CN219404113U - 拆装治具 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体制备技术领域，本申请实施例提供了一种拆装治具。上述拆装治具中，拆装治具至少包括插入件和承接件，承接件设于插入件沿纵长方向的一端，插入件能够沿纵长方向伸入加热件与基座之间的间隙内，在插入件的带动下，承接件可以移动至拆装位置。在拆卸紧固件时，位于拆装位置的承接件可以承接拆卸的紧固件。在安装紧固件时，承接件可以移载待安装的紧固件至拆装位置，再借助辅助工具移动紧固件进入安装位置。由此，降低了紧固件掉落腔底的风险，便于拆装紧固件。

Description

拆装治具

技术领域

本申请涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种安装治具。

背景技术

相关技术中，PVD(Physical Vapour Deposition，物理气相沉积)机台的腔室内设有加热件以对晶圆进行加热。加热件上安装有紧固件，紧固件可以用来将目标件安装于加热件上。紧固件通常是陶瓷件，为消耗品，需要进行定期更换。由于加热件与基座之间的空间狭小，难以将紧固件拆装于加热件上。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种拆装治具，以便于拆装紧固件。

本申请实施例提供了一种一种拆装治具，用于拆装加热件上的紧固件，所述加热件设于腔室内的基座上，所述加热件与所述基座之间形成有间隙，所述加热件上设有用于与所述紧固件相配合的安装孔，所述安装孔与所述间隙相连通；

所述拆装治具包括：

插入件，沿纵长方向延伸设置；及

承接件，设于所述插入件沿所述纵长方向的一端，用于移载或承接所述紧固件；

其中，所述插入件配置为能够沿所述纵长方向伸入所述间隙内，并带动所述承接件移动至拆装位置；

所述承接件处于所述拆装位置，所述安装孔在参考面上的正投影位于所述承接件在所述参考面上的正投影内，所述参考面垂直于所述安装孔的轴线方向。

在其中一个实施例中，所述承接件包括：

承载部，连接于所述插入件沿所述纵长方向的一端；及

两个限位部，两个所述限位部沿第一方向相对设置且位于所述承载部的第一侧；所述承载部的所述第一侧为所述承载部朝向所述插入件沿所述纵长方向的另一端的一侧，所述第一方向与所述纵长方向相交；

其中，所述承载部和两个所述限位部限定形成用于对所述紧固件限位的限位空间。

在其中一个实施例中，两个所述限位部连接于所述承载部的所述第一侧；和/或

两个所述限位部连接于所述插入件沿所述纵长方向的一端。

在其中一个实施例中，所述承载部具有用于承载所述紧固件的承载面；

所述承载面构造为平面。

在其中一个实施例中，所述承载面与所述纵长方向彼此垂直；和/或

所述承载面与所述第一方向彼此平行。

在其中一个实施例中，所述限位部具有用于限位所述紧固件的限位面；

所述限位面构造为平面。

在其中一个实施例中，所述限位面与所述第一方向彼此垂直；和/或

所述限位面与所述纵长方向彼此平行。

在其中一个实施例中，所述插入件具有设于所述纵长方向一侧的第一表面，所述承接件位于所述第一表面；

所述第一表面上设有凹部，所述凹部具有沿所述纵长方向相对设置的起始端和终止端，所述起始端连接所述承接件，所述终止端贯穿所述插入件沿所述纵长方向的另一端。

在其中一个实施例中，所述拆装治具还包括设于所述插入件沿所述纵长方向的另一端的握持件。

在其中一个实施例中，所述握持件与所述承接件分别位于所述插入件沿所述纵长方向的两侧。

上述拆装治具中，拆装治具至少包括插入件和承接件，承接件设于插入件沿纵长方向的一端，插入件能够沿纵长方向伸入加热件与基座之间的间隙内，在插入件的带动下，承接件可以移动至拆装位置。在拆卸紧固件时，位于拆装位置的承接件可以承接拆卸的紧固件。在安装紧固件时，承接件可以移载待安装的紧固件至拆装位置，再借助辅助工具移动紧固件进入安装位置。由此，降低了紧固件掉落腔底的风险，便于拆装紧固件。

本申请实施例的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请实施例的实践了解到。

附图说明

通过阅读对下文实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在全部附图中，用相同的附图标号表示相同的部件。

