CN219449847U - 一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，该镀膜器包括有卧式真空管、柱弧组件、进口阀以及出口阀；进口阀设置在卧式真空管的一端，与卧式真空管连接；出口阀设置在卧式真空管的另一端，与卧式真空管连接；进口阀、卧式真空管以及出口阀围合形成容工件进出或停留加工的空间；柱弧组件设置在卧式真空管中，且柱弧组件的一端与进口阀连接，柱弧组件的另一端与出口阀连接。相比于现有技术，该镀膜器具有布局合理，操作方便，具有良好的可拓展能力，单个镀膜器镀膜效果好等有益效果。

Description

一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备领域，特别涉及一种真空镀膜器。

背景技术

真空镀膜技术以在真空环境中通过蒸发、磁控溅射、化学气相沉积等方式成膜，相较于传统的湿式镀膜技术，其薄膜和基体选材更广泛，成膜厚度可控性更好，成型薄膜与基体结合强度更好，且其成膜过程不产生废液，因此逐渐替代传统的湿式镀膜技术，在材料表面涂层、光学仪器制造、集成电子硬件制造等领域广泛使用。

真空镀膜技术应用到实际加工过程中时，按照其具体采用的镀膜工艺不同，可大致分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀三种，这其中离子镀工艺兼具了蒸发镀膜所具备的高沉积速率以及与溅射镀膜所具备的良好的膜层附着力等有优点的同时，还具备良好的绕射性，可为形状复杂的工件镀膜等特点，因此在工业应用中被广泛使用。

传统的离子镀视弧源形状不同，一般分为小多弧源、磁过滤金属真空弧源、矩形电磁控大面积弧源、柱状电弧源等多种设备形式，不同形状的弧源各有优缺点。专注于具有柱状电弧源的真空镀膜设备，现有技术中提供的具有柱状点弧源的真空镀膜设备往往具有固定且独立的腔室结构，其往往采用独立结构构造真空腔室，并在真空腔室中布置单一的离子镀膜源，在具体使用时，需操作人员先打开真空腔室、放入待加工工件后关闭腔室门，重新对该腔室内部抽真空后，方能启动镀膜源对待加工工件做出离子镀膜加工。以申请号为“CN96218605.8”的中国专利申请文件为例，在该专利申请文件中即公开了一种旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机，其中即记载：该旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机主要由镀膜室、工件转架、旋转磁控柱状弧源、进气系统、弧源电源、烘烤加热源、引弧针系统、真空系统、工件偏压电源组成。柱弧源由管状金属材料作靶材、管内安装数根条形永磁体，永磁体在靶管内作旋转运动。弧斑呈线状沿柱弧组件靶全长分布，并沿柱弧组件靶面扫描。该专利申请文件中还记载：旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机有立式结构、卧式结构、箱式结构。结合其附图说明不难看出，该专利申请文件中提供的技术方案应用到实际的镀膜加工中时，将明显存在上文所述的单次镀膜必须经历打开镀膜室-放入工件-关闭镀膜室-抽真空加工-再次打开镀膜室-取出成品的过程，这样的加工过程需要技术人员投入大量的时间和精力从旁辅助，这无疑降低了加工效率，不仅不方便对数量庞大的待加工工件进行统一的大规模加工，也同样不方便对单一工件进行反复多次镀制多层膜，不利于离子镀膜技术广泛推广。

发明内容

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，该镀膜器布局合理，操作方便，具有良好的可拓展能力，单个镀膜器镀膜效果好。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，该镀膜器包括有卧式真空管、柱弧组件、进口阀以及出口阀；

进口阀设置在卧式真空管的一端，与卧式真空管连接；出口阀设置在卧式真空管的另一端，与卧式真空管连接；进口阀、卧式真空管以及出口阀围合形成容工件进出或停留加工的空间；

