CN219302515U - 加电装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开一种加电装置,该包括工作台、探针组件和移动机构,工作台用于放置待加工件,探针组件具有安装座和探针,探针滑动安装于安装座上,探针位于工作台上方,探针向背离或靠近工作台的方向滑动,移动机构包括第一电动移动模组和第二电动移动模组,探针组件安装于第一电动移动模组上,第一电动移动模组用于驱动探针组件沿第一方向移动,第一电动移动模组安装于第二电动移动模组,第二电动移动模组用于驱动第一电动移动模组带动探针组件共同沿第二方向移动。克服了相关技术中采用手动位移台调节探针存在调节操作不便、调节效率低、适用范围小的问题,进而达到了方便调节操作、调节效率高和适用范围广的优点。
Description
技术领域
本申请属于激光测试技术领域,尤其涉及一种加电装置。
背景技术
激光器的光学元件耦合作业过程中需要对每一组激光器芯片加电,调整快轴准直透镜(FAC)和慢轴准直透镜(SAC)的耦合位置。相关技术中,采用加电装置给激光器芯片进行加电,加电装置包括探针和手动位移台,探针安装在手动位移台上,通过手动位移台调整探针移动与不同的激光器芯片对齐加电,手动位移台人工旋钮手柄,操作不便,调节效率低,且手动位移台的调节空间有限,不能满足激光器耦合作业需要,适用范围小。
实用新型内容
本申请实施例提供一种加电装置,以解决相关技术中采用手动位移台调节探针存在调节操作不便、调节效率低、适用范围小的问题。
第一方面,本申请实施例提供一种加电装置,包括:
工作台,用于放置待加工件;
探针组件,具有安装座和探针,所述探针滑动安装于所述安装座上,所述探针位于所述工作台上方,所述探针向背离或靠近所述工作台的方向滑动;
移动机构,包括第一电动移动模组和第二电动移动模组,所述探针组件安装于所述第一电动移动模组上,所述第一电动移动模组用于驱动所述探针组件沿第一方向移动,所述第一电动移动模组安装于所述第二电动移动模组,所述第二电动移动模组用于驱动所述第一电动移动模组带动所述探针组件共同沿第二方向移动。
可选的,所述移动机构还包括遥感手柄,所述遥感手柄分别与所述第一电动移动模组和所述第二电动移动模组电连接,用于控制所述第一电动移动模组和所述第二电动移动模组动作;
和/或,所述移动机构还包括控制器,所述控制器分别与所述第一电动移动模组和所述第二电动移动模组连接,用于控制所述第一电动移动模组和所述第二电动移动模组动作。
可选的,所述第一电动移动模组包括:
龙门架,跨设于所述工作台上,与所述第二电动移动模组连接,所述第二电动移动模组用于驱动所述龙门架沿第二方向移动;
第一直线滑台,安装于所述龙门架上,沿第一方向布置,所述探针组件安装于第一直线滑台的滑台上,第一直线滑台用于驱动所述探针组件沿第一方向移动。
可选的,所述第二电动移动模组包括:
第二直线滑台,沿第二方向布置,所述龙门架的一端安装于所述第二直线滑台的滑台上;
第一滑轨,沿第二方向布置,与所述第二直线滑台平行间隔设置,所述龙门架的另一端通过第一滑块与所述第一滑轨滑动连接。
可选的,所述安装座包括:
滑动机构,与所述第一电动移动模组连接;
安装板,所述探针安装于所述安装板上,所述安装板与所述滑动机构滑动连接。
可选的,所述滑动机构包括:
连接板,与所述第一电动移动模组连接;
第二滑轨,安装于所述连接板背离所述第一电动移动模组的一侧;
第二滑块,与所述第二滑轨滑动连接,所述安装板与所述第二滑块固定连接;
调节手柄,与所述第二滑块连接,用于驱动所述第二滑块沿所述第二滑轨滑动。
可选的,所述安装座还包括:
肘夹,安装于所述连接板上,所述肘夹的压头与所述安装板连接,用于驱动所述安装板沿所述第二滑轨滑动。
可选的,还包括光学检测组件,所述光学检测组件包括:
光学显微镜,位于所述探针上方;
调节机构,所述调节机构安装于所述第一电动移动模组上,所述光学显微镜安装于所述调节机构上,所述调节机构用于驱动所述光学显微镜向靠近或背离所述工作台的方向移动。
可选的,所述调节机构包括:
第一连接杆,固定于所述第一电动移动模组上;
连接块,套设于所述第一连接杆上,可沿所述第一连接杆轴向滑动,所述光学显微镜安装于所述连接块上。
