述第三竖向部83之间设有第二间隙82；在某种特定场景下，所述固定部81为L型板，所述L型板具有第二横向部与第五竖向部，所述第二横向部远离所述固定部81端设有第三螺纹孔，贯穿所述第三螺纹孔设有与其螺纹连接的第三调节杆，所述第三调节杆贯穿所述第三螺纹孔并作用于所述转动外筒2，可将所述固定部81固定部81固定于所述转动外筒2，所述第五竖向部上设有所述竖向组，所述竖向组通过第三固定件固定于所述第五竖向部，所述竖向组包括所述第三竖向部83，所述第三竖向部83沿所述第五竖向部中线对称；

第一挡板，所述第一挡板包括一端与所述第一立柱6连接的第一横向部84和与所述第一横向部84远离所述第一立柱6侧连接的第四竖向部85，所述第四竖向部85可在两个所述第二间隙82间沿所述第一方向移动；其中，所述第一横向部84靠近所述承片盘3侧固定于所述第一连接件7，所述承片盘3沿所述竖直方向移动时，所述第一横向部84与所述第二竖向部412随之移动；

传感器，所述传感器设于各所述第二间隙82处，所述传感器用于检测所述第四竖向部是否置于所述第二间隙82内；具体的，所述传感器包括设于上方的所述第二间隙82内的第一光电传感器和设于下方的所述第二间隙82内的第二光电传感器，当所述第一挡板置于上方的所述第二间隙82内时，挡住了所述第一光电传感器的对射光线，使得所述第一光电传感器产生定位信号，所述第一挡板上升到位，所述第一驱动组件5停止驱动，所述承片盘3停止移动；当所述第一挡板置于下方的所述第二间隙82内时，挡住了所述第二光电传感器的对射光线，使得所述第二光电传感器产生定位信号，所述第一挡板下降到位，所述第一驱动组件5停止驱动，所述承片盘3停止移动。

进一步地，还包括第二驱动组件9，所述第二驱动组件9设于所述基座本体1一侧，所述第二驱动组件9可用于驱动所述转动外筒2带动所述承片盘3转动；其中，所述基座本体1远离所述导向组件一侧设有第二电机12，所述第二电机12的输出端设有第三转动轮，第四转动轮，二者外绕设有同步带，所述第二驱动电机可驱动所述第三转动轮带动所述第四转动轮转动，所述第四转动轮中部同轴设有第二丝杠11，所述第二丝杠11在所述第三转动轮转动下沿第三方向移动，所述第三方向为所述水平沿所述基座本体1短边方向；所述第二丝杠11设有第二丝杆与第二螺母，所述第二丝杆与所述第四转动轮固定不动，所述第二螺母在所述第二丝杆上移动；所述第二丝杆上设有第二连接件13，所述第二连接件13一侧与所述第二螺母连接，另一侧与所述转动外筒2连接，当所述第一驱动电机驱动所述第二丝杠11转动时，所述第二螺母沿所述第二丝杆移动，所述第二连接件13带动所述转动外筒2转动，所述转动外筒2带动固定于其外壁一侧的导向组件4转动，所述导向组件4与所述导向杆10抵接，所述导向杆10伴随着所述导向组件4的转动而同步转动，所述导向杆10通过所述第一连接件7固定与所述第一立柱6，所述第一立柱6随着所述导向杆10的转动而转动，与所述第一立柱6一侧固定的承片盘3随着转动；具体的，所述转动外筒2可旋转角度由所述第二螺母在所述第二丝杆上的移动距离决定。

本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均应视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种承片盘导向机构，可保持承片盘移动路径不发生改变，其特征在于，包括：

基座本体(1)，所述基座本体(1)上可转动连接有转动外筒(2)，所述转动外筒(2)内具有第一通孔，所述第一通孔的轴线方向为第一方向；

承片盘(3)，所述承片盘(3)设于所述转动外筒(2)远离所述基座本体(1)侧，所述承片盘(3)靠近所述基座本体(1)侧设有导向杆(10)，所述导向杆(10)的延伸方向为所述第一方向；

