CN219449872U - 一种cvd整形炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种CVD整形炉,整形炉包括有整形炉本体、加热装置和炉盖,炉盖安装在整形炉本体顶部,加热装置设置在整形炉本体内部,炉盖中间开设有柱孔,炉盖上对角线的1/3和2/3处分别开设有提效孔,提效孔顶部均安装有保温盖一,保温盖一上开设有贯穿孔,贯穿孔上活动连接有保温盖二。本实用新型在现有的炉盖上增设若干个提效孔,使得整形炉一次可以对多个工件进行热处理整形,节省了生产成本,提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及铝制工件表面处理领域技术领域,具体为一种CVD整形炉。
背景技术
在液晶显示面板的制造过程中,需要使用化学气相沉积(简称cvd)工艺在加热底板表面沉积一些功能薄膜(即耐腐蚀、电击的氧化膜)。
客户使用一段时间后,设备内制程气体对这些氧化膜会有一定的腐蚀及电击,同时由于持续加热,加热底板会出现形变,导致平整度超规,需要进行整形再生。再生处理时会使用热整形炉进行整形处理,但由于常规整形炉仅有一个孔,每次仅能热处理一件加热底板,导致生产效率偏低,单件整形生产成本大,在实际生产中受限于电力紧张局面,热整形炉实际可用利用的时间较少,使得产品交期跟不上。为此,发明人提出一种CVD整形炉。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种CVD整形炉,具有节省了生产成本,提高了生产效率的优点,解决了背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种CVD整形炉,所述整形炉包括有整形炉本体、加热装置和炉盖,所述炉盖安装在所述整形炉本体顶部,所述加热装置设置在所述整形炉本体内部,所述炉盖中间开设有柱孔,所述炉盖上对角线的1/3和2/3处分别开设有提效孔,所述提效孔顶部均安装有保温盖一,所述保温盖一上开设有贯穿孔,所述贯穿孔上活动连接有保温盖二。
优选的,所述柱孔的直径为35cm。
优选的,所述提效孔长度为100cm,宽度为40cm。
优选的,所述提效孔和保温盖一之间的间隙、所述贯穿孔和保温盖二之间的间隙中均设置有保温圈。
优选的,所述保温盖一一侧固定有U型卡块,所述保温盖一上开始有U型槽,所述炉盖上固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆顶部穿过所述U型槽且螺纹连接有锁紧盘。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
本实用新型在现有的炉盖上增设若干个提效孔,使得整形炉一次可以对多个工件进行热处理整形,节省了生产成本,提高了生产效率;通过在提效孔和保温盖一之间的间隙、贯穿孔和保温盖二之间的间隙中设置保温圈,可以提高工件整形时保温效果,保证整形质量。
附图说明
图1为现有技术中整形炉的俯视图;
图2为本实用新型整形炉除去保温盖一的俯视图;
图3为本实用新型整形炉的俯视图;
图4为本实用新型使用时的内部结构示意图。
图中:1、炉盖;2、柱孔;3、提效孔;4、整形炉本体;5、保温盖一;51、U型卡块;6、工件;7、保温垫;8、加热装置;9、螺纹杆;10、锁紧盘。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图4,本实用新型提供一种技术方案:一种CVD整形炉,整形炉包括有整形炉本体4、加热装置8和炉盖1,炉盖1安装在整形炉本体4顶部,加热装置8设置在整形炉本体4内部,工作时,加热装置8顶部的整形炉本体4的内部放置有工件6,工件6在本装置中指加热底板,一般包括有带柱子的(如图4所示)和不带柱子的,整形时,为了维持温度,保证整形质量,会将保温垫7覆盖在工件6上远离加热装置8的端面上,炉盖1中间开设有柱孔2,炉盖1上对角线的1/3和2/3处分别开设有提效孔3,提效孔3顶部均安装有保温盖一5,保温盖一5上开设有贯穿孔,当加工带柱子的工件6时,柱子穿过贯穿孔,延伸至本装置外部,贯穿孔上螺纹连接有保温盖二(图中未画出),当加工不带柱子的工件6时,将保温盖二盖上即可,不会影响整体保温效果。
柱孔2的直径为35cm。
提效孔3长度为100cm,宽度为40cm。
提效孔3和保温盖一5之间的间隙、贯穿孔和保温盖二之间的间隙中均设置有保温圈,保温圈和保温垫7均为耐高温玻璃纤维布制成,保温性能好。
如图3和图4所示,保温盖一5一侧固定有U型卡块51,保温盖一5上开始有U型槽,炉盖1上固定连接有螺纹杆9,螺纹杆9顶部穿过U型槽且螺纹连接有锁紧盘10,通过转动锁紧盘10,使得锁紧盘10顺着螺纹杆9向下旋动,即可将保温盖一5压紧,提升安装的稳定性。
工作时,首先打开炉盖1,接着将工件6放入到整形炉本体4内部,接着盖上炉盖1,使得工件6上的柱子穿过提效孔3,接着将保温盖一5上的贯穿孔对准柱子,使得U型卡块51对准炉盖1上的螺纹杆9,将保温盖一5安装在提效孔3上的炉盖1上,接着在螺纹杆9上转动锁紧盘10,最终使得锁紧盘10压住整形炉本体4,即将保温盖一5稳定安装好了。
在实际使用中,为了加强保温效果,还可以在贯穿孔和工件6上柱子之间的缝隙中填入耐高温玻璃纤维布。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种CVD整形炉,所述整形炉包括有整形炉本体(4)、加热装置(8)和炉盖(1),所述炉盖(1)安装在所述整形炉本体(4)顶部,所述加热装置(8)设置在所述整形炉本体(4)内部,所述炉盖(1)中间开设有柱孔(2),其特征在于:所述炉盖(1)上对角线的1/3和2/3处分别开设有提效孔(3),所述提效孔(3)顶部均安装有保温盖一(5),所述保温盖一(5)上开设有贯穿孔,所述贯穿孔上活动连接有保温盖二。
2.根据权利要求1所述的CVD整形炉,其特征在于:所述柱孔(2)的直径为35cm。
3.根据权利要求1所述的CVD整形炉,其特征在于:所述提效孔(3)长度为100cm,宽度为40cm。
4.根据权利要求1所述的CVD整形炉,其特征在于:所述提效孔(3)和保温盖一(5)之间的间隙、所述贯穿孔和保温盖二之间的间隙中均设置有保温圈。
5.根据权利要求1所述的CVD整形炉,其特征在于:所述保温盖一(5)一侧固定有U型卡块(51),所述保温盖一(5)上开始有U型槽,所述炉盖(1)上固定连接有螺纹杆(9),所述螺纹杆(9)顶部穿过所述U型槽且螺纹连接有锁紧盘(10)。
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