CN219449862U - 一种立式底装料沉积炉炉门升降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，涉及真空热处理技术领域。本实用新型包括卡柱、安装箱、顶块、连接块和第二齿条，安装箱的两侧中间固定有滑条，卡柱通过卡口卡接滑条，安装箱内壁前面和后面的上部固定有连接块，连接块通过转轴连接第一齿轮和第二齿轮，顶块通过第一齿条与第二齿轮啮合，第二齿条与第一齿轮互相啮合。本实用新型通过设置卡柱、安装箱、顶块、连接块和第二齿条，解决了立式底装料沉积炉炉门升降机构操作麻烦和在合上炉门时保证位置的精准度较为麻烦的问题，使得沉积炉的炉门打开时更加方便，且可以保证关炉门时的位置精准度。

Description

一种立式底装料沉积炉炉门升降机构

技术领域

本实用新型属于真空热处理技术领域，特别是涉及一种立式底装料沉积炉炉门升降机构。

背景技术

气相沉积法是指化学气体或者蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，而气相沉积炉是气相沉积法不可或缺的设备，沉积炉在使用过程中，需要打开和关闭炉门，使得其中处理后的物料取出和送入，炉门在使用过程中，需要进行升降开关，但它在实际使用中仍存在以下弊端：

1、立式底装料沉积炉炉门升降机构工作时，直接驱动炉门进行升降，对炉门进行打开需要人工操作，工作的时候具有一定地危险性，并不是将炉门先打开，再进行升降，操作麻烦；

2、立式底装料沉积炉炉门升降机构只能简单进行升降，在工作的时候会因为炉门安装的因素，直接通过液压缸来限制炉门的位置，在工作时，液压缸可能因为操作时的精度问题，在合上炉门时有可能会造成位置不够精确。

因此，现有的立式底装料沉积炉炉门升降机构，无法满足实际使用中的需求，所以市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，通过设置卡柱、安装箱、顶块、连接块和第二齿条，解决了立式底装料沉积炉炉门升降机构操作麻烦和在合上炉门时保证位置的精准度较为麻烦的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，包括卡柱、安装箱、顶块、连接块和第二齿条，所述安装箱的两侧中间固定有滑条，所述卡柱通过卡口卡接滑条，所述安装箱内壁前面和后面的上部固定有连接块，所述连接块通过转轴连接第一齿轮和第二齿轮，所述顶块通过第一齿条与第二齿轮啮合，所述第二齿条与第一齿轮互相啮合，本实用新型通过卡柱将安装箱通过滑条连接在其上，通过安装箱安装顶块、连接块和第二齿条，通过顶块在液压缸的驱动下，驱动第二齿条向后运动，完成后顶块接触安装箱顶部后，带动上升，通过连接块将第一齿轮和第二齿轮连接在一起。

进一步地，两个所述卡柱互相靠近的一面中间开设有卡口，两个所述卡柱的底部固定有底架，两个所述卡柱的顶部固定有连接板，卡柱通过底架限制安装箱的移动位置，两个卡柱通过连接板连接在一起。

进一步地，所述安装箱的底部固定有底板，所述底板的后方一侧开设有插口，所述安装箱前侧下部远离插口的一侧开设有活动口，安装箱通过底板上的插口活动连接液压柱，通过活动口活动连接第二齿条。

进一步地，所述顶块的前侧下部固定有第一齿条，所述顶块的下方设置有液压缸，所述液压缸的底部固定在卡柱下方的底架内，所述液压缸内活动连接有液压柱，所述液压柱的顶端与顶块底部固定，所述液压柱活动连接在安装箱底部底板上的插口内，顶块通过第一齿条在上升的时候，驱动第二齿轮转动，使得第一齿轮被带动转动。

进一步地，所述连接块内转动连接有转轴，所述连接块靠近第二齿条一侧的转轴上固定有第一齿轮，所述连接块远离第二齿条一侧的转轴上固定有第二齿轮，连接块通过转轴将第一齿轮和第二齿轮连接在一起，在第二齿轮转动的时候，带动第二齿轮转动。