可选的,所述调节机构还包括:
第二连接杆,沿垂直于所述第一连接杆轴线的方向布置,所述连接块上设有安装孔,所述第二连接杆与所述连接块连接,位于所述安装孔内,所述第二连接杆上安装所述光学显微镜。
本申请实施例提供的加电装置,因采用第一电动移动模组和第二电动移动模组驱动探针组件沿第一方向和第二方向移动的方案,第一电动移动模组和第二电动移动模组的自动化程度高,方便用户操作,调节速度快,不仅适用于光学元件耦合,还适用于激光器测试等场景,克服了相关技术中采用手动位移台调节探针存在调节操作不便、调节效率低、适用范围小的问题,进而达到了方便调节操作、调节效率高和适用范围广的优点。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对本领域技术人员来说,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
为了更完整地理解本申请及其有益效果,下面将结合附图来进行说明。其中,在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。
图1为本申请实施例提供的加电装置的结构示意图。
图2为本申请实施例提供的加电装置的局部结构示意图。
图3为本申请实施例提高的加电装置的探针组件2的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
本申请实施例提供一种加电装置,以解决相关技术中采用手动位移台调节探针存在调节操作不便、调节效率低、适用范围小的问题。以下将结合附图对进行说明。
参见图1、图2和图3所示,图1为本申请实施例提供的加电装置的结构示意图,图2为本申请实施例提供的加电装置的局部结构示意图,图3为本申请实施例提高的加电装置的探针组件2的结构示意图。
一种加电装置,包括工作台1、探针组件2和移动机构3。
工作台1用于放置待加工件。
探针组件2包括安装座21和探针22,探针22滑动安装于安装座21上,探针22位于工作台1上方,探针22向背离或靠近工作台1的方向滑动,当需要加电时,探针22向靠近工作台1的方向移动,探针22给激光器芯片加电,激光器芯片出光,当需要断电时,探针22向背离工作台1的方向移动,探针22与激光器芯片分离,激光器芯片断电。
移动机构3包括第一电动移动模组31和第二电动移动模组32,探针组件2安装于第一电动移动模组31上,第一电动移动模组31用于驱动探针组件2沿第一方向移动,其中,第一方向为Y轴方向,第一电动移动模组31安装于第二电动移动模组32,第二电动移动模组32用于驱动第一电动移动模组31带动探针组件2共同沿第二方向移动,其中第二方向为X轴方向。
可以理解的,根据加电装置适用的场景不同,待加工件不同,当加电装置用于激光器的光学元件耦合作业中,待加工件是泵浦底座,泵浦底座内有多个激光器芯片,第一电动移动模组31和第二电动移动模组32驱动探针组件2在平面内移动,可移动至任意一激光器芯片上方,探针22向工作台1的方向移动,探针22与激光器芯片接触,对激光器芯片进行加电,激光器芯片出光,然后调节FAC和SAC的耦合位置,将FAC和SAC安装于泵浦底座上,探针22向背离工作台1的方向移动,探针22与激光器芯片分离,激光器芯片断电,完成一激光器芯片的加电,第一电动移动模组31和第二电动移动模组32驱动探针组件2移动至下一激光器芯片上方,依次循环,完成泵浦底座内的所有光学元件的耦合,第一电动移动模组31和第二电动移动模组32自动化程度高,调节速度快,提高了泵浦底座的加工效率。此外,加电装置还可以应用于激光器测试系统,用于测试激光器的功率、发散角等参数,加电装置的适用范围更广。
在一些实施方式中,参见图1所示,移动机构3还包括遥感手柄33,遥感手柄33分别与第一电动移动模组31和第二电动移动模组32电连接,用于控制第一电动移动模组31和第二电动移动模组32动作。
可以理解的,移动机构3具有控制电路板,遥感手柄33与控制电路板电连接,第一电动移动模组31和第二电动移动模组32也与控制电路板电连接,控制电路板将遥感手柄33的偏转电阻信号转换成第一电动移动模组31和第二电动移动模组32的脉冲信号,驱动第一电动移动模组31和第二电动移动模组32工作,遥感手柄33独立于工作台1外,方便用户操作。
