CN219340944U - 一种研磨机用晶圆搬运手臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种研磨机用晶圆搬运手臂，包括悬臂、水平调节组件以及吸盘组件，所述吸盘组件通过所述水平调节组件安装于所述悬臂的一端，所述水平调节组件包括分气块、第一调节块、第一定位销、第二调节块以及第二定位销，所述第一调节块通过第一定位销与所述分气块铰接，所述第二调节块通过第二定位销与所述第一调节块铰接，所述第一定位销的轴向与所述第二定位销的轴向垂直；所述吸盘组件包括连接块、洒水罩、陶瓷吸盘以及出水圈，所述连接块与所述分气块固定连接，所述洒水罩安装于所述连接块的下方，所述出水圈和陶瓷吸盘安装于所述洒水罩的下方，且所述出水圈围设于所述陶瓷吸盘的外边缘。本申请可实现高精度的水平调节和便捷的吸盘冲洗。

Description

一种研磨机用晶圆搬运手臂

技术领域

本实用新型涉及晶圆研磨加工技术领域，尤其涉及一种研磨机用晶圆搬运手臂。

背景技术

在半导体后道制程阶中，晶圆在划片、压焊和封装之前需要进行背面减薄加工以降低封装贴装高度，减小芯片封装体积，改善芯片的热扩散效率、电气性能、机械性能及减小划片的加工量。背面磨削加工具有高效率、低成本的优点，目前已经取代传统的湿法刻蚀和离子刻蚀工艺成为最主要的背面减薄技术。

晶圆在研磨减薄后需要机械手抓取到清洗台盘进行研磨面的清洗，然而研磨后的晶圆变得非常薄，甚至有一定的翘曲，这对机械手臂真空抓取的稳定性有很大的要求。由于真空吸盘能够使晶圆受力均匀，且真空吸附对环境的要求较低，因此在现有研磨机中，通常会采用真空吸附的方式来固定和搬运晶圆。吸盘在抓取晶圆时，负压分布要均匀，吸盘的形状尺寸要足够稳定，并且吸盘相对于晶圆抓取表面亦有较高的平行的要求，由于机械加工及装配误差的存在，吸盘水平调节机构显得尤为重要。

实用新型内容

本实用新型提供一种研磨机用晶圆搬运手臂，以解决上述技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种研磨机用晶圆搬运手臂，包括悬臂、水平调节组件以及吸盘组件，所述吸盘组件通过所述水平调节组件安装于所述悬臂的一端，

所述水平调节组件包括分气块、第一调节块、第一定位销、第二调节块以及第二定位销，所述第一调节块通过第一定位销与所述分气块铰接，所述第二调节块通过第二定位销与所述第一调节块铰接，所述第一定位销的轴向与所述第二定位销的轴向垂直；

所述吸盘组件包括连接块、洒水罩、陶瓷吸盘以及出水圈，所述连接块与所述分气块固定连接，所述洒水罩安装于所述连接块的下方，所述出水圈和陶瓷吸盘安装于所述洒水罩的下方，且所述出水圈围设于所述陶瓷吸盘的外边缘。

较佳地，所述分气块与所述第一调节块之间设有可拆卸的第一调整螺丝，所述第一调节块与所述第二调节块之间设有可拆卸的第二调整螺丝。

较佳地，所述洒水罩上设有多个气路接头，所述气路接头的一端与所述陶瓷吸盘连通，另一端经由所述分气块与气压调节设备连通。

较佳地，所述洒水罩上还设有多个水路接头，所述水路接头的一端与所述出水圈连通，另一端与供水设备连通。

较佳地，所述出水圈上均匀分布有若干出水口。

较佳地，所述连接块与洒水罩之间设有缓冲机构。

较佳地，所述缓冲机构包括等高螺栓和套设于所述等高螺栓上的缓冲弹簧，所述等高螺栓依次穿过所述连接块、缓冲弹簧和所述洒水罩，并固定于所述洒水罩远离所述连接块的一侧。

与现有技术相比，本实用新型提供的晶圆搬运手臂具有如下优点：

1、本实用新型通过水平调节组件能够实现吸盘的高精度水平调节，且调节方法更简单快捷；

2、本实用新型通过将洒水机构集成在陶瓷吸盘上，能够快速地对吸盘进行冲水清洗，确保吸盘上的微孔不被堵塞；

3、本实用新型结构简单、成本低。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式中晶圆搬运手臂的结构示意图；