在附图中：

图1为本申请一实施例中加热件的结构示意图；

图2为本申请一实施例中加热件与基座配合的结构示意图；

图3为本申请一实施例中加热件上紧固件和卡接件的装配结构示意图；

图4为本申请一实施例中拆装治具的结构示意图；

图5为图4示意出的拆装治具的剖视结构示意图。

具体实施方式中的附图标号如下：

加热件10，安装部11，安装槽11a，卡接件x，安装件z，紧固件j，安装工具t，开口k；

基座20；

拆装治具100，插入件110，第一表面s1，凹部111，起始端111a，终止端111b，承接件112，承载部112a，承载面m1，第一侧c1，限位部112b，限位面m2，握持件113；

间隙g；

纵长方向F1，第一方向F2。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请实施例的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请实施例。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。本申请实施例能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此，本申请实施例不受下面公开的具体实施例的限制。

可以理解，本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种专业名词，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。但除非特别说明，这些专业名词不受这些术语限制。这些术语仅用于将一个专业名词与另一个专业名词区分。在本申请实施例的描述中，“多个”、“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征水平高度。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征水平高度。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本申请所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本申请中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。

为便于说明，在介绍本申请实施例提供的拆装治具之前，先对本申请实施例涉及的加热件、基座进行相关说明。

图1示出了本申请一实施例中加热件10的结构示意图；图2示出了本申请一实施例中加热件10与基座20配合的结构示意图；图3示出了本申请一实施例中加热件10上紧固件j和目标件的装配结构示意图；为便于说明，仅示出与本申请实施例相关的内容。图3中示出了加热件10的安装部11内的部分结构。

请参照图1，加热件10的外周间隔设有安装部11，安装部11内设有安装槽11a，安装槽11a内安装有卡接件x。卡接件x用于对安装于安装槽11a的保持器组件进行卡接限位。保持器组件为与摩尔环相连接的构件。摩尔环为用于装置晶圆的构件。由于保持器组件和摩尔环为现有技术，且不是本申请所要保护的重点，在此不再过多赘述。请参照图2，加热件10与腔室内的基座20之间形成有间隙g。请参照图3，并结合参照图1，安装部11上设有开口k，安装部11内的安装孔(未示出)借助开口k连通间隙g。卡接件x借助安装件z和紧固件j固定于安装槽11a内。安装工具t可以将安装件z和紧固件j连接，以将卡接件x限位于安装槽11a内。

下面以上述示意出的加热件10为例，对本申请实施例提供的拆装治具100进行说明。

图4示出了本申请一实施例中拆装治具100的结构示意图；图5示出了图4示意出的拆装治具100的剖视结构示意图；为便于说明，仅示出与本申请实施例相关的内容。

在一些实施例中，请参照图4和图5，本申请实施例提供了一种拆装治具100，该拆装治具100用于拆装加热件10上的紧固件j。该拆装治具100包括插入件110和承接件112。

插入件110为纵长件，沿纵长方向F1延伸设置。插入件110配置为能够沿纵长方向F1伸入间隙g内。也即，插入件110的厚度是小于间隙g的大小的，且与间隙g之间存在空隙。

承接件112设于插入件110沿纵长方向F1的一端，用于移载或承接紧固件j。承接件112能够在插入件110的带动下移动至拆装位置。也即，在插入件110伸入间隙g时，承接件112先于插入件110伸入间隙g，且承接件112的尺寸是小于间隙g的大小的，且与间隙g之间存在空隙。承接件112处于拆装位置，安装孔在参考面上的正投影位于承接件112在参考面上的正投影内，参考面垂直于安装孔的轴线方向。也即，承接件112处于拆装位置时，承接件112是对应于安装孔的，如此，承接件112能够在拆装位置承接紧固件j或将紧固件j移载至拆装位置。以图1和图3示意出的加热件10为例，承接件112可以经由开口k而位于安装孔下。承接件112的具体移动路径，可以根据加热件10的具体结构形式来确定，本申请实施例对此不作具体限制。