在一些实施方式中,移动机构3还包括控制器,控制器分别与第一电动移动模组31和第二电动移动模组32连接,用于控制第一电动移动模组31和第二电动移动模组32动作。
可以理解的,上述的控制器为PLC单片机,PLC单片机内写有控制第一电动移动模组31和第二电动移动模组32的程序,控制第一电动移动模组31和第二电动移动模组32,自动化程度更高,操作简单。
在一些实施方式中,参见图1所示,第一电动移动模组31包括龙门架312和第一直线滑台311。
龙门架312跨设于工作台1上,龙门架312与第二电动移动模组32连接,第一直线滑台311安装于龙门架312上,沿第一方向布置,探针组件2安装于第一直线滑台311的滑台上,第一直线滑台311用于驱动探针组件2沿第一方
向移动,第二电动移动模组32用于驱动龙门架312带动第一直线滑台311和探5针组件2共同沿第二方向移动。
上述的龙门架312具有两相对设置的竖梁和一横梁,横梁沿第一方向延伸,横梁的两端位置安装竖梁,竖梁与第二电动移动模组32连接,第一直线滑台311安装于横梁上,龙门架312的结构简单,结构强度高,加单装置的稳定性好。
0在一些实施方式中,参见图2所示,第二电动移动模组32包括第二直线滑
台321、第一滑轨322,第二直线滑台321沿第二方向布置,龙门架312的一端安装于第二直线滑台321的滑台上,龙门架312的一竖梁的端部安装于第二直线滑台321的滑台上,第一滑轨322沿第二方向布置,第一滑轨322与第二直
线滑台321平行间隔设置,第一滑轨322之间的第二直线滑台321距离与龙门5架312的横梁长度相同,龙门架312的另一端通过第一滑块与第一滑轨322滑
动连接,即,龙门架312的另一竖梁的端部与第一滑块固定连接,第一滑块滑动安装于第一滑轨322上,第二直线滑台321的电机驱动龙门架312沿第二方向移动。
上述的第一直线滑台311与第二直线滑台321的结构相同,均包括电机、0丝杆、导向杆和滑台,滑台套设在导向杆上,滑台与丝杆螺纹连接,电机的输
出端与丝杆连接,驱动丝杆正转或反转,滑台沿丝杆的轴向移动,带动滑台上的结构移动,第一直线滑台311和第二直线滑台321的结构紧凑,设备集成度高,电机与上述的遥感手柄33电连接,方便操作,提高了激光器的加工或测试效率。
5可以理解的,上述的第二电动移动模组32也可以采用两台直线滑台,两台
直线滑台相对间隔设置,龙门架312安装于两直线滑台上,两直线滑台共同驱动龙门架312移动,动力更足。
在上述实施方式的基础上,参见图2所示,第二电动移动模组32包括还包括支撑块323,第一滑轨322安装于支撑块323上,使得第一滑轨322的高度与第二直线滑台321的高度相同,保证龙门架312平稳滑动。
在上述实施方式的基础上,参见图1和图2所示,工作台1包括箱本体11,箱本体11内设有容纳空间,第二电动移动模组32安装于容纳空间内,箱本体11的上表面上用于放置待加工件,箱本体11上开设有滑槽12,龙门架312穿过滑槽12与第二电动移动模组32连接,龙门架312可在滑槽12内滑动。
可以理解的,工作台1、探针组件2和移动机构3集成一体,方便加单装置转移和运输,结构紧凑。
在一些实施方式中,参见图3所示,安装座21包括滑动机构211和安装板213,滑动机构211与第一电动移动模组31连接,探针22安装于安装板213上,安装板213与滑动机构211滑动连接。
滑动机构211安装在第一直线滑台311的滑台上,滑动机构211驱动安装板213沿Z轴移动,安装板213带动探针22共同沿Z轴移动。
在上述实施方式的基础上,参见图3所示,滑动机构211包括连接板2111、第二滑轨2112、第二滑块2113和调节手柄2114,连接板2111与第一电动移动模组31连接,连接板2111安装在第一直线滑台311的滑台的一侧面上,第二滑轨2112安装于连接板2111背离第一电动移动模组31的一侧,第二滑轨2112沿Z轴方向布置,第二滑块2113与第二滑轨2112滑动连接,安装板213与第二滑块2113固定连接,调节手柄2114与第二滑块2113连接,调节手柄2114用于驱动第二滑块2113沿第二滑轨2112滑动,第二滑块2113带动安装板213沿Z轴移动。