图2为本实用新型一具体实施方式中水平调节组件的结构示意图；

图3和图4分别为本实用新型一具体实施方式中吸盘组件的结构示意图。

图中：10-悬臂、20-水平调节组件、21-分气块、22-第一调节块、23-第一定位销、24-第二调节块、25-第二定位销、26-第一调整螺丝、27-第二调整螺丝、30-吸盘组件、31-连接块、32-洒水罩、33-陶瓷吸盘、34-出水圈、35-气路接头、36-水路接头、37-出水口、38-等高螺栓、39-缓冲弹簧。

具体实施方式

为了更详尽的表述上述实用新型的技术方案，以下列举出具体的实施例来证明技术效果；需要强调的是，这些实施例用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。

本实用新型提供的晶圆搬运手臂，如图1至图4所示，包括悬臂10、水平调节组件20以及吸盘组件30，所述吸盘组件30通过所述水平调节组件20安装于所述悬臂10的一端，所述悬臂10的另一端可以连接移动装置或固定装置，以实现晶圆移动或固定的目的。

具体地，请重点参考图2，所述水平调节组件20包括分气块21、第一调节块22、第一定位销23、第二调节块24以及第二定位销25，所述第一调节块22通过第一定位销23与所述分气块21铰接，所述第二调节块24通过第二定位销25与所述第一调节块22铰接，所述第一定位销23的轴向为X向，所述第二定位销25的轴向为Y向，X向和Y向垂直，这样，使分气块21相对于第一调节块22绕第一定位销23旋转时，可调节吸盘组件30沿X轴方向的倾角，使第一调节块22相对于第二调节块24绕第二定位销25旋转时，可调节吸盘组件30沿Y轴方向的倾角，继而对吸盘组件30进行高精度的水平调节。

请重点参考图3和图4，所述吸盘组件30包括连接块31、洒水罩32、陶瓷吸盘33以及出水圈34，所述连接块31与所述分气块21固定连接，所述洒水罩32安装于所述连接块31的下方，所述出水圈34和陶瓷吸盘33安装于所述洒水罩32的下方，且所述出水圈34围设于所述陶瓷吸盘33的外边缘，所述陶瓷吸盘33可以对晶圆进行吸附，完成晶圆的固定吸取，出水圈34可以对陶瓷吸盘33的表面进行冲洗，确保陶瓷吸盘33上的微孔不被堵塞。

微孔陶瓷在尺寸、形状稳定性方面较其他材料有明显的优势，因此真空吸盘材质为微孔陶瓷。

另外，本申请还具有结构简单、成本低的优点。

在一些实施例中，请重点参考图2，所述分气块21与所述第一调节块22之间设有可拆卸的第一调整螺丝26，当所述第一调整螺丝26松开或拆下时，可使分气块21相对于第一调节块22绕第一定位销23旋转，当调节完成后，将所述第一调整螺丝26拧紧，分气块21与第一调节块22的相对位置固定；所述第一调节块22与所述第二调节块24之间设有可拆卸的第二调整螺丝27，当所述第二调整螺丝27松开或拆下时，可使第一调节块22相对于第二调节块24绕第二定位销25旋转，当调节完成后，将所述第二调整螺丝27拧紧，第一调节块22与第二调节块24的相对位置固定，此时陶瓷吸盘33的水平度固定，无法继续进行水平调节。

在一些实施例中，请重点参考图3，所述洒水罩32上设有多个气路接头35，所述气路接头35的一端与所述陶瓷吸盘33连通，另一端经由所述分气块21与气压调节设备(如负压设备)连通，当然，分气块21上也安装有用于与气压调节设备连通的气路接头35，气压调节设备通过分气块21为陶瓷吸盘33提供均匀的负压，利用负压吸附晶圆。

