CN219390837U - 双光栅测量位移量动光栅结构 - Google Patents
双光栅测量位移量动光栅结构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型属于光学领域,尤其涉及一种双光栅测量位移量动光栅结构,包括导轨架、滑动连接在导轨架上的刻度框、旋转连接在刻度框上的旋转指针框和固定在旋转指针框内的动光栅组件,所述动光栅组件垂直于光轴方向旋转可调,调节角度0‑360°,动光栅组件垂直于光路方向平移可调。本实用新型的动光栅组件垂直于光轴方向旋转可调,调节角度0‑360°,垂直于光路方向平移可调,使得其可以很好的用于双光栅测量装置,利用双光栅形成莫尔条纹实现光放大从而达到测量微小位移量的目的。
Description
技术领域
本实用新型属于光学领域,尤其涉及一种双光栅测量位移量动光栅结构。
背景技术
目前,常规的单光栅测量装置在测量微小位移量时,容易出现读数精度问题,一般比较难测量微小位移量(精度在0.001mm甚至更小)。
实用新型内容
本实用新型为了解决上述现有技术中存在的缺陷和不足,提供了一种动光栅组件垂直于光轴方向旋转可调,调节角度0-360°,垂直于光路方向平移可调,使得其可以很好的用于双光栅测量装置,利用双光栅形成莫尔条纹实现光放大从而达到测量微小位移量的目的的双光栅测量位移量动光栅结构。
本实用新型的技术方案:一种双光栅测量位移量动光栅结构,包括导轨架、滑动连接在导轨架上的刻度框、旋转连接在刻度框上的旋转指针框和固定在旋转指针框内的动光栅组件,所述动光栅组件垂直于光轴方向旋转可调,调节角度0-360°,动光栅组件垂直于光路方向平移可调。
本实用新型的动光栅组件垂直于光轴方向旋转可调,调节角度0-360°,垂直于光路方向平移可调,使得其可以很好的用于双光栅测量装置,利用双光栅形成莫尔条纹实现光放大从而达到测量微小位移量的目的。
优选地,所述动光栅组件包括光栅片、玻璃片、偏振光框、光栅固定框和光栅连接套,所述光栅片固定在光栅固定框上,所述光栅固定框固定在光栅连接套的内侧,所述光栅连接套固定在偏振光框的背面,所述偏振光框固定在旋转指针框的内侧,所述玻璃片固定在偏振光框的内部。
该种结构确保光栅片的安装牢固可靠,同时确保动光栅组件垂直于光轴方向旋转更加平稳可靠。
优选地,所述导轨架包括导轨基板、固定在导轨基板一端的导轨侧板、固定在导轨基板两侧的导轨燕尾板以及固定在导轨基板中部的导轨支撑杆,所述导轨侧板和导轨燕尾板均位于导轨基板的上侧,所述导轨支撑杆位于导轨基板的下侧,所述导轨侧板的高度高于导轨燕尾板的高度。
该种结构确保导轨架的结构稳固可靠,从而确保刻度框带着动光栅组件在导轨架上滑动平稳可靠。
优选地,所述刻度框通过滑动组件滑动连接在导轨架上,所述滑动组件包括配合两块导轨燕尾板的燕尾滑块、驱动燕尾滑块滑动的丝杆传动组件和配合丝杆传动组件的旋钮测微头。
该种结构方便刻度框在导轨架上的滑动。
优选地,所述丝杆传动组件包括丝杆和丝杆螺母,所述丝杆一端固定在燕尾滑块上,丝杆的另一端连接旋钮测微头,所述丝杆螺母固定在导轨侧板上。
该种结构确保刻度框在导轨架上的滑动更加平稳可靠。
优选地,所述刻度框固定在燕尾滑块的顶部,所述燕尾滑块上窄下宽,两块导轨燕尾板均是上宽下窄。
该种结构确保燕尾滑块在导轨架上的滑动更加平稳可靠。
本实用新型的动光栅组件垂直于光轴方向旋转可调,调节角度0-360°,垂直于光路方向平移可调,使得其可以很好的用于双光栅测量装置,利用双光栅形成莫尔条纹实现光放大从而达到测量微小位移量的目的。
附图说明
图1为本实用新型其中一个角度的结构示意图;
图2为本实用新型的分解示意图;
图3为本实用新型另外一个角度的结构示意图;
图中1.导轨架,2.刻度框,3.旋转指针框,4.光栅片,5.玻璃片,6.偏振光框,7.光栅固定框,8.光栅连接套,9.导轨基板,10.导轨侧板,11.导轨燕尾板,12.导轨支撑杆,13.燕尾滑块,14.旋钮测微头,15.丝杆,16.丝杆螺母。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明,但并不是对本实用新型保护范围的限制。