柱弧组件设置在卧式真空管中，且柱弧组件的一端与进口阀连接，柱弧组件的另一端与出口阀连接。

进一步的，卧式真空管包括有管体以及抽气口，抽气口开设在管体上。

进一步的，进口阀包括有前插板阀与前法兰；前法兰设置在前插板阀与管体之间，前插板阀通过前法兰与管体连接。出口阀包括有后插板阀与后法兰；后法兰设置在后插板阀与管体之间，后插板阀通过后法兰与管体连接。进一步的，柱弧组件包括有柱弧；柱弧平行于管体的轴线方向设置在管体中，柱弧的一端与前法兰连接，柱弧的另一端与后法兰连接。

进一步的，柱弧组件还包括有引弧杆，引弧杆与柱弧一一对应，且引弧杆设置在柱弧的其中一端，与前法兰或后法兰连接。

进一步的，柱弧组件还包括有引弧电机，引弧电机与是引弧杆一一对应设置，引弧电机设置在前法兰或后法兰处，其机身嵌套在前法兰或后法兰中，与前法兰或后法兰连接，其电机输出轴向管体内部伸出，引弧杆与引弧电机的电机输出轴连接。

将前插板阀设置在前法兰处，则前插板阀将作为该加工空间的进口，前插板阀打开，工件将能通过前插板阀进入到管体中。进入到管体内部后，前插板阀关闭，则此时，前插板阀、管体以及后插板阀一起围合出一个密闭空间，利用抽气口对管体内部抽真空，为工件构造处一个真空环境，此时启动引弧电机，引弧电机控制引弧杆运动，使其与柱弧接触引弧，开始对工件镀膜，完成镀膜后，后插板阀开启，将完成本次镀膜工序的工件送出管件。

依照上述结构，则以卧式真空管为结构主体，仅需沿管体设置合适的输送手段，即可在进口阀与出口阀配合开启关闭时，对应接入待加工的工件或送出已完成加工的工件，整个镀膜过程无需操作人员从旁辅助即可自行完成，方便镀膜加工的同时，还极大程度上提升了镀膜加工效率。

再者，对于本申请中提出的卧式真空镀膜器结构，在具体使用时，技术人员可选用现有技术中合适的、具有匹配能力的阀门作为前/后插板阀，这样，对于单个镀膜器而言，其前插板阀与后插板阀相互适配，技术人员设置多个镀膜器，将多个镀膜器顺序排列，则前一个镀膜器的后插板阀能与后一个镀膜器的前插板阀对应接合，多个镀膜器顺序接合后，拓展成为多段式的镀膜流水线，工件从前往后依次传送，可对应完成多道工序、多层膜的镀制，且由于前后插板阀之间的配合，单个镀膜器内部的真空环境还能保持相对独立，工件可在不同工序中传送、一次性完成所有工序后直接成型，而不再需要反复破坏单个工序的真空环境，加工非常方便。

对于单个镀膜器而言，其内部应用的柱弧组件将有助于工件在管体内部停留时获得高效、连续的镀膜效果，且值得一提的是，在本申请提供的技术方案中，对于每一个引弧杆均对应设置了引弧电机，该引弧电机输出驱动力，带动与其连接的引弧杆转动调整角度，可保证在镀膜器的每一次镀膜过程中，引弧杆能准确地在预期时刻点处接触到柱弧成功引弧，避免镀膜器长时间工作后因放电作用、靶材耗损、外力作用等因素影响，引弧杆无法按照预期正常接触柱弧而导致引弧失败，进一步保证了镀膜器正常工作、长时间稳定工作，保证单个镀膜器的单次镀膜效果。

本实用新型的优势在于：相比于现有技术，在本实用新型提供镀膜器以卧式真空管为结构基础，利用进口阀与出口阀构造可开闭的通道，方便工件进出或停留，并进一步地利用柱弧组件与其他部件配合，在工件在卧式真空管内停留的过程中为工件提供高效、稳妥的镀膜加工，取得方便快捷、稳定可靠的镀膜效果。

附图说明

图1是具体实施方式中提供的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器应用到具体的镀膜加工过程中时，携带了待加工工件的行车架停留在镀膜器内部时的整体结示意图。图中，A为行车架，B为待加工工件。