导向组件(4)，所述导向组件(4)一端连接于所述转动外筒(2)的外壁，其远离所述转动外筒(2)侧设有第二通孔，所述第二通孔的轴线方向为所述第一方向；所述导向杆(10)穿过所述第二通孔，可在所述第二通孔内沿所述第一方向移动；

第一驱动组件(5)，所述第一驱动组件(5)设于所述第一通孔内，用于驱动所述承片盘(3)沿所述第一方向移动。

2.根据权利要求1所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于所述导向组件(4)包括第一连接柱(41)，所述第一连接柱(41)一侧与所述转动外筒(2)连接，所述第一连接柱(41)远离所述转动外筒(2)侧设有第三通孔，所述第三通孔的轴线方向为所述第一方向，所述第三通孔内设有导向筒(42)，所述导向筒(42)内具有所述第二通孔。

3.根据权利要求2所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于：所述第一连接柱(41)远离所述转动外筒(2)侧沿第二方向设有第一竖向部(411)和第二竖向部(412)，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第一竖向部(411)与所述第二竖向部(412)之间设有与所述第三通孔连通的第一间隙(413)；所述第一间隙(413)处设有紧固组件，所述紧固组件用于驱动所述第一竖向部(411)和所述第二竖向部(412)向相互靠近侧移动。

4.根据权利要求3所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于：所述紧固组件包括设于所述第一竖向部(411)上的第一螺纹孔(414)，所述第一螺纹孔(414)的轴线方向为所述第二方向，所述第二竖向部(412)上设有与所述第一螺纹孔(414)对应的第二螺纹孔(415)，贯穿所述第一螺纹孔(414)和所述第二螺纹孔(415)设有与其螺纹连接的第一调节杆，旋转所述第一调节杆可锁紧所述导向筒(42)。

5.根据权利要求2所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于：所述导向筒(42)内壁上周向呈阵列分布有多个滚轮组，所述滚轮组沿第一方向分布设有多个滚珠(421)，所述导向杆(10)的外壁与所述滚珠(421)抵接。

6.根据权利要求1所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于：在所述第一通孔内所述承片盘(3)靠近所述基座本体(1)侧设有第一立柱(6)，所述第一立柱(6)靠近所述基座本体(1)侧设有第二调节杆，所述第二调节杆的延伸方向为第一方向，所述第一驱动组件(5)驱动所述第二调节杆带动所述承片盘(3)沿所述第一方向移动。

7.根据权利要求6所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于：所述第一立柱(6)靠近所述第二调节杆侧设有第一连接件(7)，所述第一连接件(7)的延伸方向为所述转动外筒(2)的径向延长线方向，所述第一连接件(7)靠近所述导向组件(4)侧设有第六通孔，所述第六通孔套设于所述导向杆(10)外。

8.根据权利要求7所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于：所述转动外筒(2)外壁上设有限位组件(8)，所述限位组件(8)用于限制所述承片盘(3)沿所述第一方向的位移。

9.根据权利要求8所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于：所述限位组件(8)包括：

固定部(81)，所述固定部(81)设于所述转动外筒(2)外壁，所述固定部(81)包括沿所述第一方向分布设置的竖向组，每个所述竖向组包括沿周向设置的第三竖向部(83)，两个所述第三竖向部(83)之间设有第二间隙(82)；

第一挡板，所述第一挡板包括一端与所述第一立柱(6)连接的第一横向部(84)和与所述第一横向部(84)远离所述第一立柱(6)侧连接的第四竖向部(85)，所述第四竖向部(85)可在两个所述第二间隙(82)间沿所述第一方向移动；

传感器，所述传感器设于各所述第二间隙(82)处，所述传感器用于检测所述第一挡板是否置于所述第二间隙(82)内。

10.根据权利要求1所述的承片盘(3)导向机构，其特征在于：还包括第二驱动组件(9)，所述第二驱动组件(9)设于所述基座本体一侧，所述第二驱动组件(9)可用于驱动所述转动外筒(2)带动所述承片盘(3)转动。