如此，在拆卸紧固件j时，可以从加热件10上将紧固件j从安装孔内推出，位于拆装位置的承接件112可以承接拆卸的紧固件j。在安装紧固件j时，承接件112可以移载待安装的紧固件j至拆装位置，再借助辅助工具移动紧固件j进入安装位置。相较于使用专门工具将加热件10从基座20上拆出，在腔室外从加热件10上拆装紧固件j，再将加热件10装回的方式而言，提高了工作时间，降低了操作难度，改善了复机效率。同时，也能改善因多次拆装加热件10而刮蹭位于加热件10下方的密封环的情形，进而能够改善漏气的情形。除此之外，相较于使用镊子取出紧固件j的方式而言，能够避免因空间狭小而导致紧固件j掉落在腔室底部的情形。可以理解，在紧固件j掉落至腔室底部后，又需要拆装加热件10，进而导致前述出现的问题。由此，通过使用本申请实施例提供的拆装治具100，能够降低紧固件j掉落腔底的风险，且便于拆装紧固件j。

在一些实施例中，请继续参照图4和图5，承接件112包括承载部112a和两个限位部112b。承载部112a连接于插入件110沿纵长方向F1的一端。两个限位部112b沿第一方向F2相对设置且位于承载部112a的第一侧c1。承载部112a的第一侧c1为承载部112a朝向插入件110沿纵长方向F1的另一端的一侧，第一方向F2与纵长方向F1相交。其中，承载部112a和两个限位部112b限定形成用于对紧固件j限位的限位空间。

需要说明的是，在插入件110插入间隙g时，纵长方向F1可以与安装孔的轴线方向彼此平行，也可以相对于安装孔的轴线方向略微倾斜。可选地，在纵长方向F1与安装孔的轴线方向彼此平行时，可以进一步更为有效的利用间隙g所形成的空间。第一方向F2可以与纵长方向F1彼此垂直，也可以与纵长方向F1形成小于90°的夹角。图4和图5示意出第一方向F2与纵长方向F1彼此垂直的情形。当然，可以理解的是，在第一方向F2与纵长方向F1形成小于90°的夹角时，承载部112a是朝向插入件110沿纵长方向F1的另一端倾斜的，只要能够满足形成限位空间，且承载件能够移载或承接紧固件j即可，本申请实施例对此不作具体限制。

如此，通过构造承接件112的结构形式，形成能够对紧固件j进行限位的限位空间，便于承载件能够移载或承接紧固件j。

在一些实施例中，请继续参照图4和图5，两个限位部112b连接于承载部112a的第一侧c1。在另一些实施例中，请继续参照图4和图5，两个限位部112b连接于插入件110沿纵长方向F1的一端。以图4和图5为例，示意出两个限位部112b连接于承载部112a的第一侧c1且连接于插入件110沿纵长方向F1的一端的情形。如此，可以通过灵活选择限位部112b的连接方式，来获得所需要的限位空间。

在一些实施例中，请继续参照图4，承载部112a具有用于承载紧固件j的承载面m1，承载面m1构造为平面。可选地，承载面m1与纵长方向F1彼此垂直；和/或，承载面m1与第一方向F2彼此平行。以图4为例，示意出承载面m1与纵长方向F1彼此垂直且与第一方向F2彼此平行，纵长方向F1与第一方向F2彼此垂直的情形。如此，通过将承载面m1构造为平面，能够更进一步提高移载或承接紧固件j的稳定性。

在一些实施例中，请继续参照图4和图5，限位部112b具有用于限位紧固件j的限位，限位面m2构造为平面。可选地，限位面m2与第一方向F2彼此垂直；和/或，限位面m2与纵长方向F1彼此平行。以图4和图5为例，示意出限位面m2与第一方向F2彼此垂直且与纵长方向F1彼此平行，纵长方向F1与第一方向F2彼此垂直的情形。如此，通过将限位面m2构造为平面，能够更进一步提高移载或承接紧固件j的稳定性。

在一些实施例中，请继续参照图4和图5，承载部112a和限位部112b均可以构造为板状结构，且承载部112a和限位部112b可以为一体式结构。可以根据实际使用情况进行设置，本申请实施例对此不作具体限制。

在一些实施例中，请继续参照图4和图5，插入件110具有设于纵长方向F1一侧的第一表面s1，承接件112位于插入件110的第一表面s1。插入件110的第一表面s1上设有凹部111，凹部111具有沿纵长方向F1相对设置的起始端111a和终止端111b，凹部111的起始端111a连接承接件112，凹部111的终止端111b贯穿插入件110沿纵长方向F1的另一端。可选地，凹部111的延伸方向为纵长方向F1。如此，通过设置凹部111，在安装紧固件j时，便于辅助工具通过凹部111伸入来调整承载件上的紧固件j至紧固件j的安装位置，同时，能够进一步提高空间的利用率。

