CN219333495U - Mocvd尾端过滤器 - Google Patents
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Abstract
MOCVD尾端过滤器，包括底座和安装在底座上部的滤芯，底座上部设置有O型卡槽，O型卡槽上部设置有U型环状密封圈，U型环状密封圈的上表面探入滤芯中部孔洞内，O型卡槽和滤芯一一对应，均设置有六个，按照环状阵列位置安装，卡槽突出底座的高度为1毫米，U型环状密封圈下部开槽的宽度和深度均为1毫米，总高度为3毫米，内环直径为21毫米，外环直径为23毫米；底座的6个O型卡槽通过加装定制U型环状密封圈在以增加与滤芯底壳内壁摩擦力和卡槽的高度，以解决安装滤芯时孔洞偏移，滤芯固定不住的情况；盖板上方两侧安装不锈钢材质的提手，焊接5毫米厚度的半圆形槽，内嵌安装直径8毫米的弧状把手，可旋转平放，使用时不会影响上层底座安装，此拉手功能可方便拆装过滤器。
Description
技术领域：
本实用新型涉及半导体设备技术领域，更具体地说是MOCVD 尾端过滤器。
背景技术：
现有 POWDEC MOCVD 为国内独有，其装配的尾端过滤器内部分为两层过滤，滤芯通气孔处为1毫米凸起的卡槽，盖板直接压在滤芯上，其现有结构上存在缺陷 ：
凸起的卡槽1毫米高度偏低，滤芯橡胶垫圈为3毫米厚度存有误差，材质较软不能很好定位滤芯，实际安装过程中滤芯不能很好卡住，会有所偏移，造成滤芯底壳挡住部分通气孔通气不顺。
盖板使用中会水平卡入桶内，外圈密封圈贴合桶身，其上方无任何可便于取放的把手，MOCVD生产中过滤器温度较高，维护换下后进行拆分换滤芯时，由于高温及coating会使滤芯与过滤器底部粘连，同样盖板也会紧紧粘在滤芯及桶身上，这就造成换滤芯时盖板无着力点很难取下，以往只能用钳子从中间圆孔硬掰，容易造成盖板损坏。
发明内容：
为解决上述问题，克服现有技术的不足，本实用新型提供了滤芯定位准确、盖板方便提取的MOCVD 尾端过滤器。
为实现上述目的，本实用新型提供的MOCVD 尾端过滤器，包括底座和安装在底座上部的滤芯，底座上部设置有O型卡槽，O型卡槽上部设置有U型环状密封圈，U型环状密封圈的上表面探入滤芯中部孔洞内。
进一步的，O型卡槽和滤芯一一对应，均设置有六个，按照环状阵列位置安装。
进一步的，卡槽突出底座的高度为1毫米。
进一步的，U型环状密封圈下部开槽的宽度和深度均为1毫米，总高度为3毫米，内环直径为21毫米，外环直径为23毫米。
进一步的，U型环状密封圈采用铁氟龙耐高温橡胶材质制成。
进一步的，还包括筒体，筒体设置在底座上部，滤芯均安装在筒体内部，筒体内部还设置有用于卡入桶内的盖板，盖板外圈设置有密封圈，密封圈与筒体内壁紧密贴合。
进一步的，盖板上表面焊接有提手，提手包括两个相对设置的半圆形槽和一个弧状把手，弧状把手的两端分别插入两个半圆形槽内。
进一步的，滤芯均位于盖板与底座之间。
本实用新型的有益效果是：
1. 底座的6个O型卡槽通过加装定制U型环状密封圈在以增加与滤芯底壳内壁摩擦力和卡槽的高度，以解决安装滤芯时孔洞偏移，滤芯固定不住的情况。
2.盖板上方两侧安装不锈钢材质的提手，焊接5毫米厚度的半圆形槽，内嵌安装直径8毫米的弧状把手，可旋转平放，使用时不会影响上层底座安装，此拉手功能可方便拆装过滤器。
附图说明：
附图1是本实用新型结构示意图；
附图2是本实用新型的结构示意图；
附图中：1、底座，2、筒体，3、滤芯，4、O型卡槽，5、U型环状密封圈，6、盖板，7、提手。
具体实施方式：
为使本实用新型实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型的附图1~附图2，对本实用新型进行更加详细的描述。
本实用新型提供的MOCVD 尾端过滤器，包括底座1和安装在底座1上部的滤芯3，底座1上部设置有O型卡槽4，O型卡槽4上部设置有U型环状密封圈5，U型环状密封圈5的上表面探入滤芯3中部孔洞内；O型卡槽4和滤芯3一一对应，均设置有六个，按照环状阵列位置安装；卡槽突出底座1的高度为1毫米；U型环状密封圈5下部开槽的宽度和深度均为1毫米，总高度为3毫米，内环直径为21毫米，外环直径为23毫米；U型环状密封圈5采用铁氟龙耐高温橡胶材质制成；还包括筒体2，筒体2设置在底座1上部，滤芯3均安装在筒体2内部，筒体2内部还设置有用于卡入桶内的盖板6，盖板6外圈设置有密封圈，密封圈与筒体2内壁紧密贴合；盖板6上表面焊接有提手7，提手7包括两个相对设置的半圆形槽和一个弧状把手，弧状把手的两端分别插入两个半圆形槽内；滤芯3均位于盖板6与底座1之间。
本实用新型的其中一种实施例如下：