进一步地，所述第二齿条的前侧固定有安装块，所述安装块的底部设置有滑座，所述滑座固定在安装箱底部，所述滑座的顶部中间开设有卡槽，所述第二齿条的底部中间固定有卡条，所述卡条活动连接在卡槽内，第二齿条通过滑座支撑在安装箱内。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过设置卡柱、安装箱、顶块、连接块和第二齿条，解决了立式底装料沉积炉炉门升降机构操作麻烦的问题，通过液压缸驱动的液压柱向上运动，使得第一齿条啮合的第二齿轮运动，第二齿轮在转动的时候，带动转轴转动，使得第一齿轮被带动转动，第一齿轮啮合的第二齿条向安装箱方向运动，将沉积炉的炉门打开，再通过液压缸驱动的液压柱向上运动，带动安装箱上升，使得安装箱通过第二齿条上连接的炉门带动上升，使得炉门在打开的时候，可以先打开到离开沉积炉一端距离后，带动炉门上升，使得炉门的打开更加方便。

2、本实用新型通过设置卡柱、安装箱、顶块、连接块和第二齿条，解决了立式底装料沉积炉炉门升降机构在合上炉门时保证位置的精准度较为麻烦的问题，安装箱通过滑条卡在卡柱上的卡口内，通过卡口卡好，并在安装箱向上运动到最高的时候，被连接板限制好，在安装箱向下运动到最低的时候，被底架限制好，限制好后，再通过顶块的下降，通过顶块上的第一齿条下降，使得第二齿条向前运动，将炉门推回原位，使得炉门在回位的时候，被底架限制位置,使得位置更加精确。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型组装结构剖视立体图；

图2为本实用新型卡柱结构立体图；

图3为本实用新型安装箱结构剖视立体图；

图4为本实用新型顶块结构立体图；

图5为本实用新型连接块结构立体图；

图6为本实用新型第二齿条结构立体图；

图7为本实用新型完整结构立体图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

100、卡柱；101、底架；102、卡口；103、连接板；200、安装箱；201、底板；202、插口；203、活动口；204、滑条；300、顶块；301、液压缸；302、液压柱；303、第一齿条；400、连接块；401、转轴；402、第一齿轮；403、第二齿轮；500、第二齿条；501、滑座；502、安装块；503、卡条；504、卡槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1-7所示，本实用新型为一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，包括卡柱100、安装箱200、顶块300、连接块400和第二齿条500，安装箱200的两侧中间固定有滑条204，安装箱200将顶块300、连接块400和第二齿条500安装在其中，卡柱100通过卡口102卡接滑条204，使得安装箱200在两个安装箱200之间滑动，安装箱200内壁前面和后面的上部固定有连接块400，连接块400通过转轴401将第一齿轮402和第二齿轮403连接在安装箱200内，连接块400通过转轴401连接第一齿轮402和第二齿轮403，使得液压缸301产生的动力改变方向，驱动第二齿条500前后运动，顶块300通过第一齿条303与第二齿轮403啮合，第二齿条500与第一齿轮402互相啮合；

其中如图1-3所示，两个卡柱100互相靠近的一面中间开设有卡口102，两个卡柱100的底部固定有底架101，底架101将卡柱100支撑在地面上，两个卡柱100的顶部固定有连接板103，连接板103将两个卡柱100连接在一起；

安装箱200的底部固定有底板201，底板201将安装箱200底部封闭，底板201的后方一侧开设有插口202，安装箱200前侧下部远离插口202的一侧开设有活动口203；

在使用时，安装箱200通过滑条204卡在卡柱100上的卡口102内，通过卡口102卡好，并在安装箱200向上运动到最高的时候，被连接板103限制好，在安装箱200向下运动到最低的时候，被底架101限制好。