在一些实施例中，请继续参考图3，所述洒水罩32上还设有多个水路接头36，所述水路接头36的一端与所述出水圈34连通，另一端与供水设备连通，供水设备经过出水圈34对陶瓷吸盘33的表面进行冲水清洁。请结合图4，所述出水圈34上均匀分布有若干出水口37，出水口37对陶瓷吸盘33的表面进行均匀地冲洗，确保清洁效果。

在一些实施例中，请重点参考图3，所述连接块31与洒水罩32之间设有缓冲机构，对陶瓷吸盘33与晶圆之间的接触进行缓冲，实现二者的软性接触，进一步避免晶圆破损。在一些实施例中，所述缓冲机构包括等高螺栓38和套设于所述等高螺栓38上的缓冲弹簧39，所述等高螺栓38依次穿过所述连接块31、缓冲弹簧39和所述洒水罩32，并固定于所述洒水罩32远离所述连接块31的一侧，所述缓冲弹簧39始终处于压缩状态，为洒水罩32和连接块31提供弹性支撑，该缓冲机构结构简单、安装拆卸方便、缓冲效果好。

综上所述，本实用新型提供的晶圆搬运手臂，包括悬臂10、水平调节组件20以及吸盘组件30，所述吸盘组件30通过所述水平调节组件20安装于所述悬臂10的一端；所述水平调节组件20包括分气块21、第一调节块22、第一定位销23、第二调节块24以及第二定位销25，所述第一调节块22通过第一定位销23与所述分气块21铰接，所述第二调节块24通过第二定位销25与所述第一调节块22铰接，所述第一定位销23的轴向与所述第二定位销25的轴向垂直；所述吸盘组件30包括连接块31、洒水罩32、陶瓷吸盘33以及出水圈34，所述连接块31与所述分气块21固定连接，所述洒水罩32安装于所述连接块31的下方，所述出水圈34和陶瓷吸盘33安装于所述洒水罩32的下方，且所述出水圈34围设于所述陶瓷吸盘33的外边缘。本实用新型通过水平调节组件20能够实现吸盘的高精度水平调节，且调节方法更简单快捷；通过将洒水机构集成在陶瓷吸盘33上，能够快速地对吸盘进行冲水清洗，确保吸盘上的微孔不被堵塞；另外，本实用新型结构简单、成本低。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种研磨机用晶圆搬运手臂，其特征在于，包括悬臂、水平调节组件以及吸盘组件，所述吸盘组件通过所述水平调节组件安装于所述悬臂的一端，

所述水平调节组件包括分气块、第一调节块、第一定位销、第二调节块以及第二定位销，所述第一调节块通过第一定位销与所述分气块铰接，所述第二调节块通过第二定位销与所述第一调节块铰接，所述第一定位销的轴向与所述第二定位销的轴向垂直；

所述吸盘组件包括连接块、洒水罩、陶瓷吸盘以及出水圈，所述连接块与所述分气块固定连接，所述洒水罩安装于所述连接块的下方，所述出水圈和陶瓷吸盘安装于所述洒水罩的下方，且所述出水圈围设于所述陶瓷吸盘的外边缘。

2.如权利要求1所述的晶圆搬运手臂，其特征在于，所述分气块与所述第一调节块之间设有可拆卸的第一调整螺丝，所述第一调节块与所述第二调节块之间设有可拆卸的第二调整螺丝。

3.如权利要求1所述的晶圆搬运手臂，其特征在于，所述洒水罩上设有多个气路接头，所述气路接头的一端与所述陶瓷吸盘连通，另一端经由所述分气块与气压调节设备连通。

4.如权利要求3所述的晶圆搬运手臂，其特征在于，所述洒水罩上还设有多个水路接头，所述水路接头的一端与所述出水圈连通，另一端与供水设备连通。

5.如权利要求1或4所述的晶圆搬运手臂，其特征在于，所述出水圈上均匀分布有若干出水口。

6.如权利要求1所述的晶圆搬运手臂，其特征在于，所述连接块与洒水罩之间设有缓冲机构。

7.如权利要求6所述的晶圆搬运手臂，其特征在于，所述缓冲机构包括等高螺栓和套设于所述等高螺栓上的缓冲弹簧，所述等高螺栓依次穿过所述连接块、缓冲弹簧和所述洒水罩，并固定于所述洒水罩远离所述连接块的一侧。

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