在上述实施方式的基础上,参见图3所示,安装座21还包括肘夹212,肘夹212安装于连接板2111上,肘夹212的压头与安装板213连接,用于驱动安装板213沿第二滑轨2112滑动。
可以理解的,当激光器芯片通电操作时,先旋钮调节手柄2114驱动第二滑块2113带动安装板213向工作台1的一侧移动,探针22距离激光器芯片移动距离,再将肘夹212的手柄下拉,安装板213带动探针22进一步向工作台1的一侧移动,探针22与激光器芯片接触,通过肘夹212给探针22施加一定的作用力与激光器芯片抵接,探针22与激光器芯片接触良好,当激光器芯片断电操作时,将肘夹212的手柄上提,安装板213带动探针22向背离工作台1的一侧移动,探针22与激光器芯片分离,实现激光器芯片瞬时断电,保护激光器芯片,操作方便,然后再反省旋钮调节手柄2114,进一步增大探针22与激光器芯片之间的距离,通过肘夹212驱动安装板213带动探针22下移或上移,肘夹操作方便,保证探针22与激光器芯片接触良好,或,实现激光器芯片的瞬时断电。
在一些实施方式中,参见图1所示,还包括光学检测组件4,光学检测组件4包括光学显微镜41和调节机构42,光学显微镜41位于探针22上方,调节机构42安装于第一电动移动模组31上,光学显微镜41安装于调节机构42上,调节机构42用于驱动光学显微镜41向靠近或背离工作台1的方向移动。
与待加电的激光器芯片处于一路的FAC或SAC位于光学显微镜41的视野范围内,保证FAC或SAC耦合的精度。
在上述实施方式的基础上,参见图1所示,调节机构42包括第一连接杆421和连接块422,第一连接杆421固定于第一电动移动模组31上,第一连接杆421固定在第一直线滑台311的滑台上,第一连接杆421向背离工作台1的一侧延伸,连接块422套设于第一连接杆421上,可沿第一连接杆421轴向滑动,光学显微镜41安装于连接块422上,连接块422带动光学显微镜41向靠近或背离工作台1的方向移动,使得激光器芯片待焊接的FAC或SAC位于光学显微镜41的视野。
在上述实施方式的基础上,参见图1所示,调节机构42还包括第二连接杆423,沿垂直于第一连接杆421轴线的方向布置,连接块422上设有安装孔424,第二连接杆423与连接块422连接,位于安装孔424内,第二连接杆423上安装光学显微镜41。
可以理解的,通过第一连接杆421和第二连接杆423可以实现光学显微镜41在Z轴和X轴方向移动,扩大了光学显微镜41的视野范围,结构简单,方便调节。
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。
在本申请的描述中,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。
以上对本申请实施例所提供的加电装置进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想;同时,对于本领域的技术人员,依据本申请的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上,本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
Claims (10)
1.一种加电装置,其特征在于,包括:
工作台,用于放置待加工件;
探针组件,具有安装座和探针,所述探针滑动安装于所述安装座上,所述探针位于所述工作台上方,所述探针向背离或靠近所述工作台的方向滑动;
移动机构,包括第一电动移动模组和第二电动移动模组,所述探针组件安装于所述第一电动移动模组上,所述第一电动移动模组用于驱动所述探针组件沿第一方向移动,所述第一电动移动模组安装于所述第二电动移动模组,所述第二电动移动模组用于驱动所述第一电动移动模组带动所述探针组件共同沿第二方向移动。
2.根据权利要求1所述的加电装置,其特征在于,所述移动机构还包括遥感手柄,所述遥感手柄分别与所述第一电动移动模组和所述第二电动移动模组电连接,用于控制所述第一电动移动模组和所述第二电动移动模组动作;
