CN219426680U - 一种蚀刻机摆阀的辅助装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种蚀刻机摆阀的辅助装置，包括第一支撑主体和设于所述第一支撑主体一侧，且与所述第一支撑主体相垂直的第二支撑主体，所述第一支撑主体面向所述第二支撑主体的一侧可拆卸连接有支撑杆，所述第二支撑主体套设在所述支撑杆内且相对于所述支撑杆伸缩，所述第二支撑主体背离所述支撑杆的一端固定连接有用于压迫气缸开关的固定头，所述第一支撑主体的外表面套设有橡胶防护套，所述橡胶防护套上一体连接有防滑件。本申请提高了人工拆装蚀刻机摆阀的效率和安全性。

Description

一种蚀刻机摆阀的辅助装置

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种蚀刻机摆阀的辅助装置。

背景技术

在半导体制造工艺中，用于半导体蚀刻的金属机台保养时需要拆装TGV摆阀，由于摆阀本身质量比较重(1kg)，而且在拆装时施工空间较为狭窄，安装时需要一只手抓摆阀，一只手按气缸开关，这就使得操作者很难发力，且摆阀安装对准精度要求又高，往往需要尝试几次才能将其安装好，很浪费体力和时间。

现有技术中的摆阀安装，需要施工人员半蹲在金属机台的施工空间，一只手用力按住气缸开关，一只手握持摆阀寻找安装腔内安装孔位置，当人工用力往上提的时候需要持续较大力气，并凭经验寻找安装孔位，两只手交叉使用，非常吃力，从而有可能会导致人员的多次安装失败，甚至导致摆阀与安装腔侧壁剐蹭而产生杂质碎屑，导致机台检测不通过，甚至影响机台复机超时等，由此，有必要设计一种便于蚀刻机摆阀拆装的辅助装置，以提高人工拆装摆阀的效率。

实用新型内容

本申请提供一种蚀刻机摆阀的辅助装置，以提高人工拆装蚀刻机摆阀的效率和安全性。

为实现以上实用新型目的，采用的技术方案为：

一种蚀刻机摆阀的辅助装置，包括第一支撑主体，以及设于所述第一支撑主体的一侧且与所述第一支撑主体相垂直的第二支撑主体，所述第一支撑主体面向所述第二支撑主体的一侧可拆卸连接有支撑杆，所述第二支撑主体套设在所述支撑杆内且相对于所述支撑杆伸缩，所述第二支撑主体背离所述支撑杆的一端固定连接有用于压迫气缸开关的固定头，所述第一支撑主体的外表面套设有橡胶防护套，所述橡胶防护套上一体连接有防滑件。

本申请进一步设置为：所述第二支撑主体的外表面设有螺纹部，所述螺纹部与所述支撑杆的内壁相匹配，用于所述第二支撑主体相对于所述支撑杆螺旋伸缩。

本申请进一步设置为：所述固定头与所述第二支撑主体粘接固定或螺纹连接固定。

本申请进一步设置为：在所述第二支撑主体上且位于所述固定头与所述螺纹部之间，一体连接有摩擦纹。

本申请进一步设置为：在所述第二支撑主体上且位于所述固定头与所述螺纹部之间，开设有辅助槽，所述辅助槽内套设有摩擦垫。

本申请进一步设置为：所述防滑件包括若干个呈圆周排列的第一防滑块，所述第一防滑块与所述橡胶防护套一体连接。

本申请进一步设置为：所述防滑件包括若干个呈矩阵排列的第二防滑块，所述第二防滑块与所述橡胶防护套一体连接。

本申请进一步设置为：所述支撑杆与所述第一支撑主体螺纹连接固定，在所述第一支撑主体上且位于所述支撑杆的两侧对称设有引导块，所述引导块与所述支撑杆的外壁轮廓相匹配。

本申请进一步设置为：所述固定头由PVC材料制成，所述第一支撑主体和所述第二支撑主体由不锈钢材料制成。

本申请进一步设置为：所述第一支撑主体的外径为50mm，所述支撑杆的长度为55mm，所述支撑杆的外径为9mm，所述第二支撑主体的长度为55mm，所述第二支撑主体的外径为8mm。