其中如图1、4、5、6所示，顶块300的前侧下部固定有第一齿条303，顶块300通过第一齿条303与第二齿轮403啮合，使得顶块300在上升的时候，驱动第二齿轮403转动，顶块300的下方设置有液压缸301，顶块300在液压缸301驱动的液压柱302作用下，使得顶块300上下运动，在顶块300向上运动的时候，驱动安装箱200向上运动，液压缸301的底部固定在卡柱100下方的底架101内，液压缸301内活动连接有液压柱302，液压柱302的顶端与顶块300底部固定，液压柱302活动连接在安装箱200底部底板201上的插口202内，液压缸301产生驱动液压柱302向上运动的动力；

连接块400内转动连接有转轴401，连接块400通过转轴401将第一齿轮402和第二齿轮403连接在一起，连接块400靠近第二齿条500一侧的转轴401上固定有第一齿轮402，连接块400远离第二齿条500一侧的转轴401上固定有第二齿轮403，第二齿轮403在被驱动的时候，带动第一齿轮402转动；

第二齿条500的前侧固定有安装块502，安装块502将第二齿条500与需要驱动升降的沉积炉炉门连接在一起，安装块502的底部设置有滑座501，滑座501固定在安装箱200底部，滑座501将安装块502支撑在安装箱200内，滑座501的顶部中间开设有卡槽504，第二齿条500的底部中间固定有卡条503，卡条503活动连接在卡槽504内，使得第二齿条500和滑座501连接在一起；

在使用时，液压缸301驱动的液压柱302向上运动，使得第一齿条303啮合的第二齿轮403运动，第二齿轮403在转动的时候，带动转轴401转动，使得第一齿轮402被带动转动，第一齿轮402啮合的第二齿条500向安装箱200方向运动，将沉积炉的炉门打开，在顶块300被驱动上升到接触安装箱200顶部时，驱动安装箱200和炉门上升。

以上仅为本实用新型的优选实施例，并不限制本实用新型，任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，对其中部分技术特征进行等同替换，所作的任何修改、等同替换、改进，均属于在本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，包括卡柱(100)、安装箱(200)、顶块(300)、连接块(400)和第二齿条(500)，其特征在于：所述安装箱(200)的两侧中间固定有滑条(204)，所述卡柱(100)通过卡口(102)卡接滑条(204)，所述安装箱(200)内壁前面和后面的上部固定有连接块(400)，所述连接块(400)通过转轴(401)连接第一齿轮(402)和第二齿轮(403)，所述顶块(300)通过第一齿条(303)与第二齿轮(403)啮合，所述第二齿条(500)与第一齿轮(402)互相啮合。

2.根据权利要求1所述的一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，其特征在于，两个所述卡柱(100)互相靠近的一面中间开设有卡口(102)，两个所述卡柱(100)的底部固定有底架(101)，两个所述卡柱(100)的顶部固定有连接板(103)。

3.根据权利要求1所述的一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，其特征在于，所述安装箱(200)的底部固定有底板(201)，所述底板(201)的后方一侧开设有插口(202)，所述安装箱(200)前侧下部远离插口(202)的一侧开设有活动口(203)。

4.根据权利要求1所述的一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，其特征在于，所述顶块(300)的前侧下部固定有第一齿条(303)，所述顶块(300)的下方设置有液压缸(301)，所述液压缸(301)的底部固定在卡柱(100)下方的底架(101)内，所述液压缸(301)内活动连接有液压柱(302)，所述液压柱(302)的顶端与顶块(300)底部固定，所述液压柱(302)活动连接在安装箱(200)底部底板(201)上的插口(202)内。

5.根据权利要求1所述的一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，其特征在于，所述连接块(400)内转动连接有转轴(401)，所述连接块(400)靠近第二齿条(500)一侧的转轴(401)上固定有第一齿轮(402)，所述连接块(400)远离第二齿条(500)一侧的转轴(401)上固定有第二齿轮(403)。

6.根据权利要求1所述的一种立式底装料沉积炉炉门升降机构，其特征在于，所述第二齿条(500)的前侧固定有安装块(502)，所述安装块(502)的底部设置有滑座(501)，所述滑座(501)固定在安装箱(200)底部，所述滑座(501)的顶部中间开设有卡槽(504)，所述第二齿条(500)的底部中间固定有卡条(503)，所述卡条(503)活动连接在卡槽(504)内。