图2是具体实施方式中提供的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器的第一视角整体结构示意图。

图3是具体实施方式中提供的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器的第二视角整体结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

请参阅图1-3。

在本具体实施方式中提供一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，该镀膜器包括有卧式真空管1、柱弧组件2、进口阀3以及出口阀4；

进口阀3设置在卧式真空管1的一端，与卧式真空管1连接；出口阀4设置在卧式真空管1的另一端，与卧式真空管1连接；进口阀3、卧式真空管1以及出口阀4围合形成容工件进出或停留加工的空间；

柱弧组件2设置在卧式真空管1中，且柱弧组件2的一端与进口阀3连接，柱弧组件2的另一端与出口阀4连接。

进一步的，在本具体实施方式中，卧式真空管1包括有管体11以及抽气口12，抽气口12开设在管体11上。

进一步的，在本具体实施方式中，进口阀3包括有前插板阀31与前法兰32；前法兰32设置在前插板阀31与管体11之间，前插板阀31通过前法兰32与管体11连接。

进一步的，在本具体实施方式中，出口阀4包括有后插板阀41与后法兰42；后法兰42设置在后插板阀41与管体11之间，后插板阀41通过后法兰42与管体11连接。

进一步的，在本具体实施方式中，柱弧组件2包括有柱弧21；柱弧21平行于管体11的轴线方向设置在管体11中，柱弧21的一端与前法兰32连接，柱弧的另一端与后法兰42连接。

进一步的，在本具体实施方式中，柱弧组件2还包括有引弧杆22，引弧杆22与柱弧21一一对应，且引弧杆22设置在柱弧21的其中一端，与前法兰31或后法兰41连接。

进一步的，在本具体实施方式中，柱弧组件2还包括有引弧电机23，引弧电机23与是引弧杆22一一对应设置，引弧电机23设置在前法兰32或后法兰42处，其机身嵌套在前法兰32或后法兰42中，与前法兰32或后法兰42连接，其电机输出轴向管体11内部伸出，引弧杆22与引弧电机23的电机输出轴连接。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，该镀膜器包括有卧式真空管、柱弧组件、进口阀以及出口阀；

所述进口阀设置在所述卧式真空管的一端，与所述卧式真空管连接；所述出口阀设置在所述卧式真空管的另一端，与所述卧式真空管连接；所述进口阀、所述卧式真空管以及所述出口阀围合形成容工件进出或停留加工的空间；

所述柱弧组件设置在所述卧式真空管中，且所述柱弧组件的一端与所述进口阀连接，所述柱弧组件的另一端与所述出口阀连接。

2.如权利要求1所述的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，所述卧式真空管包括有管体以及抽气口，所述抽气口开设在所述管体上。

3.如权利要求2所述的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，所述进口阀包括有前插板阀与前法兰；所述前法兰设置在所述前插板阀与所述管体之间，所述前插板阀通过所述前法兰与所述管体连接。

4.如权利要求3所述的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，所述出口阀包括有后插板阀与后法兰；所述后法兰设置在所述后插板阀与所述管体之间，所述后插板阀通过所述后法兰与所述管体连接。

5.如权利要求4所述的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，所述柱弧组件包括有柱弧；所述柱弧沿平行于所述管体的轴线方向设置在所述管体中，所述柱弧的一端与所述前法兰连接，所述柱弧的另一端与所述后法兰连接。

6.如权利要求5所述的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，所述柱弧组件还包括有引弧杆，所述引弧杆与所述柱弧一一对应，且所述引弧杆设置在所述柱弧的其中一端，与所述前法兰或后法兰连接。

7.如权利要求6所述的具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，所述柱弧组件还包括有引弧电机，所述引弧电机与是引弧杆一一对应设置，所述引弧电机设置在前法兰或后法兰处，其机身嵌套在前法兰或后法兰中，与前法兰或后法兰连接，其电机输出轴向所述管体内部伸出，所述引弧杆与所述引弧电机的电机输出轴连接。