如图1和2所示,一种双光栅测量位移量动光栅结构,包括导轨架1、滑动连接在导轨架1上的刻度框2、旋转连接在刻度框2上的旋转指针框3和固定在旋转指针框3内的动光栅组件,动光栅组件垂直于光轴方向旋转可调,调节角度0-360°,动光栅组件垂直于光路方向平移可调。
动光栅组件包括光栅片4、玻璃片5、偏振光框6、光栅固定框7和光栅连接套8,光栅片4固定在光栅固定框7上,光栅固定框7固定在光栅连接套8的内侧,光栅连接套8固定在偏振光框6的背面,偏振光框6固定在旋转指针框3的内侧,玻璃片5固定在偏振光框6的内部。
导轨架1包括导轨基板9、固定在导轨基板9一端的导轨侧板10、固定在导轨基板9两侧的导轨燕尾板11以及固定在导轨基板9中部的导轨支撑杆12,导轨侧板10和导轨燕尾板11均位于导轨基板9的上侧,导轨支撑杆12位于导轨基板9的下侧,导轨侧板10的高度高于导轨燕尾板11的高度。
刻度框2通过滑动组件滑动连接在导轨架1上,滑动组件包括配合两块导轨燕尾板的燕尾滑块13、驱动燕尾滑块13滑动的丝杆传动组件和配合丝杆传动组件的旋钮测微头14。
丝杆传动组件包括丝杆15和丝杆螺母16,丝杆15一端固定在燕尾滑块13上,丝杆15的另一端连接旋钮测微头14,丝杆螺母16固定在导轨侧板10上。
刻度框2固定在燕尾滑块13的顶部,燕尾滑块13上窄下宽,两块导轨燕尾板均是上宽下窄。
本实用新型中各主要部件功能如下:
动光栅组件:光栅片和用于安装光栅片的安装结构;
旋转指针框:用于指示旋转角度;
刻度框:用于读取旋转度数;
旋钮测微头:用于读取光栅平移量;
导轨架:用于动光栅组件垂直光轴移动;
导轨支撑杆:用于支撑导轨基板以及用于将导轨基板连接到支撑筒上。
本实用新型的装配要求如下:
(1)光栅片采用胶合方式安装至光栅固定框,胶合要求:胶面平整,不得有气泡;
(2)光栅固定框通过光栅连接套连接在偏振光框上,玻璃片固定在偏振光框上,偏振光框固定在旋转指针框中,偏振光框与旋转指针框固定时,需要将动光栅刻划方向与指针调整一致;
(3)刻度框固定于燕尾滑块上需校准中心;
(4)燕尾滑块与两侧导轨燕尾板,均采用研磨工艺,确保平行度;
(5)旋钮测微头零值刻线需调校,即燕尾滑块右侧面与导轨侧板左侧面贴合时,旋钮微测头此时处于零值刻线。
Claims (5)
1.一种双光栅测量位移量动光栅结构,其特征在于:其包括导轨架、滑动连接在导轨架上的刻度框、旋转连接在刻度框上的旋转指针框和固定在旋转指针框内的动光栅组件,所述动光栅组件垂直于光轴方向旋转可调,调节角度0-360°,动光栅组件垂直于光路方向平移可调;所述导轨架包括导轨基板、固定在导轨基板一端的导轨侧板、固定在导轨基板两侧的导轨燕尾板以及固定在导轨基板中部的导轨支撑杆,所述导轨侧板和导轨燕尾板均位于导轨基板的上侧,所述导轨支撑杆位于导轨基板的下侧,所述导轨侧板的高度高于导轨燕尾板的高度。
2.根据权利要求1所述的一种双光栅测量位移量动光栅结构,其特征在于:所述动光栅组件包括光栅片、玻璃片、偏振光框、光栅固定框和光栅连接套,所述光栅片固定在光栅固定框上,所述光栅固定框固定在光栅连接套的内侧,所述光栅连接套固定在偏振光框的背面,所述偏振光框固定在旋转指针框的内侧,所述玻璃片固定在偏振光框的内部。
3.根据权利要求1所述的一种双光栅测量位移量动光栅结构,其特征在于:所述刻度框通过滑动组件滑动连接在导轨架上,所述滑动组件包括配合两块导轨燕尾板的燕尾滑块、驱动燕尾滑块滑动的丝杆传动组件和配合丝杆传动组件的旋钮测微头。
4.根据权利要求3所述的一种双光栅测量位移量动光栅结构,其特征在于:所述丝杆传动组件包括丝杆和丝杆螺母,所述丝杆一端固定在燕尾滑块上,丝杆的另一端连接旋钮测微头,所述丝杆螺母固定在导轨侧板上。
5.根据权利要求3所述的一种双光栅测量位移量动光栅结构,其特征在于:所述刻度框固定在燕尾滑块的顶部,所述燕尾滑块上窄下宽,两块导轨燕尾板均是上宽下窄。
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