和/或,所述移动机构还包括控制器,所述控制器分别与所述第一电动移动模组和所述第二电动移动模组连接,用于控制所述第一电动移动模组和所述第二电动移动模组动作。
3.根据权利要求1所述的加电装置,其特征在于,所述第一电动移动模组包括:
龙门架,跨设于所述工作台上,与所述第二电动移动模组连接,所述第二电动移动模组用于驱动所述龙门架沿第二方向移动;
第一直线滑台,安装于所述龙门架上,沿第一方向布置,所述探针组件安装于第一直线滑台的滑台上,第一直线滑台用于驱动所述探针组件沿第一方向移动。
4.根据权利要求3所述的加电装置,其特征在于,所述第二电动移动模组包括:
第二直线滑台,沿第二方向布置,所述龙门架的一端安装于所述第二直线滑台的滑台上;
第一滑轨,沿第二方向布置,与所述第二直线滑台平行间隔设置,所述龙门架的另一端通过第一滑块与所述第一滑轨滑动连接。
5.根据权利要求1所述的加电装置,其特征在于,所述安装座包括:
滑动机构,与所述第一电动移动模组连接;
安装板,所述探针安装于所述安装板上,所述安装板与所述滑动机构滑动连接。
6.根据权利要求5所述的加电装置,其特征在于,所述滑动机构包括:
连接板,与所述第一电动移动模组连接;
第二滑轨,安装于所述连接板背离所述第一电动移动模组的一侧;
第二滑块,与所述第二滑轨滑动连接,所述安装板与所述第二滑块固定连接;
调节手柄,与所述第二滑块连接,用于驱动所述第二滑块沿所述第二滑轨滑动。
7.根据权利要求6所述的加电装置,其特征在于,所述安装座还包括:
肘夹,安装于所述连接板上,所述肘夹的压头与所述安装板连接,用于驱动所述安装板沿所述第二滑轨滑动。
8.根据权利要求1所述的加电装置,其特征在于,还包括光学检测组件,所述光学检测组件包括:
光学显微镜,位于所述探针上方;
调节机构,所述调节机构安装于所述第一电动移动模组上,所述光学显微镜安装于所述调节机构上,所述调节机构用于驱动所述光学显微镜向靠近或背离所述工作台的方向移动。
9.根据权利要求8所述的加电装置,其特征在于,所述调节机构包括:
第一连接杆,固定于所述第一电动移动模组上;
连接块,套设于所述第一连接杆上,可沿所述第一连接杆轴向滑动,所述光学显微镜安装于所述连接块上。
10.根据权利要求9所述的加电装置,其特征在于,所述调节机构还包括:
第二连接杆,沿垂直于所述第一连接杆轴线的方向布置,所述连接块上设有安装孔,所述第二连接杆与所述连接块连接,位于所述安装孔内,所述第二连接杆上安装所述光学显微镜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223545515.9U CN219302515U (zh) | 2022-12-29 | 2022-12-29 | 加电装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223545515.9U CN219302515U (zh) | 2022-12-29 | 2022-12-29 | 加电装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN219302515U true CN219302515U (zh) | 2023-07-04 |
Family
ID=86984628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202223545515.9U Active CN219302515U (zh) | 2022-12-29 | 2022-12-29 | 加电装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN219302515U (zh) |
-
2022
- 2022-12-29 CN CN202223545515.9U patent/CN219302515U/zh active Active
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