综上所述，与现有技术相比，本申请公开了一种蚀刻机摆阀的辅助装置，包括第一支撑主体和第二支撑主体，第一支撑主体通过支撑杆与第二支撑主体伸缩连接，且第二支撑主体固定连接有用于压迫气缸开关的固定头，即第一支撑主体通过橡胶防护套与外界支撑固定，通过调整伸缩的第二支撑主体使得固定头压迫气缸开关，替代人手从而解放人手，以便于人工专注摆阀的安装并可双手同时操作，提高了人工拆装蚀刻机摆阀的效率和安全性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实施例的蚀刻机摆阀的辅助装置的第一种结构示意图；

图2是本实施例的蚀刻机摆阀的辅助装置的第二种结构示意图；

图3是本实施例的蚀刻机摆阀的辅助装置的第三种结构示意图；

图4是本实施例的蚀刻机摆阀的防滑件的第一种结构示意图；

图5是本实施例的蚀刻机摆阀的防滑件的第二种结构示意图。

1、第一支撑主体；11、橡胶防护套；12、引导块；2、第二支撑主体；21、螺纹部；22、摩擦纹；23、摩擦垫；3、支撑杆；4、固定头；5、防滑件；51、第一防滑块；52、第二防滑块。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素，此外，本申请不同实施例中具有同样命名的部件、特征、要素可能具有相同含义，也可能具有不同含义，其具体含义需以其在该具体实施例中的解释或者进一步结合该具体实施例中上下文进行确定。

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在后续的描述中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或者“单元”的后缀仅为了有利于本申请的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或者“单元”可以混合地使用。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

以下将通过具体实施例对本申请所示的技术方案进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优先顺序的限定。

一种蚀刻机摆阀的辅助装置，请参考图1、图3和图4，该辅助装置包括第一支撑主体1，以及设于第一支撑主体1一侧且与第一支撑主体1相垂直的第二支撑主体2，第一支撑主体1面向第二支撑主体2的一侧可拆卸连接有支撑杆3，第二支撑主体2套设在支撑杆3内且相对于支撑杆3伸缩，第二支撑主体2背离支撑杆3的一端固定连接有用于压迫气缸开关的固定头4，第一支撑主体1的外表面套设有橡胶防护套11，橡胶防护套11上一体连接有防滑件5。

在具体实施过程中，辅助装置应用于半导体蚀刻机台，通过结构性设计辅助蚀刻机台的摆阀拆装，具体的，结合摆阀拆装流程需同步气缸开关，故设计第一支撑主体1用于基础支撑，并通过其包覆的橡胶防护套11提高第一支撑主体1与蚀刻机平台或地面或产线平台的稳定关系，通过防滑件5整体上提高辅助装置的防滑效果，可以理解的是，第一支撑主体1与气缸开关相对应，进而第一支撑主体1通过支撑杆3与第二支撑主体2伸缩连接，且第二支撑主体2固定连接有用于压迫气缸开关的固定头4，即第一支撑主体1与外界支撑固定，通过调整相对于第一支撑主体1伸缩的第二支撑主体2使得固定头4压迫气缸开关，替代人手按压，从而解放人手，以便于人工专注摆阀的安装并可双手同时操作，提高了人工拆装蚀刻机摆阀的效率和安全性。

在本实施例中，第二支撑主体2的外表面设有螺纹部21，螺纹部21与支撑杆3的内壁相匹配，用于第二支撑主体2相对于支撑杆3螺旋伸缩，即通过螺纹部21设计，保证了第二支撑主体2相对于第一支撑主体1的稳固伸缩，以此提高结构稳定性。

进一步的，固定头4与第二支撑主体2粘接固定或螺纹连接固定，需要说明的是，固定头4由PVC材料制成，PVC材料即聚氯乙烯(Polyvinyl chloride)，通过其耐磨耐腐蚀以及可塑性强和绝缘性好的材料特征，提高辅助装置的使用寿命和安全绝缘性。

其中，在第二支撑主体2上且位于固定头4与螺纹部21之间，一体连接有摩擦纹22，便于人工旋转驱动第二支撑主体2伸缩，防止打滑和松脱。

在一些实施例中，参考图2，在第二支撑主体2上且位于固定头4与螺纹部21之间，开设有辅助槽(未示出)，辅助槽内套设有摩擦垫23，便于人工旋转驱动第二支撑主体2伸缩，防止打滑和松脱。