MOCVD 尾端过滤器，包括底座1和安装在底座1上部的滤芯3，底座1上部设置有O型卡槽4，O型卡槽4上部设置有U型环状密封圈5，卡槽突出底座1的高度为1毫米，U型环状密封圈5下部开槽的宽度和深度均为1毫米，总高度为3毫米，内环直径为21毫米，外环直径为23毫米，U型环状密封圈5的上表面探入滤芯3中部孔洞内，使其增加高度与摩擦力，安装滤芯3时底壳内壁正好与U型环状密封圈5贴合减少了活动间隙从而达到更好定位固定滤芯3的目的。
进一步的，O型卡槽4和滤芯3一一对应，均设置有六个，按照环状阵列位置安装。
进一步的，U型环状密封圈5采用铁氟龙耐高温橡胶材质制成，MOCVD生产中过滤器温度较高，U型环状密封圈5不会因高温而变性变形。
还包括筒体2，筒体2设置在底座1上部，滤芯3均安装在筒体2内部，筒体2内部还设置有用于卡入桶内的盖板6，盖板6外圈设置有密封圈，密封圈与筒体2内壁紧密贴合。
盖板6上表面焊接有两个提手7，提手7包括两个相对设置的半圆形槽和一个弧状把手，弧状把手的两端分别插入两个半圆形槽内。
在使用中拆卸过滤器时，把两边提手7竖起即可提拉盖板6，若盖板6粘住，可抓住两边提手7轻微晃动盖板6即可使其松动，安装时可抓两边提手7放入后90度旋转放平，其焊接的4个半圆形槽高度为13毫米，盖板6与上滤芯3底座1间有18毫米间隙，13毫米高度不会对其造成影响，半圆形槽中间孔洞8毫米用于插入提手7的两端，半圆形槽为厚度5毫米不锈钢材质可满足盖板6承重，提手7为半圆不锈钢直径100毫米，8毫米粗，两边水平方向长15毫米。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.MOCVD尾端过滤器，包括底座和安装在底座上部的滤芯，其特征在于：所述底座上部设置有O型卡槽，所述O型卡槽上部设置有U型环状密封圈，所述U型环状密封圈的上表面探入滤芯中部孔洞内；
还包括筒体，所述筒体设置在底座上部，所述筒体内部还设置有用于卡入桶内的盖板，所述盖板上表面焊接有提手，所述提手包括两个相对设置的半圆形槽和一个弧状把手，所述弧状把手的两端分别插入两个半圆形槽内。
2.根据权利要求1所述的MOCVD尾端过滤器，其特征在于：所述O型卡槽和滤芯一一对应，均设置有六个，按照环状阵列位置安装。
3.根据权利要求1所述的MOCVD尾端过滤器，其特征在于：所述卡槽突出底座的高度为1毫米。
4.根据权利要求1所述的MOCVD尾端过滤器，其特征在于：所述U型环状密封圈下部开槽的宽度和深度均为1毫米，总高度为3毫米，内环直径为21毫米，外环直径为23毫米。
5.根据权利要求1所述的MOCVD尾端过滤器，其特征在于：所述U型环状密封圈采用铁氟龙耐高温橡胶材质制成。
6.根据权利要求1所述的MOCVD尾端过滤器，其特征在于：所述滤芯均安装在筒体内部，所述盖板外圈设置有密封圈，所述密封圈与筒体内壁紧密贴合。
7.根据权利要求1所述的MOCVD尾端过滤器，其特征在于：所述滤芯均位于盖板与底座之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222966472.5U CN219333495U (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | Mocvd尾端过滤器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222966472.5U CN219333495U (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | Mocvd尾端过滤器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219333495U true CN219333495U (zh) | 2023-07-14 |
Family
ID=87099098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222966472.5U Active CN219333495U (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | Mocvd尾端过滤器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219333495U (zh) |
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2022
- 2022-11-08 CN CN202222966472.5U patent/CN219333495U/zh active Active
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