在一些实施例中，请继续参照图4和图5，拆装治具100还包括设于插入件110沿纵长方向F1的另一端的握持件113。可选地，握持件113与插入件110可以为一体式结构。如此，操作人员可以握持于握持件113上，便于操作人员操作拆装治具100。

在一些实施例中，请继续参照图4和图5，握持件113与承接件112分别位于插入件110沿纵长方向F1的两侧。也即，握持件113与承接件112位于插入件110的不同侧。当然，握持件113与承接件112也可以均位于插入件110沿纵长方向F1的同一侧。可以根据实际使用情况进行选择，本申请实施例对此不作具体限制。

综上所述，本申请实施例提供的拆装治具100中，通过设置插入件110和承接件112，插入件110能够沿纵长方向F1伸入加热件10与基座20之间的间隙g内，在插入件110的带动下，承接件112可以移动至拆装位置。在拆卸紧固件j时，位于拆装位置的承接件112可以承接拆卸的紧固件j。在安装紧固件j时，承接件112可以移载待安装的紧固件j至拆装位置，再借助辅助工具移动紧固件j进入安装位置。由此，降低了紧固件j掉落腔底的风险，便于拆装紧固件j。同时，通过构造承接件112的具体结构形式，可以进一步提高拆装过程中的稳定性。通过设置凹部111，便于辅助安装紧固件j。通过设置握持件113，便于操作人员进行操作。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种拆装治具，用于拆装加热件上的紧固件，其特征在于，所述加热件设于腔室内的基座上，所述加热件与所述基座之间形成有间隙，所述加热件上设有用于与所述紧固件相配合的安装孔，所述安装孔与所述间隙相连通；

所述拆装治具包括：

插入件，沿纵长方向延伸设置；及

承接件，设于所述插入件沿所述纵长方向的一端，用于移载或承接所述紧固件；

其中，所述插入件配置为能够沿所述纵长方向伸入所述间隙内，并带动所述承接件移动至拆装位置；

所述承接件处于所述拆装位置，所述安装孔在参考面上的正投影位于所述承接件在所述参考面上的正投影内，所述参考面垂直于所述安装孔的轴线方向。

2.根据权利要求1所述的拆装治具，其特征在于，所述承接件包括：

承载部，连接于所述插入件沿所述纵长方向的一端；及

两个限位部，两个所述限位部沿第一方向相对设置且位于所述承载部的第一侧；所述承载部的所述第一侧为所述承载部朝向所述插入件沿所述纵长方向的另一端的一侧，所述第一方向与所述纵长方向相交；

其中，所述承载部和两个所述限位部限定形成用于对所述紧固件限位的限位空间。

3.根据权利要求2所述的拆装治具，其特征在于，两个所述限位部连接于所述承载部的所述第一侧；和/或

两个所述限位部连接于所述插入件沿所述纵长方向的一端。

4.根据权利要求2所述的拆装治具，其特征在于，所述承载部具有用于承载所述紧固件的承载面；

所述承载面构造为平面。

5.根据权利要求4所述的拆装治具，其特征在于，所述承载面与所述纵长方向彼此垂直；和/或

所述承载面与所述第一方向彼此平行。

6.根据权利要求2所述的拆装治具，其特征在于，所述限位部具有用于限位所述紧固件的限位面；

所述限位面构造为平面。

7.根据权利要求6所述的拆装治具，其特征在于，所述限位面与所述第一方向彼此垂直；和/或

所述限位面与所述纵长方向彼此平行。

8.根据权利要求1-7任一项所述的拆装治具，其特征在于，所述插入件具有设于所述纵长方向一侧的第一表面，所述承接件位于所述第一表面；

所述第一表面上设有凹部，所述凹部具有沿所述纵长方向相对设置的起始端和终止端，所述起始端连接所述承接件，所述终止端贯穿所述插入件沿所述纵长方向的另一端。

9.根据权利要求1-7任一项所述的拆装治具，其特征在于，所述拆装治具还包括设于所述插入件沿所述纵长方向的另一端的握持件。

10.根据权利要求9所述的拆装治具，其特征在于，所述握持件与所述承接件分别位于所述插入件沿所述纵长方向的两侧。