在本实施例中，参考图4，辅助装置的防滑件5包括若干个呈圆周排列的第一防滑块51，第一防滑块51与橡胶防护套11一体连接，即通过圆周排列的第一防滑块51提高第一支撑主体1与外界的稳固连接关系，便于辅助装置整体稳定。

在一些实施例中，参考图5，辅助装置的防滑件5包括若干个呈矩阵排列的第二防滑块52，第二防滑块52与橡胶防护套11一体连接，相同道理的，即通过矩阵排列的第二防滑块52提高第一支撑主体1与外界的稳固连接关系，便于辅助装置整体稳定。

在具体实施过程中，支撑杆3与第一支撑主体1螺纹连接固定或螺栓连接固定或卡接固定，在第一支撑主体1上且位于支撑杆3的两侧对称设有引导块12，引导块12与支撑杆3的外壁轮廓相匹配，同于稳定支撑杆3与第一支撑主体1的可拆卸连接，提高辅助装置装配效率。

需要说明的是，第一支撑主体1和第二支撑主体2由不锈钢材料制成，以提高结构强度。

在一些实施例中，第一支撑主体1的外径为50mm，支撑杆3的长度为55mm，支撑杆3的外径为9mm，第二支撑主体2的长度为55mm，第二支撑主体2的外径为8mm，即通过尺寸设定，便于辅助装置安装与拆卸，满足各特征的限制与连接，提高实用性。

综上所述，本申请公开了一种蚀刻机摆阀的辅助装置，第一支撑主体1通过支撑杆3与第二支撑主体2伸缩连接，且第二支撑主体2固定连接有用于压迫气缸开关的固定头4，即第一支撑主体1与外界支撑固定，并通过橡胶防护套11进一步提高稳定效果，从而通过调整相对于第一支撑主体1伸缩的第二支撑主体2使得固定头4压迫气缸开关，替代人手从而解放人手，以便于人工专注摆阀的安装并可双手同时操作，提高了人工拆装蚀刻机摆阀的效率和安全性。

以上对本申请进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于：包括第一支撑主体，以及设于所述第一支撑主体的一侧且与所述第一支撑主体相垂直的第二支撑主体，所述第一支撑主体面向所述第二支撑主体的一侧可拆卸连接有支撑杆，所述第二支撑主体套设在所述支撑杆内且相对于所述支撑杆伸缩，所述第二支撑主体背离所述支撑杆的一端固定连接有用于压迫气缸开关的固定头，所述第一支撑主体的外表面套设有橡胶防护套，所述橡胶防护套上一体连接有防滑件。

2.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，所述第二支撑主体的外表面设有螺纹部，所述螺纹部与所述支撑杆的内壁相匹配，用于所述第二支撑主体相对于所述支撑杆螺旋伸缩。

3.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，所述固定头与所述第二支撑主体粘接固定或螺纹连接固定。

4.如权利要求2所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，在所述第二支撑主体上且位于所述固定头与所述螺纹部之间，一体连接有摩擦纹。

5.如权利要求2所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，在所述第二支撑主体上且位于所述固定头与所述螺纹部之间，开设有辅助槽，所述辅助槽内套设有摩擦垫。

6.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，所述防滑件包括若干个呈圆周排列的第一防滑块，所述第一防滑块与所述橡胶防护套一体连接。

7.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，所述防滑件包括若干个呈矩阵排列的第二防滑块，所述第二防滑块与所述橡胶防护套一体连接。

8.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，所述支撑杆与所述第一支撑主体螺纹连接固定，在所述第一支撑主体上且位于所述支撑杆的两侧对称设有引导块，所述引导块与所述支撑杆的外壁轮廓相匹配。

9.如权利要求1-8任一项所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，所述固定头由PVC材料制成，所述第一支撑主体和所述第二支撑主体由不锈钢材料制成。

10.如权利要求1-8任一项所述的蚀刻机摆阀的辅助装置，其特征在于，所述第一支撑主体的外径为50mm，所述支撑杆的长度为55mm，所述支撑杆的外径为9mm，所述第二支撑主体的长度为55mm，所述第二支撑主体的外径为8mm。